JPS58198744A - レンズ系の測定装置 - Google Patents
レンズ系の測定装置Info
- Publication number
- JPS58198744A JPS58198744A JP57081266A JP8126682A JPS58198744A JP S58198744 A JPS58198744 A JP S58198744A JP 57081266 A JP57081266 A JP 57081266A JP 8126682 A JP8126682 A JP 8126682A JP S58198744 A JPS58198744 A JP S58198744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- screen
- optical axis
- interference fringes
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレンズ系の測定装置に関するものである。
従来、測定対象としてのレンズ系(以下被検レンズとい
う)の偏心量を測定しようとする場合は、オートコリメ
ータ等の偏心測定器を用いてレンズ系を構成している複
数枚のレンズ各面の偏心量を個々に測定し、この測定結
果から非常に複雑な計算をして総合された全体の理想光
軸を求め、この(1) 理想光軸とのずれ量を偏心量としておシ、複雑な計算が
必要なことから測定結果が求まるまでに多大の時間を要
し、又偏心測定器に被検レンズを設定したときにたまた
ま傾き量が大きい場合等には観察しようとする光像が視
野スクリーンよシ外れて測定を最初からやシ直さねばな
らないことがある等の欠点がある。
う)の偏心量を測定しようとする場合は、オートコリメ
ータ等の偏心測定器を用いてレンズ系を構成している複
数枚のレンズ各面の偏心量を個々に測定し、この測定結
果から非常に複雑な計算をして総合された全体の理想光
軸を求め、この(1) 理想光軸とのずれ量を偏心量としておシ、複雑な計算が
必要なことから測定結果が求まるまでに多大の時間を要
し、又偏心測定器に被検レンズを設定したときにたまた
ま傾き量が大きい場合等には観察しようとする光像が視
野スクリーンよシ外れて測定を最初からやシ直さねばな
らないことがある等の欠点がある。
本発明は上記従来技術の欠点に着目してなされたもので
、その目的とするところは複雑な計算を要せずして簡易
に被検レンズの偏心量°を測定でき、或いは各々のレン
ズの偏心を児ながらこれらを最小となるよう調節しなが
らレンズを組立てていくことができ、或いは既に組立て
られたレンズ系の総合の光軸を求めることのできる装置
を提供することにあシ、レーザ、ピンホールを有するヌ
クリーンを前方からこの順番に設け、スクリーンの後方
に被検レンズを位置させるようにしたものである。
、その目的とするところは複雑な計算を要せずして簡易
に被検レンズの偏心量°を測定でき、或いは各々のレン
ズの偏心を児ながらこれらを最小となるよう調節しなが
らレンズを組立てていくことができ、或いは既に組立て
られたレンズ系の総合の光軸を求めることのできる装置
を提供することにあシ、レーザ、ピンホールを有するヌ
クリーンを前方からこの順番に設け、スクリーンの後方
に被検レンズを位置させるようにしたものである。
以下本発明を実施例を示す図面に基づいて詳細に説明す
る。先ず第1図において、0−0で示す線(2) 分(以下基準光線と称す)は被検レンズの偏心を知る基
準となるべき光線で、レーザ(1)の出力光(以下レー
ザ光と称す)に対応する。前記レー?(1tとその後方
の被検レンズ(5)との間には基準光軸に垂直にレーザ
(1)側からピンホール(2)を有したスクリーン(3
)及びλ/4位相板(4)が配設されている。ピンホー
ル(2)は基準光軸上に設け、レーザ光が通過できるよ
うにする。前記ピンホール(2)を通過したレーザ光の
一部はλ/4位相板(4)の前面(4a)及び後面(4
b)で反射され、スクリーン(3)上に干渉縞を生じる
。この干渉縞(以下基準子渉縞と称す)は基準光軸を中
心にした同心円になる。今仮に、被検レンズ(5)を構
成する全てのレンズの光軸が正しく基準光軸に合致して
いたとすれば、(5a)〜(5f)で示される各レンズ
面の曲率中心は全て基準光軸にあシ、各レンズ面で反射
されるレーザ光は互いに干渉し、スクリーン(3)上に
同心円状の干渉縞を生ずる。この干渉縞は被検レンズ(
5)を基準光軸を中心として回転しても位置は変わらな
い。又前述の基準干渉縞と中心が合致しているのでモア
レ縞は生(3) じない。
る。先ず第1図において、0−0で示す線(2) 分(以下基準光線と称す)は被検レンズの偏心を知る基
準となるべき光線で、レーザ(1)の出力光(以下レー
ザ光と称す)に対応する。前記レー?(1tとその後方
の被検レンズ(5)との間には基準光軸に垂直にレーザ
(1)側からピンホール(2)を有したスクリーン(3
)及びλ/4位相板(4)が配設されている。ピンホー
ル(2)は基準光軸上に設け、レーザ光が通過できるよ
うにする。前記ピンホール(2)を通過したレーザ光の
一部はλ/4位相板(4)の前面(4a)及び後面(4
b)で反射され、スクリーン(3)上に干渉縞を生じる
。この干渉縞(以下基準子渉縞と称す)は基準光軸を中
心にした同心円になる。今仮に、被検レンズ(5)を構
成する全てのレンズの光軸が正しく基準光軸に合致して
いたとすれば、(5a)〜(5f)で示される各レンズ
面の曲率中心は全て基準光軸にあシ、各レンズ面で反射
されるレーザ光は互いに干渉し、スクリーン(3)上に
同心円状の干渉縞を生ずる。この干渉縞は被検レンズ(
5)を基準光軸を中心として回転しても位置は変わらな
い。又前述の基準干渉縞と中心が合致しているのでモア
レ縞は生(3) じない。
次に、第2図に示すように被検レンズ(5)が単レンズ
でレンズ面(5a)及び(5b)から構成され、被検レ
ンズ(5)の光Hd−o’が基準光軸からΔXだけ上方
にずれていた場合について説明する。レーザ光の内、被
検レンズ(5)の前面(5a)上の点P、′で反射され
た光はスクリーン(3)上の点Q、′に輝点を生じ、後
面(5b)上の点P、″で反射された光はスクリーン(
3)上の点Q、″に輝点を生ずる。但し図では繁雑さを
避けるためにレンズ(5)及びλ/4位箱板(4)にお
けるレーザ光の屈折は無視して図示している・。点Q1
′と点Q1“の距離がレーザ光のビーム径より大きいと
きには干渉縞は生じないが、ビーム径よシ小さくなると
干渉縞を生ずる。この干渉縞は前述のλ/4位相板(4
)による基準干渉縞と重なシ、モアレ縞を生ずる。この
ようにスクリーン(3)上にモアレ縞を生じた場合には
被検レンズ(5)に偏心があると判断される。偏心量の
程度は、被検レンズ(5)による干渉縞が生じた場合に
は前述のモアレ縞を配録し、干渉縞が生じなかった場合
には前記Q、′とQ10の距離を記鎌し、こ(4) れらに基づいて偏心量を求める。被検レンズが複数の場
合にも前述と同様であるが、被検レンズを構成するレン
ズの枚数だけの干渉縞を生ずる。又例えばレンズ系の組
立てを行なう場合でおれば、被検レンズ(5)による反
射光により干渉が生ずるように被検レンズ(5)を調節
し、更にこの干渉縞の中心が基準光軸に一致し、λ/4
位相板(4)による基準干渉縞とのモアレ縞が生じない
ように、即ち測子渉縞の中心が完全に一致するまで被検
レンズ(5)を微動及び回転させて調節すれば良い。こ
のあと被検レンズ(5)を基準光軸を中心にして回転し
てもモアレ縞は生じない。又、既に組立てられた偏心の
めるレンズ系の総合の光軸を求めるとき、被検レンズを
構成するレンズの枚数分だけの干渉縞がスクリーン上に
生ずるが、このとき被検レンズを微動させ、又基準光軸
を中心に回転させながら各干渉縞の回転半径が最小とな
るように被検レンズを調節すれば良い。
でレンズ面(5a)及び(5b)から構成され、被検レ
ンズ(5)の光Hd−o’が基準光軸からΔXだけ上方
にずれていた場合について説明する。レーザ光の内、被
検レンズ(5)の前面(5a)上の点P、′で反射され
た光はスクリーン(3)上の点Q、′に輝点を生じ、後
面(5b)上の点P、″で反射された光はスクリーン(
3)上の点Q、″に輝点を生ずる。但し図では繁雑さを
避けるためにレンズ(5)及びλ/4位箱板(4)にお
けるレーザ光の屈折は無視して図示している・。点Q1
′と点Q1“の距離がレーザ光のビーム径より大きいと
きには干渉縞は生じないが、ビーム径よシ小さくなると
干渉縞を生ずる。この干渉縞は前述のλ/4位相板(4
)による基準干渉縞と重なシ、モアレ縞を生ずる。この
ようにスクリーン(3)上にモアレ縞を生じた場合には
被検レンズ(5)に偏心があると判断される。偏心量の
程度は、被検レンズ(5)による干渉縞が生じた場合に
は前述のモアレ縞を配録し、干渉縞が生じなかった場合
には前記Q、′とQ10の距離を記鎌し、こ(4) れらに基づいて偏心量を求める。被検レンズが複数の場
合にも前述と同様であるが、被検レンズを構成するレン
ズの枚数だけの干渉縞を生ずる。又例えばレンズ系の組
立てを行なう場合でおれば、被検レンズ(5)による反
射光により干渉が生ずるように被検レンズ(5)を調節
し、更にこの干渉縞の中心が基準光軸に一致し、λ/4
位相板(4)による基準干渉縞とのモアレ縞が生じない
ように、即ち測子渉縞の中心が完全に一致するまで被検
レンズ(5)を微動及び回転させて調節すれば良い。こ
のあと被検レンズ(5)を基準光軸を中心にして回転し
てもモアレ縞は生じない。又、既に組立てられた偏心の
めるレンズ系の総合の光軸を求めるとき、被検レンズを
構成するレンズの枚数分だけの干渉縞がスクリーン上に
生ずるが、このとき被検レンズを微動させ、又基準光軸
を中心に回転させながら各干渉縞の回転半径が最小とな
るように被検レンズを調節すれば良い。
尚前記λ/4位相板は必ずしも必要ではなく、前述のモ
アレ縞の基準となる基準干渉縞を得るため(5) のものでsb、複数枚のレンズから構成される被検レン
ズの場合には各レンズによる干渉縞同志で生ずるモアレ
縞を偏心の有無の判断の基準にとれば良い。
アレ縞の基準となる基準干渉縞を得るため(5) のものでsb、複数枚のレンズから構成される被検レン
ズの場合には各レンズによる干渉縞同志で生ずるモアレ
縞を偏心の有無の判断の基準にとれば良い。
このように本発明によれば極めて簡単にレンズ系(単レ
ンズの場合も含む)の偏心測定を行々え、又組立てても
行なえ、或いは既に組立てられたレンズ系の総合の光軸
を求めることができ好都合である。
ンズの場合も含む)の偏心測定を行々え、又組立てても
行なえ、或いは既に組立てられたレンズ系の総合の光軸
を求めることができ好都合である。
図面は本発明の実施例を示すもので、第1図は被検レン
ズに偏心がない場合の結像状態の説明図、第2図は被検
レンズに偏心がある場合の結像状態の説明図である。 (1)・・・レーザ、(2)・・・ピンホール、(3)
・・・スクリーン、(4)・・・V4位相板、(5)・
・・被検レンズ代理人 森 本 義 弘 (6)
ズに偏心がない場合の結像状態の説明図、第2図は被検
レンズに偏心がある場合の結像状態の説明図である。 (1)・・・レーザ、(2)・・・ピンホール、(3)
・・・スクリーン、(4)・・・V4位相板、(5)・
・・被検レンズ代理人 森 本 義 弘 (6)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 レーザ、ピンホールを有するスクリーンを前方か
らこの順番に設け、スクリーンの後方に被検レンズを位
置させるようにしたレンズ系の測定装置。 2、 被検レンズとピンホールを有するスクリーンとの
間にλ/4位相板を設けた特許請求の範囲第1項記載の
レンズ系の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57081266A JPS58198744A (ja) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | レンズ系の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57081266A JPS58198744A (ja) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | レンズ系の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58198744A true JPS58198744A (ja) | 1983-11-18 |
Family
ID=13741554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57081266A Pending JPS58198744A (ja) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | レンズ系の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58198744A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114812386A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 西安航天发动机有限公司 | 一种五坐标激光测量仪装置及标定方法 |
-
1982
- 1982-05-13 JP JP57081266A patent/JPS58198744A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114812386A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 西安航天发动机有限公司 | 一种五坐标激光测量仪装置及标定方法 |
| CN114812386B (zh) * | 2022-03-30 | 2024-03-26 | 西安航天发动机有限公司 | 一种五坐标激光测量仪装置及标定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4302512B2 (ja) | 非球面表面および波面に対する干渉計スキャニング | |
| JP3237309B2 (ja) | システムエラー測定方法及びそれを用いた形状測定装置 | |
| JPH102714A (ja) | 測定方法及び装置 | |
| US6954273B2 (en) | Laser-based measuring apparatus for measuring an axial run-out in a cylinder of rotation and method for measuring the same utilizing opposing incident measuring light beams | |
| JPH02161332A (ja) | 曲率半径測定装置及び方法 | |
| JPS5952704A (ja) | 光学的検査装置および方法 | |
| US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
| US4089607A (en) | Optical interferometer | |
| US4693604A (en) | Interference method and interferometer for testing the surface precision of a parabolic mirror | |
| JPS58198744A (ja) | レンズ系の測定装置 | |
| US4120590A (en) | Method for measuring the thickness of transparent articles | |
| JPS6212269Y2 (ja) | ||
| CN114152569A (zh) | 一种基于spr角谱的成像光学系统 | |
| JPH07229721A (ja) | 非球面波発生装置及びそれを用いた非球面形状測定方法 | |
| JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
| US5218425A (en) | Measuring method and apparatus of roof surface | |
| JP3461566B2 (ja) | 円錐形状測定用干渉計 | |
| JP4334327B2 (ja) | 対象物の大きさおよび位置を測定するためのホログラフィ光学素子およびその使用方法ならびに当該ホログラフィ光学素子を有する装置 | |
| JP2992075B2 (ja) | 光ビームの走査装置 | |
| JPS62503049A (ja) | 二次元的な対象物を整向、検査及び/または測定するための方法及び装置 | |
| JP2000018918A (ja) | レーザ干渉式可動体の移動量検出装置 | |
| JPH0447242B2 (ja) | ||
| JPH05157532A (ja) | 測定用計算機ホログラム及びそれを用いた計測方法 | |
| JPH03156305A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
| JP2000088513A (ja) | 非球面波発生レンズ系組立調整装置 |