JPS58150261U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS58150261U
JPS58150261U JP4795882U JP4795882U JPS58150261U JP S58150261 U JPS58150261 U JP S58150261U JP 4795882 U JP4795882 U JP 4795882U JP 4795882 U JP4795882 U JP 4795882U JP S58150261 U JPS58150261 U JP S58150261U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
scanning electron
electron microscope
turret
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4795882U
Other languages
English (en)
Inventor
英二 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP4795882U priority Critical patent/JPS58150261U/ja
Publication of JPS58150261U publication Critical patent/JPS58150261U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図、第２図はカ
ソードルミネッセンス像観察時の配置を示す図、第３図
は変形例の部分断面図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 支持体上に載置された試料に電子線を細く集束して照射
    すると共に二次元的に走査し、試料より発生する情報信
    号を検出して表示手段へ送るようにした走査電子顕微鏡
    と、上記試料を観察するために上記支持体の下方に配置
    された対物レンズと、該対物レンズを保持し試料直下の
    観察位置へ移動させるためのターレットとを有する光学
    顕微鏡を備えた装置において、前記ターレットに上記試
    料から発生するカソードルミネッセンス光を集光するた
    めの集光レンズを取付け、該集光レンズにより集光され
    たカソードルミネッセンス光を検出するための検出器を
    設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
JP4795882U 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡 Pending JPS58150261U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4795882U JPS58150261U (ja) 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4795882U JPS58150261U (ja) 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58150261U true JPS58150261U (ja) 1983-10-08

Family

ID=30058899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4795882U Pending JPS58150261U (ja) 1982-04-02 1982-04-02 走査電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58150261U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0540034A (ja) 複合型顕微鏡
JPS60102868U (ja) 電子顕微鏡
EP1150137A3 (en) Image reading apparatus
JPS58150261U (ja) 走査電子顕微鏡
US5013915A (en) Transmission type electron microscope
JPS59150159U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58154555U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS59103360U (ja) 複合顕微鏡
JPS58148866U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58146348U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS5912461U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58173160U (ja) 透過形電子顕微鏡
JPS59177164U (ja) 走査型反射電子回折顕微装置
JPS58134855U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS60138252U (ja) 粒子線装置における試料画像表示装置
JPH01149354A (ja) 電子顕微鏡
JPS59150155U (ja) 走査電子顕微鏡
JPH04127956U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS5917553U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58174857U (ja) 立体走査型電子顕微鏡
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58146347U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58135860U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS62229648A (ja) 走査型電子顕微鏡
JPH01206235A (ja) 光散乱トモグラフィ装置