JPS63140623U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63140623U JPS63140623U JP1987032439U JP3243987U JPS63140623U JP S63140623 U JPS63140623 U JP S63140623U JP 1987032439 U JP1987032439 U JP 1987032439U JP 3243987 U JP3243987 U JP 3243987U JP S63140623 U JPS63140623 U JP S63140623U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- bottle
- filter
- pipe
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す斜視図、
第２図、第３図はレジストビンの詳細図、第４図
、第５図は本考案の第２の実施例を示す外観図、
第６図は同断面図、第７図は従来例を示す斜視図
である。 １……レジストビン、２……フイルタ、３……
パイプ、４……キヤツプ、Ｍ……Ｌ型溝、８……
可撓管。
第２図、第３図はレジストビンの詳細図、第４図
、第５図は本考案の第２の実施例を示す外観図、
第６図は同断面図、第７図は従来例を示す斜視図
である。 １……レジストビン、２……フイルタ、３……
パイプ、４……キヤツプ、Ｍ……Ｌ型溝、８……
可撓管。
Claims (1)
- フイルタを通して吸い込んだレジストビン内の
レジスト一定量を半導体装置製造用ウエーハの表
面に滴下塗布するレジスト塗布装置において、レ
ジストビン内に挿入するパイプを着脱可能に嵌合
保持する溝を該レジストビンのキヤツプに設け、
該パイプと前記フイルタとの間を可撓管で結合し
たことを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987032439U JPH0342676Y2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987032439U JPH0342676Y2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140623U true JPS63140623U (ja) | 1988-09-16 |
| JPH0342676Y2 JPH0342676Y2 (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=30839119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987032439U Expired JPH0342676Y2 (ja) | 1987-03-05 | 1987-03-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0342676Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015228437A (ja) * | 2014-06-02 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造用処理液配管継手 |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP1987032439U patent/JPH0342676Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015228437A (ja) * | 2014-06-02 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造用処理液配管継手 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342676Y2 (ja) | 1991-09-06 |