JPS58158392A - ドライエツチング用コ−ルドトラツプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ドライエツチング中に生成する反応生成物を
捕獲するだめのコールドトラップ装置のクリ一二シグを
効果的に行わせしめるための構造を有した装置を提供す
るものである。

Ａ／及びＡ１合金をドライエツチングするには、一般に
Ｃ０１４等の塩素系ガスが使用される。これら塩素系ガ
スは、腐食性が強く、またこれらのガスを使用してエツ
チングした時に生ずるム１ｃｌｓ等の塩化物、フォトレ
ジストポリマー等のエツチング残渣もまた腐食性を有す
るだめ、エツチング室を低圧化するだめの真空装置にま
ともに吸引されると真空オイルの変質、真空配管の腐食
が発生し、充分な真空度を得ることができなくなる。そ
こで、真空系を保護するため、真空系の中に液体窒素等
を充満して低温にした容器の外壁面に、これら塩素系ガ
ス及びエツチング残渣を一時捕獲することが行われ、一
般に、コールドトラップ装置を呼ばれる。

第１図は、ドライエツチング装置に使用されるコールド
トラップ装置の一例を示したものである。

第１図をもとに、コールドトラップ装置の動作を説明す
る。図で１は液体窒素を充填し、その外壁に前記気体を
強制的に吸着せしめるだめのコールドトラップ本体であ
り、２はポンプ排気系の一部をなし、コールドトラップ
本体を包み込む外囲部である。トラップ本体１は取り外
し洗滌できるよう、７ランジ３にて外囲部２に接続され
る、同様に、外囲部２には、メカニカルブースターポン
プ４．ロータリーポンプ６、窒素ガス配管６゜排気ダク
ト配管７がフランジ８を通して接続され、各フランジ８
は、パツキンにて気密を保つ構造を有している。まだロ
ータリーポンプ６の排気口には、配管９を接続し、排気
ダクトへ連結し、真空排気された有害ガスが、エツチン
グ作業場内に飛散するめを防止する。メカニカルブース
タポンプ４の吸気口はパルプ１０を介してエツチング室
１１に接続しである。ドライエツチング中は、パルプ１
０．１２及び１３が開放され、前記有害物質はメカニカ
ルブースタポンプ４及びロータリーポンプ５によって吸
引され、外囲部２内部を通るのであるが、そのほとんど
は途中に設置された。液体窒素を充填したトラップ本体
１の外壁部１４に吸着され、ロータリーポンプ５には吸
引されないよう配慮されている。

エツチングが長時間に亘ってなされた場合、コールドト
ラップ１の外壁面１４には、多量の有害物質が吸着され
る結果、その捕獲能力が低下するので、時折、吸着物質
を排除するクリーニング作業が必要である。窒素ガス配
管６及び排気ダクト配管７は、この吸着物質を排除する
場合に要する配管系である。この場合、エツチング中に
使用される排気系のパルプ１０．１２及び１３は閉じ、
パルプ１５及び１６を開放し、トラップ本体１に約１０
０℃の加熱された窒素ガスを吹きつける。

この際、吸着物質から放出きれるガスは排気ダクト配管
７を通って、室外のガス処理室へ導かれる。

一方、揮発分が除かれた反応生成残渣は、そのほとんど
がトラップから落下し、外囲部２底部に堆積する。この
ようにしてトラップ部のクリーニングが完了する。

表ころで、第１図に示す従来構造のコールドトラップ装
置では、加熱窒素ガス吹出口１７は、エツチング用ガス
にＣ３０１ａ等の比較的比重の大きいガスを使用するこ
ともあって、できるだけコールドトラップ本体１の上部
に吹出するように設計されているのであるが、かかる構
造のトラップ装置には、盗のような欠点を有することが
判明した。

すなわち、トラップ本体１に捕獲された物質を吹出窒素
で加熱すると、まずトラップ本体１の上端部の温度が上
昇し、順次下部に伝搬する。この際、トラップ本体１に
は液体窒素が充填されておシ、トラップ本体１下部の外
壁１４の温度は徐々にしか上昇しない。その結果、トラ
ップ外壁１４に付着した物質は、”しずく”となってそ
の外壁を伝って外囲部３の底部に滴下し、粘着性の堆積
物となる。この堆積物を除去することは有毒性ガスの放
散等も含み、非常にやっかいである。

本発明は、以上述べたトラップクリーニング時に現化す
る欠点を効果的に排除出来る装置を提供することを目的
とする。

すなわち、本発明はトラップ本体に捕獲された反応生成
物ないしは、未反応有害ガスを加熱除去するに際して、
液状残渣がトラップ外囲部の底部に堆積することのない
トラップ装置構造を提供するものである。以下図によっ
て、本発明の詳細な説明する。

第２図は、本発明を説明するための一実施例を示したも
ので、第１図と同一番号は同一部分を示す。同図で、加
熱窒素ガスを吹入させるだめの窒素ガス吹出口１８がト
ラップ本体１の底部近傍に設置することに特徴を有する
。かかる構造にて、前述と同様なりリーニング作業を行
なう場合、加熱窒素吹出によって、まずトラップ本体１
の外壁１４の底部が加熱され吸着物質が剥離すると同時
に底部近傍外壁も熱伝導によって、徐々に加熱される結
果、前述の如き　６しず〈状にて、トラップ本体１の外
壁１４を伝って底部へ下降するのであるが、底部は１０
０℃程度に加熱されるため、直ちに液状物質は気化し、
乾燥した固形物のみが残留するのであるが、加熱窒素が
２−３ｋｇ々程度の圧力で吹出されるため、容易にトラ
ップ外壁部１４から剥離する。このようにして熱伝搬が
トラップ本体１底部から上端部に達する間、トラップに
捕獲された物質は、乾燥状態でクリーニングできる、 なお、第２図において、吹出口１８は外囲部２の内壁面
に設けられているが、配管を更に延在せしめて、トラッ
プ本体底部の極く近傍、もしくは直下に設けてもよく、
また、吹出口は複数個設けられても何ら差しつかえない
。

以上説明した如く、本発明のコールドトラップ装置によ
り、極めて効果的なトラップ洗浄を行なうことができ、
洗浄能率の改善と共に、トラップ底面に堆積した粘着性
付着物から発生するガス等に起因するロータリーポンプ
オイルの劣化が著しく減少することから、エツチング特
性の改善も同時に計ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のコールドトラップ装置の構造図、第２図
は本発明に係るコールドトラップ装置の構造図である。 １・・・・・・トラップ本体、２・・・・・・外囲部、
４・・・・・・メカニカルブースタポンプ、５・・・・
・・ロータリーポンプ、６・・・・・・窒素ガス配管、
７，９・・・・・・排気ダクト配管、１０，１２，１３
，１５，１６・・・・・・バルブ、１４・・・・・・ト
ラップ本体外壁、１８・・・・・・ガス吹出口。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 Ｌ？

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ドライエツチング用ガス、および、ドライエツチング反
   応生成物を捕獲するだめのトラップ本体と、同トラップ
   本体を包囲する外囲部を具備し、かつ、前記トラップ本
   体の底部近傍に前記トラップ本体に捕獲された物質を排
   除するガスの吹出口を有する構造のドライエツチング用
   コールドトラップ装置。