JPS58164229U - 膜形成装置 - Google Patents
膜形成装置Info
- Publication number
- JPS58164229U JPS58164229U JP5971282U JP5971282U JPS58164229U JP S58164229 U JPS58164229 U JP S58164229U JP 5971282 U JP5971282 U JP 5971282U JP 5971282 U JP5971282 U JP 5971282U JP S58164229 U JPS58164229 U JP S58164229U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- forming device
- chamber
- abstract
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は、本考案による膜形成袋−の一実施例を示す縦断
面図である。 １０・・・・・・真空室、１１・・・・・・膜形成室、
１２・・・・・・ −排気室、２５・・・・・・
邪魔板。
面図である。 １０・・・・・・真空室、１１・・・・・・膜形成室、
１２・・・・・・ −排気室、２５・・・・・・
邪魔板。
Claims (1)
- 真空室が膜形成室と排気室とからなる膜形成装置におい
て、前記膜形成室と前記排気室との間で前記真空室に邪
魔板を内設したことを特徴とする膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5971282U JPS58164229U (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5971282U JPS58164229U (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58164229U true JPS58164229U (ja) | 1983-11-01 |
Family
ID=30070006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5971282U Pending JPS58164229U (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58164229U (ja) |
-
1982
- 1982-04-26 JP JP5971282U patent/JPS58164229U/ja active Pending
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