JPS58145657A - セラミツクス焼結体製造用生成形体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、高密度でかつ高強度のセラミックス焼結体を
製造するだめのセラミックス焼結体製造用生成形体の製
造方法に関する。

従来、一般的に行なわれているセラミックス焼結体の製
造方法は、粉末原料を所望の形状の生成形体に成形し、
次いで焼結する方法である。前記粉末原料を所望の形状
の生成形体に成形する手段としては、いろいろな手段が
知られている。例えば泥漿鋳込み成形、押出し成形、ろ
くろ成形、揺動成形および乾式加圧成形等の手段が知ら
れていフ る。前述の諸成形手段は成形時の含液量によって湿式あ
るいは乾式の成形手段に大別することかできる。このう
ち湿式の成形手段は成形後十分に生成形体を乾燥させる
ことが必要であり、乾燥による収縮を考慮しなければな
らないばかりでなく、乾燥中に反りや亀裂等の欠陥を生
じ易い。これに対し乾式の成形手段は寸法精度に優れて
おり有利な成形手段であるが、微細な粉末を使用する場
合には粉末の流動性が悪いだめ型の中へ均一に充填し加
圧することが困難で生成形体の嵩密度あるいは成形時の
圧力分布にバラツキが生じたり、生成形体中にブリッジ
ングに起因する欠陥が生じ島い。

この成形時の欠陥は焼結した後にもその１ま焼結体中に
残存し、焼結体の物性特に機械的強度を著しく低下させ
る原因となるため、従来微細な粉末原料を使用して生成
形体を成形する場合にはあらかじめ顆粒化して流動性を
向上させて使用される。

ところで、前記顆粒は流動性等の取扱い性から判断する
と嵩密度が高く硬いものが好寸（〜いが、顆粒化した原
料を加圧成形して高密度でかつ高強度の焼結体を得るに
は、加圧成形時に個々の顆粒が完全に潰れ一体化した生
成形体を得ることが極めて重要であり、通常嵩密度が比
較的低く軟らかい顆粒が要求されている。なぜならば、
前記顆粒の嵩密度が高く硬いと、顆粒が潰れ靜〈成形時
に極めて高い成形圧を必要とし、さらに生成形体中に空
孔が残り易く、高強度の焼結体を得ることが困難になる
からである。

しかしなから、余り嵩密度の低い顆粒は取扱い時に壊れ
て再粉化し易く、また成形時の圧縮比が著しく大きく、
型中に封入された空気に起因するラミイージョンが発生
したり、成形に長時間を要し効率的に生成形体を製造す
ることが困難である欠点を有している。

前記諸欠点を改善する方法としては、通常成形圧力の伝
達性を良好にし成形性を改善するために潤滑剤を添加す
ることが行なわれている。

前記潤滑剤としては例えばカーポワックス、ステアリン
酸ジグリコール、ステアリン酸、ステアリン酸マグネシ
ウム、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸バリウム、ステ
アリン酸アルミニウム、鉱油と脂肪の混合物、パラフィ
ンエマルション、ワックスエマルション、グリセリンあ
るいはホリエ　５− チレンワックスが知られている。

その−例として、１９７３年１０月２４日に米国に出願
された特許出願第４０９０７３号に基づいて優先権主張
された特開昭５０−７８６０９号公報によればサブミク
ロン粒度の炭化珪素を加圧成形し生成形体を成形するに
際し、潤滑剤としてステアリン酸アルミニウムを添加混
合する方法が記載されている。しかしながら、この方法
てよれば、ダイプレスにより５．０００　ｐｓｉ　（約
３５１．５Ｋｙ／Ｃｒｎ２）　ノ成形圧カで成形される
生成形体の密度は理論密度の５５係に相当する密度であ
り、また静水圧プレスにより３０、０００　ｐｓ　ｉ　
（約２．１０９　Ｋｙ／ｃｍ２）　（ｒ）成形圧力テ成
形すれる生成形体の密度は理論密度の５９％に相当する
密度であり、高い密度を有する生成形体を得るには極め
て高い成形圧力を必要とする方法である。

前述の如く、乾式の成形手段によって成形される焼結用
セラミックス粉末は成形性に優れたものであることが重
要であり、通常潤滑剤を添加混合し顆粒化して使用され
るが、前記焼結用セラミックス粉末として極めて微細な
粉末を使用する場合　６　− には粉末相互の凝集性が強く、顆粒化すると極めて潰れ
難く、従来知られた潤滑剤ではそれ程成形性を改善する
ことができないという欠点があり、極めて微細な焼結用
セラミックス粉末を乾式の成形手段によって成形し、高
密度でかつ高強度の焼結体を得ることは困難であった。

本発明は、比較的低い成形圧力でも高い密度の生成形体
とすることのできるセラミックス焼結体製造用生成形体
の製造方法を提供することを目的とするものである。

本発明の要旨は、１種あるいは２種以上の成分よりなる
セラミックス微粉を主成分とする混合物を加圧成形し、
少なくとも理論密度の５５係に相当する密度の生成形体
とするセラミックス焼結体製造用生成形体の製造方法に
おいて、前記混合物はセラミックス微粉１００重量部に
対し、フッ素樹脂を０．５〜１５重量部添加し均二に混
合したものであることを特徴とするセラミックス焼結体
製造用生成形体の製造方法であって、これにより前記目
的を達成することができる。

次に本発明の詳細な説明する。

本発明者らは、従来知られた潤滑剤の作用効果について
種々研究した結果、従来知られた潤滑剤では極めて微細
な焼結用セラミックス粉末の成形性を改善することが困
難であった原因は、次に述べるような機構によるもので
あるとの結論に到達した。

すなわち、従来知られた潤滑剤は液吠、グリース状ある
いは比較約款かい半固体状であるため、粒子相互の接触
点が著しく多い微細な粉末に使用する場合には、粒子間
に存在する潤滑剤が潤滑効果を発揮するよりも、むしろ
粒子を相互に粘着させて潤滑作用を弱める作用が顕著に
なり、また本発明に使用される如き極めて微細な粉末に
従来の潤滑剤を混合する場合には、一般に均一に混合す
ることを目的として溶媒に溶解させた潤滑剤が添加混合
されるため、乾燥された時に潤滑剤が粒子を相互に固着
した状態になる。

前述の如く、従来の潤滑剤を極めて微細な粉末に混合し
た場合、粒子相互の間に潤滑性を与えるよりも、むしろ
粒子を相庁に粘着させたり、あるいは固着させたりする
ため、粒子相互の摩擦抵抗を軽減させることが困難で生
成形体の密度を理論密度の５５％以上にするためには極
めて大きな成形圧力を必要としていた。

したがって、従来高密度の生成形体を得ようとすると、
極めて大きな成形圧力で成形されるため、高い成形圧力
に耐えることのできる強固な成形型を必要とするばかり
でなく、成形型の損耗が著しく、寿命が短かいという欠
点を有していた。

ところで、本発明者らは焼結用原料混合物を得るための
渭合手段として、従来フッ素樹脂ポールが混合媒体とし
て装入されたが−ルミルを使用していた。しかしながら
、フッ素樹脂は極めて高価であり、しかも混合中にフッ
素樹脂ポールが摩耗して混合物中に混入するため、前記
フッ素樹脂ボールを炭化珪素焼結体製のボールに変更し
て混合処理を行なったところ、製造された混合物の成形
性がフッ素樹脂ざ−ルを使用して製造された混合物に比
較して著しく劣化することを知見した。

９一 本発明者らは、前記現象について種々研究した結果、混
合物中に混入したフッ素樹脂が成形時になんらかの影響
を及ぼしているのではないかと推察し、セラミックス微
粉にフッ素樹脂を混合し、この混合物を加圧成形したと
ころ、従来、微粉末の成形性を向上させる潤滑効果を有
するとは推測だにされなかった硬いフッ素樹脂が極めて
優れた潤滑効果を有し、しかも従来知られた潤滑剤に比
較して成形性を著しく向上させ、高密度の生成形体を容
易に製造することができるという驚くべき効果を有して
いることを知見し、この知見から本発明を完成するに至
った。

本発明によれば、セラミックス微粉とフッ素樹脂とを混
合することによって得られる混合物は成形性に極めて優
れているため、従来得ることの困難であった極めて高密
度の生成形体を比較的低い成形圧力で容易に得ることが
できる。

本発明においてフッ素樹脂を混合したセラミックス微粉
の成形性が極めて優れている理由は、フッ素樹脂は極め
て硬くしかも靭性の高い樹脂であ１０− リ、従来の潤滑剤のように粒子を相互に粘着させたり、
固着させたりする作用をもたず、しかも表面摩擦係数が
著しく小さく粉末状で良好な潤滑特性を有するためであ
ると考えられる。

本発明においては、１釉あるいは２種以北の成分よりな
るセラミックス微粉１００重積部とフッ素樹脂０．５〜
１５重量部とを混合することが必要である。その理由は
、前記フッ素樹脂の混合量が０５重量部より少ないと、
混合物は成形性［著しく劣り、生成形体を製造する際に
極めて大きな圧力を必要とするばかりでなく、生成形体
の嵩密度や成形時の圧力分布にバラツキが生じ易く、均
一で欠陥の少ない生成形体を得ることが困難であるし、
一方１５重量部より多いと、生成形体中に存在するフッ
素樹脂量が多く生成形体の密度が低くなるため、高密度
の焼結体を得ることが困難になるからであり、なかでも
２〜１０重量部であることがより好適である。

前記フッ素樹脂はポリ四フッ化エチレン、ポリ三フッ化
塩化エチレン、四フッ化エチレンー六フッ化プロピレン
共重合体、ポリフッ化ビニｌ］　ｆンのなかから選ばれ
る少なくとも１種であることが好１しく、なかでもポリ
四フッ化エチレンが最適である。

本発明において、前記フッ素樹脂は平均粒径が３μｍ以
下の微粉末であることが好ましい。その理由は、前記フ
ッ素樹脂の平均粒径が３μｍより大きいと、混合量の割
に均一分散さげることができず、４句屑剤の効果が不均
一となるし、焼結後の焼結体中に空孔を生じさせるため
、高強度の・焼結体を製造することが困難になるからで
ある。

本発明における前記セラミックス微粉としでは種々のも
のが使用できるが、なかでも炭化物、′窒化物、酸化物
あるいはそれらの化合物のなかから選ばれる少なくとも
１種を主成分とするものであることが好１しく、炭化物
としては例えば炭化珪素、炭化ホウ素、炭化アルミニウ
ム、炭化タングステン、炭化チタン、炭化タンタル、炭
化ゾルコニウム、窒化物としては例えば窒化珪素、窒化
ホウ素、窒化アルミニウム、窒化チタン、窒化タンタル
、窒化ジルコニウム、酸化物としては例えばステアタイ
ト、フォルステライト、アルミナ、ジルコン、ベリリア
、マグネシア、ムライト、コージェライト、チタン酸ア
ルミニウム、ジルコニア等を使用することができる。

本発明において、前記セラミックス微粉は平均粒径が２
μｍ以下の微粉末であることが好捷しい。

平均粒径が２μｍよりも大きいセラミックス粉末は粒子
相互の接触点が比較的少なく、従来公知の潤滑剤で十分
成形性を向上させることができるが、粉末の焼結性が劣
るため、高密度の焼結体を製造することが困難であるか
らである。

本発明における前記セラミックス微粉としては５〜１０
０　ｍ２／ｆ／−の比表面積を有する炭化珪素微粉と盛
装により添加される焼結助剤とを主成分とするものが最
も好適に使用できる。

前記炭化珪素微粉としてはα型結晶、β型結晶。

非晶質のなかから選ばれるいずれか１種あるいは２種以
上からなる炭化珪素微粉を使用することができる。特に
高強度の炭化珪素常圧焼結体を製造　１３− するためにはβ型結晶を主体とする炭化珪素微粉を使用
することが有利であり、なかでもβ型結晶を８０重ｉｔ
％以上含有する炭化珪素微粉がより好適である。

前記必要により添加される焼結助剤は通常高密化助剤あ
るいは炭素質添加剤のうちいずれか少なくとも１種であ
る。

前記高密化助剤は主としてホウ素含有添加剤を使用する
ことが肩利であり、その他ベリリウム。

アルミニウム等を含有する添加剤を使用することもでき
る。前記ホウ素含有添加剤としては、例えばホウ素ある
いは炭化ホウ素から選ばれる少なくとも１種をホウ素含
有量に換算して炭化珪素微粉１００重量部に対して０．
１〜３．０重量部添加することが有利である。

前記炭素質添加剤としては焼結開始時に炭素の状態で存
在するものであれば使用することができ、例えばフェノ
ール樹脂、コールタールピッチ、ホリフエニレン、ポリ
メチルフェニレン、カーボンブラック、アセチレンブラ
ックのなかから選ばれ　１４− る少なくとも１種を固定炭素含有量に換算して炭化珪素
微粉１００重量部に対して０３〜４．０重量部添加する
ことが有利である。

本発明によれば、前記セラミックス微粉とフッ素樹脂粉
末との混合物は、セラミックス微粉とフッ素樹脂粉末と
を従来公知の混合器中に装入し、機械的に混合する方法
によって得ることかできるが、その他にフッ素樹脂製の
混合器あるいはフッ素樹脂よりなる混合媒体を有する混
合器中にセラミックス微粉を装入し、混合時て混合器あ
るいは混合媒体より摩耗によって生成するフッ素樹脂微
粉を混合することもできる。なお、前記混合器としては
例えばテフロンギールを混合媒体とするボールミル、振
動ミルあるいはアトライターを使用することが有利であ
る。

本発明において、前記混合物は顆粒化することにより流
動性を向上させて使用される。

前記混合物は粉体嵩密度が理論密度の１２〜４６％に相
当する密度を有する顆粒であることが好寸しい。この粉
体嵩密度を上記の範囲内にする理由は、前記粉体嵩密度
が１２％よりも小さいと、成形時における圧縮比が著し
く大きくなるため成形が困難であるからであり、一方４
６係より大きい場合は、比較的顆粒の粒度分布が広い場
合あるいは見掛は顆粒密度が高い場合とがあるが、前者
の場合には流動性が劣化するし、後者の場合には顆粒の
圧潰強度が著しく強くなるだめ成形時に潰れずにそのま
まの形状で残留し焼結体中に密度の著しく低い箇所を生
じさせる場合があるからであり、なかでも２０〜４０％
の範囲内がより最適である。

なお、前記粉体嵩密度（ｐｏｗｄｅｒ　ｂｕｌｋ　ｄｅ
ｎｓｉｔｙ　）とハ顆粒の一定容積中に占めるセラミッ
クス微粉の容積、すなわち固体、内部空隙および外部空
隙を含んだ単位容積中に占めるセラミックス微粉の容積
であり、前記見掛は顆粒密度（ａｐｐａｒｅｎｔ　ｇｒ
ａｎｕｌｅｄｅｎｓｉｔｙ　）とは単位嵩容積中に占め
るセラミックス微粉の容積のことであり、嵩容積という
のは顆粒中に占めるセラミックス微粉と内部空隙を含ん
だ容積である。

前記混合物は平均粒径が０．０２〜０．５１鷹の範囲内
のり粒であることが好寸しい。その理由は、顆粒の平均
粒径が００２咽より小さいと流動性が著しく低下し、生
成形体の嵩密度や成形時の圧力分布にバラツキが生じた
り、生成形体中にブリッジングに起因する欠陥が生じ易
いし、一方０．５咽より大きいと小型で複雑な形状の生
成形体を成形することが困難であるからである。

前記混合物の顆粒化方法としては、例えばタブレット法
、直接顆粒化法、噴務乾燥による顆粒化法あるいは噴務
凍結し次いで凍結乾燥する順粒化法のなかから選ばれる
いずれか１種を使用することができる。

本発明ｒおいて、前記混合物は加圧成形することによっ
て少なくとも理論密度の５５％に相当する密度の生成形
体とすることが必要であるっその理由は、前記密度が５
５％より低いとセラミックス微粉粒子相互の接触点が少
なく、焼結時の焼成収縮を均一に進行させることが困難
で高密度の焼結体を得難いばかりでなく、焼結体の密度
等の物性にバラツキを生ずるため高強度の焼結体を得る
ことが困難になるからである。

　１７一 本発明者らは前記混合物中におけるフッ素樹脂の配合量
（Ｆ型組：部）がフッ素樹脂の平均粒径（６μｍ）と成
形圧（Ｐ　ｔ／１ｙｎ２）　　の下記関係式で示される
範囲内である場合に極めて高強度のセラミックス焼結体
を得ることができることを新規に知見した。

なお、前記混合物の加圧成形方法としては、例えばダイ
プレス成形法あるいは静水圧成形法を使用することが有
利である。

本発明によれば、１述の如くして製造された生成形体を
焼結炉内に装入し、焼結することによって高’Ｍ度でか
つ高強度のセラミックス焼結体を製造することができる
。

次に本発明を実施例について説明する。

実施例１ ９７、３　ｌｉ匍係がβ型結晶よりなり、０４０重都係
の遊離炭素、０．１７重量係の酸素を含翁ｌ−１１５，
６ｍ２／９−の比表面積を有する炭化珪素微粉５０ｏｚ
と　１８− 市販の２００メツシ一炭化ホウ素粒を粉砕し、粒度分級
して比表面積を２２．７ｍ２／ｆに調整した炭化ホウ素
粉末６，５ｚと平均粒径が２１０Δ、比表面積１２４　
ｍ２／ｆのカーボンブラック１０ｉとの混合物よりなる
セラミックス微粉に対し、ベンゼン２６０ｍ１と平均粒
径が０．０５μｍのポリ四フッ化エチレン粉末２Ｂ７を
添加し、振動ミルを使用して４時間混合処理した。前記
振動ミルより混合物スラリーを振動ミルの運転を行ない
ながら排出し噴霧乾燥して、平均粒径が０．０９圃、粉
体嵩密度が３４　’ＩＩ）　（１，０９Ｐ／ｃｒｎ３）
の顆粒を得た。

この顆粒から適量を採取し、金稿製押し型を用いて０．
１５ｔ／／Ｃｒｎ２の圧力で仮成形し、次に静水圧プレ
ス機を用いて１，８ｔ／ｃｍ２の圧力で成形した。　前
記成形によって得られた生成形体の密度は６１％（１，
９５５４ｚ缶３）であることが認められた。

前記生成形体をタンマン型焼成炉に装入し、アルゴンガ
ス気流中で焼結した。昇温速度は常温〜１６５０　Ｃま
での間は５Ｃ，論で昇温し、１６５０Ｃにて４５分間保
持した後、さらに５Ｃ／′／ｒｕＡで昇温し最高温度２
１．０（ｌで３０分間保持した。

得られた焼結体は理論密度の９８４％に相当する密度（
３，１６７／缶３）を有していた。この焼結体を３Ｘ３
ｘ３０ｍの棒状に加工し、最終的に２μｍのダイヤモン
ド砥粒で研磨仕上げし、スパン２０鰭、クロスヘッドス
ピード０．５　ｒｇｓ／ｍｉｎの条件で３点曲げ強度を
測定したところ常温で７６、４　Ｋｙ／ｍ＋ｎ２の平均
強度を有していた。前記曲げ強度を測定した試料の破断
面は第１図の走査型電子顕微伊写真（１５００倍）に示
した如く、成形時に発生する粗大な空孔等の欠陥は観察
されなかった。

実施例２．比較例１ 実施例１と同様の配合および操作であるが、第１表に示
した如きポリ四フッ化エチレン粉末を使用し、配合量お
よび成形圧を変えて生成形体を作成し、焼結体を得た。

結果は実施例１と同様にして測定し、第１表に□、示し
た。

第　　１　表 第１表に示した結果よりわかるように、比較例１−１の
ポリ四フッ化エチレン配合量の少ない場合には、高密度
の生成形体を得るには極めて高い成形圧か必要であるば
かりでなく、焼結体の曲げ強度も比較的低かった。一方
比較例１−２のポリ四ツ２１− ツ化エチレン配合量が多い場合には比較的容易に高密度
の生成形体を得ることができるが、焼結体の高密度化が
困難で高強度の焼結体を得る上で難点があった。

寸だ、同表に示した比較例１−３の結果よりわかるよう
に、平均粒径の大きなポリ四フッ化エチレン粉末を使用
した場合には添加量の割に高密度の生成形体を得ること
ができず、しかも得られた焼結体の曲げ強度も低かった
。

実施例３ 実施例１と同様の配合および操作であるが、第２表に示
した如きフッ素樹脂を使用して生成形体を作成し、焼結
体を得た。結果は実施例１と同様にして測定し、笥２表
に示した。

実施例４ 実施例１と同様の混合物よりなるセラミックス微粉とベ
ンゼン２６０ｍ１とを直径が１５〜２０叫のポリ四フッ
化エチレン製ボールが装入されたボールミル内で３０時
間混合処理した。前記ボールミルに電磁振動による振動
を与えながら混合物スラリーを排出し噴霧乾燥して、平
均粒径がＱ、ｌ□ｍｍ、粉体嵩密度が３６％（１，１６
汁缶３）の顆粒を得た。前記顆粒中にはポリ四フッ化エ
チレンが６重量％含有されており、その平均粒径は約０
．０１μｍであった。

この顆粒から適量を採取して実施例１と同様の操作で生
成形体を得た。前記生成形体の密度は６２係（１，９Ｉ
紗蝕３）であることか認められた。

次いで、前記生成形体を実施例１と同様の操作で焼結し
た。

得られた焼結体は理論密度の９９．１％に相当する密度
（３，１，８ｆ／ｃｍ３）を有していた。また実施例１
と同様にして測定した３点曲げ強度は常温で７８、１　
Ｋ９／ｒｕｍ２の平均強度を有していた。

実施例５ 純度が９８．２重量％で比表面積が７．３　ｍ２／ｆの
窒化珪素粉末１５０テと平均粒径が０８μｍの酸化イツ
トリウム１８１ｉ１−よりなるセラミックス微粉に対し
、水１００ｍ１と平均粒径が０．０５μｍのポリ四フッ
化エチレン粉末９ｚを添加し、ｆ−ルミルを使用して１
６時間混合処理した。前記ボールミルに電磁振動による
撮動を与えながら混合物スラリーを排出し噴霧乾燥して
、平均粒径がＱ、ｌ１ｍ＋ｉ、粉体嵩密度が３１　％　
（０，９９ｆ／ｃｍ３）の顆粒を得た。

この顆粒から適量を採取して実施例１と同様の操作で生
成形体を得た。前記生成形体の密度は６０係（１，９２
ｊ％／ｃｍ３）であることが認められた。

次いで、前記生成形体をタンマン型焼成炉に装入し、窒
素ガス気流中で焼結した。焼結は５　Ｃ／ｍＵｔで昇温
し、最高温度１６５０　Ｃで１時間保持１．た。

得られた焼結体は理論密度の９８．９ｑｂに相当する密
度（３，］　５　ｆ／ｃｍ３）を有していた。壕だ実施
例１と同様にして測定した３点曲げ強度は常温で９８７
にシー２の平均強度を有していた。

実施例６ 純度が９９９重ｆＡ−係、平均粒径が５μｍのか焼α−
アルミナ粉末１５ｏｚと平均粒径が３μｍのフッ化マグ
ネシウム：ｌ−よりなるセラミックス微粉に対し、カル
ボキシメチルセルロース３．１ｔと水１００ｒｎｌと平
均粒径が０．０５μｍのポリ四フッ化エチレン粉末５．
４Ｉを添加し、実施例５と同様にして平均粒径が０．０
９咽、粉体嵩密度が２５係（１０Ｌ軸３）の顆粒を得た
。

この顆粒から適量を採取して実施例１と同様の操作で生
成形体を得た。前記生成形体の密度は６０％（２，３９
９−７ｃｍ３’）でアルコトカ認メラレタ。

次いで、前記生成形体をタンマン型焼成炉に装入し％　
１９００　Ｃで１時間保持した。

得られた焼結体は理論密度の９８．５％に相当する密度
（３，９２Ｖｃ１ｎ３）を有していた。　また実施例１
と同様にして測定した３点曲げ強度は常温で３３７にシ
ー２の平均強度を有していた。

以上述べたＯｐ　＜、本発明方法によれば、比較的低い
成形圧力でも高い密度の生成形体を製造する　２５　− ことができ、この生成形体を墳、結することによって欠
陥が少なく高密度でかつ高強度のセラミックス焼結体を
製造するととかできる。

【図面の簡単な説明】

第へ図は、実施例１に記載の焼結体の走査型電子顕微鐘
写真（１５００倍）である。 特許出願人　揖斐用′市気工業株式・ｋ社代理人弁理士
　村　　１）　　政　　治　２６−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ　１種あるいは２種以上の成分よりなるセラミックス
   微粉を主成分とする混合物を加圧成形し、少なくとも理
   論密度の５５係に相当する密度の生成形体とするセラミ
   ックス焼結体製造用生成形体の製造方法において、前記
   混合物はセラミックス微粉１００重量部に対し、フッ素
   樹脂を０５〜１５重量部添加し均一に混合したものであ
   ることを特徴とするセラミックス焼結体製造用生成形体
   の製造方法。 ユ　前記フッ素樹脂はポリ四フッ化エチレン、ポリ三フ
   ッ化塩化エチレン、四フッ化エチレンー六フッ化プロピ
   レン共重合体のなかから選ばれる少なくとも１種である
   特許請求の範囲第１項記載の製造方法。 ３　前記フッ素樹脂は平均粒径が３μｍ以下の微粉末で
   ある特許請求の範囲第１あるいは２項記載の製造方法。 ク　前記セラミックス微粉は炭化物、窒化物、酸化物あ
   るいはそれらの化合物のなかから選ばれる少なくとも１
   種を特徴とする特許請求の帥囲第１〜３項のいずれかに
   記載の製造方法。 左　前記セラミックス微粉は平均粒径が２μｍ以下の微
   粉末である特許請求の範囲第１〜４項のいずれかに記載
   の製造方法。 ｋ　前記セラミックス微粉は５〜１００　ｍ２／’／　
   の比表面積を有する炭化珪素微粉と必要により添加され
   る焼結助剤とを特徴とする特許請求の範囲第１〜５項の
   いずれかに記載の製造方法。 ？　前記混合物は粉体嵩密度が理論密度の１２〜４６％
   に相当する密度を有する顆粒である特許請求の範囲第１
   〜６項のいずれかに記載の製造方法。 ざ　前記混合物は平均粒径が００２〜０．５叫の範囲内
   の顆粒である特許請求の範囲第１〜７項のいずれかに記
   載の製造方法。 ？　前記混合物中におけるフッ素樹脂の配合量（１重量
   部）をフッ素樹脂の平均粒径（６μｍ）と成形圧（Ｐ　
   ｔ／ｃｍ２）の下記関係式で示される範囲内とする特許
   請求の範囲第１〜８項のいずれかに記載の製造方法。