JPS58175543U - スピンナ装置 - Google Patents
スピンナ装置Info
- Publication number
- JPS58175543U JPS58175543U JP7298582U JP7298582U JPS58175543U JP S58175543 U JPS58175543 U JP S58175543U JP 7298582 U JP7298582 U JP 7298582U JP 7298582 U JP7298582 U JP 7298582U JP S58175543 U JPS58175543 U JP S58175543U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- spinner
- resist
- back surface
- spinner device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案スピンナ装置の側面図、第２図は本考案
スピンナ装置の上面図である。 １・・・・・・真空チャック、２・・・・・・ウェハ、
３・・・・・・スピンナ、４・・・・・・ノズル。
スピンナ装置の上面図である。 １・・・・・・真空チャック、２・・・・・・ウェハ、
３・・・・・・スピンナ、４・・・・・・ノズル。
Claims (1)
- ウェハを吸着する真空チャックと、この真空チャックが
上端に取り付けられたスピンナと、から成り、前記真空
チャックで裏面が吸着されたウェハを前記スピンナで回
転せしめるスピンナ装置において前記スピンナの周囲に
リング状のノズルを設け、レジスト、現像液等の溶液を
前記ウェハ上に吐出してレジストの形成や該レジストの
現像を行う際に、前記ノズルからウェハ裏面に洗浄液を
噴出し、前記溶液がウェハ裏面に回り込むのを防ぐこと
を特徴としたスピンナ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7298582U JPS58175543U (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | スピンナ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7298582U JPS58175543U (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | スピンナ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58175543U true JPS58175543U (ja) | 1983-11-24 |
Family
ID=30082513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7298582U Pending JPS58175543U (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | スピンナ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58175543U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49116977A (ja) * | 1973-03-09 | 1974-11-08 | ||
| JPS52144277A (en) * | 1976-05-27 | 1977-12-01 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacturing device of semiconductor |
-
1982
- 1982-05-18 JP JP7298582U patent/JPS58175543U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49116977A (ja) * | 1973-03-09 | 1974-11-08 | ||
| JPS52144277A (en) * | 1976-05-27 | 1977-12-01 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacturing device of semiconductor |
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