JPS58167907A - 回転物体の回転中心位置検出方法 - Google Patents
回転物体の回転中心位置検出方法Info
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- JPS58167907A JPS58167907A JP57051581A JP5158182A JPS58167907A JP S58167907 A JPS58167907 A JP S58167907A JP 57051581 A JP57051581 A JP 57051581A JP 5158182 A JP5158182 A JP 5158182A JP S58167907 A JPS58167907 A JP S58167907A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は回転物体の回転中心位置を検出するだめの装
置に関するものである。工作機械において、被加工物の
平面状の加工面を超精密仕上げする場合には、通常その
加工面を工作機械に取付けて回転させ、刃物台に取りつ
けたダイヤモンドバイト等を加工面の外周部から回転中
心部に向けて進める。而してこのバイト等を加工面の回
転中心に向けて正確に進めるためには、加工面の回転中
心位値を検出して、それを刃物台の制御にフィードバッ
クさせればよいわけであり、この発明の発明者等は先に
レーザードツプラ法を応用してこの身工面の回転中心位
置を検出するための装置を関１した。この新たに開発さ
れた回転物体の回転中：◆位置検出装置は回転面の回転
中心を高精度にか）簡単に検出することが出来るのであ
るが、回転面の中心部近傍のように回転速度の遅い部分
においてペデスタル成分と信号成分との分離がより簡単
に行えればいっそう！ｌましいと考えられる。
置に関するものである。工作機械において、被加工物の
平面状の加工面を超精密仕上げする場合には、通常その
加工面を工作機械に取付けて回転させ、刃物台に取りつ
けたダイヤモンドバイト等を加工面の外周部から回転中
心部に向けて進める。而してこのバイト等を加工面の回
転中心に向けて正確に進めるためには、加工面の回転中
心位値を検出して、それを刃物台の制御にフィードバッ
クさせればよいわけであり、この発明の発明者等は先に
レーザードツプラ法を応用してこの身工面の回転中心位
置を検出するための装置を関１した。この新たに開発さ
れた回転物体の回転中：◆位置検出装置は回転面の回転
中心を高精度にか）簡単に検出することが出来るのであ
るが、回転面の中心部近傍のように回転速度の遅い部分
においてペデスタル成分と信号成分との分離がより簡単
に行えればいっそう！ｌましいと考えられる。
この発明は上記のごとき事情に鑑みてなされたものであ
って、レーザドツプラ法を応用して高精度にかつ簡単に
回転面の回転中心を検出する事ができ、かつ特に、回転
速度の遅い部分の測定においてペデスタル成分と信号成
分との分離が容易な回転中心位置検出部属を菱供するこ
とを目的とするものである。
って、レーザドツプラ法を応用して高精度にかつ簡単に
回転面の回転中心を検出する事ができ、かつ特に、回転
速度の遅い部分の測定においてペデスタル成分と信号成
分との分離が容易な回転中心位置検出部属を菱供するこ
とを目的とするものである。
この目的に対応して、この発明の回転物体の１転中心位
置検出装置は、二光束法もしくは参隔光異し〜ザドツプ
ラ用干渉縞発生装置と、顕微鏡と１．２１□び干渉縞測
定装置とを備え、前記レーザトップ−）用干渉縞発生装
置によって発生したレーザトップう用干渉縞を被測定物
の表面に結像させ、前記干渉縞測定装置によって前記被
測定物の表面上の前記レーザドツプラ用干渉縞を測定す
るように構成し、二光束法もしくは自照先決における二
光束のうちの一方の光束の光路中に横状のプリズムを位
置させ、かつ前記光路における前記プリズムの厚さが変
化する方向に前記プリズムが移動し得るように構成した
ことを特徴と讐る。
置検出装置は、二光束法もしくは参隔光異し〜ザドツプ
ラ用干渉縞発生装置と、顕微鏡と１．２１□び干渉縞測
定装置とを備え、前記レーザトップ−）用干渉縞発生装
置によって発生したレーザトップう用干渉縞を被測定物
の表面に結像させ、前記干渉縞測定装置によって前記被
測定物の表面上の前記レーザドツプラ用干渉縞を測定す
るように構成し、二光束法もしくは自照先決における二
光束のうちの一方の光束の光路中に横状のプリズムを位
置させ、かつ前記光路における前記プリズムの厚さが変
化する方向に前記プリズムが移動し得るように構成した
ことを特徴と讐る。
以下、この発明の詳細を一実施例を示す図面について説
明する。
明する。
第１図において、１は回転中心位置検出装置である。１
転中心位置検出鋏置１は干渉縞発生騎置２、顕微鏡３、
干渉縞測定装置４を備えている。干渉縞発生＠Ｉ１２は
レーザ発生装置５を備え、かつレーザ発生装置５からの
レーザの進行方向に順次ミラー６、ビームスプリッタ７
．２個のポラライザ８ａ 、８ｂ １他のポラライザ９
、レンズ１１を備えている。特に重要なこととして光束
Ｆにはビームスプリンタ７とポラライザ８ｂとの間には
横状のプリズム１０が挿入されている。このプリズム１
０はその厚みが変化する方向に移動し得るよう占構成さ
れている。２個のポラライザ８ａ 、 ８ｂ−；頃ビー
ムスプリッタ７からの光束Ｆ、、 Ｆ２の光量をＨ致さ
せるためのものであり、他のポラライザ９ｊポラライザ
ｓａ、ｓｂを使用したためにＦ、 Ｆ＋ ２ 光束に生じた偏光状態の相違を一致させるためのもので
ある。顕微鏡３は対物レンズを被測定面に対向させて配
設される。被測定１ｉ１１２は工作物の仕上げ面であっ
て、工作機械のチャック等に挾みつけられて回転するも
のであり、これがこの発明の装置によって回転中心位置
を検出しようとする対象物である。干渉縞測定装置４は
光電管１３゜スペクトラムアナライザ１４を備えている
。
転中心位置検出鋏置１は干渉縞発生騎置２、顕微鏡３、
干渉縞測定装置４を備えている。干渉縞発生＠Ｉ１２は
レーザ発生装置５を備え、かつレーザ発生装置５からの
レーザの進行方向に順次ミラー６、ビームスプリッタ７
．２個のポラライザ８ａ 、８ｂ １他のポラライザ９
、レンズ１１を備えている。特に重要なこととして光束
Ｆにはビームスプリンタ７とポラライザ８ｂとの間には
横状のプリズム１０が挿入されている。このプリズム１
０はその厚みが変化する方向に移動し得るよう占構成さ
れている。２個のポラライザ８ａ 、 ８ｂ−；頃ビー
ムスプリッタ７からの光束Ｆ、、 Ｆ２の光量をＨ致さ
せるためのものであり、他のポラライザ９ｊポラライザ
ｓａ、ｓｂを使用したためにＦ、 Ｆ＋ ２ 光束に生じた偏光状態の相違を一致させるためのもので
ある。顕微鏡３は対物レンズを被測定面に対向させて配
設される。被測定１ｉ１１２は工作物の仕上げ面であっ
て、工作機械のチャック等に挾みつけられて回転するも
のであり、これがこの発明の装置によって回転中心位置
を検出しようとする対象物である。干渉縞測定装置４は
光電管１３゜スペクトラムアナライザ１４を備えている
。
レーザ発生装置５から発光したレーザ光はミラー６で光
路賓換したのちビームスプリッタ７へ入射し、ここで２
つの光束Ｆ、、Ｆ２に分割する。光束Ｆ１はポラライザ
８ａで光量ｓｎｉされ、ざらにポラライザ９で偏光調整
されたのち、レンズ１１を通し・四焦点位ｌＩＯに結像
する。
路賓換したのちビームスプリッタ７へ入射し、ここで２
つの光束Ｆ、、Ｆ２に分割する。光束Ｆ１はポラライザ
８ａで光量ｓｎｉされ、ざらにポラライザ９で偏光調整
されたのち、レンズ１１を通し・四焦点位ｌＩＯに結像
する。
゛、７Ｉｉ方光束Ｆはプリズム１０で周波数変調され、
次掬でポラライザ８ｂで光量肩書され、さらにポラライ
ザ９で偏光調整されたのち、レンズ１１を通して焦点位
置Ｏに結像する。したがって、この２つの光束Ｆ、、Ｆ
２が焦点位置Ｏで互いに重なり合い干渉縞が生じる。
次掬でポラライザ８ｂで光量肩書され、さらにポラライ
ザ９で偏光調整されたのち、レンズ１１を通して焦点位
置Ｏに結像する。したがって、この２つの光束Ｆ、、Ｆ
２が焦点位置Ｏで互いに重なり合い干渉縞が生じる。
この焦点位置Ｏにおける干渉縞は顕微鏡３を通して被測
定面１２上に投影されるが、この干渉縞は回転移動する
１被測定１ｌｌｉ１２上の微小な凹凸によって散乱され
、その光が光電管１３で光電変換され電気信号がスペク
トラムアナライザ１４によりて解゛析される。
定面１２上に投影されるが、この干渉縞は回転移動する
１被測定１ｌｌｉ１２上の微小な凹凸によって散乱され
、その光が光電管１３で光電変換され電気信号がスペク
トラムアナライザ１４によりて解゛析される。
第２１！ｌＩに示す如く、周波数１．１． の光が被
測定面１２上の被測定点に、その移動方向に各々（π／
２）−β、（π／２）＋βの方向から入射したとすると
、■を被測定点の移動速度、λを波長とすると ’＋−１（１＋ （Ｖｓｌｎβ／λ））Ｆ２−Ｆ６（１
−（Ｖｓｌｎβ／λ））二光束差動型ＬＤＶのドツプラ
信号周波Ｉ！ｆはず −１ｆ、 −ず、Ｉ−（２ＶＳ
ｌｎ β ） ／λであるから、このずを測定するこ
とによって被測（１点の速度Ｖを検出することができ、
さらにこの清度ｖ−０の点を求めれば、被測定面１２の
１転５４心位−を検出することができる。速度ｖ−０の
蓋を検出するためには第３図に示すごとく干渉縞の測定
を、被測定１１ｉ１２上のＸ方向め複数の任意点、及、
びＹ方向の複数の任意点において行う。
測定面１２上の被測定点に、その移動方向に各々（π／
２）−β、（π／２）＋βの方向から入射したとすると
、■を被測定点の移動速度、λを波長とすると ’＋−１（１＋ （Ｖｓｌｎβ／λ））Ｆ２−Ｆ６（１
−（Ｖｓｌｎβ／λ））二光束差動型ＬＤＶのドツプラ
信号周波Ｉ！ｆはず −１ｆ、 −ず、Ｉ−（２ＶＳ
ｌｎ β ） ／λであるから、このずを測定するこ
とによって被測（１点の速度Ｖを検出することができ、
さらにこの清度ｖ−０の点を求めれば、被測定面１２の
１転５４心位−を検出することができる。速度ｖ−０の
蓋を検出するためには第３図に示すごとく干渉縞の測定
を、被測定１１ｉ１２上のＸ方向め複数の任意点、及、
びＹ方向の複数の任意点において行う。
ところで、ここで注意すべきことは、プリズム１０の椿
花である。すなわち、プリズム１０が存在せず、かつ、
被測定１１１２の１転速度が低い場合には第４１１８に
示すように、被測定ｆｌｉ１２による散乱光からの信号
成分はペデスタル成分に埋もれた状態となって両者の弁
別が困難である。そこでこの弁別を可能にするために本
発明ではプリズム１０を設けたのであるが、プリズム１
０は第５図に示すごとく、直行する２面Ｓ１、Ｓ２とプ
リズム頂角ｅの斜面Ｓ３とを持つ横状で、その材質はた
とプリズム１０で光路長が変えられ、光束Ｆ１、Ｆ２の
位相関係が変化し、かつ、プリズム１０′の厚みを連続
的に蛮えることによって位相関係も連続的に変化し、し
たがって二光束Ｆ２、Ｆ２の周波数に差が生じる。プリ
ズム１０の厚みを連続的に変化させることは、プリズム
１０を斜１ＩｉＳ３と平行な方向に連続的に移動させる
ことによって行なう。この場合の二光束Ｆｌｓ Ｆ２の
周波数の差Δｆ、は、ｎをプリズム１０の屈折率、Ｖｄ
をプリズム１０の厚さの増加速度、ｖｐをプリズム１０
の移動速度とすると、 Δｆ、、−（１−ｎ 、：、 ） ・Ｖｄ／λＶｄ
−ｖｐ −ｓｉｎ ｅ したがって、光束Ｆ１、Ｆ、とに周波数の差Δｆ、が生
じる。このとき、二光束差動型り、Ｄ、Ｖ、のドツプラ
信号周波数ｔと被測定ｌ１ｉ１２の回転速度との関係は ｆ−２ｓｉｎβ−ｆ、−Ｖ／Ｃ−Δｔ０ただし、Ｃは光
速である。
花である。すなわち、プリズム１０が存在せず、かつ、
被測定１１１２の１転速度が低い場合には第４１１８に
示すように、被測定ｆｌｉ１２による散乱光からの信号
成分はペデスタル成分に埋もれた状態となって両者の弁
別が困難である。そこでこの弁別を可能にするために本
発明ではプリズム１０を設けたのであるが、プリズム１
０は第５図に示すごとく、直行する２面Ｓ１、Ｓ２とプ
リズム頂角ｅの斜面Ｓ３とを持つ横状で、その材質はた
とプリズム１０で光路長が変えられ、光束Ｆ１、Ｆ２の
位相関係が変化し、かつ、プリズム１０′の厚みを連続
的に蛮えることによって位相関係も連続的に変化し、し
たがって二光束Ｆ２、Ｆ２の周波数に差が生じる。プリ
ズム１０の厚みを連続的に変化させることは、プリズム
１０を斜１ＩｉＳ３と平行な方向に連続的に移動させる
ことによって行なう。この場合の二光束Ｆｌｓ Ｆ２の
周波数の差Δｆ、は、ｎをプリズム１０の屈折率、Ｖｄ
をプリズム１０の厚さの増加速度、ｖｐをプリズム１０
の移動速度とすると、 Δｆ、、−（１−ｎ 、：、 ） ・Ｖｄ／λＶｄ
−ｖｐ −ｓｉｎ ｅ したがって、光束Ｆ１、Ｆ、とに周波数の差Δｆ、が生
じる。このとき、二光束差動型り、Ｄ、Ｖ、のドツプラ
信号周波数ｔと被測定ｌ１ｉ１２の回転速度との関係は ｆ−２ｓｉｎβ−ｆ、−Ｖ／Ｃ−Δｔ０ただし、Ｃは光
速である。
このようにして、干渉縞からの信号をペデスタル干渉縞
の測定を第６図に示す如く行ってもよい。
の測定を第６図に示す如く行ってもよい。
すなわち、被測定面１２上のＸＹ座榔軸上に２個の干渉
縞Ａ、Ｂが生ずるように干渉縞発生装置を構成する。こ
の様にｔ個の干渉縞Ａ、Ｂを同時に被測定面１２上に形
成すれば、それらの測定によりＸ軸上の８点の速度とＹ
軸上のＡ点の速度がプリズムによってシフトされた周波
数に対応する速度に等しくなる点を捜して被測定面１２
の回転中心位置として検出することが出来る。駿だ、プ
リズムによってシフトされた周波数の位置に対して得ら
れたドツプラ信号の周波数が高い方にずれたか、低い方
にずれたかを調べｉことにより、速度軸中心までの距離
ｒは、ｒ−ｖ／ω、によって与えられる。Ａ点、８点の
検出から、それぞれＶ軸及び×軸方向の点Ａ、Ｂからの
距離の大きさがｒ′の式から求まり、方向は速度の正負
から求められる。この場合には、回転面の角速度ωを回
転中心から光分離れた位置で前もって測定しておく必要
がある。（本発明のようにμオーダーの中心位１検出を
問題としている場合は、角速度ωを測定する位置は回転
中心から数センチメートル鐘れていれば十分である。）
この方法の利点は検出−を移動じなくても良い点にある
。
縞Ａ、Ｂが生ずるように干渉縞発生装置を構成する。こ
の様にｔ個の干渉縞Ａ、Ｂを同時に被測定面１２上に形
成すれば、それらの測定によりＸ軸上の８点の速度とＹ
軸上のＡ点の速度がプリズムによってシフトされた周波
数に対応する速度に等しくなる点を捜して被測定面１２
の回転中心位置として検出することが出来る。駿だ、プ
リズムによってシフトされた周波数の位置に対して得ら
れたドツプラ信号の周波数が高い方にずれたか、低い方
にずれたかを調べｉことにより、速度軸中心までの距離
ｒは、ｒ−ｖ／ω、によって与えられる。Ａ点、８点の
検出から、それぞれＶ軸及び×軸方向の点Ａ、Ｂからの
距離の大きさがｒ′の式から求まり、方向は速度の正負
から求められる。この場合には、回転面の角速度ωを回
転中心から光分離れた位置で前もって測定しておく必要
がある。（本発明のようにμオーダーの中心位１検出を
問題としている場合は、角速度ωを測定する位置は回転
中心から数センチメートル鐘れていれば十分である。）
この方法の利点は検出−を移動じなくても良い点にある
。
この様な干渉縞Ａ、Ｂの形成のためには、レーザ光を分
割して必要数の多光束を得る必要があり、そのためには
、多光束ビームスプリッタを必要とするが、この多光束
ビームスプリッタを、多重露光したホログラムによって
構成する事ができ、これにともなってレーザドツプラ用
土渉縞発生装置の構成を簡単にすることができる。すな
わち、第７図にはこの発明の他の実施例に係わる回転中
心位置検出装置１ａが示されており、この回転中心及び
レンズ１７で構成されている。光束Ｆにはプリズム１０
が挿入されている。レンズ１５．１６はビームエキスパ
ンダを構成し、レーザビームは拡大して平行光来となっ
たのちホログラムＨを照明する。ホログラム′″Ｈから
は複数の物体光が再生されて、レンズ１７を通り、焦点
位置ｄ＆：集光して干渉縞を形成する。
割して必要数の多光束を得る必要があり、そのためには
、多光束ビームスプリッタを必要とするが、この多光束
ビームスプリッタを、多重露光したホログラムによって
構成する事ができ、これにともなってレーザドツプラ用
土渉縞発生装置の構成を簡単にすることができる。すな
わち、第７図にはこの発明の他の実施例に係わる回転中
心位置検出装置１ａが示されており、この回転中心及び
レンズ１７で構成されている。光束Ｆにはプリズム１０
が挿入されている。レンズ１５．１６はビームエキスパ
ンダを構成し、レーザビームは拡大して平行光来となっ
たのちホログラムＨを照明する。ホログラム′″Ｈから
は複数の物体光が再生されて、レンズ１７を通り、焦点
位置ｄ＆：集光して干渉縞を形成する。
多光束ビームスプリッタとして機能するホログラムＨを
作製する方法は次の通りである。すなわち、（１）まず
、物体光０２を参照ビームＲ３，Ｒ４によりをおく。
作製する方法は次の通りである。すなわち、（１）まず
、物体光０２を参照ビームＲ３，Ｒ４によりをおく。
（３）前と同様に、物体光へを参照光Ｒ，，Ｒ，によっ
て、ブロックＨ，，Ｈ４に記録°する。
て、ブロックＨ，，Ｈ４に記録°する。
これらの操作によりブロックＨ１に物体光０４、ブロッ
クＨ８に物体光ｑ１ブロックＨ４に物体光０□、０４が
記録された。次に、これらを再生するときは第１０．１
１ａｉに示すように、このホログラムＨに参照ビームＲ
１、Ｒ８、へを包含するような参照光Ｒをあてると、ホ
ログラムＨの作製されている部分から物体光０２．０４
が再生される。この場合参照ビームＲ１の光路のみには
プリズム１０を挿入する。
クＨ８に物体光ｑ１ブロックＨ４に物体光０□、０４が
記録された。次に、これらを再生するときは第１０．１
１ａｉに示すように、このホログラムＨに参照ビームＲ
１、Ｒ８、へを包含するような参照光Ｒをあてると、ホ
ログラムＨの作製されている部分から物体光０２．０４
が再生される。この場合参照ビームＲ１の光路のみには
プリズム１０を挿入する。
このときひとつの物体光は二つの参照ビームによってホ
ログラムに記録されているので二つの平行に進むビーム
として再生される。従って二つづつ平行な２組の平行に
進むビームが再生されること１誓る。ビームは２組ある
ので２点に干渉縞が形成される。
ログラムに記録されているので二つの平行に進むビーム
として再生される。従って二つづつ平行な２組の平行に
進むビームが再生されること１誓る。ビームは２組ある
ので２点に干渉縞が形成される。
なおホログラムにレンズ１７の作用を同時に記録させて
、レンズ１７を省略することも可能である。
、レンズ１７を省略することも可能である。
この場合のホログラムＨの作製は、ホログラムＨの記録
を第１０図のレンズ１７の後方で行い、かつ、こうして
作製したホログラムＨなホログラムＨに代替する。また
、ホログラムＨからの再生光をレンズ１７を通してホロ
グラムＨに他の参照光Ｒを用いて記録し、こうして作製
されたホログラムＨ′をホログラムＨに代替して使用す
る。
を第１０図のレンズ１７の後方で行い、かつ、こうして
作製したホログラムＨなホログラムＨに代替する。また
、ホログラムＨからの再生光をレンズ１７を通してホロ
グラムＨに他の参照光Ｒを用いて記録し、こうして作製
されたホログラムＨ′をホログラムＨに代替して使用す
る。
次ぎに、これらを再生するときは、第１２図及び第１３
図に示すように、ホログラムＨに参照ビー作によってそ
れぞれ被測定面のＹ−０μｍ。
図に示すように、ホログラムＨに参照ビー作によってそ
れぞれ被測定面のＹ−０μｍ。
Ｙ−３００μ−の位置をＸ方向にスキャンして測定した
結果のグラフであるが、それぞれＸ方向の距離とドツプ
ラ信号周波数ｔとが比例し、ｆ−０となる点、すなわち
回転中心位置が良好に検出されることを確認することが
出来る。
結果のグラフであるが、それぞれＸ方向の距離とドツプ
ラ信号周波数ｔとが比例し、ｆ−０となる点、すなわち
回転中心位置が良好に検出されることを確認することが
出来る。
以上の説明から明らかな通り、この発明によれば高精度
に、かつ簡単に回転面の回転・中心を検出することが出
来、特に被測定面の回転速度が低い場合にもペデスタル
成分と信号成分との弁別が容易に出来る回転中心位置検
出装置な豐ることが出来る。
に、かつ簡単に回転面の回転・中心を検出することが出
来、特に被測定面の回転速度が低い場合にもペデスタル
成分と信号成分との弁別が容易に出来る回転中心位置検
出装置な豐ることが出来る。
第１図はこの発明の一実施例に関わる回転中心位置検出
装置を示す構成説明図、第２図は干渉縞形成部位への光
束の入射角を示す説明図、第３図は被測定面上の測定部
位を示す説明図、第４図は信号成分とペデスタル成分を
示すグフフ、第５図はプリズムを示す説明図、第６Ｎ１
１は干渉縞を示すザ説明図、第１０Ｉｌｌは多重露光ホ
ログラムの再生操作を示す斜Ｉ！説明図、第１１図は多
重露光ホログラムの再生操作を示す側面説明図、第１２
図はレンズ効果を記録したホログラムの再生操作を示す
斜視説明図、第１３図はレンズ効果を記録したホログラ
ムの再生操作を示す側ｍ＊明図、第１４図は測定結果を
示すグラフ、及び第１５図は測定結果を示すグラフであ
る。 １・・・回転中心位置検出＠胃 ２・・・干渉縞発生
装置 ３・・・顕微鏡 ４・・・干渉縞測定装置
５・・・レーザ発生装置 ６・・・ミラー ７・
・・ビーム第１図 ３ 第５図 ’アリｒｂ ＄ｔｏ＋＝ａＳＪＩＪ＆ シフ１１？ｌｌ
第６図 第７図 ４−′ 第１４図 第１５図 手続補正書（芳入） 昭和５７ 年 ９月２．？日 ｌ、事件の表示 昭和 ６７年特許願第 ６１６８１ 号２ 発明
の名称 回転物体の回転中心位置検出装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区霞が関１丁目３番１号（１
１４）氏 名 工業技術院長 石 坂 誠
−４指定代理人 〒３０５ ５ 補正命令の日付 昭和６７年６月１ ｉ”” Ｂ 第５図 ５■皮譬丈シフト量
：Δｆ。
装置を示す構成説明図、第２図は干渉縞形成部位への光
束の入射角を示す説明図、第３図は被測定面上の測定部
位を示す説明図、第４図は信号成分とペデスタル成分を
示すグフフ、第５図はプリズムを示す説明図、第６Ｎ１
１は干渉縞を示すザ説明図、第１０Ｉｌｌは多重露光ホ
ログラムの再生操作を示す斜Ｉ！説明図、第１１図は多
重露光ホログラムの再生操作を示す側面説明図、第１２
図はレンズ効果を記録したホログラムの再生操作を示す
斜視説明図、第１３図はレンズ効果を記録したホログラ
ムの再生操作を示す側ｍ＊明図、第１４図は測定結果を
示すグラフ、及び第１５図は測定結果を示すグラフであ
る。 １・・・回転中心位置検出＠胃 ２・・・干渉縞発生
装置 ３・・・顕微鏡 ４・・・干渉縞測定装置
５・・・レーザ発生装置 ６・・・ミラー ７・
・・ビーム第１図 ３ 第５図 ’アリｒｂ ＄ｔｏ＋＝ａＳＪＩＪ＆ シフ１１？ｌｌ
第６図 第７図 ４−′ 第１４図 第１５図 手続補正書（芳入） 昭和５７ 年 ９月２．？日 ｌ、事件の表示 昭和 ６７年特許願第 ６１６８１ 号２ 発明
の名称 回転物体の回転中心位置検出装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区霞が関１丁目３番１号（１
１４）氏 名 工業技術院長 石 坂 誠
−４指定代理人 〒３０５ ５ 補正命令の日付 昭和６７年６月１ ｉ”” Ｂ 第５図 ５■皮譬丈シフト量
：Δｆ。
Claims (1)
- ；光束法もしくは参照光法レーザドツプラ用干渉−発生
装置と、鎖倣鏡と、及び干渉縞測定装置とｊＦ＆−備え
、前記レーザドツプラ用干渉縞発生装置に縫って発生し
たレーザドツプラ用干渉縞を被測定物の表面に結像させ
、前記干渉縞測定装置によっ工前記被測定物の表面上の
前記レーザドツプラ用・干渉縞を測定するように構成し
、二光束法もしく“は参照光法におけ−る二光束のうち
の一方の光束の光路中に横状めプリズムを位置させ、か
つ前記光路における前記プリズムの厚さが変化する方向
に前記プリズムが移動し得るように構成したことを特徴
とする回転物体の回転中心位置検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051581A JPS58167907A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 回転物体の回転中心位置検出方法 |
| US06/424,629 US4529310A (en) | 1981-12-17 | 1982-09-27 | Device for detection of center of rotation of rotating object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051581A JPS58167907A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 回転物体の回転中心位置検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58167907A true JPS58167907A (ja) | 1983-10-04 |
| JPS6334402B2 JPS6334402B2 (ja) | 1988-07-11 |
Family
ID=12890900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57051581A Granted JPS58167907A (ja) | 1981-12-17 | 1982-03-30 | 回転物体の回転中心位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58167907A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60218123A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザビ−ムの位置決め装置 |
| JPS61159104A (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-18 | Omron Tateisi Electronics Co | 回転中心検出装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6449534A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Topcon Corp | Air-flow blow device for non-contact type tonometer |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051581A patent/JPS58167907A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60218123A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザビ−ムの位置決め装置 |
| JPS61159104A (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-18 | Omron Tateisi Electronics Co | 回転中心検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6334402B2 (ja) | 1988-07-11 |
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