JPS58144832U - 縮小投影露光装置 - Google Patents

縮小投影露光装置

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JPS58144832U
JPS58144832U JP4174882U JP4174882U JPS58144832U JP S58144832 U JPS58144832 U JP S58144832U JP 4174882 U JP4174882 U JP 4174882U JP 4174882 U JP4174882 U JP 4174882U JP S58144832 U JPS58144832 U JP S58144832U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
projection exposure
reduction projection
power
exposure apparatus
power consumption
Prior art date
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Pending
Application number
JP4174882U
Other languages
English (en)
Inventor
林　聰一郎
藤倉　洋一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP4174882U priority Critical patent/JPS58144832U/ja
Publication of JPS58144832U publication Critical patent/JPS58144832U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の電力測定法説明図、第２図は本　　　　
□考案による電力測定装置の構成図、第３図は電力測定
回路図である。 １・・・ランプ電源、２・・・ランプ、ａ・・・電力計
、４・・・電流検出抵抗、５・・・電力変換器、６・・
・Ａ／Ｄ変換器、７・・・制御計算機、８・・・表示装
置、９・・・電流増幅器、１０・・・電圧増幅器、１１
・・・掛算器、１２・・・比較器、１８・・・設定値。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　ランプの消費電力を計測する手段、および、計測し
    た電力をＡ／Ｄ変換する手段を有する縮小投影露光装置
    において、消費電力を制御部に読み取り、あらかじめ指
    定された寿命電力と比較し、寿命電力に達した時、ラン
    プ変換の警告を与え、装置を停止させ得る構成を採った
    ことを特徴とする縮小投影露光装置。 ２　第１項において、消費電力と寿命電力を比較し得る
    機構をそなえ、寿命電力に達した時、制御部に伝えるこ
    とを特徴とする縮小投影露光装置。 ３　第１項において常時消費電力を計測することを特徴
    とする縮小投影露光装置。 ４　第１項において、稼動直前に消費電力を計測するこ
    とを特徴とする縮小投影露光装置。
JP4174882U 1982-03-26 1982-03-26 縮小投影露光装置 Pending JPS58144832U (ja)

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JP4174882U JPS58144832U (ja) 1982-03-26 1982-03-26 縮小投影露光装置

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JP4174882U JPS58144832U (ja) 1982-03-26 1982-03-26 縮小投影露光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58144832U true JPS58144832U (ja) 1983-09-29

Family

ID=30052924

Family Applications (1)

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JP4174882U Pending JPS58144832U (ja) 1982-03-26 1982-03-26 縮小投影露光装置

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JP (1) JPS58144832U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01243427A (ja) * 1988-03-24 1989-09-28 Tokyo Electron Ltd 露光方法及び露光装置
JPH02230711A (ja) * 1989-03-03 1990-09-13 Canon Inc 露光装置の監視方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01243427A (ja) * 1988-03-24 1989-09-28 Tokyo Electron Ltd 露光方法及び露光装置
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