JPS58159014A - 結合水晶振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は複数の縦振動モードが結合した、いわゆる結合
水墨振動子、特に、Ｇ！カット水晶振動子Ｋｌｌする０
本発明の目的は周波数温度特性（以下、１１１％性と呼
ぶ）の優れた結合水晶振動子、４１に％・！カット水晶
振動子を提供する事にある、本発明の傭の目的は’　Ｘ
　Ｃ０ｒｙａｔａｌ工ｔ＊ｐｍｄａｘｅｅ】の小さいＧ
！カット水晶振動子を提供することに＆！、本働鴫の更
に他の目的は耐衝撃性に優れ究・！カット水晶ｍ動子を
提供することにある。

本発明の更に伽の目的はマウント作業が容易な支持構造
を提供することＫある。

Ｓ変時性の優れた、しかも、ＯＸ　（○ｒｙａｔａｔＩ
鵠ｐａｄ番鴨−＃］の小さ一振動子を要求する民生機器
は多く＆Ｊ＆が、これらＫはムチカット水晶振動子が使
用されて来た。しかし、最近は色々な民生機器で小蓋化
が１１れ、それに伴って、ムチカット水晶振動子も小蓋
化が要求されて来ているが、仁のタイプの振動子はスプ
リアス振動（日ｐｕｒｉｏｕａマ４ｋｖ番感（・鴨）が
多く小蓋化が難しく、同時に１小温化するとＯｘが高く
なってしまうのが実状である。％に、腕時計用水晶部−
子としてムチカット水晶振動子を使用す為場合相嚢に小
証化する必要がｈ）、音叉量１自水晶振動子と比較した
とき、サイズの面では全く満足できるものではない、そ
こで、最近は工０の技術を応用したフォトリソダラフイ
による振動子の形成方法が例えば、音叉層水晶振動子製
造に応用され、その結果、大変に小型の振動子を提供す
ることかで亀るようになった、そヒで、本発明ではこの
フォトνノグツフイをＧＴカット水晶振動子に応用する
事によって、小型で、温度特性の優れた、ＯＩの小さい
、耐衝撃性に優れた、そしてｉラント作業が容易な支持
構造のＧＴカット水晶振動子を提案するものであ）、以
下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図に）、＠）は本発明の結合娠動子の形状の一実施
例で、振動部１とその両側に配置された二つの支持部２
とがエラチン／によって一体く形成され九〇Ｔカット水
晶振動子の例である＊　Ｍ　ｉ　ｚｌに）は平面図を、
第１図に）は上天図を示す、振動部ｌとマウント部４の
間には溝３が両支持部２に設けである。この溝３を設け
るｌ由は振動部ｌの励振エネルギーを溝３によって振動
部内部に閉じ込める効果を有する。即ち、振動部の励振
エネルギーはマウント部４には伝達されない。それ故、
マウン）ＫＸろエネルギー損失はな（、ＯＩ値の小さい
振動子を提供す為事ができる。第２図に）、（ロ）は本
発明の結上振動子の形状の他の実施例で、振動１１ｓと
その両側に配置されにニつの支持部６とがエツチングに
よって一体に形Ｍ、されたＧＴカット水晶振動子の他の
例である。第２図に）は平面図を、ＩＩ２図に）は１函
■を示す、振動部５とマウント部８０間に＃ｉ壽７が両
支持部６に設けである。この溝７を設ける運−は第１図
に）、　Ｐ）で述べた理由と会（岡じであ為、第３図に
）＃伊）は本発明の結合Ｓ動子の形状の倫の実施例で、
振動部９とその両側に配置堪れ究二つつ支持部１０とが
エツチングによって一体ＫＩＩＩＩＥ−！れたＧＴカツ
Ｆ水晶振動子の他の例である。第Ｓ図■は平面図を、第
３図（ロ）は上函図を示す、ＩＩ動部９とマウント部巴
の間には溝１１が脚支持９１０　Ｋ設けである。この溝
１１を設け１理由は第１＠勾、Ｐ）で述べた理由と全く
同じである。又、第１図両、に）、第２図に）、に）、
第３図両、に）の振動子は幅Ｗと長さＬによって２つの
モードの共振周波数は決定され、幅Ｗによる主振動の共
振周波数ｅ／Ｖ、長さ′ＬＫよる副振動の共振周波数を
／Ｌとすると温度特性は両共振局液数の差Δｆ＝ｆｓｏ
−／ＬＫよりてなぼ決まる。即ち、辺比Ｒ＝、　Ｗ　／
　Ｌによって温度特性は決定される。

＃！４図は本発明のＧＴカット水晶振動子の切断方位、
即ち、エツチングによる形成方位を示す、Ｘ軸、Ｙ軸、
ｚ軸は各々水晶の結晶軸で、電気軸、機緘軸、光軸であ
る。水晶振動子１３はＸＲＭ＠示でＸＸ１ｇ　（ω／θ
）になるように形成される。

又、ｘＩ軸、Ｙｌ軸、ｚｌ、ｚ＠軸ｉｊ％＊Ｘ、！、ｚ
軸の回転後の新軸でおる。第５図は本発明の結合水晶振
動子、即ち、振動部と支持部がエツチングによって一体
に形成された０丁カット水晶振動子のカット勇躍と一次
、二次温度係数α、ｌとの関係を示し、振動子形状、即
ち、辺比Ｒとカット角−が一定の場合であるｍ　Ｗｉｔ
　ｓ図から明らかなように、カット声優が大−くなるに
従って、−次、二次温度係数α、βはそれでれ負の値か
ら正の値へと移動する。又、角度１一度轟９の一１βの
変化は−の方が小壜い、更に、カット角Ｓ中５１でｇ、
／ともにほとんど零となｐすばらしい温度特性を示す事
が理解逼れる。第６図は本発明のＧＴカッＦ水水晶Ｓ壬
子辺比Ｒ（Ｗ／Ｉ、）と−次、二次温度係数ａ、βとの
関係を示し、カット声優、−が一定の場合である。第６
図から明らかなように、辺比ｌが人動（なるに従って、
−次、二次温度係数値、／は負値から正値へ変化するの
が分かる。又、単位辺比轟１の鍔、βの変化はαよりも
βの方が小さい、更に、辺比Ｒ中０．９８でα。

βともほとんど零Ｋｎｌｌ、この場合もすばらしい温度
特性を示す事が分かる。第７図は本発明の０丁カット水
晶振動子の支持部の寸法サイズ管パラメーターにしたと
龜の辺比ＩＩ　（Ｗ／Ｌ）と−次温度係＠ａとの関係を
示す、支持部Ｂは支持部ムより■振動の振動を抑制する
ように設計されている、支持部ムと支持部１とでは直を
零にする辺比が異１）、支持Ｉ１１の方が支持部ムよｌ
　ｇ　＝　Ｑにする辺比ｌが人動（をる、それ故、本発
明のＧＴカット水晶ＪＩＩ！―子が良好な温［４１性、
【持つ、カツト角と辺比はこれらの組合わせでＴｏｐ１
本発明ではカット月経、θは各々、優−４８°〜５３°
。

θ；±（４５°〜５５°］、又、辺比ＲｔｉＯ，ｅＯ〜
１．２の選択によって良好な温度特性を提供する事がで
きる。第８図に）、に）は本発明の結合振動子形状の電
極配置の一実施例で、第１ｖＡ両は平面図を、第１図に
）は上面図を示す、水晶振動子１４の振動部１５の上面
と下ＴＩｆＪＫは励振電極１６　、１７が各々全面に一
様に配置され、励振電極１６は一方の支持部に延びて配
置され、励振電極１７は他方の支持部に延びて配置され
ている。即ち、支持部ＫＦｉ片面にのみ電極が配置され
、電界が印′ｊＸｉされない構造となっている。第９図
（ト）、（ハ）は本発明の結合振動子形状の電極配置の
他の実施例で、第９図に）は平面図、＃！９図（ハ）は
上面図を示す、水晶振動子１８の振動部１９の上、下面
には励振電極２０．２３が配置され、振動部の中心部に
配置された一実施例である。１１ｇ１０図は本発明の結
合振動子形状の電極配置の他の実施例で、平面図を示す
、水晶振動子四の振動部器には励振電極冴と周波数調整
用の錘り５．２６が配置され、励振電極とｆ！りは電気
的には接続されていない、又、励振電極は鍾りの位置を
除いて、揚動子の振動部のほぼ全面に配置されている。

裏面電極は図示されていないが振動部全面でも、あるい
は、励振電極冴と鍾りる。ｊに対称になるように励振電
極と鍾りを設けても良い、第１１図は本実−の結合振動
子形状の電極配置の他の実施例で平ｗｉ図を示す、水晶
振動子ｎの振動部列には励振電＠四と周波数調整用の錘
り３０　、３１　、３２　。

北が振動部の４隅に配置された例である。第１２図は本
発明の結合振動子形状の電極配置の他の実施例で、平面
図を示す、振動ｓ３４には励振ＩＥ極あと周波数調整用
の＠　Ｄ　３６　、３７　、３８　、３９が配置され、
励振電ｉｉｕ鍾９１Ｉを除い１振動部の全面に配１１さ
れている。ｊ１１３図は本発明の結合振動子形状の電極
配置の−の実施例で、平面図を示す、振動部には斜線で
示し究励振電極４ｏと周波数調整用の錘り４１〜５０が
配ｔされている。第１４図は本発明の結合振動子形状の
電極配置の他の実施例の平面ＷＡを示す、励振電極５１
と周波数調整用の姉り５２．５３が配置されている。第
１５図は本発明の結合振動子形状の電極配置の他の実施
例の平面１ｇｌを示す、励振電極５４と周波数調整用の
錘Ｊ）５５．５６が配置されている。第１６図は本発明
の結合振動子形状の電極配置の他の実施例で、平面図を
示す。振動部には励振電極５７と周波数調整用の錘り５
８．５９，６０．６１が配置されている。篇１７図は本
発明の結合振動子形状の電極配置の他の実施例の平面図
を示す、振動部Ｋｔｉ励振電極６２と周波数調整用の錘
り６３〜７０が配置されている、第１８図は本発明の結
合振動子形状の電極配置の他の実施例の平面図を示す、
振動部に祉励振電極７１と周波数調整用の＠ｊ）’７２
が配置されている、第１９図は本発明の結合振動子形状
の電極配置の他の実施例の平面図である。振動部には励
振電極７３と周波数調整用の＠シフ４が配置され工いる
、第１１図から第１９図の裏面電極は図示されていない
が第１０図で述べたように１接動部全面でも、参るいは
励振電極と周波数調整用の錘ｐを一緒に配置し、厚みに
対して対称になるように配置しても良い、又、纂１０！
１−纂１７図では振動部に複数の錘ｊｔ配置しであるが
、少なくともｍ個装置しても周波数調整量の差はあるも
のの同じ効果を有する事は言うまでもない、第加図（ト
）、に）は本発明の結上ｍ勅子形状の電極配置の他の実
施例で、第２０図に）は平面−を％　ｊｌｌ開園至）は
上面図を示す、水晶振動子７８１０１１０１１１ｋ　ｍ
　ト支持ｆｉ　７７１Ｆ）上下面ＫＵ励振電＠７Ｂ、７
ｔｌが各々全面に配置されている、このようＫｌｌｌｌ
ｋ部と支持部に励振電極を配置する事によって、電界効
率を更に高める事ができるので、Ｏｘ値を更に小さくす
る事ができる。第２１図は本発明の結合振動子形状の電
極配置と鍾シの他の実施例で平面図を示す、水晶振動子
の振動部の上面、下面（ＩＩ示１れてない）には励振電
極の７８．７８’　　（図示されてない］が各々全面に
一様に配置され、更に、振動部の端部には電極７８の上
に電極負荷効果を有する錘３１８０．８１が配置畜れて
いる６ｇ２２ｍは本発明の結合振動子形状の電極配置と
鍾夕の他の実施例の平面図を示す。

篇４図七同じように、水晶振動子の振動部の上面、下面
（図示されてない）には励振電極８２，８２１　（図示
されてない〕が各々全面に一様に配置され、更に１振動
部の四隅には電極８２の上に電極負荷効果を有する錘り
８５，８６，８７．８８が配置されている。

又、電極負荷効果には次の３つがある。

（１）振動部端部の励振電極を厚くすることは、錘りの
働きをする。それ故、共振周波数！。

並びに、温度特性を変えることができる・同時に１ （２）電極負荷効果によって、振動部端部での弾性波の
反射を少なくシ、スプリアス振動を抑制することができ
る。

（（至）電極負荷効果によって、振動部内部に励振エネ
ルギーをトラップすることができる。それ故、０Ｘｆｌ
ｔ更に低くすることができる。

振動部の全面に励振電極を配置し、その上に、電極負荷
効果を有する鍾りを配置した実施例を纂４図、第ｎ図で
示したが、第稔図から纂１８図につい工も、励振電極の
上に鍾９を配置しても電極負荷効果を有する事は言うま
でもない０次に、振動部の励振電極の面積の大きさくよ
って、０工１１が異なる事を説明する。第ｎ図は本発明
の水晶振動子の振動部と支持部が一体に形成されている
ＧＴカット水晶振動子の１７２図である。断面ムームの
各位置に対する変位との関係の計算ａｔ示している。即
ち、点−で変位は零となｐ１点Ｃから点Ｇ、−に行（に
従って変位の絶対値は大！（なる振動である（ｆ位置１
−一襲１］、第ム図は各位置に対する歪みとの閤係七示
している。即ち、点Ｃで歪みは最大と１３１．端部に行
くに従って小さくなる。又、ｇｚｉ！ｌＩから明らかな
ように、端部Ｇ。

−で鉱歪番が零とならず、歪みが生じている。これは振
動部の端ＩＩＫ励振電砺電極置した場合と、しない場合
では、水晶振動子のａＸ＠が異なることを意味している
。即ち、振動部の端部にまで励振型ｌｉを配置した方が
低いＯＸ＠となる。第６図に）、に）はｇａｎｇに）＃
（至）のように振動部の上下面、　　１金両に励振電極
を配置した場合と、第９図■、（至）のようＫ１１６部
の部分（振動部の約７５−〕に配置した場合の○１値の
分布のヒストグラムで、実験値である。第５図←）は、
励振電極を振動部の一部分に配置したと亀の個数ｍ−２
００に対するＯＩ［の分布を示すヒストグラムで、平均
値１＝ｘ１４０（４である。これに対して、第６図同は
振動部の上下面、全面に配置したときの個数＠　ｘｘ　
Ｑ　Ｑ　Ｑのときの０工値の分布を示すヒスドグツムで
、平均値Ｘ−Ｓ＋＠と、約４割０工値を小さくすること
ができ、振動部の全面に励振電極を配置した方が０２を
低くする事がで龜る。又、第１０図から纂１９図のよう
に、励振電極と錘ｐｔ別々に設は九ときはレーザーによ
って共振同波数と周波数温度係数を調整し、第ｍ図、第
４図のように１振動部の全面に励振電極を配置し、その
上に錘りを設けたときには蒸着によって共振周波数と周
波数温度係数を調整する方法が採用される０次に、錘り
の増減によって周波数温度係数と共振周波数の調整を例
を挙げて具体的Ｋｗ！、明する。

第１図は纂１０図の鍾１２５．加をレーザーによって飛
散したときの錘９の除去量に対する一次温度係数ａの変
化Δａとの関係を示す。即ち、錘りの除去量を多くする
に従つニー次温度係数αは正側へと移動する。第ｎ図は
第１１図の錘り３０　、３１　、３２．３３をレーザー
で飛散したときの錘りの除去量に対する一次温度係数α
の変化Δαとの関係を示す、錘りの除去量を多くするに
従って一次温度係数ａは負側へと移動する。これらのこ
とから分かるように、纂１０図の鍾りのときは＠りｔ除
去することＫよって一次温度係数αは正の方間に、又、
第１１図の鍾９の配置のときＦｉ錘りを除去することに
よって一次温度係数αは負側へと移動する。即ち、第１
０図の錘り２５＃加と第１１図の錘り；幻、　３１　、
３２．３３０関に錘りを配置しｔときは、−次温度係数
ｇは全く変化しない事が予測できる。第１２図は前記し
た鍾９０例である。第あ図は第戊図の錘りあ、３７．３
８．３９をレーず−で除去したときの錘り除去量に対す
る一次Ｉｌｌ係数−の変化Δαとの関係を示し、鍾夕の
除去によって一次温度係数αは変化しないことが分かる
。ｉ＠２９図は第１０図の錘り６．２６．第１１図の錘
Ｊ）３０，３１，３２，３３．第１２図の錘り　３６　
、３７　、あ、３９をレーザーで各々除去したと亀の＠
シ除去量に対する主振動の共振周波数の変化を示し、直
線Ｄ　ａ　Ｉｌｉ　ｅ　Ｉｌｔそれぞれ第１０図、第１
２図、第１１図の場合に対応している。いづれの場合で
も、錘りの除去量によって主振動の共振周波数は高くな
る。ことが分かる。又、本実篇例ではレーザ一方式によ
る調整を説明したが無理によって、錘りｔ付層する場°
合は前記現象は全く逆の関係になる事は言うまでもない
、尚、説明でＦｉ第１０ａｌｔ。

第１１図、第１２図の３つの場合で説明したが、第１３
図から第１９図の錘りでも共振周波数と周波数温度係数
、あるいは、共振周波数のみ替える事ができる。第（資
）図に）、に）ｅ　（’）　Ｆｉ、ａ丁カット水晶振動
子９０ｔ一本発明の支持台座９４にマウントしたときの
一実施例で第（資）図に）は平爾図、ｊｌＫ３０図（ロ
）は第１図に）の下面図、第（資）図０は第（資）図０
の下面図を示す、支持台座９４は凹形状に形ｇされ、両
端部９５□　　、９６は平面で、その上に電極９７，９
８．９９が配置されている。電極９８と電１１９９は側
面電極１００，１０１と支持台座９４の下面に配置され
た電極１０２を介して接続されている。このように電極
配置された支持台９４の両端部９５．９６に水晶振動子
９０が配置され、振動子端部で接層剤、あるいは、半田
等１０３，１０４によって支持固層される。この支持固
層によって水晶振動子９０の励振電極１１２．９３の円
、電極９２は電極９７に１電極９３は電極９９と接続さ
れ、゛磁極１００．１０２．１０１を介して電極９８と
同極になる。即ち、支持台座９４の電極を前記しｔよう
に配置する事によって電極９７．９８の２端子構造にす
る事ができる。電極１００，１０１．１０２Ｆｉ、分か
ｐやすくするために実物より太く描いである。このよう
に振動子を支持台にマウントする事によって耐衝撃性に
優れた振動子にする事ができる。第３１図に）、に）、
ρ）はＧＴカット水晶感動子１０５を本発明の支持台座
１０６にマウントしたときの他の実膣例で第３１図←）
は平面図、第３１図１： （至）は５１３１図両の下面図、第３１図０は第３１　
（Ｂ）の下面　　　　　１図を示す、支持台座１０６は
凹形状に形取され、両１１１８１０７，１０８ＫＵ溝１
０９，１１０．１１１．１１２が設けられ、その上に電
極１１３＃１１４．１１５が配置されている。電極１１
４と電極１１５は側面’ｌｉ極１１６，１１７と支持台
座１０６の下面に配置された電極１８ｔ−介して接続さ
れている。このように電極配置された支持台座１０６の
＃１１１，１１２の中に水晶振動子１０５が配置され、
振動子端部で接着剤、あるいは、半田等１１９，１２０
によって支持固層される。

この支持固着によって水晶振動子１０５に配置された励
振電極１２１，１２２の内、電極１２１は電極１１３に
、電極１２２は電極１１５と接続され、電極１１６　、
１１８　、１７を介して電ＪｔＡｌ１４と同極になる。

このように溝に振動子をマウントする蔓によって耐衝撃
性に優れる事は勿論であるが、更に、振動子のセットが
容易になり、その上、作業性を良くすることができる。

振動子がマウントされた支持台は次にリード線４Ｃｉウ
ントされ、その後で真空中、あるいはＮ、中で封止され
る。次に、振動子の厚みについて説明する。振動子を作
る上で、特に、歩留の低下の原因としてスプリアス振動
がその大きな要因となるが本発明の場合も板厚の選択に
よってはスプリアス振動が主振動の近（に発生し、好ま
しくない、そこで、本発明はスプリアス振動を除去する
板厚ＩＰ５０μ〜１００Ｐの間で除去しようとするもの
で６ｆｆ、５０１１下限として選んだ理由は取扱いが容
易に出来て、しかも、量産上の最小板厚である。上限の
板厚１ｔｏｏ、ｗとした理由は、本発明の振動子形状は
複雑で到底機械加工は不可能でＴｏり、フォトリングラ
フィでエツチング加工できる板厚を上限として決めてい
る。実際に振動子はこの板厚の範囲から選択されるが本
発明の場合周波数によって轟然異なシ、共振周波数が高
くなるほど、即ち、振動子の幅Ｗ寸法が小さくなるほど
、板厚は小さくすることができる。第３２図は本発明に
よって得られた温ｆ特性の一実施例を示す、第３２図か
ら明らかなようＫすばらしい温度特性を示す事が分かる
。

以上、述べたように本発明は振動子の幾動部と支持部を
フォトリングラフィによって一体に成形し、特に、支持
部の構造を改善し、振動子のカット、辺比ｔ−最適に選
び、振動子の振動部の全面、あるいは、部分に励振電極
を配置し、更に、振動部には共振周波数と周波数温度特
性調整用の錘夛を設け、前記振動子を支持台座にマウン
トする事によって、周波数温度特性の優れた、ＯＸ値の
小さい、耐衝撃性に優れた、しかも、マウント作業が容
易な結合水晶振動子を提供することがで龜ｔ、それ故、
本発明の振動子は色々な民生機器に応用でき、その効果
は著しく大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、（ロ）は本発明の結合振動子の形状の一
実施例で、紀１図Ｇ＆）は平面図、第１図に）扛上面図
を示す、第２図（４）２ｇ３）は本発明の結合振動子の
形状の他の実施例で、第２図に）は平面図、第２図に）
は上面図會示す、第３図に）２ｇ３）は本発明の結合振
動子の形状の他の実施例で、７ｓ３図に）は平面図、第
３図（ロ）は上面図を示す、第４図り本発明の０丁カッ
ト水晶振動子の切断方位図、纂５１１ｉ！１１は本発明
の結合水晶振動子のカット角優とｉ！度係数α、βとの
関係を示すグラフ、第６図は本発明のＧＴカット水晶振
動子の辺比と温度係数α、βとの関係を示すグラフ、第
７図は本発明のＧＴカット水晶振動子の支持部の寸法サ
イズをパラメーターにしたときの辺比と温度係数ａとの
関係を示すグラフ、第８図に）、（至）は本発明の結合
振動子形状の電極に！、ｔの一実施例で、第８図に）は
平面図、第８図（ロ）は上面図を示す、第９図に）、　
（Ｂ）は本発明の結合振動子形状の電極配置の他の実施
例で、＃ｌ、９図（ト）は平面図、１Ｉ９ｉ！！［１）
は上面図を示す、第１θ図は本発明の結合振動子形状の
電極配置の他の実施例で平面図を示す。第１１図は本発
明の結合振動子形状の電極配置の他の実施例の平面図を
示す、第１２図から第１９図はそれぞれ本発明の結合振
動子形状の電極配置の他の実施例の平面図である。第」
図（Ａ）。 ０は本発明の結合振動子形状の電極配置の他の実施例で
、第２０１１１はに）は平面図、第Ｉ上第）は上面図を
示す、３１２１図は本発明の結合振動子形状の電極配置
と錘りの他の実施例の平向図である。 第ｎ図は本発明の結合振動子形状の電極配置と鍾りの他
の実施例の平面図を示す、第幻図は本発明の水晶振動子
の振動部と支持部が一体に形成されているＧＴカット水
晶振動子の１／２図である。 第あ図は第ｎ図の振動子の各位置に対する歪みとの関係
を示すグラフ、第５図に）ｒｉｃＩ恒の分布を示すヒス
トグラムでおる。＃！５図（ハ）ＦｉａＩ値の分布を示
す他のヒストグラムである。第３図は錘りの除去量に対
する一次温度係数ａの変化Δａとの関係を示すグラフ、
第ｎ図は他の＠りの除去量に対する一次温度係数αの変
化Δａとの関係を示すグラフ、第ｕ図は他の錘〕除去量
に対する一次温度係数声の変化Δαとの関係を示すグラ
フ、第３図は錘９除去量に対する主振動の共振周波数の
変化との関係を示すグラフ、第（資）図（尋、（ハ）、
０はＧＴカット水晶振動子を本発明の支持台座にマウン
トしたときの一実施例で、第加図（ト）は平面図、第（
資）上第）はｌＮ３０図（勾の下面図、第１図ρ）は第
箕図に）の下面図を示す、＠３１図に）、Ｐ、０は（）
Ｔカット水晶振動子を本発明の支持台座にマウントした
ときの他の実施例で、Ｗ、３１図Ｃ！ｋ）に平面図、第
３１図Ｃ）は第３１図に）の下面図、第３１図（０）は
第３１図（ロ）の下面図を示す。４３２図は本発明によ
って得られた温度特性の一実施例を示すグラフである。 １　、５　、９．１５．１９，２３．’２８，３４．７
６　、　ｓｅａ振動＠　　　２，６，１０．７？、、支
持部３　、７　、１１　、　、溝　　４，８，１２．、
マウント部　　１４，１８，２２，２７．７５　、９０
　、　、　、水晶振動子　　２０，２１，２４，２９，
３５．４０　、５１　、５４．５７，６２，７１．７３
，７８，７９，７８゜８２０．励振電極 ’６　、２６　、３０　、３１　、３２　、３３　、３
６　、３７　、３８　、３９　、４０．４１〜５Ｇ、５
２．５３．５５，５６．５Ｂ。 ５９．６Ｇ、６１．６３〜７０．７２，７４，８０．８
１，８５，８６，８７，８８．、錘９９４．１０６．、
支持台座 以上 出願人　株式会社第二精玉舎 ゲ７　４’　　＋９　　　ｓｖｒ／　　　Ｑ　　９３　
尊や’＋　）　Ｆ）　ｆ　（１１） 第６図 θテθ　匈勘　／、ｏｏ　　ｌｎケ　／、／６　　、／
ｌｓ　　／２θθ’？ｏ　　　　　Ｊ、ｏｏ　　　　　
　／、Ｊθ　　　　　／、　２６ＬＩ：１１−１びＡ） ゴ１２１Ｊｌ 第７４図　　　　　　　　　　第１ｇ　Ｑ第２０図ＣＢ
） 仲 ７ ｔｓ　ｚｏ図（Ａ） ９２７図 第２２図 第２３Ｅ ＃２４図 第２９ｗＪＣＢ）　　　　　　　　＄２！；５４　（Ａ
）第２４図　　　　　　第２７図 １Ｊｚｙｔ図 （％Ｃ） １１ｉｚ？図 惰 第３Ｉ図ＣＢ） 第３１１！ｉＱ　（ｃ） 第３ｚ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ａ）複数の縦振動モードが結合し究結合水晶揚動子にお
   いて、前記水晶振動子はＩＲ］！表示ＹＸｔｔＣＣ４８
   °〜　５３　°ン　／±　（４５’　〜５６０〕〕なる
   カット角で成形され、前記水晶振動子の辺比は０．９０
   〜１．２の範囲内にＴｏｎ、更に、１ＩｔＩ記水晶振動
   子の厚みは５０４ｓ〜１５０Ｐ鵠の範囲内から選択され
   、前記水墨振動子の振動部と支持部はエツチングによっ
   て一体に形ｒｉｔされ、前記水晶振動子の上下面には励
   振用電極が配置され、前記水晶振動子は支持台座に−ｗ
   ウントされている事を＊＊とする結合水墨振動子。