JPS58190866A - セラミツク粉末の非集塊化方法 - Google Patents
セラミツク粉末の非集塊化方法Info
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- JPS58190866A JPS58190866A JP57202201A JP20220182A JPS58190866A JP S58190866 A JPS58190866 A JP S58190866A JP 57202201 A JP57202201 A JP 57202201A JP 20220182 A JP20220182 A JP 20220182A JP S58190866 A JPS58190866 A JP S58190866A
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- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
- C04B35/632—Organic additives
- C04B35/634—Polymers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B02—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING; PREPARATORY TREATMENT OF GRAIN FOR MILLING
- B02C—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING IN GENERAL; MILLING GRAIN
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明の技術分野
本発明は、大規模集積回路素子をパッケージングするた
めの多階セラミック基板が形成されるセラミック未焼結
シートにキャスティングされるセラミック・スラリを形
成するためにセラミック粒子を非集塊化（ｄｅａｇｇｌ
ｏｍｅｒａｔｅ）即ち粉砕する方法に係る。
めの多階セラミック基板が形成されるセラミック未焼結
シートにキャスティングされるセラミック・スラリを形
成するためにセラミック粒子を非集塊化（ｄｅａｇｇｌ
ｏｍｅｒａｔｅ）即ち粉砕する方法に係る。
従来技術
従来、多層セラミック基板は、高密度に集積化きれた半
導体素子を装着し、それらの素子を動作システムに相互
接続するために用いられている。
導体素子を装着し、それらの素子を動作システムに相互
接続するために用いられている。
このパッケージング構造体を形成するだめの基本的方法
は、セラミック粒子を乾式ミリングし、それらのセラミ
ック粒子をポール・ミル中で樹脂結合材及びその結合材
のだめの溶媒と混合してセラミック・スラリを形成し、
そのスラリをキャスティング及び乾燥して未焼結シート
を形成し、それらの未焼結シート中に開孔を形成してそ
れらの未焼結シートｌ二に導電路をスクリーン印刷し、
それらの未焼結シートを積層化し、そしてそれらを焼結
する工程を含む。この技術は周知であり、米国特許第４
１［１１５７７号及び第３８９９５５４号の明細書等に
記載されている。
は、セラミック粒子を乾式ミリングし、それらのセラミ
ック粒子をポール・ミル中で樹脂結合材及びその結合材
のだめの溶媒と混合してセラミック・スラリを形成し、
そのスラリをキャスティング及び乾燥して未焼結シート
を形成し、それらの未焼結シート中に開孔を形成してそ
れらの未焼結シートｌ二に導電路をスクリーン印刷し、
それらの未焼結シートを積層化し、そしてそれらを焼結
する工程を含む。この技術は周知であり、米国特許第４
１［１１５７７号及び第３８９９５５４号の明細書等に
記載されている。
米国特許第３３５８９３７号の明細書は、回転するドラ
ムの壁及び粉砕媒体上に固着するアルミすを最小限にす
るために００５乃至０５重量％のアルコールがアルミナ
粒子に加えられる、アルミナ粒子の乾式ボール・ミリン
グについて開示している。
ムの壁及び粉砕媒体上に固着するアルミすを最小限にす
るために００５乃至０５重量％のアルコールがアルミナ
粒子に加えられる、アルミナ粒子の乾式ボール・ミリン
グについて開示している。
未焼結シートにテープ・キャスティングされる多層セラ
ミック用スラリの形成に於てけ、セラミック粒子の非集
塊化速度に於ける小さな変化も、ギヤスティングされた
テープの未焼結シート密度を相当な範囲に亘って変化さ
せることに々る。これは、異なる製品を形成せｌ〜め、
その範囲が規格に於て許容される範囲よりも広い場合に
は収量に損失を与える結果となる。セラミックのロット
相互間の変化が極めて大きいので、ボール・ミリングの
サイクル時間が各ロット毎に修正されねばならず、場合
によっては、１つのロットのセラミック粒子のボール・
ミリング中に密度を規格範囲内に集中させる様に調整さ
れねばならない。
ミック用スラリの形成に於てけ、セラミック粒子の非集
塊化速度に於ける小さな変化も、ギヤスティングされた
テープの未焼結シート密度を相当な範囲に亘って変化さ
せることに々る。これは、異なる製品を形成せｌ〜め、
その範囲が規格に於て許容される範囲よりも広い場合に
は収量に損失を与える結果となる。セラミックのロット
相互間の変化が極めて大きいので、ボール・ミリングの
サイクル時間が各ロット毎に修正されねばならず、場合
によっては、１つのロットのセラミック粒子のボール・
ミリング中に密度を規格範囲内に集中させる様に調整さ
れねばならない。
従来技術によるスラリ形成方法に於けるセラミ□
ツク集塊の分散は、湿式ミ＋）ング動作により集塊を粉
砕することによって行われる。湿式ミリング（ろ） 中に、粉砕媒体間の摩擦（衝撃）が接触点の近傍の領域
に於てミリング用液体に大き々剪断応力を生じ、これが
アルミナの集塊を粉砕即ち分散させる。その分散速度は
、集塊強度、発生される剪断応力の大きさ、及び集塊が
粉砕媒体の衝撃点の周囲に於ける高い剪断応力の領域に
存在している可能性によって限定される。発生される剪
断応力及びそれに関連する近接の可能性が限定されてい
ることにより、このミリング方法は効率が悪く、非集塊
化の速度が遅い。この方法は、第１図に示されている。
砕することによって行われる。湿式ミリング（ろ） 中に、粉砕媒体間の摩擦（衝撃）が接触点の近傍の領域
に於てミリング用液体に大き々剪断応力を生じ、これが
アルミナの集塊を粉砕即ち分散させる。その分散速度は
、集塊強度、発生される剪断応力の大きさ、及び集塊が
粉砕媒体の衝撃点の周囲に於ける高い剪断応力の領域に
存在している可能性によって限定される。発生される剪
断応力及びそれに関連する近接の可能性が限定されてい
ることにより、このミリング方法は効率が悪く、非集塊
化の速度が遅い。この方法は、第１図に示されている。
第２図は、未焼結シートがキャスティングされる最終ス
ラリを形成するだめのセラミック粒子に於ける未焼結シ
ート密度とミリング時間との間の関係を示している。未
焼結シート密度（ＧＳＤ ）は次式により表わでれ得る
。
ラリを形成するだめのセラミック粒子に於ける未焼結シ
ート密度とミリング時間との間の関係を示している。未
焼結シート密度（ＧＳＤ ）は次式により表わでれ得る
。
Ｇ Ｓ Ｄ ＝ Ａ Ｔ −１−Ｂ
−」−閉式に於て、Ａは粘度、ミリング効率及び集塊強
度の関数である係数であり、Ｂはミリング用液（４） 体含有量及び集塊のバッキング密度により決定される定
数である。従って、ＧＳＤ曲線は、セラミックの単一の
結晶粒子の寸法の分布の関数である定数Ｃに向かって飽
和する。
度の関数である係数であり、Ｂはミリング用液（４） 体含有量及び集塊のバッキング密度により決定される定
数である。従って、ＧＳＤ曲線は、セラミックの単一の
結晶粒子の寸法の分布の関数である定数Ｃに向かって飽
和する。
セラミックのパッケージングに要する典型的な未焼結シ
ート密度は、完全に非集塊化されたセラミックの未焼結
シート密度の約９０％である。従来の方法に於ては、ミ
リング時間が未焼結シート密度の規格にあわせて調整さ
れた。集塊強度及び集塊のバッキング密度がセラミック
粉末の各ロット毎に変化するので、ＧＳＤ曲線は各ロッ
ト毎に変化する。従って、未焼結シート密度の規格にあ
わせてミリング時間を調整する場合に問題があった。更
に、典型的ミリング方法に於て、７乃至１１時間のミリ
ング時間が必要とされている。
ート密度は、完全に非集塊化されたセラミックの未焼結
シート密度の約９０％である。従来の方法に於ては、ミ
リング時間が未焼結シート密度の規格にあわせて調整さ
れた。集塊強度及び集塊のバッキング密度がセラミック
粉末の各ロット毎に変化するので、ＧＳＤ曲線は各ロッ
ト毎に変化する。従って、未焼結シート密度の規格にあ
わせてミリング時間を調整する場合に問題があった。更
に、典型的ミリング方法に於て、７乃至１１時間のミリ
ング時間が必要とされている。
本発明の概要
本発明の目的は、非集塊化の度合を自動的に制御し得る
、比較的短時間でセラミック粒子を非集塊化する方法を
提供することである。
、比較的短時間でセラミック粒子を非集塊化する方法を
提供することである。
本発明の方法に於ては、原料の集塊化されているセラミ
ック粉末に加えられる液体の量によって、非集塊化のレ
ベルが制御される。典型的なセラミック粒子には、アル
ミナ、ステアタイト、ガラス、ジルコン、珪酸アルミニ
ウム、二酸化ジルコニウム、二酸化チタン、珪酸マグネ
シウム、錫酸ビスマス、チタン酸バリウム及び同種のも
の並びにそれらの組合せ等がある。
ック粉末に加えられる液体の量によって、非集塊化のレ
ベルが制御される。典型的なセラミック粒子には、アル
ミナ、ステアタイト、ガラス、ジルコン、珪酸アルミニ
ウム、二酸化ジルコニウム、二酸化チタン、珪酸マグネ
シウム、錫酸ビスマス、チタン酸バリウム及び同種のも
の並びにそれらの組合せ等がある。
セラミック粉末が容器中に入れられ、最終的な所望の密
度のセラミック粉末の間隙体積に等しいかそれよりも僅
かに多い計の結合材の液体が上記セラミック粉末に加え
られる。第３Ａ図は、その結果得られた混合物の一部を
示す。原料のセラミック粒子１０は比較的和く、結合材
１２はセラミック粒子１０の間のか々すの間隙の一部を
満たしている。セラミック粒子１０に加ぐ−られるべき
結合材の量は、粉末粒子を非集塊化するために選択され
た方法に依存し、後述される如く実験によって決定され
る。
度のセラミック粉末の間隙体積に等しいかそれよりも僅
かに多い計の結合材の液体が上記セラミック粉末に加え
られる。第３Ａ図は、その結果得られた混合物の一部を
示す。原料のセラミック粒子１０は比較的和く、結合材
１２はセラミック粒子１０の間のか々すの間隙の一部を
満たしている。セラミック粒子１０に加ぐ−られるべき
結合材の量は、粉末粒子を非集塊化するために選択され
た方法に依存し、後述される如く実験によって決定され
る。
セラミック粉末粒子を、粉末の機械的移動又は圧縮、押
出し、ボール・ミリング、静上型混合又は粉末中に衝撃
波を通すことの如き手段によって粉砕するために、それ
らの粉末粒子に充分なエネルギが加えられる。集塊が粉
砕されそしてセラミック粉末が濃密化されるに従って、
粒子間の間隙は第３Ｂ図に示されている如く結合材で完
全に満たされてし捷う迄減少する。例えば、液体を加え
られているセラミック粉末を含むシリンダ中にピストン
を押し下げることにより、圧縮力が集塊を粉砕するだめ
に用いられた場合には、その方法は、液体の圧縮不可能
な特性のために、その段階で停市する。更に加えられた
圧縮力は、粒子に剪断応力を生ぜしめる様な効力を有し
ない、均一な静水学的力を粒子に与ぐ−る。ボール・ミ
リングが用いられた場合には、セラミック粉末は、ミリ
ング用ボール又はシリンダにより生じた剪断応力によっ
て更に粉砕される。非集塊化が進みそしてセラミック粉
末のバルクが更に濃密化されるに従って、加えられた液
体の量が原料のセラミック粉末及び非集塊化されたセラ
ミック粉末の間の間隙体積を（７） 超ぐ−て、セラミック粒子は第３Ｃ図に示されている如
く液体中を流動する。この時点に於て、更に加えられた
エネルギは、粒子を更に粉砕せずに粒子をペーストの如
く流動させて、非集塊化速度を著しく低下させ、実質的
に濃密化又は分散方法を停市させる。粉末がペースト状
の濃度に達したときに、ボール・ミリングが停市される
。所望レベルの非集塊化が達成された後に、セラミック
未焼結シートにキャスティングきれるセラミック・スラ
リを形成するために、残りの結合制及び他の有機材料が
混合される。
出し、ボール・ミリング、静上型混合又は粉末中に衝撃
波を通すことの如き手段によって粉砕するために、それ
らの粉末粒子に充分なエネルギが加えられる。集塊が粉
砕されそしてセラミック粉末が濃密化されるに従って、
粒子間の間隙は第３Ｂ図に示されている如く結合材で完
全に満たされてし捷う迄減少する。例えば、液体を加え
られているセラミック粉末を含むシリンダ中にピストン
を押し下げることにより、圧縮力が集塊を粉砕するだめ
に用いられた場合には、その方法は、液体の圧縮不可能
な特性のために、その段階で停市する。更に加えられた
圧縮力は、粒子に剪断応力を生ぜしめる様な効力を有し
ない、均一な静水学的力を粒子に与ぐ−る。ボール・ミ
リングが用いられた場合には、セラミック粉末は、ミリ
ング用ボール又はシリンダにより生じた剪断応力によっ
て更に粉砕される。非集塊化が進みそしてセラミック粉
末のバルクが更に濃密化されるに従って、加えられた液
体の量が原料のセラミック粉末及び非集塊化されたセラ
ミック粉末の間の間隙体積を（７） 超ぐ−て、セラミック粒子は第３Ｃ図に示されている如
く液体中を流動する。この時点に於て、更に加えられた
エネルギは、粒子を更に粉砕せずに粒子をペーストの如
く流動させて、非集塊化速度を著しく低下させ、実質的
に濃密化又は分散方法を停市させる。粉末がペースト状
の濃度に達したときに、ボール・ミリングが停市される
。所望レベルの非集塊化が達成された後に、セラミック
未焼結シートにキャスティングきれるセラミック・スラ
リを形成するために、残りの結合制及び他の有機材料が
混合される。
原料の乾燥［７たセラミック粉末に加えられる液体の■
″は、所望の最終密度のセラミック粉末の間隙体積に等
Ｉ〜いかそれよりも僅かに多い量であるべきであり、粉
末を非集塊化するために選択された方法に依存する。原
料のセラミック粉末に加えられるべき液体の適当な量は
、選択された特定の方法を用いて実験することによって
決定され得る。
″は、所望の最終密度のセラミック粉末の間隙体積に等
Ｉ〜いかそれよりも僅かに多い量であるべきであり、粉
末を非集塊化するために選択された方法に依存する。原
料のセラミック粉末に加えられるべき液体の適当な量は
、選択された特定の方法を用いて実験することによって
決定され得る。
第４図は、本発明の方法に従って処理された後（８）
に形成された未焼結シートの粒子バッキング密度と、非
集塊化方法が行われる前に加えられた結合材の液体の量
との間の関係を示す。
集塊化方法が行われる前に加えられた結合材の液体の量
との間の関係を示す。
曲線Ａは、原料のアルミナに加えられた液体の量が所望
の密度のアルミナ粉末の間隙体積に等しい場合の理想的
曲線である。ｆｌｌ ｔば、１．２０ｇｍ／ｃｍ３の最
終的な粒子バッキング密度を得るために原料のアルミナ
粉末に加えられるべき結合材の液体の量は、次の様にし
て算出され得る。Ａ ｔ ２０３／フリット混合物の理
論的密度（Ｔ、Ｄ、）は３７２ｇｍ／ｃｍ”である。従
って、１．２０ｇｍ／ｃｍ” め゛所望の密度は上記理
論的密度の３２２６％である。
の密度のアルミナ粉末の間隙体積に等しい場合の理想的
曲線である。ｆｌｌ ｔば、１．２０ｇｍ／ｃｍ３の最
終的な粒子バッキング密度を得るために原料のアルミナ
粉末に加えられるべき結合材の液体の量は、次の様にし
て算出され得る。Ａ ｔ ２０３／フリット混合物の理
論的密度（Ｔ、Ｄ、）は３７２ｇｍ／ｃｍ”である。従
って、１．２０ｇｍ／ｃｍ” め゛所望の密度は上記理
論的密度の３２２６％である。
ｉ ｇｍのＡｌ２Ｏ３／フリット混合物当りの、集塊化
これた及び非集塊化されたアルミナ／フリット混合物の
粉末の間隙体積は、（ｉ−Ｘゴー上ユ）÷ ００ １、２０ ｇｍ ／ ｃ ｍろ＝ ０．５６４５ ｍ
ｔ７１ ｇ ｍのＡ４ ０２ろ ／フリット混合物である。結合材の液体の密度は０．８
１６ｇｍ／ｃｍ３であるので、ｉｇｍのＡ ｔ ２０
ｚ。
これた及び非集塊化されたアルミナ／フリット混合物の
粉末の間隙体積は、（ｉ−Ｘゴー上ユ）÷ ００ １、２０ ｇｍ ／ ｃ ｍろ＝ ０．５６４５ ｍ
ｔ７１ ｇ ｍのＡ４ ０２ろ ／フリット混合物である。結合材の液体の密度は０．８
１６ｇｍ／ｃｍ３であるので、ｉｇｍのＡ ｔ ２０
ｚ。
／フリット混合物当りの加えられるべき液体の量は、０
．５６４５ Ｘ ０．８１６ ＝ ０．４６０６ ｇ
ｍである。同様にして、任意の所望のバッキング密度の
だめの液体の計がη゛出され得る。
．５６４５ Ｘ ０．８１６ ＝ ０．４６０６ ｇ
ｍである。同様にして、任意の所望のバッキング密度の
だめの液体の計がη゛出され得る。
第４図に於ける曲線Ｂは実験にＪ：る曲線であり、点１
乃至４は、セラミック粉末及び加えられた所定量の結合
材を含む５［］Ｏｍｔのポリエチレンのびんを、初めの
粉末と液体との混合物がペースト状の外観を示す様にな
る迄、床面に１乃至５回ぶつけることに」：って得られ
たデータを示す。最終スラリを形成するだめに、残りの
結合材が混合される。そのスラリがシート状にキャステ
ィングされ、未焼結シート密度を決定することによりバ
ッキング密度が測定された。点５は、５００ｇの直径約
１．３ｃｍのアルミナ粉砕シリンダを有する１ｔのボー
ル・ミルを実験的に用いて得られたデータを示す。その
ミルは、セラミック粉末及び所定量の結合材を用いて、
１時間の間回転された。粉末がペースト状になった後に
、残りの有機材料が加えられて、セラミック未焼結シー
トをキャスティングするだめの均質なスラリを得るため
に６０分間ミリングされた。次の表はこれらの実験のデ
−夕を示している。用いられたアルミナ粉末はαアルミ
ナとフリットとの混合物である。
乃至４は、セラミック粉末及び加えられた所定量の結合
材を含む５［］Ｏｍｔのポリエチレンのびんを、初めの
粉末と液体との混合物がペースト状の外観を示す様にな
る迄、床面に１乃至５回ぶつけることに」：って得られ
たデータを示す。最終スラリを形成するだめに、残りの
結合材が混合される。そのスラリがシート状にキャステ
ィングされ、未焼結シート密度を決定することによりバ
ッキング密度が測定された。点５は、５００ｇの直径約
１．３ｃｍのアルミナ粉砕シリンダを有する１ｔのボー
ル・ミルを実験的に用いて得られたデータを示す。その
ミルは、セラミック粉末及び所定量の結合材を用いて、
１時間の間回転された。粉末がペースト状になった後に
、残りの有機材料が加えられて、セラミック未焼結シー
トをキャスティングするだめの均質なスラリを得るため
に６０分間ミリングされた。次の表はこれらの実験のデ
−夕を示している。用いられたアルミナ粉末はαアルミ
ナとフリットとの混合物である。
上記フリットは、典型的には、略５２重量％のＳｉ０
３０重量％のＡｔ２０３．８５重量％の２） Ｃａｂ、８．５重量％のＭｇＯ１及び１重量％以下の不
純物より成る。結合材は、典型的には、ポリビニルブチ
ラールである略１６１重量％のＢｕｔｖａｒＢ−９８（
商標名）、ジプロピレングリコールジベンゾエートであ
る３７重量％のＢｅｎｚｏｆｌｅｘ９−８８（商標名）
、２０７重量％のメタノール、及び６２６重量％のメチ
ルイソブチルケトンより成る。
３０重量％のＡｔ２０３．８５重量％の２） Ｃａｂ、８．５重量％のＭｇＯ１及び１重量％以下の不
純物より成る。結合材は、典型的には、ポリビニルブチ
ラールである略１６１重量％のＢｕｔｖａｒＢ−９８（
商標名）、ジプロピレングリコールジベンゾエートであ
る３７重量％のＢｅｎｚｏｆｌｅｘ９−８８（商標名）
、２０７重量％のメタノール、及び６２６重量％のメチ
ルイソブチルケトンより成る。
表
２回目の添加
１ ８９．０ １１．０ ４６．８８ ０
’５１２ ８９．０ １１．０ ４２．１９
４゜６９５１３ ８９．０ １１．０ ３２
．８２ １４．０６ ５．１４ ８９．０
１１．［］ ２３．４４ ２ろ４４ ５
１５ １７０．０ ２２．１１ ４２．２０
５１．５６ １０．２本発明の好実施例 アルミナの如きセラミック粉末がシリンダ中に置かれ、
所望の最終密度のセラミック粉末の間隙体積と等しいか
それよりも僅かに多い計の結合材が加えられる。加えら
れるべき結合材の最適な量は、実験により、初めに第４
図の理想的曲線に従い、次に所望のバッキング密度のた
めにその量を変化はせることによって、決；定される。
’５１２ ８９．０ １１．０ ４２．１９
４゜６９５１３ ８９．０ １１．０ ３２
．８２ １４．０６ ５．１４ ８９．０
１１．［］ ２３．４４ ２ろ４４ ５
１５ １７０．０ ２２．１１ ４２．２０
５１．５６ １０．２本発明の好実施例 アルミナの如きセラミック粉末がシリンダ中に置かれ、
所望の最終密度のセラミック粉末の間隙体積と等しいか
それよりも僅かに多い計の結合材が加えられる。加えら
れるべき結合材の最適な量は、実験により、初めに第４
図の理想的曲線に従い、次に所望のバッキング密度のた
めにその量を変化はせることによって、決；定される。
原料のセラミック粉末は比較的粗く、セラミック粒子間
にかなりの間隙を有しているので、結合材はその様々間
隙の一部を占有する。これは第５Ａ図に示されている。
にかなりの間隙を有しているので、結合材はその様々間
隙の一部を占有する。これは第５Ａ図に示されている。
説明を容易にするために、液体はシリンダの底部に配置
されている。実際に於ては、液体はマ） ＩＪラックス
体に亘って分散されている。
されている。実際に於ては、液体はマ） ＩＪラックス
体に亘って分散されている。
ピストンがセラミック粉末に約７００乃至１４００ ｋ
ｇ／ｃｍ２の圧力を加える様に押し下げられるに従って
、粉末は濃密化され、粒子間の間隙が減少する。その構
造体が圧縮されるに従って、第５Ｂ図及び第５Ｃ図に示
されている如く、間隙が減少して、粒子間の間隙のより
多くの部分が液体で満たされる。これは、第５Ｄ図に示
されている如く間隙が満たされるまで継続される。この
時点に於て、液体の圧縮不可能な特性のために、ピスト
ンの下方への移動が停止される。このとき、所定量の液
体によって、セラミック粉末は所望のレベルに非集塊化
されている。未焼結シートにキャスティングされる最終
スラリを形成するために、更に結合材が加えられる。
ｇ／ｃｍ２の圧力を加える様に押し下げられるに従って
、粉末は濃密化され、粒子間の間隙が減少する。その構
造体が圧縮されるに従って、第５Ｂ図及び第５Ｃ図に示
されている如く、間隙が減少して、粒子間の間隙のより
多くの部分が液体で満たされる。これは、第５Ｄ図に示
されている如く間隙が満たされるまで継続される。この
時点に於て、液体の圧縮不可能な特性のために、ピスト
ンの下方への移動が停止される。このとき、所定量の液
体によって、セラミック粉末は所望のレベルに非集塊化
されている。未焼結シートにキャスティングされる最終
スラリを形成するために、更に結合材が加えられる。
セラミック粉末を所望のレベルの非集塊化が達成される
迄圧縮しそしてそれを押出しオリフィスを経てペースト
の形で押出す、押出し方法も用いられ得る。これに、最
終スラリを形成するだめに混合され得る残りの有機材料
が加えられる。
迄圧縮しそしてそれを押出しオリフィスを経てペースト
の形で押出す、押出し方法も用いられ得る。これに、最
終スラリを形成するだめに混合され得る残りの有機材料
が加えられる。
第１図はミリング・ボール又はシリンダがセラミック粒
子に剪断応力を加える従来技術による湿式ミリング機構
を示す図、第２図は従来技術による湿式ミリング方法に
於ける未焼結シート密度とミリング時間との間の関係を
示す図、第６Ａ図乃至第６Ｃ図は非集塊化の異なるレベ
ルに於けるセラミック粉末のモデルを示す図、第４図は
本発明の方法に於ける未焼結シートの粒子バッキング密
度と加えられた結合材の量との間の関係を示す図、第５
Ａ図乃至第５Ｄ図はシリンダ及びピストンのシステムに
於ける非集塊化の異々るレベルのセラミック粉末のモデ
ルを示す図である。 １０・・・・セラミック粒子、１２・・・・結合材。 出願人 インターカショナノいビジネス・マシーＺズ・
コ〒ボレーションＦＩＧ、 ２ ミリ
ング時内（時開）ＦＩＧ、 ３Ａ ＦＩＧ、 ３８ ＦＩＧ、 ３Ｃ ＦＩＧ、５Ａ ＦＩＧ、５Ｃ ＦＩＧ、 ５８ ＦＩＧ、５Ｄ
子に剪断応力を加える従来技術による湿式ミリング機構
を示す図、第２図は従来技術による湿式ミリング方法に
於ける未焼結シート密度とミリング時間との間の関係を
示す図、第６Ａ図乃至第６Ｃ図は非集塊化の異なるレベ
ルに於けるセラミック粉末のモデルを示す図、第４図は
本発明の方法に於ける未焼結シートの粒子バッキング密
度と加えられた結合材の量との間の関係を示す図、第５
Ａ図乃至第５Ｄ図はシリンダ及びピストンのシステムに
於ける非集塊化の異々るレベルのセラミック粉末のモデ
ルを示す図である。 １０・・・・セラミック粒子、１２・・・・結合材。 出願人 インターカショナノいビジネス・マシーＺズ・
コ〒ボレーションＦＩＧ、 ２ ミリ
ング時内（時開）ＦＩＧ、 ３Ａ ＦＩＧ、 ３８ ＦＩＧ、 ３Ｃ ＦＩＧ、５Ａ ＦＩＧ、５Ｃ ＦＩＧ、 ５８ ＦＩＧ、５Ｄ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所望の最終密度のセラミック粉末の間隙体積に等しいか
それよりも僅かに多い所定量の液体をセラミック粉末に
加え、 上記間隙の体積が上記液体により実質的に完全に占有さ
れて、上記液体の圧縮不可能な特性により更に濃密化が
行なわれ々くなる迄、上記セラミック粉末を濃密化する
力を加えることを含む、セラミック粉末の非集塊化方法
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US37176982A | 1982-04-26 | 1982-04-26 | |
| US371769 | 1982-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58190866A true JPS58190866A (ja) | 1983-11-07 |
Family
ID=23465342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57202201A Pending JPS58190866A (ja) | 1982-04-26 | 1982-11-19 | セラミツク粉末の非集塊化方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0093874A1 (ja) |
| JP (1) | JPS58190866A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4771950A (en) * | 1987-07-06 | 1988-09-20 | Norton Company | Hydrothermal comminution or zirconia or hafnia |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3252810A (en) * | 1963-01-23 | 1966-05-24 | Gen Motors Corp | Dry grinding of ceramics |
| US3358937A (en) * | 1965-11-10 | 1967-12-19 | Aluminum Co Of America | Dry grinding of alumina |
| US3687180A (en) * | 1968-08-21 | 1972-08-29 | Stephanois Rech Mec | Apparatus for breaking-up solid, porous and especially vegetable bodies |
| GB1319258A (en) * | 1969-11-04 | 1973-06-06 | Gen Motors Corp | Dry grinding of ceramics |
| US4126422A (en) * | 1976-04-26 | 1978-11-21 | Corning Glass Works | Method of densifying metal oxides |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP57202201A patent/JPS58190866A/ja active Pending
-
1983
- 1983-04-05 EP EP83103291A patent/EP0093874A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0093874A1 (en) | 1983-11-16 |
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