JPS58162928A - 光導波路の製造方法 - Google Patents
光導波路の製造方法Info
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- JPS58162928A JPS58162928A JP4458882A JP4458882A JPS58162928A JP S58162928 A JPS58162928 A JP S58162928A JP 4458882 A JP4458882 A JP 4458882A JP 4458882 A JP4458882 A JP 4458882A JP S58162928 A JPS58162928 A JP S58162928A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
- G02F1/0553—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic specially adapted for gating or modulating in optical waveguides
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光変調優勢に用いられる先導波路の製造方法
に関するものである０更に詳しくは、本発明は、ジルコ
ン、チタン酸鉛にランタンを添加し九所謂ＰＬＺτの薄
膜で構成される光導波路の製造方法に関するものである
。
に関するものである０更に詳しくは、本発明は、ジルコ
ン、チタン酸鉛にランタンを添加し九所謂ＰＬＺτの薄
膜で構成される光導波路の製造方法に関するものである
。
本発明の目的は、大がか転な製造装置を必要とせず、簡
単な製造プロセスによって先導波路が製造できる新規な
製造方法を提供しようとするものである。
単な製造プロセスによって先導波路が製造できる新規な
製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係る製造方法は、表面平滑な基板上に少なくと
も２以上の電極を形成させ、この基板上に鉛アルコキシ
ド（Ｐｂ（ＯＲ）２）と、ジルコニウムアルコキシド（
Ｚｒ（ＯＲ）４）と、チタニウムアルコキシド（Ｔｉ（
ＯＲ） ）と、テンタンアルコキシド（Ｌａ（ＯＲ）ｓ
）とを所望の本に混合してつくっ九ＰＬＺＴアルコキシ
ド溶液を塗布し、これを空気中に放置した後、加熱処理
して先導波路を得ることを特徴としている。
も２以上の電極を形成させ、この基板上に鉛アルコキシ
ド（Ｐｂ（ＯＲ）２）と、ジルコニウムアルコキシド（
Ｚｒ（ＯＲ）４）と、チタニウムアルコキシド（Ｔｉ（
ＯＲ） ）と、テンタンアルコキシド（Ｌａ（ＯＲ）ｓ
）とを所望の本に混合してつくっ九ＰＬＺＴアルコキシ
ド溶液を塗布し、これを空気中に放置した後、加熱処理
して先導波路を得ることを特徴としている。
以下、本発明の製造方法の一例について、第１図〜第４
図を参照しながら説明するｔ まず、第１図に示すように、表面を平滑にした基板１上
に、少なくとも一対の千両電極２１．２２を、例えば蒸
着等の手段で形成する。ここで基板１としては、パイレ
、クスガ２ス、サファイヤ等が使用可能である。
図を参照しながら説明するｔ まず、第１図に示すように、表面を平滑にした基板１上
に、少なくとも一対の千両電極２１．２２を、例えば蒸
着等の手段で形成する。ここで基板１としては、パイレ
、クスガ２ス、サファイヤ等が使用可能である。
次にＰＬＺＴアルコキシド溶液をつくる＠この溶液は、
鉛アルコ中シトと、ジルコニウムアルコキシドと、チタ
ニウムアルコキシドと、ランタンアルコ命シトとの各ベ
ンゼン＊＊を九はイノプロピルアルコール溶液を、希望
の比率に混合してつくられる。ここで、このＰＬＺＴア
ルコ今シト溶液ＯＩＩ度は、５１１度が望ましい。
鉛アルコ中シトと、ジルコニウムアルコキシドと、チタ
ニウムアルコキシドと、ランタンアルコ命シトとの各ベ
ンゼン＊＊を九はイノプロピルアルコール溶液を、希望
の比率に混合してつくられる。ここで、このＰＬＺＴア
ルコ今シト溶液ＯＩＩ度は、５１１度が望ましい。
続いて、第２図に示すようＫ ＰＬＺＴアルコキシド溶
液を、基板１上に流し、ＰＬＺ’ｒアルク中シト溶液を
基板１上に塗布すゐ。ここでＰＬＺＴアルコ中シト溶液
は、液状であることから、第２図に示すように基板１上
に平面状に拡がって分布する。なお、この分布が電極２
１．２２間にわたって均一に＆されるように、必要なら
ば基板１を高速回転するようにして４よい。
液を、基板１上に流し、ＰＬＺ’ｒアルク中シト溶液を
基板１上に塗布すゐ。ここでＰＬＺＴアルコ中シト溶液
は、液状であることから、第２図に示すように基板１上
に平面状に拡がって分布する。なお、この分布が電極２
１．２２間にわたって均一に＆されるように、必要なら
ば基板１を高速回転するようにして４よい。
次に、ＰＬＺＴアルコキシド溶液を塗布した基板１を、
空気中に例えば数分間放置する。これＫよって、ＰＬＺ
Ｔアル；キシド溶液は、空気中の水分と反応して加水分
解し、ＰＬＺＴの水酸化物が第３図に示すように基板１
０表面に付着する。ここで、Ｓ＃ｌのべ／ゼン等は蒸発
する。
空気中に例えば数分間放置する。これＫよって、ＰＬＺ
Ｔアル；キシド溶液は、空気中の水分と反応して加水分
解し、ＰＬＺＴの水酸化物が第３図に示すように基板１
０表面に付着する。ここで、Ｓ＃ｌのべ／ゼン等は蒸発
する。
次に１これを５００〜８００°Ｃで例えば１０時間程度
焼成する。これＫよって、第４図に示すように、基板１
上Ｋ ＰＬＺＴの薄膜Ｓが形成された先導波路ができる
。
焼成する。これＫよって、第４図に示すように、基板１
上Ｋ ＰＬＺＴの薄膜Ｓが形成された先導波路ができる
。
なお、ＰＬＺＴの薄膜の厚さが不足する場合は、第２図
に示した工程と第３図に示し九工１とを所定回数繰り返
すことによって、所望の膜厚にする仁とができる。
に示した工程と第３図に示し九工１とを所定回数繰り返
すことによって、所望の膜厚にする仁とができる。
このようＫして製造される光導波路は、第４図に示すよ
うに１電極２１．２２間に形成され７ｊ ＰＬＺＴ薄帽
１が電気光学効果を有するものであって、この部分を光
が通過するようｋ例えば光７アイパ４１゜４２を設置し
、電極２１．２２間に制御電圧を印加すれば、 ＰＬＺ
Ｔ薄膜層５を通過する光を変調した抄することができる
。
うに１電極２１．２２間に形成され７ｊ ＰＬＺＴ薄帽
１が電気光学効果を有するものであって、この部分を光
が通過するようｋ例えば光７アイパ４１゜４２を設置し
、電極２１．２２間に制御電圧を印加すれば、 ＰＬＺ
Ｔ薄膜層５を通過する光を変調した抄することができる
。
以上説明したように１本発明に係る製造方法によれば、
大がかりな製造装曾を必要とせず、簡単な製造プロセス
で光導波路を製造することができる。
大がかりな製造装曾を必要とせず、簡単な製造プロセス
で光導波路を製造することができる。
第１図〜第４図は本発明に係る製造方法を説−すゐため
の説明図である。 １・・・基板、２１．２２−＠極、５ 、、、 ＰＩ、
Ｚ’ｒ薄ＩＩ 層。
の説明図である。 １・・・基板、２１．２２−＠極、５ 、、、 ＰＩ、
Ｚ’ｒ薄ＩＩ 層。
Claims (2)
- （１） 表面平滑な基板上に少なくとも２以上の電極
を形成し、この基板表面に１鉛アルコ命シトと、ジルコ
ニウムアルコキシドと、チタニウムアルコキシドと、テ
ンタンアルコキシドとを所望の率に混合してつくりえＰ
ＬＺＴアルコキシド溶液を塗布し、これを空気中に放置
し先後、加熱処理して製造されるＰＬＺτの薄膜で構成
され先光導波路の製造方法〇 - （２）加熱処理する温度を５００〜８００ ’Ｃとし九
善−請求の範囲第１項記載の先導波路の製造方法Ｏ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4458882A JPS58162928A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 光導波路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4458882A JPS58162928A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 光導波路の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162928A true JPS58162928A (ja) | 1983-09-27 |
Family
ID=12695633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4458882A Pending JPS58162928A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 光導波路の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162928A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4847850A (ja) * | 1971-10-13 | 1973-07-06 | ||
| JPS49121568A (ja) * | 1973-03-20 | 1974-11-20 | ||
| JPS54104856A (en) * | 1978-02-03 | 1979-08-17 | Seiko Epson Corp | Field effect type dispaly body |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4458882A patent/JPS58162928A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4847850A (ja) * | 1971-10-13 | 1973-07-06 | ||
| JPS49121568A (ja) * | 1973-03-20 | 1974-11-20 | ||
| JPS54104856A (en) * | 1978-02-03 | 1979-08-17 | Seiko Epson Corp | Field effect type dispaly body |
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