JPS58178577A - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
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- JPS58178577A JPS58178577A JP6094782A JP6094782A JPS58178577A JP S58178577 A JPS58178577 A JP S58178577A JP 6094782 A JP6094782 A JP 6094782A JP 6094782 A JP6094782 A JP 6094782A JP S58178577 A JPS58178577 A JP S58178577A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、特に同軸型の放電１ｌｉＩｌ起楯ＩＭ望炭
酸がスレーザ発振器に関し、レーザ出力を向１シｉこレ
ーサ゛琵ｌｋｌ！装置に関する。
酸がスレーザ発振器に関し、レーザ出力を向１シｉこレ
ーサ゛琵ｌｋｌ！装置に関する。
一般に、同軸型のｌｌｉ電励起ｔｌｉ １ｍヘリ炭酸ガ
ス（Ｃ０２）レーリ゛Ｒ＆器（以下中にＩ’ Ｃ０２レ
ーザ発振器」と呼ぶ）の効率は低く、そのため、レーザ
発振４長を増加する蔦しくは放電ビーム径を大きくする
等の対策によりレーリ一体積を増加して、レーザ出力の
向トをら１つ−ＣいＩこ。
ス（Ｃ０２）レーリ゛Ｒ＆器（以下中にＩ’ Ｃ０２レ
ーザ発振器」と呼ぶ）の効率は低く、そのため、レーザ
発振４長を増加する蔦しくは放電ビーム径を大きくする
等の対策によりレーリ一体積を増加して、レーザ出力の
向トをら１つ−ＣいＩこ。
しかしながら、従来のレーザ発振器の冷却については、
レーＩｆ 管−（゛あるパイレックスの水冷又は４イル
ジｔ・１１ツトの採用により七１なっていたが、この７
］ ＞１では、レーザ出力向上のため、−１述したよう
なス４策によりレーザ体積を増加した場合には、ＣＯ２
ガスを含むシー１１′Ａ体の湿度がＣＯ２し＋ Ｑ’発
振器内におりる放電ｆ１！Ｉ域の該レーザ気体の）流側
にＪメいて）Ｍし、この温度］−譬による熱のｔこめ、
ＣＯ２分子が上位レーザ準位に励起されてしまい、励起
分子の反転弁孔率が低下するという問題がある。
レーＩｆ 管−（゛あるパイレックスの水冷又は４イル
ジｔ・１１ツトの採用により七１なっていたが、この７
］ ＞１では、レーザ出力向上のため、−１述したよう
なス４策によりレーザ体積を増加した場合には、ＣＯ２
ガスを含むシー１１′Ａ体の湿度がＣＯ２し＋ Ｑ’発
振器内におりる放電ｆ１！Ｉ域の該レーザ気体の）流側
にＪメいて）Ｍし、この温度］−譬による熱のｔこめ、
ＣＯ２分子が上位レーザ準位に励起されてしまい、励起
分子の反転弁孔率が低下するという問題がある。
−ｈ、前記ＣＯ２レ一１１発振器（・は、本質的な問題
としくｊ記放電領域において、 Ｃ０２；” Ｇ Ｏ＋ Ｏ なる化学式〇示されるＣＯ２分子の解離により、レーザ
出力が低下するという問題があり、これについては、Ｃ
Ｏ２レーザ発振器内のｆｌｉ電領域中（二ｄハＪるＣ
Ｏ２分イの温度を均一化ζることにより抑制することが
できるが、上述したようにレーザ体積を増加してレーザ
出力を向トしようとりる場合には、前述したような冷却
方法によって１よ、１記ＣＯ２分子の温度の均一化を計
ることは困ガであるという問題がある。
としくｊ記放電領域において、 Ｃ０２；” Ｇ Ｏ＋ Ｏ なる化学式〇示されるＣＯ２分子の解離により、レーザ
出力が低下するという問題があり、これについては、Ｃ
Ｏ２レーザ発振器内のｆｌｉ電領域中（二ｄハＪるＣ
Ｏ２分イの温度を均一化ζることにより抑制することが
できるが、上述したようにレーザ体積を増加してレーザ
出力を向トしようとりる場合には、前述したような冷却
方法によって１よ、１記ＣＯ２分子の温度の均一化を計
ることは困ガであるという問題がある。
この発明は、上記に鑑みでなされたしの（゛、その目的
とするところは、同軸型の放電励起循環型レーザ発振器
の出力を向上することにある。
とするところは、同軸型の放電励起循環型レーザ発振器
の出力を向上することにある。
、１記［１的を達成するために、この弁明番、裏、スパ
イラル状に形成したレーザ管と、該レーザ管の外周に設
（〕られ１記レーザ管周囲を通流りる冷７ＪＩ媒体のガ
イドとなる冷ｆｊｌ管と、前記レーザ“管内におｔＪる
前記レーザ気体の通流り流部に設置Ｊられ該シー１丁気
体の旋回流を発生するシー１ｊ″気体旋回流発生手段と
、前記レー＋ｆｍ内にＪ＞ＬＪる前記レーザ気体の通流
干流部に設置Ｊられ解離したレーザ気体を再結合するレ
ーザ気体劣化防１１手段とを科する同軸型の故電１１！
Ｊ起循環型レーザ発振器を形成し、前記レーザ気体旋回
流発生手段によって発生するレーザ気体の旋回流および
前記スパイラル状のレーザ管との相乗作用で・発生する
該レーザ気体の乱流により、シー４１管内の放電領域に
ＩＮノるレーザ気体のＦＭ度を均一化にしく、該レーザ
気体の冷却効率を向１りると共にレーザ気体の＠ｍを防
止し、さらに、上述しｔこ対策に加えてレーザ発振器の
冷ＪＪＩについてｔま、レーザ管の周囲を通流する冷却
用の絶縁Ａイルが上記レーザ管のスパイラル形状により
乱流することに五つＣ高効率でレーザ管壁との熱交換が
できるようにし、レーザ気体の解離防什については、前
記レーザ気体劣化防止手段によつＣ効率を上げるように
したことを要旨とす゛る。
イラル状に形成したレーザ管と、該レーザ管の外周に設
（〕られ１記レーザ管周囲を通流りる冷７ＪＩ媒体のガ
イドとなる冷ｆｊｌ管と、前記レーザ“管内におｔＪる
前記レーザ気体の通流り流部に設置Ｊられ該シー１丁気
体の旋回流を発生するシー１ｊ″気体旋回流発生手段と
、前記レー＋ｆｍ内にＪ＞ＬＪる前記レーザ気体の通流
干流部に設置Ｊられ解離したレーザ気体を再結合するレ
ーザ気体劣化防１１手段とを科する同軸型の故電１１！
Ｊ起循環型レーザ発振器を形成し、前記レーザ気体旋回
流発生手段によって発生するレーザ気体の旋回流および
前記スパイラル状のレーザ管との相乗作用で・発生する
該レーザ気体の乱流により、シー４１管内の放電領域に
ＩＮノるレーザ気体のＦＭ度を均一化にしく、該レーザ
気体の冷却効率を向１りると共にレーザ気体の＠ｍを防
止し、さらに、上述しｔこ対策に加えてレーザ発振器の
冷ＪＪＩについてｔま、レーザ管の周囲を通流する冷却
用の絶縁Ａイルが上記レーザ管のスパイラル形状により
乱流することに五つＣ高効率でレーザ管壁との熱交換が
できるようにし、レーザ気体の解離防什については、前
記レーザ気体劣化防止手段によつＣ効率を上げるように
したことを要旨とす゛る。
以下、回向を用いて、この発明の実施例について説明り
る。
る。
第”［１は、この発明の実施例を示すしので、ＣＯ２レ
ーザ発振器１は大別してり７ミノー用つ４−タージャケ
ット部５、アノードリンバ部７、スパイラルチューブチ
ェンバ部９、カッ−ドブ１ンバ部１１、レーザ気体劣化
防止手段を構成づる触媒室１３、出力ミラー至１５を右
する構成Ｃある。
ーザ発振器１は大別してり７ミノー用つ４−タージャケ
ット部５、アノードリンバ部７、スパイラルチューブチ
ェンバ部９、カッ−ドブ１ンバ部１１、レーザ気体劣化
防止手段を構成づる触媒室１３、出力ミラー至１５を右
する構成Ｃある。
リアミラー用ウォータージ１ンリット部５は、１００％
の光反射率を有するリアミラー１７、ウォータージャケ
ット１９、ベローズ２１、該り７ミラー１７の光軸調整
用マイクロヘッド２３をイｉする。
の光反射率を有するリアミラー１７、ウォータージャケ
ット１９、ベローズ２１、該り７ミラー１７の光軸調整
用マイクロヘッド２３をイｉする。
７ノ一ドチエンバ部７は、アノードリンク２５、該アノ
ードリング２５に給電りるアノード給゛電碍子（第２図
参照）２７、高抵抗（・設置され１記アノードリンク２
５との間でグロー放電を発／１さＵてＧ Ｏ２ガスを含
むレーザ気体（以十甲に［レーザ気体］と呼ぶ）の予備
電離をｌｒない、［記７ノードリング２５と後述するカ
ソードリング４７間の相対的な絶縁耐圧を下げる働きを
づる１へりカー電極２９、該トリガー電極２５）に゛出
線を接続するための１−リガー電惨接続碍ｆ３１、レー
ザ気１本導入口３３とを１１する。
ードリング２５に給電りるアノード給゛電碍子（第２図
参照）２７、高抵抗（・設置され１記アノードリンク２
５との間でグロー放電を発／１さＵてＧ Ｏ２ガスを含
むレーザ気体（以十甲に［レーザ気体］と呼ぶ）の予備
電離をｌｒない、［記７ノードリング２５と後述するカ
ソードリング４７間の相対的な絶縁耐圧を下げる働きを
づる１へりカー電極２９、該トリガー電極２５）に゛出
線を接続するための１−リガー電惨接続碍ｆ３１、レー
ザ気１本導入口３３とを１１する。
なお、前記アノードリンクＨ２５４，ＬレーＩＪ−気体
旋回法定９手段を構成するしので、第３図（こｈＸす／
ＩＩＩく、レーザ気体導入］］３３から（矢印方向）流
入しできたレーザ気体が通過後に旋回）ｆス流と４（る
ように、シリンダ状の本体にブレード３５）が形成され
、また内面部２５−ａにＩＩＭ極が形成さｉｔ ／こ構
成となっており、固定用１ラケツト３７によつ°（ＣＯ
２レーザ発振器１本体に取り（＝Ｊ ４〕固定さｔしる
。また、前記７ノード電神２５１．ｔ、内面部２５−ａ
の陽極以外の部分については、絶縁の−１−ディング（
第３図中Ｘ印の部分）が簾されＣいる。
旋回法定９手段を構成するしので、第３図（こｈＸす／
ＩＩＩく、レーザ気体導入］］３３から（矢印方向）流
入しできたレーザ気体が通過後に旋回）ｆス流と４（る
ように、シリンダ状の本体にブレード３５）が形成され
、また内面部２５−ａにＩＩＭ極が形成さｉｔ ／こ構
成となっており、固定用１ラケツト３７によつ°（ＣＯ
２レーザ発振器１本体に取り（＝Ｊ ４〕固定さｔしる
。また、前記７ノード電神２５１．ｔ、内面部２５−ａ
の陽極以外の部分については、絶縁の−１−ディング（
第３図中Ｘ印の部分）が簾されＣいる。
スパイラルチューブチェンバ部９は、スパイラル状に形
成された熱伝導率の＾い金属材ｈ１らなるレーザ管３９
と、該レーザ管３９の外周に設【Ｊられた冷却管４１と
を４ｊ？ｊる（第５図参照）・０なお、上紀冷ん１管４
１には、冷ｆＪＩ用の絶縁Ａイルの流入［１４３および
流出【］４５が形成されている。
成された熱伝導率の＾い金属材ｈ１らなるレーザ管３９
と、該レーザ管３９の外周に設【Ｊられた冷却管４１と
を４ｊ？ｊる（第５図参照）・０なお、上紀冷ん１管４
１には、冷ｆＪＩ用の絶縁Ａイルの流入［１４３および
流出【］４５が形成されている。
カソード）Ｉンバ部１１は、シリンダ状の力゛ノ−ドリ
ンク４７と、該カソードリング４７に給電する陰極用給
電碍子４８（第４図参照）とをＴｈ？する。なお、該カ
ソードリング４７は、ぞの内面部４７−ａが陰極になっ
ており、固定用Ｊシクット４０によってＣＯ２レーザ発
振器１本体に取すイ・口Ｊ固定されている（第６図参照
）。なお、１配向面部４７−ａ以外は、絶縁のコーディ
ングが施されている触媒室１３は、レーザ気体排出［１
５１部に形成されでおり、レーザ管３９内の放電領域を
流れでいるレーザ気体のうち、解離したＣ０２分子４触
媒により酸化・再結合し、Ｃ０２Ｈスの劣化を抑！＋１
する油付アルミナを内蔵する触ＩＩｉ、部５２を石する
。
ンク４７と、該カソードリング４７に給電する陰極用給
電碍子４８（第４図参照）とをＴｈ？する。なお、該カ
ソードリング４７は、ぞの内面部４７−ａが陰極になっ
ており、固定用Ｊシクット４０によってＣＯ２レーザ発
振器１本体に取すイ・口Ｊ固定されている（第６図参照
）。なお、１配向面部４７−ａ以外は、絶縁のコーディ
ングが施されている触媒室１３は、レーザ気体排出［１
５１部に形成されでおり、レーザ管３９内の放電領域を
流れでいるレーザ気体のうち、解離したＣ０２分子４触
媒により酸化・再結合し、Ｃ０２Ｈスの劣化を抑！＋１
する油付アルミナを内蔵する触ＩＩｉ、部５２を石する
。
出力ミラー室１５は、２０％の光透過率をｊｊ４るレー
ザ出力ミラー５３、ベローズｒ、 ｌ）、 ％ｌレーＩ
Ｊ’出力ミラー５３の光軸調整用マイク１１ヘツ１へか
ｂ７を有Ｊる。
ザ出力ミラー５３、ベローズｒ、 ｌ）、 ％ｌレーＩ
Ｊ’出力ミラー５３の光軸調整用マイク１１ヘツ１へか
ｂ７を有Ｊる。
なお、参照番目５９は、グ１］−敢°市を弁１１さＵる
ために電極間に高電圧を印加した時の回路の「ノンター
ンを切る為の絶縁カフ−Ｃ゛ある。
ために電極間に高電圧を印加した時の回路の「ノンター
ンを切る為の絶縁カフ−Ｃ゛ある。
次に、この実簾例の作用について説明する。
まず、Ｃ０２レーザ発振器１の作紡概髄を述ぺると、レ
ーＩｆ気体は、レー＋Ｊ’気体導入１１３３−→アノー
ドリング２５→レーザｔｓｒ 、３９ ｔカソードリン
グ４７→触蝋部５２−少し−リ゛気体排出口５１→レ−
１７”気体導入口３３を１ルーｌとしＣ高速′ｃ−ＷＩ
環しており、このレーザ気体の高速循環状態においてレ
ーザ管３９内でノ２ノー１へリング２５とカソードリン
グ４７の闇で放電を１−■なうと、リアミラー１７とレ
ーザ出力ミラー５３の間で光増幅が行なわれ、該光増幅
が所定のｌｌｌｌｌｇＩａを越えるとレーザ出力が得ら
れる。
ーＩｆ気体は、レー＋Ｊ’気体導入１１３３−→アノー
ドリング２５→レーザｔｓｒ 、３９ ｔカソードリン
グ４７→触蝋部５２−少し−リ゛気体排出口５１→レ−
１７”気体導入口３３を１ルーｌとしＣ高速′ｃ−ＷＩ
環しており、このレーザ気体の高速循環状態においてレ
ーザ管３９内でノ２ノー１へリング２５とカソードリン
グ４７の闇で放電を１−■なうと、リアミラー１７とレ
ーザ出力ミラー５３の間で光増幅が行なわれ、該光増幅
が所定のｌｌｌｌｌｇＩａを越えるとレーザ出力が得ら
れる。
一方、［述したようなＣＯ２レ一ザ発掘器１の作動中お
いて、レーザ気体導入［１３３から導入されたレーザ気
体は、７ノードリング２５に形成されたブレード３５の
ひねり角度とひねり方′向によって、右旋同名しくは右
旋回の旋回ガス流とな−）てレーザ管３９内に流出され
、１つレーザ管３９の管壁がスパイラル形状となっＣい
るため、それらの相乗作用により乱流状態となって該レ
ーザ管３９内をカソードリング４７に向って高速で流れ
る。
いて、レーザ気体導入［１３３から導入されたレーザ気
体は、７ノードリング２５に形成されたブレード３５の
ひねり角度とひねり方′向によって、右旋同名しくは右
旋回の旋回ガス流とな−）てレーザ管３９内に流出され
、１つレーザ管３９の管壁がスパイラル形状となっＣい
るため、それらの相乗作用により乱流状態となって該レ
ーザ管３９内をカソードリング４７に向って高速で流れ
る。
一般に、レーザ気体のレーザ管内にＪ月Ｊる流速が低下
すると共に熱抵抗が増加しＣ１熱交換の９ｊ率が十ｈΣ
るが、上述の如く、積極的にレーザ管３９内にレーザ気
体の乱流を発生させることによって、レーザ気体とレー
ザ管３９との相灼速麿が増加し、１つレーザ管３９と冷
ｆＪｌ管４１との間を通流する冷却用の絶縁オイルにつ
いてもレーＩＪ’菅３９のスパイラル形状のために乱流
状態となって、やはりレーザ管３９との相対速度が速く
なるのＣ１熱交換の効率が−Ｆがる。また、上述のごと
きレーザ気体の乱流状態においては、レーザ管３９内の
光軸に沿ってレーザ気体の４−流側から下流側に〒る断
面いずれにおいても、１記し−リ゛気体の乱流度は、は
ぼ均一化されるのぐ、放電領域中のレーザ気体の温度す
均一化づることがでさる。
すると共に熱抵抗が増加しＣ１熱交換の９ｊ率が十ｈΣ
るが、上述の如く、積極的にレーザ管３９内にレーザ気
体の乱流を発生させることによって、レーザ気体とレー
ザ管３９との相灼速麿が増加し、１つレーザ管３９と冷
ｆＪｌ管４１との間を通流する冷却用の絶縁オイルにつ
いてもレーＩＪ’菅３９のスパイラル形状のために乱流
状態となって、やはりレーザ管３９との相対速度が速く
なるのＣ１熱交換の効率が−Ｆがる。また、上述のごと
きレーザ気体の乱流状態においては、レーザ管３９内の
光軸に沿ってレーザ気体の４−流側から下流側に〒る断
面いずれにおいても、１記し−リ゛気体の乱流度は、は
ぼ均一化されるのぐ、放電領域中のレーザ気体の温度す
均一化づることがでさる。
従って、レーザ気体の温度が放電領域の上流側において
」胃することによるｌ１ｉＩＪ起分子の反転分合１率の
低−トという問題にス・１しくは、狛にシー１１出力の
向Ｆのためにレーｉｆ体積を増加した場合でも、前記反
転か孔の減少を抑制づることができる。
」胃することによるｌ１ｉＩＪ起分子の反転分合１率の
低−トという問題にス・１しくは、狛にシー１１出力の
向Ｆのためにレーｉｆ体積を増加した場合でも、前記反
転か孔の減少を抑制づることができる。
一方、放電領域中の００２分−ｆの解離については、上
述した放電領域中でのレーザ気体の乱流により、該レー
ザ気体編麿の冷ＩＩ効率向Ｆおよび均一化がなされるの
で、抑制づることができるが、さらに、触媒部５２をレ
ーザ気体排出ｌ］５１に設４−Ｊたので−、レーザ気体
を湿麿が高い状態で通過させることが（き、従来のよう
にレーザ気体が放電部を通過後、相当の距離をＪ３いて
触媒部を設買していたことにより温度の低いレーザ“気
体を通過させていた場合に比べて、触媒効宋率が高く、
前記解離をより効果的に抑制できる。
述した放電領域中でのレーザ気体の乱流により、該レー
ザ気体編麿の冷ＩＩ効率向Ｆおよび均一化がなされるの
で、抑制づることができるが、さらに、触媒部５２をレ
ーザ気体排出ｌ］５１に設４−Ｊたので−、レーザ気体
を湿麿が高い状態で通過させることが（き、従来のよう
にレーザ気体が放電部を通過後、相当の距離をＪ３いて
触媒部を設買していたことにより温度の低いレーザ“気
体を通過させていた場合に比べて、触媒効宋率が高く、
前記解離をより効果的に抑制できる。
なお、レーザ管３９内のシー＋１気体の乱流用は、該レ
ーザ管３９に形成するスパイラル状の山と谷の大きさ、
山と山のピッチ、およびブレニド３５の形状によって変
えることができることは、言うまでもない。
ーザ管３９に形成するスパイラル状の山と谷の大きさ、
山と山のピッチ、およびブレニド３５の形状によって変
えることができることは、言うまでもない。
この実施例によれば、レープ管をスパイラル形状とし、
レーザ気体および上記レーザ“管と冷ＩＡ管との間を通
流する絶縁オイルが乱流状態で流れるようにすることに
よって、レーザ出力を向ｌづるためにレーザ体積を増加
した場合でも、放電領域中のレーザ気体の温度を均一化
で・きると几に、該レーザ気体の冷１１効率も向上でき
るの（′、放電領域中における励起分子の反転分布率の
低−トが抑制でき、また、放電領域中のＣＯ２分子の解
離については、レーザ気体を上述したように乱流状態（
流してＣＯ２分子の温度を均一化にづると共に、解離し
たＣＯ２分子を触媒に通して町結合するようにしたので
、抑制することができる。
レーザ気体および上記レーザ“管と冷ＩＡ管との間を通
流する絶縁オイルが乱流状態で流れるようにすることに
よって、レーザ出力を向ｌづるためにレーザ体積を増加
した場合でも、放電領域中のレーザ気体の温度を均一化
で・きると几に、該レーザ気体の冷１１効率も向上でき
るの（′、放電領域中における励起分子の反転分布率の
低−トが抑制でき、また、放電領域中のＣＯ２分子の解
離については、レーザ気体を上述したように乱流状態（
流してＣＯ２分子の温度を均一化にづると共に、解離し
たＣＯ２分子を触媒に通して町結合するようにしたので
、抑制することができる。
この発明は、前記特許請求の範囲の通りとしたので、同
軸型の放電励起循環型レーザ発振器のレーザ出力を向上
することができる。
軸型の放電励起循環型レーザ発振器のレーザ出力を向上
することができる。
第１図はＣＯ２レーザ発振器の仝体Ｉ！要を示す断面図
、第２図は第１図中のＡ−Ａ線断面図、第３図は７１ノ
ードリングの詳細図、第４図は第１図中のＢ−Ｂ線断面
図、第５図は第１図中のＣ０線ｌｌｉ曲図、第６図はカ
ソードリングの詳細図をホブものである。 （図の１要な部分を表わづｊ′３月の説明）１・・・Ｃ
０２レーザ発振器 ３９・・・レーザ管 ４１・・・冷却管２５・・
・アノードリング ５２・・・触媒部特工）出願人
株式会ネ１ ア マ ダ特ｊ出顧人 株
式会ネ１ 三協電機製作所第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 ４’／ ４’／
、第２図は第１図中のＡ−Ａ線断面図、第３図は７１ノ
ードリングの詳細図、第４図は第１図中のＢ−Ｂ線断面
図、第５図は第１図中のＣ０線ｌｌｉ曲図、第６図はカ
ソードリングの詳細図をホブものである。 （図の１要な部分を表わづｊ′３月の説明）１・・・Ｃ
０２レーザ発振器 ３９・・・レーザ管 ４１・・・冷却管２５・・
・アノードリング ５２・・・触媒部特工）出願人
株式会ネ１ ア マ ダ特ｊ出顧人 株
式会ネ１ 三協電機製作所第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 ４’／ ４’／
Claims (1)
- レーザ発振器の同軸方向にレーザ気体を通流させ該レー
ザ気体を放電励起してレーザを出力させる同軸型の放電
励起循環型レーザ発振器ぐあって、スパイラル状に形成
したレーザ管と、該レーザ管の外周に設けられ上記レー
ザ管周囲を通流する６月１媒体のガイドとなる冷却管と
、前記レーザ管内における前記レーザ気体の通流下流部
に設Ｇノられ該レーザ気体の旋回流を発生するレーザ気
体旋回流発生手段と、前記レーザ管内にお１ノる前記レ
ー音ｆ気体の通流下流部に設けられ解頗したレーザ気体
を自結合するレーザ気体劣化防１１−ｒ段とを自りるこ
と・を特徴どするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6094782A JPS58178577A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6094782A JPS58178577A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | レ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178577A true JPS58178577A (ja) | 1983-10-19 |
| JPS6230715B2 JPS6230715B2 (ja) | 1987-07-03 |
Family
ID=13157086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6094782A Granted JPS58178577A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178577A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60161687A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-23 | Daihen Corp | 高速軸流形レーザ発振器 |
| JPS6112089A (ja) * | 1984-06-16 | 1986-01-20 | トルンプフ・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー | 折り重ね光線路炭酸ガス・レーザー |
| JPS6428978A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Amada Co Ltd | High-speed axial flow type gas laser oscillator |
| JPH01286473A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Amada Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| WO2023188645A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 精電舎電子工業株式会社 | パルスガスレーザ装置 |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP6094782A patent/JPS58178577A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60161687A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-23 | Daihen Corp | 高速軸流形レーザ発振器 |
| JPS6112089A (ja) * | 1984-06-16 | 1986-01-20 | トルンプフ・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー | 折り重ね光線路炭酸ガス・レーザー |
| JPS6379387A (ja) * | 1984-06-16 | 1988-04-09 | トルンプフ・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー | 炭酸ガス・レーザー |
| JPS6428978A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Amada Co Ltd | High-speed axial flow type gas laser oscillator |
| JPH01286473A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Amada Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| WO2023188645A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 精電舎電子工業株式会社 | パルスガスレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6230715B2 (ja) | 1987-07-03 |
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