JPS58172837U - 分光測定装置 - Google Patents

分光測定装置

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Publication number
JPS58172837U
JPS58172837U JP7072582U JP7072582U JPS58172837U JP S58172837 U JPS58172837 U JP S58172837U JP 7072582 U JP7072582 U JP 7072582U JP 7072582 U JP7072582 U JP 7072582U JP S58172837 U JPS58172837 U JP S58172837U
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JP
Japan
Prior art keywords
scanning
wavelength
photodiode array
spectrometer
interference filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP7072582U
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English (en)
Inventor
加藤　「巌」
園部　茂
新井　要次
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP7072582U priority Critical patent/JPS58172837U/ja
Publication of JPS58172837U publication Critical patent/JPS58172837U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の分光膜厚測定法の概略図、第２図はＰＤ
Ａの構成図、第３図は可変干渉フィルタの構成図、第４
図は本考案の１実施例説明図、第５図は本考案の他の実
施例説明図である。 １・・・・・・光源、２・・・・・・放射光、１１・・
・・・・試料、２９・・・・・・集光レンズ、３０・・
・・・・ハーフミラ−１３１・・・・・・反射光、３２
・・・・・・集光レンズ、３３・・・・・・コリ゛メー
タレンズ、３４・・・・・・円筒レンズ、３５・・・・
・・可変干渉フィルタ。 ｑ　　６　　　−１ ］　　　　　　　　　　　　　　　　［ゴ＝に＝＝１・
８１、ニゞ２り〃

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 自己走査型ホトダイオードアレイ（以下ＰＤＡと略記す
    る）を用いた透明膜の分光膜厚測定において、可変干渉
    フィルタによって測定光の波長分離を行い、上記ホトダ
    イオードアレイを走査することによって波長走査を行う
    ようにしたことを特徴とする分光測定装置。
JP7072582U 1982-05-17 1982-05-17 分光測定装置 Pending JPS58172837U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7072582U JPS58172837U (ja) 1982-05-17 1982-05-17 分光測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7072582U JPS58172837U (ja) 1982-05-17 1982-05-17 分光測定装置

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Publication Number Publication Date
JPS58172837U true JPS58172837U (ja) 1983-11-18

Family

ID=30080380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7072582U Pending JPS58172837U (ja) 1982-05-17 1982-05-17 分光測定装置

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