JPS5816966Y2 - 真空処理室用搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は真空処理室用搬送装置に関する。

従来この種装置は真空処理室の隔壁に、これを内外に挿
通する回転軸、往復動軸等の作動部材を設け、その作動
により該室内のローラ、ホルダ等を駆動してワークその
他を搬送するを一般とするが隔壁を挿通して設けた回転
軸等の軸部材のシール効果が悪く、真空処理室内の真空
度が低下し易い不都合が存すると共にローラ等への駆動
伝達装置に比較的大きな空間を要し真空処理室が大形化
する等の欠点があった。

本考案はこのような欠点等を解消するをその目的とした
もので、真空処理室１の隔壁２に、これを内外に挿通す
る作動部材３を設け、その作動により該室１内のワーク
４その他を搬送する式のものに於て、該部材３を往復動
自在のスチールその他の金属ベルト５で構成し、該室１
内に、該ベルト５を断面略Ｖ字状に彎曲する１対の彎曲
ローラ６．７を備えて成る。

第１図示のものは該真空処理室１をインライン式に構成
し、該室１内に略水平に配設した回転自在のローラ８上
をウェハその他のワーク４を載置した平板状の物品ホル
ダ９が移動するようにした場合を示し、これに於てスチ
ールその他の金属ベルト５を該室１の隔壁２に設けた１
対のシールローラ１０，１１間を介して該室１の内外に
挿通させ、該室１内に導入された該ベルト５の前方部分
を１対の彎曲ローラ６．７間に介入させた。

該彎曲ローラ６．７は例えば第２図に示すように周方向
の突条１２を形成したローラ６と凹条１３を形成したロ
ーラ７の１対で構成し、両ローラ６．７でこれに介入す
るベルト５を断面略Ｖ字状に彎曲させ該ベルト５の前方
部分にその長さ方向の耐力性が与えられるようにした。

１４は該処理室１の外部側方に設けた電動機で、これに
連結したドラム１５に該ベルト５の一端側を捲回し、該
電動機１４が正転成は逆転されると該ベルト５はガイド
１６に案内され隔壁２のシールローラ１０，１１を介し
て処理室１に出没する。

該ベルト５の処理室１内の端部には第３図示のような当
て板１Ｔを取付け、これを介して該ベルト５が物品ホル
ダ９の端面に当接するようにした。

１８は該真空処理室１内に区画形成した副真空室で、隔
壁２を介して進入したベルト５は該副真空室１８を介し
て処理室１内に進入するようにし、該室１８により処理
室１の真空度がより良好に保たれるようにした。

１９．２０．２１は真空ポンプ、２２は副真空室１８の
区画壁２３に設けたロールシールである。

尚、彎曲ローラ６．７は、その一方のローラ７を駆動し
、他方のローラ６を該ローラ７に対する押し付は機構を
備えた自由ローラに構成してもよい。

その作動を説明するにワーク４の搬送時には電動機１４
を正転させてドラム１５からこれに捲回されたベルト５
を繰出して真空処理室１内へと送り込み、その前方部分
を順次１対の彎曲ローラ６゜Ｔで断面路■字状に彎曲し
、該彎曲によりホルダ９を押送するに要する耐力性を該
ベルト５に与え、該ホルダ９の搬送後には該電動機１４
を逆転してドラム１５にベルト５が捲回収容される。

このように本考案によるときは、作動部材３をスチール
等の金属ベルト５で構成したので作動部材周囲のシール
面積を小さくし得、シール効果が向上し、電動機１４等
の該作動部材３の駆動装置を該ベルト５の弾性を利用し
て該処理宿１外の任意の個所に設置し得、更に搬送距離
を自由に調節出来て便利であり、該処理室１内には搬送
用の駆動装置を特に設ける必要がないので処理室１を小
形化出来経済的である等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の実施例の裁断側面図、第２図はそ
の要部の拡大図、第３図は第１図の■−■線截線面断面
図る。 １・・・真空処理室、２・・・隔壁、３・・・作動部材
、４・・・ワーク、５・・・金属ベルト、６，７・・彎
曲ローラ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空処理室１の隔壁２に、これを内外に挿通する作動部
   材３を設け、その作動により該室１内のワーク４その他
   を搬送する式のものに於て、該部材３を往復自在のスチ
   ールその“仙の金属ベルト５で構成し、該室１内に、該
   ベルト５を断面略Ｖ字状に彎曲する１対の彎曲ローラ６
   ．７を備えて成る真空処理室用搬送装置。