JPS58155371U - 液相エピタキシヤル成長用黒鉛ボ−ト - Google Patents
液相エピタキシヤル成長用黒鉛ボ−トInfo
- Publication number
- JPS58155371U JPS58155371U JP5186482U JP5186482U JPS58155371U JP S58155371 U JPS58155371 U JP S58155371U JP 5186482 U JP5186482 U JP 5186482U JP 5186482 U JP5186482 U JP 5186482U JP S58155371 U JPS58155371 U JP S58155371U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- epitaxial growth
- phase epitaxial
- graphite boat
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims description 9
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 title claims description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図１は融液のカバーとして黒鉛片を用いた従来の液相エ
ピタキシャル成長用黒鉛ボートの断面図、図２は融液を
密閉して配置可能な本考案による黒鉛ボートの断面図で
ある。 １・・・黒鉛ボート、２・・・Ｐを過剰に溶は込ませた
融液、３・・・ＩｎＰ基板、４・・・カバー、５，５ａ
・・・成長用融液、６・・・融液保持用バスケット、７
・・・基板ホールダ、８，８ａ・・・融液溜。
ピタキシャル成長用黒鉛ボートの断面図、図２は融液を
密閉して配置可能な本考案による黒鉛ボートの断面図で
ある。 １・・・黒鉛ボート、２・・・Ｐを過剰に溶は込ませた
融液、３・・・ＩｎＰ基板、４・・・カバー、５，５ａ
・・・成長用融液、６・・・融液保持用バスケット、７
・・・基板ホールダ、８，８ａ・・・融液溜。
Claims (1)
- 液相エピタキシャル成長に用いられる黒鉛ボートにおい
て、予熱用の融液溜の上部が密閉構造となるように該黒
鉛ボートが形成され、該融液溜の下部開放口側に微小な
穴を有する黒鉛バスケットが該融液溜内に挿入設置され
るように構成されたことを特徴とする液相エピタキシャ
ル成長用黒鉛ポ′−ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5186482U JPS58155371U (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | 液相エピタキシヤル成長用黒鉛ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5186482U JPS58155371U (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | 液相エピタキシヤル成長用黒鉛ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58155371U true JPS58155371U (ja) | 1983-10-17 |
Family
ID=30062572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5186482U Pending JPS58155371U (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | 液相エピタキシヤル成長用黒鉛ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58155371U (ja) |
-
1982
- 1982-04-12 JP JP5186482U patent/JPS58155371U/ja active Pending
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