JPS5819014A - 弾性表面波共振装置 - Google Patents
弾性表面波共振装置Info
- Publication number
- JPS5819014A JPS5819014A JP11741481A JP11741481A JPS5819014A JP S5819014 A JPS5819014 A JP S5819014A JP 11741481 A JP11741481 A JP 11741481A JP 11741481 A JP11741481 A JP 11741481A JP S5819014 A JPS5819014 A JP S5819014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflectors
- surface acoustic
- sound absorbing
- acoustic wave
- absorbing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波共振装置に係わる。
従来、例えば容量型ビデオ・ディスク・プレーヤのピッ
クアップ回路における局部発振器には、主としてＬＣ型
発振子又は水晶発振子等が用いられていたが、これらは
調整を要スること及びてい倍を要すること等の難点があ
った。一方、これを弾性表面波共振子に置き換えると、
無調整、小型化が図られると共に、てい倍の必要もなく
なる利点がある。
クアップ回路における局部発振器には、主としてＬＣ型
発振子又は水晶発振子等が用いられていたが、これらは
調整を要スること及びてい倍を要すること等の難点があ
った。一方、これを弾性表面波共振子に置き換えると、
無調整、小型化が図られると共に、てい倍の必要もなく
なる利点がある。
しかるに、実際にかかる弾性表面波共振子な開発すると
、不必要なスプリアスが発生し、安定した発振を得るの
が困難であった。
、不必要なスプリアスが発生し、安定した発振を得るの
が困難であった。
弾性表面波共振子は、第１図に示すように圧電性基板（
１）の−主面上に於て１組あるいは２組（図示の例では
１組）のすだれ状電極（２）を有する変換器（３）を形
成すると共に、この変換器（３）を挾んでこれからの弾
性表面波が伝搬する方向の両側圧夫々複数の電極（４）
を有する反射器（５）及び（６）を形成して構成される
。この弾性表面波共振子（７）は、変換器（３）によっ
て発生された弾性表面波が反射器（５）及び（６）によ
って反射され、その反射波の位相が変換器（３）によっ
て発生された弾性表面波の位相と整合すれば共振する。
１）の−主面上に於て１組あるいは２組（図示の例では
１組）のすだれ状電極（２）を有する変換器（３）を形
成すると共に、この変換器（３）を挾んでこれからの弾
性表面波が伝搬する方向の両側圧夫々複数の電極（４）
を有する反射器（５）及び（６）を形成して構成される
。この弾性表面波共振子（７）は、変換器（３）によっ
て発生された弾性表面波が反射器（５）及び（６）によ
って反射され、その反射波の位相が変換器（３）によっ
て発生された弾性表面波の位相と整合すれば共振する。
しかるにこの時、変換器（３）に直交する弾性表面波の
他に成る角度をもった弾性表面波、あるいは反射器に直
交する反射波の他に成る角度をもった反射波が発生し、
共振、反共振の周波数特性に不要なリップルを生じさせ
、発振が不安定になることがあった。
他に成る角度をもった弾性表面波、あるいは反射器に直
交する反射波の他に成る角度をもった反射波が発生し、
共振、反共振の周波数特性に不要なリップルを生じさせ
、発振が不安定になることがあった。
本発明は、上述の点に鑑み、不要な成分を除去し、安定
な発振をする弾性表面波共振装置を提供するものである
。
な発振をする弾性表面波共振装置を提供するものである
。
本発明は、圧電性基板の一生面にすだれ状電極を有する
変換器とこの変換器からの弾性表面波が伝搬する方向に
設けられた複数の電極を有する１対の反射器とを有し、
夫々反射器の伝搬方向に沿った少くとも側部に吸音材層
を形成して成るもので、この吸音材層によって不要な成
分が除去され、安定した発振が得−られるものである。
変換器とこの変換器からの弾性表面波が伝搬する方向に
設けられた複数の電極を有する１対の反射器とを有し、
夫々反射器の伝搬方向に沿った少くとも側部に吸音材層
を形成して成るもので、この吸音材層によって不要な成
分が除去され、安定した発振が得−られるものである。
以下、本発明の実施例について説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す。本例においては、圧
電性基板例えば１２８°ＹＬｉＮｂ０３結晶板（１）の
−主面上にアルミニウムを１ｏｏｏ ｉ〜３ｏｏｏｚ程
度蒸着し、これをホトリゾグラフィーによって所定パタ
ーンに選択エツチングして、１組あるいは２組（本例で
は１組）のすだれ状電極（２）（ボンディングバット部
も含む）を有する変換器（３）と、この変換器（３）の
両側即ち変換器（３）からの弾性表面波の伝搬方向の両
側に位置する複数のストライブ状の電極（４）からなる
一対の反射器（５１（６１とを形成する〇反射器（５）
及び（６）の夫々の複数の電極（４）は両側を図示の如
く共通に接続してもよく、あるいは共通接続しない構成
とすることもできる。そして、両反射器（５）及び（６
］の伝搬方向に泊った少くとも両側に例えば厚さが０．
７〜０．８μの吸音材層（力を形成する。
電性基板例えば１２８°ＹＬｉＮｂ０３結晶板（１）の
−主面上にアルミニウムを１ｏｏｏ ｉ〜３ｏｏｏｚ程
度蒸着し、これをホトリゾグラフィーによって所定パタ
ーンに選択エツチングして、１組あるいは２組（本例で
は１組）のすだれ状電極（２）（ボンディングバット部
も含む）を有する変換器（３）と、この変換器（３）の
両側即ち変換器（３）からの弾性表面波の伝搬方向の両
側に位置する複数のストライブ状の電極（４）からなる
一対の反射器（５１（６１とを形成する〇反射器（５）
及び（６）の夫々の複数の電極（４）は両側を図示の如
く共通に接続してもよく、あるいは共通接続しない構成
とすることもできる。そして、両反射器（５）及び（６
］の伝搬方向に泊った少くとも両側に例えば厚さが０．
７〜０．８μの吸音材層（力を形成する。
この場合、吸音材層（力は点線（７′）で示すように連
続して形成してもよい。吸音材層（力としてはポジティ
ブ型ホトレジスト（例えばＯＩｉ’Ｐ）Ｌ−８００）、
ネガティブ型ホトレジスト（例えばＯＭｌ’ｔ ） 、
ポリウレタン、シリコンゴム等を使用できる。尚、吸音
材層（７）の厚さは０．４μ以上あれば効果は期待でき
る。
続して形成してもよい。吸音材層（力としてはポジティ
ブ型ホトレジスト（例えばＯＩｉ’Ｐ）Ｌ−８００）、
ネガティブ型ホトレジスト（例えばＯＭｌ’ｔ ） 、
ポリウレタン、シリコンゴム等を使用できる。尚、吸音
材層（７）の厚さは０．４μ以上あれば効果は期待でき
る。
第３図乃至第５図は夫々本発明の他の実施例を示し、各
側は吸音材層（力の形成パターンを種々変えて構成した
場合である。その他の圧電性基板（１１、変換器（３）
及び反射器（５） （６）等は第２図と同じ構成である
。
側は吸音材層（力の形成パターンを種々変えて構成した
場合である。その他の圧電性基板（１１、変換器（３）
及び反射器（５） （６）等は第２図と同じ構成である
。
このような構成によれば、反射器（５）及び（６）の側
面に吸音材層（７）を被着したことにより、不要な弾性
表面波及び反射波は吸音材層（力に吸収され、６ｄＢも
あったりツプルが全く無くなり、安定した発振が得られ
る。特に、第２図乃至第５図の装置の全てに効果が認め
られたが、中でも第５図の吸音材層（７）のパターンの
場合が最も効果が大きいことが認められた。尚、第３図
乃至第５図の吸音材層（７）のパターンとの内側の傾斜
した縁は直線状に限ぎらず、放物線などの曲線状に形成
することもできる。
面に吸音材層（７）を被着したことにより、不要な弾性
表面波及び反射波は吸音材層（力に吸収され、６ｄＢも
あったりツプルが全く無くなり、安定した発振が得られ
る。特に、第２図乃至第５図の装置の全てに効果が認め
られたが、中でも第５図の吸音材層（７）のパターンの
場合が最も効果が大きいことが認められた。尚、第３図
乃至第５図の吸音材層（７）のパターンとの内側の傾斜
した縁は直線状に限ぎらず、放物線などの曲線状に形成
することもできる。
第６図は吸音材処理を施さない第１図の弾性表面波共振
装置の特性図で、リップル（ａｌの発生が認められる。
装置の特性図で、リップル（ａｌの発生が認められる。
第７図は吸音材処理を施した第５図の弾性表面波共振装
置の特性図で、リップルが消滅しているのが認められる
。尚同図において、縦軸は減衰率（１目盛２ｄＢ）、横
軸は周波数（１目盛１０ＭＨｚ ）を示す。
置の特性図で、リップルが消滅しているのが認められる
。尚同図において、縦軸は減衰率（１目盛２ｄＢ）、横
軸は周波数（１目盛１０ＭＨｚ ）を示す。
上述せる如く、本発明は極めて簡単な構成によって不要
な成分が除去され、安定した発振が可能な弾性表面波装
置が得られるものであり、従って例えば容量型ビデオ・
ディスク−プレーヤのピックアップ回路における局部発
振器用に適用して好適ならしめるものである。
な成分が除去され、安定した発振が可能な弾性表面波装
置が得られるものであり、従って例えば容量型ビデオ・
ディスク−プレーヤのピックアップ回路における局部発
振器用に適用して好適ならしめるものである。
第１図は本発明の説明に供する弾性表面波共振装置の例
を示す平面図、第２図乃至第５図は夫々本発明の弾性表
面波共振装置の実施例を示す平面図、第６図は吸音材処
理のない弾性表面波装置の特性図、第７図は吸音材処理
した弾性表面波装置の特性図である。 （１）は圧電性基板、（２）はすだれ状電極、（３）は
変換器、（４）は電極、（５） （６）は反射器、（力
は吸音材層である。 第６図 第７図 右じダ３父 手続補正書 昭和５７年１月７日 １、′事件の表示 昭和５６年特許願第 １１７４１４ 号２、発明の
名称 弾性表面波共振装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 １）、′ 東京都晶川Ｌ゛ζ北品川６丁ロア番３５号
、ｉ、’ｌ： （２１８）ソニー４’ｉ（式会社代人取
；４ｊ７ｊ量岩間和夫 ４、代 理 人 東京都新宿区西新宿１丁目８番り号（
新宅ビル）置東京（０３）３４３−５８２１ （代表）
６、補正により増加する発明の数 （１）％許請求の範囲を別紙のように補正する。 （２）明細書中、第３頁５〜６行［沿った少くとも側部
に１を１沿って」と削正する。 （３）同、第５頁７行「もできる。」の次に改行して下
記を加入する。 「さらに、吸音材層（力の形成パターンとしては第８図
及び第９図に示すように反射器（５）（６）内に反射器
［５） ｆ６１に直交するような細条部分を設けたパタ
ーンとすることもできる。この細条部分は弾性表面波の
伝播を妨害しない程度に細くしなければならない。これ
は、又、必ずしも連続パターンでなくとも第１０図に示
すように不連続パターンの配列であってもよい（長方形
、だ円、等）。」 （４）同、第６頁７行「特性図である。」を「％性図、
第８図乃至第１０図は本発明の弾性表面波共振装置のさ
らに他の実施例を示す平面図である０」と訂正する。 （５）図面中、「第８図」、「第９図」及び「第１０）
ｖｌ 特許請求の範囲 圧電性基板と、該基板の一生面に形成されたすだれ状電
極を有する変換器と、該変換器からの弾性表面波が伝搬
する方向に設けられた夫々複数の１！極を有する１対の
反射器ど、該夫々の反射器の伝搬方向に沿つ工形成され
た吸音材層とを有する弾性表面波共振装置。
を示す平面図、第２図乃至第５図は夫々本発明の弾性表
面波共振装置の実施例を示す平面図、第６図は吸音材処
理のない弾性表面波装置の特性図、第７図は吸音材処理
した弾性表面波装置の特性図である。 （１）は圧電性基板、（２）はすだれ状電極、（３）は
変換器、（４）は電極、（５） （６）は反射器、（力
は吸音材層である。 第６図 第７図 右じダ３父 手続補正書 昭和５７年１月７日 １、′事件の表示 昭和５６年特許願第 １１７４１４ 号２、発明の
名称 弾性表面波共振装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 １）、′ 東京都晶川Ｌ゛ζ北品川６丁ロア番３５号
、ｉ、’ｌ： （２１８）ソニー４’ｉ（式会社代人取
；４ｊ７ｊ量岩間和夫 ４、代 理 人 東京都新宿区西新宿１丁目８番り号（
新宅ビル）置東京（０３）３４３−５８２１ （代表）
６、補正により増加する発明の数 （１）％許請求の範囲を別紙のように補正する。 （２）明細書中、第３頁５〜６行［沿った少くとも側部
に１を１沿って」と削正する。 （３）同、第５頁７行「もできる。」の次に改行して下
記を加入する。 「さらに、吸音材層（力の形成パターンとしては第８図
及び第９図に示すように反射器（５）（６）内に反射器
［５） ｆ６１に直交するような細条部分を設けたパタ
ーンとすることもできる。この細条部分は弾性表面波の
伝播を妨害しない程度に細くしなければならない。これ
は、又、必ずしも連続パターンでなくとも第１０図に示
すように不連続パターンの配列であってもよい（長方形
、だ円、等）。」 （４）同、第６頁７行「特性図である。」を「％性図、
第８図乃至第１０図は本発明の弾性表面波共振装置のさ
らに他の実施例を示す平面図である０」と訂正する。 （５）図面中、「第８図」、「第９図」及び「第１０）
ｖｌ 特許請求の範囲 圧電性基板と、該基板の一生面に形成されたすだれ状電
極を有する変換器と、該変換器からの弾性表面波が伝搬
する方向に設けられた夫々複数の１！極を有する１対の
反射器ど、該夫々の反射器の伝搬方向に沿つ工形成され
た吸音材層とを有する弾性表面波共振装置。
Claims (1)
- 圧電性基板と、該基板の一主面に形成されたすだれ状電
極を有する変換器と、該変換器からの弾性表面波が伝搬
する方向に設けられた夫々複数の電極を有する１対の反
射器と、該夫々の反射器の伝搬方向に沿った少くとも側
部に形成された吸音材層とを有する弾性表面波共振装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11741481A JPS5819014A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 弾性表面波共振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11741481A JPS5819014A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 弾性表面波共振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5819014A true JPS5819014A (ja) | 1983-02-03 |
Family
ID=14711049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11741481A Pending JPS5819014A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 弾性表面波共振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5819014A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59200519A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-13 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振器 |
| JPS62180274U (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-16 |
-
1981
- 1981-07-27 JP JP11741481A patent/JPS5819014A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59200519A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-13 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振器 |
| JPS62180274U (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114866062B (zh) | 一种声表面波谐振器 | |
| JPH08288788A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JP2620085B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| CN115276592B (zh) | 一种声波滤波器的结构 | |
| JPS5819014A (ja) | 弾性表面波共振装置 | |
| JPS62160807A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPS5883420A (ja) | 弾性境界波装置 | |
| JPH027613A (ja) | 多重モード共振器型表面弾性波フィルタとその帯域通過特性調整方法 | |
| WO2023110081A1 (en) | Surface acoustic wave resonator element and electronic apparatus comprising said surface acoustic wave resonator element | |
| CN118041281B (zh) | 声波谐振器结构、声波器件及其制备方法 | |
| JP3127018B2 (ja) | リーキーｓａｗ共振子 | |
| JPH02260908A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP4339970B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3201088B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH0683010B2 (ja) | 圧電振動素子 | |
| JPS5912815Y2 (ja) | 圧電フイルタ | |
| JPH04196809A (ja) | 弾性表面波装置、及びそれを用いた通信装置 | |
| CN118138007A (zh) | 一种声表面谐振器及制备方法、滤波器 | |
| CN119093894A (zh) | 弹性波装置、滤波器及多工器 | |
| JPS59143411A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS6382113A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPS5642419A (en) | Surface elastic wave resonator | |
| JPS61100014A (ja) | 弾性波装置 | |
| JPS58156211A (ja) | 弾性表面波共振器型フイルタ | |
| JPS5936414A (ja) | 弾性表面波装置 |