JPS5912461U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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JPS5912461U
JPS5912461U JP10530082U JP10530082U JPS5912461U JP S5912461 U JPS5912461 U JP S5912461U JP 10530082 U JP10530082 U JP 10530082U JP 10530082 U JP10530082 U JP 10530082U JP S5912461 U JPS5912461 U JP S5912461U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scanning electron
electron microscope
sample stage
sample
microscope
Prior art date
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Pending
Application number
JP10530082U
Other languages
English (en)
Inventor
進 太田
高木　寿次郎
英二 渡辺
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成を示す図、第２図及び
第３図はマーク部材を説明するための平面図及び断面図
、第４図は試料台につけた刻みを　　　゛説明するため
の図である。 １ニスライドガラス、２：試料台、４：電子銃、９：走
査回路、１０：偏向コイル、１１：検出器、１３：表示
装置、１４．１８：対物レンズ、１７：接眼レンズ、１
９：ターレット、２１：移動機構、２２：マーク部材、
２３：光透過性支持体、２４：基準マーク、２５：刻み
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　試料台上に載置された試料に電子線を細く集束して
    照射すると共に二次元的に走査し、試料より発生する情
    報信号を検出して表示手段へ送るようにした走査電子顕
    微鏡と、上記試料を観察するために上記試料台の下方に
    配置された光学顕微鏡とを備えた装置において、前記試
    料台に前記走査電子顕微鏡及び前記光学顕微鏡の双方か
    ら観察可能なマーク部材を設けたことを特徴とする走査
    電子顕微鏡。 ２　前記マーク部材は、前記試料台に嵌め込まれた光透
    過性部材と該光透過性部材の前記走査電子顕微鏡側表面
    に付けられた導電性部材から構成される実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。　　　− ２前記マーク部材は、前記試料台の端縁部に配置される
    実用新案登録請求の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。
JP10530082U 1982-07-12 1982-07-12 走査電子顕微鏡 Pending JPS5912461U (ja)

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JP10530082U JPS5912461U (ja) 1982-07-12 1982-07-12 走査電子顕微鏡

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JPS5912461U true JPS5912461U (ja) 1984-01-25

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