JPS58170200A - 多層圧電トランスデュ−サとその製造方法 - Google Patents
多層圧電トランスデュ−サとその製造方法Info
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- JPS58170200A JPS58170200A JP57051650A JP5165082A JPS58170200A JP S58170200 A JPS58170200 A JP S58170200A JP 57051650 A JP57051650 A JP 57051650A JP 5165082 A JP5165082 A JP 5165082A JP S58170200 A JPS58170200 A JP S58170200A
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、多層構造の圧電トランスデユーサとその製造
方法に関するものであり、このような圧電トランスデユ
ーサは、例えば超音波診断装置の振動子などに用いられ
る。
方法に関するものであり、このような圧電トランスデユ
ーサは、例えば超音波診断装置の振動子などに用いられ
る。
従来、３３モードの厚みたて振動の超音波用に用いる圧
電トランスデユーサは、普通にはその圧電板が均一な素
材の単層板でできている。また、圧電トランスデユーサ
をプレイとする場合にも、上述Ｏ単層板をさいの目状、
あるいは角棒状に切り、これを組み合せて作るものであ
るため、素材は均一なものである。このような均一材料
の単板による圧電トランスデユーサは、ステツブ励振時
における応力分有−１ＩＸＩＩ １図の（イ）で示すよ
うな方形状のものになる。また、そのインパルス応答は
、１１２１１に示すような２つのインパルス（ダイポー
ル）とな夛、送出される音響信号の周波数特性は、ｓｇ
ｉ図に示スようにスペクトラムに厚みで決まる零点が存
在するものとなり、送受信系を本質的に広帯域にするこ
とができない。なお、第３図中、（ロ）はステップドラ
イブ時の、（ハ）はインパルスドライブ時の特性である
。
電トランスデユーサは、普通にはその圧電板が均一な素
材の単層板でできている。また、圧電トランスデユーサ
をプレイとする場合にも、上述Ｏ単層板をさいの目状、
あるいは角棒状に切り、これを組み合せて作るものであ
るため、素材は均一なものである。このような均一材料
の単板による圧電トランスデユーサは、ステツブ励振時
における応力分有−１ＩＸＩＩ １図の（イ）で示すよ
うな方形状のものになる。また、そのインパルス応答は
、１１２１１に示すような２つのインパルス（ダイポー
ル）とな夛、送出される音響信号の周波数特性は、ｓｇ
ｉ図に示スようにスペクトラムに厚みで決まる零点が存
在するものとなり、送受信系を本質的に広帯域にするこ
とができない。なお、第３図中、（ロ）はステップドラ
イブ時の、（ハ）はインパルスドライブ時の特性である
。
この欠点を解決するためＫは、圧電板内に任意の適当な
応力分布を与えればよ（、たとえば第１図の四で示すよ
うに、圧電板の奥行き方向へ応力分布が次第に減少して
零に収束する、いわゆるファン・デル・ホープ的なもの
にするのならば、その崗波数特性は第５図の（ホ）で示
すような零点が存在しない広帯域なものとなる。しかし
ながら、均一圧電材料の内ｓＫ任意の応力分布を作るこ
とは非常に困難であり、分極の強さを分布させることｋ
よシこれを実現するものもあるが、再現性や経年安定性
などの見地からまだ実用となるものではない。
応力分布を与えればよ（、たとえば第１図の四で示すよ
うに、圧電板の奥行き方向へ応力分布が次第に減少して
零に収束する、いわゆるファン・デル・ホープ的なもの
にするのならば、その崗波数特性は第５図の（ホ）で示
すような零点が存在しない広帯域なものとなる。しかし
ながら、均一圧電材料の内ｓＫ任意の応力分布を作るこ
とは非常に困難であり、分極の強さを分布させることｋ
よシこれを実現するものもあるが、再現性や経年安定性
などの見地からまだ実用となるものではない。
〔発明の目的〕
」
本発明は、目的に応じた任意の応力分布を圧電板内に実
現でき、しかも、利用に際しては従来の圧電素子と同様
に取り扱える多層圧電トランスデユーサを提供し、さら
にこの多層圧電トランスデユーサｔｍめて簡単に、かつ
、量産性に富んで製造することができる製造方法を提供
することを目的とする。
現でき、しかも、利用に際しては従来の圧電素子と同様
に取り扱える多層圧電トランスデユーサを提供し、さら
にこの多層圧電トランスデユーサｔｍめて簡単に、かつ
、量産性に富んで製造することができる製造方法を提供
することを目的とする。
本発明の多層圧電トランスデユーサは、複数の圧電板が
重層され、これらの圧電板に電界を付与したときに発生
する応力がそれぞれ異なるように構成されたことを特徴
とする。
重層され、これらの圧電板に電界を付与したときに発生
する応力がそれぞれ異なるように構成されたことを特徴
とする。
また、本発明の製造方法は、複数のセラミック・グリー
ンシートを重層する工程と、このグリーンシートを焼成
する工程とを含むことｔ−特徴とする。
ンシートを重層する工程と、このグリーンシートを焼成
する工程とを含むことｔ−特徴とする。
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
１１４図は、本発明の一実施例圧電トランスデユーサの
側断面図である。同図において、多層圧電板ｌの両画に
は電１ｉ２．３をそれぞれ被着し、この電極２．３から
は端子４．５をそれぞれ導き出し、電極３にはバッキン
グ層６を堆９付ける。多層圧電板１は、圧電板１ａ 、
ｌｂ 、ｌｃを密Ｋｍ着、あるいは焼結して重層した構
造となっている。これらは、それぞれ種類の異なるｐｚ
ｔ（ジルコンチタン酸鉛： ｐｂ （Ｚ（、Ｔｉ ）
Ｏｓ）などの圧電セラミック材料でできていて、それぞ
れは限界値まで十分に分極されている。この分極の付与
は、各圧電板１ａ 、ｌｂ 、 ｌｃを個別に分極して
から被着せしめても、また、全体を焼成してから一斉に
分極するものであってもよい。圧電板１ａ 、 ｌｂ
、 ｌｃは比誘電率ａｓｓ、圧電率ｄｓｓ３合係数ｋ
１あるいはｇｌｓなどがそれぞれ異なり、このうちｄｉ
ｓ 、 ｇｓｓ、あるいはに等の値は良（最適化されて
いて、標準的な値に対して１／２〜２倍＠度の範囲に収
まる。一方、焼土シ結果としての誘電率−１ｍの値は、
ｐｚｔの種類により１０倍位も異なる。
側断面図である。同図において、多層圧電板ｌの両画に
は電１ｉ２．３をそれぞれ被着し、この電極２．３から
は端子４．５をそれぞれ導き出し、電極３にはバッキン
グ層６を堆９付ける。多層圧電板１は、圧電板１ａ 、
ｌｂ 、ｌｃを密Ｋｍ着、あるいは焼結して重層した構
造となっている。これらは、それぞれ種類の異なるｐｚ
ｔ（ジルコンチタン酸鉛： ｐｂ （Ｚ（、Ｔｉ ）
Ｏｓ）などの圧電セラミック材料でできていて、それぞ
れは限界値まで十分に分極されている。この分極の付与
は、各圧電板１ａ 、ｌｂ 、 ｌｃを個別に分極して
から被着せしめても、また、全体を焼成してから一斉に
分極するものであってもよい。圧電板１ａ 、 ｌｂ
、 ｌｃは比誘電率ａｓｓ、圧電率ｄｓｓ３合係数ｋ
１あるいはｇｌｓなどがそれぞれ異なり、このうちｄｉ
ｓ 、 ｇｓｓ、あるいはに等の値は良（最適化されて
いて、標準的な値に対して１／２〜２倍＠度の範囲に収
まる。一方、焼土シ結果としての誘電率−１ｍの値は、
ｐｚｔの種類により１０倍位も異なる。
圧電板１ａ 、ｌｂ 、 ｌｃの種類およびその厚さの
選択は、このトランスデユーサをステップドライブした
ときの多層圧電板１の内部での応力分布が、第５図中の
実線（ト）で示すように電極２から電極３に向って、す
なわち奥行き方向にその大きさが階段状に減少するよう
Ｋして行う。多層圧電板１０内部電界強度は各圧電板１
ａ、１ｂ、ＩＣの比誘電率＠ｌｓＫ反比例したものとな
るので、それぞれの比誘電率り３の値が適当に相違する
ように選択すれば、上述のような応力分布を得ることが
できる。
選択は、このトランスデユーサをステップドライブした
ときの多層圧電板１の内部での応力分布が、第５図中の
実線（ト）で示すように電極２から電極３に向って、す
なわち奥行き方向にその大きさが階段状に減少するよう
Ｋして行う。多層圧電板１０内部電界強度は各圧電板１
ａ、１ｂ、ＩＣの比誘電率＠ｌｓＫ反比例したものとな
るので、それぞれの比誘電率り３の値が適当に相違する
ように選択すれば、上述のような応力分布を得ることが
できる。
なお、応力値はｄＳＳの相違によっても変るものである
から、結局、ａｓｓとｄｌｌとを勘案した上で各圧電層
１ａ 、 ｌｂ 、 ｌｃの種類とその厚さを選択する
こととなる。
から、結局、ａｓｓとｄｌｌとを勘案した上で各圧電層
１ａ 、 ｌｂ 、 ｌｃの種類とその厚さを選択する
こととなる。
この階段状の応力分布は、第５図に点−一で示すファン
・デル拳ボープ的な応力分布に近似したものと考えるこ
とができ、そのインパルス応答ハ、１１６図に実線四で
示すようなものとなる。これをフィルタを用いて帯域制
限すれば、第６図に点線−）で示すようなファン・デル
・ホープ構造のインパルス応答とほぼ類似のものとなり
、実用上は十分に単一パルスの応答とみなすことができ
る。
・デル拳ボープ的な応力分布に近似したものと考えるこ
とができ、そのインパルス応答ハ、１１６図に実線四で
示すようなものとなる。これをフィルタを用いて帯域制
限すれば、第６図に点線−）で示すようなファン・デル
・ホープ構造のインパルス応答とほぼ類似のものとなり
、実用上は十分に単一パルスの応答とみなすことができ
る。
なお、ｐｚｔ族は、はとんど、
ｐＣφｓｏ ｘ １ｏ （ｇ／ｃｊ＠１ｌ）−・・・
材料の密ｔトタ Ｃ・・・材料の音速ｃ＃／Ｂ 程度にそろっているものであるから、音響学的には重層
体内部でのミスマツチングは大きな問題とならず、背面
を完全バッキング（マツチド負荷）するとともに、正面
を多層マツチング層によシ十分にマツチングして使用す
れば、はとんど整合条件は問題とはならない。
材料の密ｔトタ Ｃ・・・材料の音速ｃ＃／Ｂ 程度にそろっているものであるから、音響学的には重層
体内部でのミスマツチングは大きな問題とならず、背面
を完全バッキング（マツチド負荷）するとともに、正面
を多層マツチング層によシ十分にマツチングして使用す
れば、はとんど整合条件は問題とはならない。
多層圧電板１の内部に任意の応力分布を与える方法は本
実施例の方法Ｋｌｌられるものではなく、他にも種々の
方法がある。たとえは、異なる材料を何層かにつみ上げ
たものであってもよい。また、同一の材料を用いた薄い
圧電板にそれぞれ異なる分極の強さを付与して、これを
重ね合わせて被着せしめてもよい。しかしこの場合には
、中＠度に分極した材料は、その分極の＠度が不安定で
電気的刺激によシ増減しやすいという欠点がある。さら
に、同一材料であっても素材Ｏ組成を変えることＫより
、誘電率εａｓがほとんど同じでｄＳＳあるいはｇｏの
みが異なる材料を得ることができるので、これらを重層
することＫよっても目的を達成できる。
実施例の方法Ｋｌｌられるものではなく、他にも種々の
方法がある。たとえは、異なる材料を何層かにつみ上げ
たものであってもよい。また、同一の材料を用いた薄い
圧電板にそれぞれ異なる分極の強さを付与して、これを
重ね合わせて被着せしめてもよい。しかしこの場合には
、中＠度に分極した材料は、その分極の＠度が不安定で
電気的刺激によシ増減しやすいという欠点がある。さら
に、同一材料であっても素材Ｏ組成を変えることＫより
、誘電率εａｓがほとんど同じでｄＳＳあるいはｇｏの
みが異なる材料を得ることができるので、これらを重層
することＫよっても目的を達成できる。
また、多層圧電板内の応力分布は本実施例のようなファ
ン・デル・ホープ構造に近似させたものに限定されるも
のではなく、用途に応じた任意の応力分布が可能である
。たとえば、多層圧電板内の中央部分の応力が強くなる
ようなｅｘｐ＜ｘ ＞の形に近似させることも可能であ
る。また、多層圧電板内の中央部分に高電位側の電極を
、その両面Ｋ１１ｌ地電極を設けて、高電位側電極の両
側に任意の応力分布が配置されるようＫすれば、種々の
偶関数状、奇関数状、あるいは周期性の応力発生分、１
１を得ることができる。
ン・デル・ホープ構造に近似させたものに限定されるも
のではなく、用途に応じた任意の応力分布が可能である
。たとえば、多層圧電板内の中央部分の応力が強くなる
ようなｅｘｐ＜ｘ ＞の形に近似させることも可能であ
る。また、多層圧電板内の中央部分に高電位側の電極を
、その両面Ｋ１１ｌ地電極を設けて、高電位側電極の両
側に任意の応力分布が配置されるようＫすれば、種々の
偶関数状、奇関数状、あるいは周期性の応力発生分、１
１を得ることができる。
さらに、圧電板１ａ 、 ｌｂ 、 ｌｃの材料は、い
わゆる強誘電体圧電材料であれば何であってもよいし、
本発明圧電トランスデユーサをたとえば探触子等に実装
するに際しての実施態様、すなわち圧電板の加工形状や
重層する圧電板の数、電極の形状や配置位置や数、音響
インピーダンスの整合構造などは本実施例に制＠される
ものでないことは勿論のことである。
わゆる強誘電体圧電材料であれば何であってもよいし、
本発明圧電トランスデユーサをたとえば探触子等に実装
するに際しての実施態様、すなわち圧電板の加工形状や
重層する圧電板の数、電極の形状や配置位置や数、音響
インピーダンスの整合構造などは本実施例に制＠される
ものでないことは勿論のことである。
次に上述の多層圧電トランスデユーサを製造する本発明
製造方法について説明する。
製造方法について説明する。
セラミックは、一般には最終焼成の段階で、原料をバイ
ンダー（結合剤）と混ぜ合わせた＃！ｊ物状の中間原料
に仕上げ、これを仮焼きして固めた上で本焼きする。最
終的な製品を板状のものとするには、この練ｐ物状の中
間原料の段階で薄いシート状のものに予備成形すること
が一般であや、このシート状の中間原料はグリーンシー
トと呼ばれている。なお、製品の大略の外周形状は、こ
のグリーンシートの段階で打抜き加工やプレス加工をす
るなとして得る。またその厚さはシート自身の成形（カ
レンダー成形）の犀さにより決める。
ンダー（結合剤）と混ぜ合わせた＃！ｊ物状の中間原料
に仕上げ、これを仮焼きして固めた上で本焼きする。最
終的な製品を板状のものとするには、この練ｐ物状の中
間原料の段階で薄いシート状のものに予備成形すること
が一般であや、このシート状の中間原料はグリーンシー
トと呼ばれている。なお、製品の大略の外周形状は、こ
のグリーンシートの段階で打抜き加工やプレス加工をす
るなとして得る。またその厚さはシート自身の成形（カ
レンダー成形）の犀さにより決める。
本発明製造方法は、複数の圧電板の重層を上述のセラミ
ック・グリーンシートの段階で行い、この後に焼成して
多層圧電板を得“るものであり、この後は従来の単板均
一材料圧電素子の製造ニーと全く同様ＫＭｌｊシ扱う。
ック・グリーンシートの段階で行い、この後に焼成して
多層圧電板を得“るものであり、この後は従来の単板均
一材料圧電素子の製造ニーと全く同様ＫＭｌｊシ扱う。
多層圧電板への分極の付与は、各層の圧電板に同時に行
うことＫなる。なお、この多層圧電板をグイシングして
アレイとすることも勿論可能である。
うことＫなる。なお、この多層圧電板をグイシングして
アレイとすることも勿論可能である。
多層圧電トランスデユーサの製造方法としては他にも種
々の方法があシ、たとえば、複数の圧電板を別々に焼成
して作製し、これに分極をそれぞれ付与した後に重層し
て接着剤で接着するなどの方法がある。
々の方法があシ、たとえば、複数の圧電板を別々に焼成
して作製し、これに分極をそれぞれ付与した後に重層し
て接着剤で接着するなどの方法がある。
この方法では、＊ｍの電気的音響学的な確実さおよび接
着層の厚みが問題となる。すなわち、たとえばエポキシ
等の接着剤の誘電率は圧電セラミックに比べてはるかに
小さいものであるから、それがわずかの厚さであっても
、そこで多層圧電板に印加される電圧の大部分を負担し
てしまう。このため、重層工程においては、接着層を挾
みながらも、圧電板同志の表面凹凸部分が無数の点で接
触するようＫしなければならず、多層圧電板に相轟強い
押圧力を均等に印加しつつ接着剤を固化させなければな
らず、その際ひびわれなとの仕損じを生じやすい。また
気泡の混入を防ぐ必要があるから真空中で作業を行なわ
なければならず、重層作業は極めて厄介なものになる。
着層の厚みが問題となる。すなわち、たとえばエポキシ
等の接着剤の誘電率は圧電セラミックに比べてはるかに
小さいものであるから、それがわずかの厚さであっても
、そこで多層圧電板に印加される電圧の大部分を負担し
てしまう。このため、重層工程においては、接着層を挾
みながらも、圧電板同志の表面凹凸部分が無数の点で接
触するようＫしなければならず、多層圧電板に相轟強い
押圧力を均等に印加しつつ接着剤を固化させなければな
らず、その際ひびわれなとの仕損じを生じやすい。また
気泡の混入を防ぐ必要があるから真空中で作業を行なわ
なければならず、重層作業は極めて厄介なものになる。
また、別々に焼成した圧電板を低融点ガラス粉末により
熱−着する方法もあるが、上述同様の配慮が必要であり
、重層作業が容品ではない。
熱−着する方法もあるが、上述同様の配慮が必要であり
、重層作業が容品ではない。
本発明製造方法によれば、これらＯ欠点を解決でき、極
めて簡単に重層作ａｔ行える。
めて簡単に重層作ａｔ行える。
本発明の多層圧電トランスデユーサによれｄ、種々の目
的に応じた任意の応力分布を多層圧電板内に容ｊ＋に実
現できる。たとえば、広帯域の単一パルスとなるインパ
ルス応答が欲しい場合には応力分布をファン・デル・ボ
ーブ的なものとすればよい。そして、このトランスデユ
ーサは、そ０１４１用技法、すなわち使用する電子−路
、探触子等の音響学的設計、素材の加工・組立て作Ｉｌ
勢が従来のトランスデユーサと本質的に変わることがな
く、汎用性がある。
的に応じた任意の応力分布を多層圧電板内に容ｊ＋に実
現できる。たとえば、広帯域の単一パルスとなるインパ
ルス応答が欲しい場合には応力分布をファン・デル・ボ
ーブ的なものとすればよい。そして、このトランスデユ
ーサは、そ０１４１用技法、すなわち使用する電子−路
、探触子等の音響学的設計、素材の加工・組立て作Ｉｌ
勢が従来のトランスデユーサと本質的に変わることがな
く、汎用性がある。
また、本発明の製造方法によれば、上述のトラ１
ンスデューサを焼成後におけ゛る厄介な重層作業をする
ことな（簡単に、しかも量産的に製造することができる
。
ンスデューサを焼成後におけ゛る厄介な重層作業をする
ことな（簡単に、しかも量産的に製造することができる
。
嬉１１１は従来の圧電素子の応力分布図。
１ｇ２１１は従来の圧電素子のインノくルス応答特性図
。 １１１３図は従来の圧電素子の周波数特性図。 第４図は本発明実施例の多層圧電トランメデューナＯ儒
断面図。 １１５図は実施例トランスデユーサの応力分布図。 １１４図は実施例トランスデユーサのインノ（ルス応答
特性図。 １・・・多層圧電板、ｌａ 、ｌｂ 、 ｌｃ −圧電
板、２．３・−・電極。 特許出願人株式会社横河電Ｉｌ製作所 代履人 弁場士井 出 直 孝 第２図 尾３品 九５図 九６図
。 １１１３図は従来の圧電素子の周波数特性図。 第４図は本発明実施例の多層圧電トランメデューナＯ儒
断面図。 １１５図は実施例トランスデユーサの応力分布図。 １１４図は実施例トランスデユーサのインノ（ルス応答
特性図。 １・・・多層圧電板、ｌａ 、ｌｂ 、 ｌｃ −圧電
板、２．３・−・電極。 特許出願人株式会社横河電Ｉｌ製作所 代履人 弁場士井 出 直 孝 第２図 尾３品 九５図 九６図
Claims (4)
- （１） ＩＩ数の圧電板が重層され、これらの圧電板
に電界【付毒したときに発生する応力がそれぞれ異なる
ように構成された多層圧電トランスデヱーす。 - （２）複数の圧電板は誘電率がそれぞれ異なる圧電材料
からなシ、この誘電率の相違に起因してこれらの圧電板
に発生する応力が異なる特許請求の範囲第（１）項に記
載の多層圧電トランスデユーサ。 - （３）複数の圧電板は、付４された分極の強さがそれぞ
れ異なる圧電材料からなり、この分極の強さの相違に起
因してこれらの圧電板に発生する応力が異なる特許請求
の範ｉ！ｌ ＠ ＋１１項に記載の多層圧電トランスデ
ユーサ。 - （４）複数のセラミックーグリーンシートを重層する工
程と、このグリーンシートを焼成する１薯とを含む多層
圧電トランスデユーサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051650A JPS58170200A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 多層圧電トランスデュ−サとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051650A JPS58170200A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 多層圧電トランスデュ−サとその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58170200A true JPS58170200A (ja) | 1983-10-06 |
| JPS6410998B2 JPS6410998B2 (ja) | 1989-02-22 |
Family
ID=12892735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57051650A Granted JPS58170200A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 多層圧電トランスデュ−サとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58170200A (ja) |
Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| US5126617A (en) * | 1987-11-09 | 1992-06-30 | Texas Instruments Incorporated | Cylinder pressure sensor for an internal combustion engine |
| WO2002047432A1 (fr) * | 2000-12-05 | 2002-06-13 | Sigeyasu Isida | Emetteur/recepteur d'ondes capable d'emettre une pluralite de frequences |
| US6628047B1 (en) | 1993-07-15 | 2003-09-30 | General Electric Company | Broadband ultrasonic transducers and related methods of manufacture |
| JP2016145732A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子及び超音波探傷システム |
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| JPS5234196A (en) * | 1975-09-09 | 1977-03-15 | Ca Atomic Energy Ltd | Connection configuration for double temperature isotope exchanging process |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051650A patent/JPS58170200A/ja active Granted
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| Publication number | Publication date |
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| JPS6410998B2 (ja) | 1989-02-22 |
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