JPS5814876B2 - 電子ビ−ム蒸着方法 - Google Patents
電子ビ−ム蒸着方法Info
- Publication number
- JPS5814876B2 JPS5814876B2 JP12301278A JP12301278A JPS5814876B2 JP S5814876 B2 JPS5814876 B2 JP S5814876B2 JP 12301278 A JP12301278 A JP 12301278A JP 12301278 A JP12301278 A JP 12301278A JP S5814876 B2 JPS5814876 B2 JP S5814876B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liner
- electron beam
- evaporation
- melted
- evaporator
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線衝撃により、蒸着物質を加熱して蒸着す
るようにした電子ビーム蒸着力法に関する。
るようにした電子ビーム蒸着力法に関する。
被蒸着材に蒸発材を蒸着する場合、蒸着面の反射率を高
い値にしたり、耐剥離性を増すためには蒸着面への蒸着
材の入射角を小さくすることが望まれる。
い値にしたり、耐剥離性を増すためには蒸着面への蒸着
材の入射角を小さくすることが望まれる。
このような場合蒸発源の蒸発表面の形状が球面に近いと
、該球面と同心球になるように被蒸着材を配置すれば、
該被蒸着材は均一な厚さで入射角が殆んどＯである蒸着
面を形成することができる。
、該球面と同心球になるように被蒸着材を配置すれば、
該被蒸着材は均一な厚さで入射角が殆んどＯである蒸着
面を形成することができる。
従ってその蒸発面が球面となるような蒸発源が従来から
使用されている。
使用されている。
従来、例えば第１図に示すように、所定速度で送られて
くる針線１を電子線を放射する環状の熱電子フィラメン
ト２の中央に導ひき、熱電子フィラメント２より照射さ
れる熱電子３によって前記針線１を加熱して溶融し、表
面張力により球状になった小球４より蒸発を行なわせる
ようにしていた。
くる針線１を電子線を放射する環状の熱電子フィラメン
ト２の中央に導ひき、熱電子フィラメント２より照射さ
れる熱電子３によって前記針線１を加熱して溶融し、表
面張力により球状になった小球４より蒸発を行なわせる
ようにしていた。
しかしながらこのような方法は、針線の送り速度表、熱
電子フィラメントに供給する電力を厳密に制御しないと
針線の先端の溶融部分が落下してしまい、運転の安定性
が悪い。
電子フィラメントに供給する電力を厳密に制御しないと
針線の先端の溶融部分が落下してしまい、運転の安定性
が悪い。
本発明は、このような従来力法の欠点を解決する新規な
電子ビーノ・蒸着力法を提供するもので、以下図面に基
づき本発明の−実施例を詳述する。
電子ビーノ・蒸着力法を提供するもので、以下図面に基
づき本発明の−実施例を詳述する。
第２図は本発明を実施するための装置の一例を示したも
ので、図面中５は電子銃であり、該電子銃５より発生し
た電子線６は磁界型偏向器７によって偏向される。
ので、図面中５は電子銃であり、該電子銃５より発生し
た電子線６は磁界型偏向器７によって偏向される。
該磁界型偏向器７は水冷ホルダー８を挾むようにして取
り付けられた一対の磁極より成る。
り付けられた一対の磁極より成る。
前記水冷ホルダーは内部に冷却水を流すための流路（図
示せず）が設けられており、銅等で形成されている。
示せず）が設けられており、銅等で形成されている。
該水冷ホルダー８の上部にはライナー９が設けられてお
り、該ライナー９の上部表面は前記偏向された電子線６
によって衝撃される。
り、該ライナー９の上部表面は前記偏向された電子線６
によって衝撃される。
該ライナー９は高温に加熱されて溶融したアルミニウム
の如き蒸発材に対して適変な濡れ性を有する例えばグラ
ファイトの如き高融点物質で形成されている。
の如き蒸発材に対して適変な濡れ性を有する例えばグラ
ファイトの如き高融点物質で形成されている。
該ライナーの上部表面に連通ずる通過孔１１が該ライナ
ー９と水冷ホルダー８を貫通して設けられており、該通
過孔１１を通して蒸発材より成る針線１０がその先端が
ライナー表面の近傍に到達するように導出される。
ー９と水冷ホルダー８を貫通して設けられており、該通
過孔１１を通して蒸発材より成る針線１０がその先端が
ライナー表面の近傍に到達するように導出される。
１２は該針線１０を矢印１３の刀向であるライナーの表
面力向へ送るためのローラーであり、該ローラーはモー
ターの如き駆動源１４によって回転せられる。
面力向へ送るためのローラーであり、該ローラーはモー
ターの如き駆動源１４によって回転せられる。
上述した装置を用いて、まず針線１０をライナー９の表
面程度まで導出しておき、電子銃５より電子線６を発生
せしめる。
面程度まで導出しておき、電子銃５より電子線６を発生
せしめる。
該電子線６はライナー９の表面のみならず、針線１０の
先端部を衝撃し、その結果針線１０の先端部は加熱され
て溶融し蒸発を開始する。
先端部を衝撃し、その結果針線１０の先端部は加熱され
て溶融し蒸発を開始する。
蒸発によって飛散した蒸発材を補うため、針線１０を順
次通過孔１０を介して導出すると、ライナー表面の近傍
に到達した針純の部分は順次電子衝撃加熱により溶融す
る。
次通過孔１０を介して導出すると、ライナー表面の近傍
に到達した針純の部分は順次電子衝撃加熱により溶融す
る。
針線１０の導出速度と電子銃５に供給する電力が適当な
運転状態のもとでは、蒸発によって飛散する蒸発材と針
線１０の導出によって新たに溶融してくる蒸発材の量と
が平衡し、溶融している蒸発材の量は時間的に一定とな
る。
運転状態のもとでは、蒸発によって飛散する蒸発材と針
線１０の導出によって新たに溶融してくる蒸発材の量と
が平衡し、溶融している蒸発材の量は時間的に一定とな
る。
針線１０の送り速度をライナーに投射する電子ビームの
パワーを一定にしておいた状態でわずかに速めると、第
３図に示す如く溶融した蒸発材の量が増加して、該蒸発
材は表面張力によりライナー表面において小球１５を形
成せしめる。
パワーを一定にしておいた状態でわずかに速めると、第
３図に示す如く溶融した蒸発材の量が増加して、該蒸発
材は表面張力によりライナー表面において小球１５を形
成せしめる。
該小球１５の表面は直接電子ビームによって衝撃される
ため、最も高温となり、該小球表面より盛んに蒸発が行
なわれ、該蒸発した蒸発材は図示外の被蒸着材に被着さ
れる。
ため、最も高温となり、該小球表面より盛んに蒸発が行
なわれ、該蒸発した蒸発材は図示外の被蒸着材に被着さ
れる。
第４図は、更に発展した実施例を示すための図面であり
、上述した実施例においてはライナーの上部表面を単一
の材質で形成したが、この実施例では表面張力か弱いた
め球状の表面をつくりにくい蒸発材に対して、本発明を
実施するため２種の材質でその上面を形成したライナー
を使用したものである。
、上述した実施例においてはライナーの上部表面を単一
の材質で形成したが、この実施例では表面張力か弱いた
め球状の表面をつくりにくい蒸発材に対して、本発明を
実施するため２種の材質でその上面を形成したライナー
を使用したものである。
第４図において、１６は水冷ホルダー８に取り付けられ
たライナーであり、１７は例えば銅より成る蒸発材の針
線である。
たライナーであり、１７は例えば銅より成る蒸発材の針
線である。
前記ライナー１６は該針線１７の材質である銅に対して
濡れ性を有する例えばモリブデンの如き材質でその中心
部１８が形成されており、又その周辺部１９は、該斜線
の材質である銅に対して濡れ性を有しないグラファイト
で形成されている。
濡れ性を有する例えばモリブデンの如き材質でその中心
部１８が形成されており、又その周辺部１９は、該斜線
の材質である銅に対して濡れ性を有しないグラファイト
で形成されている。
斯くの如き装置を用いて、針線１７の先端を電子ビーム
衝撃により溶解させると、その先端部分が溶融するが、
該溶融部分は該溶融蒸発材に対して濡れ性を有する中心
部１８の表面上に拡がり、濡れ性を有しない周辺部１９
には拡がって行かないので、表面張力の比頓的小さな蒸
発材も小球２０を形成する。
衝撃により溶解させると、その先端部分が溶融するが、
該溶融部分は該溶融蒸発材に対して濡れ性を有する中心
部１８の表面上に拡がり、濡れ性を有しない周辺部１９
には拡がって行かないので、表面張力の比頓的小さな蒸
発材も小球２０を形成する。
このようにライナーの上面を濡れ性の良いものと悪いも
のの２種の材質で形成すれば、表面張力の小さい蒸発材
に対しても容易に小球を形成でき、又小球の大きさを制
限したりすることに好都合である他、形成された小球を
より安定とすることができる。
のの２種の材質で形成すれば、表面張力の小さい蒸発材
に対しても容易に小球を形成でき、又小球の大きさを制
限したりすることに好都合である他、形成された小球を
より安定とすることができる。
上述した如き、本発明に基づく蒸着力法においては、ラ
イナー表面上に蒸発材の小球を形成しているが、該ライ
ナー表面は溶融した蒸発材に対して適度な濡れ性を有し
ており、しかも該ライナー表面は水冷ホルダーによって
冷却されているため小球の球面部ほど高温にならず、従
−って該小球は従来の如く飛散したり、移動したりする
ことなくライナー表面上のロー箇所に存在する。
イナー表面上に蒸発材の小球を形成しているが、該ライ
ナー表面は溶融した蒸発材に対して適度な濡れ性を有し
ており、しかも該ライナー表面は水冷ホルダーによって
冷却されているため小球の球面部ほど高温にならず、従
−って該小球は従来の如く飛散したり、移動したりする
ことなくライナー表面上のロー箇所に存在する。
このよ・うに本発明により極めて安定した球面点蒸発源
よりの蒸着が行い得る。
よりの蒸着が行い得る。
第１図は従来技術を説明するための図、第２図は本発明
の一実施例を説明するための図、第３図は運転時におけ
るライナー表面上の小球を説明するための図であり、第
４図は更に他の実施例を説明するための図である。 １，１０・・・・・・針線、２・・・・・・熱電子フィ
ラメント、３・・・・・・熱電子、４，１５．２０・・
・・・・小球、５・・・・・・電子銃、６・・・・・・
電子線、７・・・・・・磁界偏向器、８・・・・・・水
冷ホルダー、９．１６・・・・・・ライナー、１１・・
・・・・通過孔、１２・・・・・・ローラー、１４・・
・・・・７駆動源、１７・・・・・・針線、１８・・・
・・・中心部、１９・・・・・・周辺部。
の一実施例を説明するための図、第３図は運転時におけ
るライナー表面上の小球を説明するための図であり、第
４図は更に他の実施例を説明するための図である。 １，１０・・・・・・針線、２・・・・・・熱電子フィ
ラメント、３・・・・・・熱電子、４，１５．２０・・
・・・・小球、５・・・・・・電子銃、６・・・・・・
電子線、７・・・・・・磁界偏向器、８・・・・・・水
冷ホルダー、９．１６・・・・・・ライナー、１１・・
・・・・通過孔、１２・・・・・・ローラー、１４・・
・・・・７駆動源、１７・・・・・・針線、１８・・・
・・・中心部、１９・・・・・・周辺部。
Claims (1)
- １ ライナー表面に連通ずる通過孔を通して針線状の蒸
発材をその先端が該ライナー表面の近傍に到達するよう
に導出し、該ライナー表面と蒸発材の先端部とを電子衝
撃により加熱し、該加熱によって前記蒸発材の先端部を
溶融し、該溶融した蒸発材によって前記ライナー表面上
に小球を形成し、該小球表面から蒸発材を蒸発せしめて
被蒸着材に被着させるようになしたことを特徴とする電
子ビーム蒸着力法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12301278A JPS5814876B2 (ja) | 1978-10-05 | 1978-10-05 | 電子ビ−ム蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12301278A JPS5814876B2 (ja) | 1978-10-05 | 1978-10-05 | 電子ビ−ム蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5550465A JPS5550465A (en) | 1980-04-12 |
| JPS5814876B2 true JPS5814876B2 (ja) | 1983-03-22 |
Family
ID=14850048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12301278A Expired JPS5814876B2 (ja) | 1978-10-05 | 1978-10-05 | 電子ビ−ム蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814876B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57171450A (en) * | 1981-04-10 | 1982-10-22 | Kyokuto Kaihatsu Kogyo Co | Monitor device for crushing treatment of crusher |
-
1978
- 1978-10-05 JP JP12301278A patent/JPS5814876B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5550465A (en) | 1980-04-12 |
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