JPS58200616A - 音又型振動子の支持構造 - Google Patents
音又型振動子の支持構造Info
- Publication number
- JPS58200616A JPS58200616A JP8376682A JP8376682A JPS58200616A JP S58200616 A JPS58200616 A JP S58200616A JP 8376682 A JP8376682 A JP 8376682A JP 8376682 A JP8376682 A JP 8376682A JP S58200616 A JPS58200616 A JP S58200616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- vibrator
- fork type
- oscillator
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010276 construction Methods 0.000 title 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 238000009412 basement excavation Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000000550 effect on aging Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
- H03H9/0519—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明Ｆｉ捩れ畿勅を利用する音叉＠振動子の支持構造
に＠するものである。
に＠するものである。
近年、腕時計用水晶振動子として、屈曲振動と振れ振動
の弾性結合を利用する音叉型水晶振動子が注目されてい
る。この振動子は、屈曲振動と捩れ振動の弾性結合の強
さを適切に選び、前者の振動の周波数理［４１粍を良好
にして高精度腕時計用振動子とする。１１′ｆｔ：ねら
っ几ものである。
の弾性結合を利用する音叉型水晶振動子が注目されてい
る。この振動子は、屈曲振動と捩れ振動の弾性結合の強
さを適切に選び、前者の振動の周波数理［４１粍を良好
にして高精度腕時計用振動子とする。１１′ｆｔ：ねら
っ几ものである。
＃８１図は音叉型水晶振動子を谷器罠封入した軟線を示
している。１１１Ｉｉ音叉型水晶振動子、１２は振動子
の支持を兼ねた電極リード、１．５Ｆｉリードを支える
ステム、１４は振動子を封入するＷｍを表わす。振動子
１１の振動がリード１２とステム１ｓを介してｇ器１４
に伝わる（以後、この現象ｔ−ａ動モレと呼ぶ）場合、
その量が大きいと振動子１１の周波数理ｆ特性（以後、
ｆＴ特性と呼ぶ事にする）や周波数経時変化特性に多大
な悪影響を与える事が知られている。振動モレが大きい
場合、第１図に示す様罠、容器１５にカシ音訓えると振
動子の周波数は大きく変化する。
している。１１１Ｉｉ音叉型水晶振動子、１２は振動子
の支持を兼ねた電極リード、１．５Ｆｉリードを支える
ステム、１４は振動子を封入するＷｍを表わす。振動子
１１の振動がリード１２とステム１ｓを介してｇ器１４
に伝わる（以後、この現象ｔ−ａ動モレと呼ぶ）場合、
その量が大きいと振動子１１の周波数理ｆ特性（以後、
ｆＴ特性と呼ぶ事にする）や周波数経時変化特性に多大
な悪影響を与える事が知られている。振動モレが大きい
場合、第１図に示す様罠、容器１５にカシ音訓えると振
動子の周波数は大きく変化する。
第２図は音叉型水晶振動子の餠視図を表わしている。ｘ
、ｙ’、ｄ軸は、それぞれ音叉型水晶振動子の幅、長さ
、厚み方向を表わしている。
、ｙ’、ｄ軸は、それぞれ音叉型水晶振動子の幅、長さ
、厚み方向を表わしている。
ＷＡ５図は、第２図に示す音叉型水晶振動子の基部端の
直１１ＨＩ上における撮れ振動の、振動子の幅方向変位
ｕｘ （以後、単１’ｃ ｕ ｘと略す）、振動子の長
さ方向変位ｕｙ（以後、単Ｋｕｙ’と略す）、及び振動
子の厚み方向変位ｕ／（以後、単Ｋｕｓｅ’と略す）の
相対的な大ききを表わしている。第５図において、５１
はｕｘ、５２はｕｙ’％ ５５はｕｓ’をそれぞれ表わ
している。この結果は有限螢素法に工り得られたもので
ある。第３図から明らかな様に１音叉型水、４＆振動子
の基部における損れ振動の二方向の変位成分の内、ｕｚ
’がｕ菓′とｕ 、／に比轍し非常に大きい。
直１１ＨＩ上における撮れ振動の、振動子の幅方向変位
ｕｘ （以後、単１’ｃ ｕ ｘと略す）、振動子の長
さ方向変位ｕｙ（以後、単Ｋｕｙ’と略す）、及び振動
子の厚み方向変位ｕ／（以後、単Ｋｕｓｅ’と略す）の
相対的な大ききを表わしている。第５図において、５１
はｕｘ、５２はｕｙ’％ ５５はｕｓ’をそれぞれ表わ
している。この結果は有限螢素法に工り得られたもので
ある。第３図から明らかな様に１音叉型水、４＆振動子
の基部における損れ振動の二方向の変位成分の内、ｕｚ
’がｕ菓′とｕ 、／に比轍し非常に大きい。
ところで、屈−振動と償れ振動の弾性結合を利用する音
叉型水晶振動子を発掘回路に組み込んだ場合、発掘する
振動モードが屈曲振動であっても、即召、主撫動が屈曲
振動であっても、捩れ振動との弾性結合Ｋｌｊ）振動す
の基部における屈曲振動のｕ 、／はヤはり非常に大き
くなる。
叉型水晶振動子を発掘回路に組み込んだ場合、発掘する
振動モードが屈曲振動であっても、即召、主撫動が屈曲
振動であっても、捩れ振動との弾性結合Ｋｌｊ）振動す
の基部における屈曲振動のｕ 、／はヤはり非常に大き
くなる。
屈曲振動と儂れ振動の弾性結合を利用した音叉型水晶振
動子の支持構造の従来例を第４図と餉５図に示す。第４
図は従来の支持構造の平面図を示し２ている。４１は音
叉型水晶振動子、４２は振動子を励蚤するための電気的
ね子を兼ね次支持材を示している。絹５図は容器も含め
た第４図の側面図をポし友ものでろる。５１＃ま音叉型
水晶振動子、５２は振動子の支持を魚ねた電極リード、
５３はリードを支えるステム、５４は振動子を内部に封
入するｇ器を表わしている。第４図と第５−に示す従来
の支持構造では、捩れ振動の影響を受けた屈曲振動のｕ
ｍ ／が音叉型水晶振動子の基部にシいて非常に大き
い之め、その振動が大きいままに直接電極リード５２に
伝わってしまう、その結果、容器への振動モレが大きく
％ ｔテ特性ｆ周波数エージング特性に多大の悪影響を
与えていた。
動子の支持構造の従来例を第４図と餉５図に示す。第４
図は従来の支持構造の平面図を示し２ている。４１は音
叉型水晶振動子、４２は振動子を励蚤するための電気的
ね子を兼ね次支持材を示している。絹５図は容器も含め
た第４図の側面図をポし友ものでろる。５１＃ま音叉型
水晶振動子、５２は振動子の支持を魚ねた電極リード、
５３はリードを支えるステム、５４は振動子を内部に封
入するｇ器を表わしている。第４図と第５−に示す従来
の支持構造では、捩れ振動の影響を受けた屈曲振動のｕ
ｍ ／が音叉型水晶振動子の基部にシいて非常に大き
い之め、その振動が大きいままに直接電極リード５２に
伝わってしまう、その結果、容器への振動モレが大きく
％ ｔテ特性ｆ周波数エージング特性に多大の悪影響を
与えていた。
本発明は従来の欠点を改善し、振動モレの小さい撮れ振
動を利用する音叉ｍｔａ動子會提供する事′ を目的
としたものである。以下図面を参照し、本発明の詳細な
説明する。
動を利用する音叉ｍｔａ動子會提供する事′ を目的
としたものである。以下図面を参照し、本発明の詳細な
説明する。
ｔ／１４６図は本発明の一実ｊ１１例を示した働面図で
ある。６１は捩れ振動を利用する音叉型水晶振動子、６
２は振動子を励蚤するための二本の電気的端子を兼ねた
支持材、６５ｄステム、６４は振動子を封入する容器を
表わしている＊ ｔｇ ４図において、振動子の支持位
置６５は電気的端子６２の容器への挿入箇所６６とは容
器の長さ方向忙反対側の位置忙める。第５図に示す従来
例では、音叉型水晶振動子の支持構＃は、電気的層子を
兼ねた支持材５２の容器への挿入箇所と容器の長さ方向
に同じ側にある。即ち、音叉腕先端は支持位置よりり−
ドの仲人ｉ１１所から離れている。しかし、ｗ４６図に
ボす本発明では、音叉腕先端は支持位置工す９−ドの挿
入箇所ＶＣ近い、この神に本発明の支持構造は、従来例
に比べ、振動子の支持材を支持位置迄非常に梃くとれる
。その結果、捩れ振動による音叉型水晶振動子の基部忙
おけるｕｓ′は、第６図に示すリードの容器への挿入箇
所６６において十分小さくなる。その良め、第６図に示
す本発明の支持構造は振動モレを十分小さくする事が可
能である。
ある。６１は捩れ振動を利用する音叉型水晶振動子、６
２は振動子を励蚤するための二本の電気的端子を兼ねた
支持材、６５ｄステム、６４は振動子を封入する容器を
表わしている＊ ｔｇ ４図において、振動子の支持位
置６５は電気的端子６２の容器への挿入箇所６６とは容
器の長さ方向忙反対側の位置忙める。第５図に示す従来
例では、音叉型水晶振動子の支持構＃は、電気的層子を
兼ねた支持材５２の容器への挿入箇所と容器の長さ方向
に同じ側にある。即ち、音叉腕先端は支持位置よりり−
ドの仲人ｉ１１所から離れている。しかし、ｗ４６図に
ボす本発明では、音叉腕先端は支持位置工す９−ドの挿
入箇所ＶＣ近い、この神に本発明の支持構造は、従来例
に比べ、振動子の支持材を支持位置迄非常に梃くとれる
。その結果、捩れ振動による音叉型水晶振動子の基部忙
おけるｕｓ′は、第６図に示すリードの容器への挿入箇
所６６において十分小さくなる。その良め、第６図に示
す本発明の支持構造は振動モレを十分小さくする事が可
能である。
９７図は、本発明の池の実施例を示す側面図である。７
１＃ｉ捩れ恨動を利用する音叉型水晶振動子、７２Ｆｉ
絶縁性の支持材、７５は振動子を励損するための二本の
電気的端子を兼ねたリード材、７４ｈステム、７５ｉｔ
振動子を封入する容器を表わし１いる。第７図において
、振動子の支持位置７６は電気的層子７３の容器への挿
入箇所７７とＶよ容器の擾さ方向に反灼側の位［にある
。第７図ｉｔ示す本発明の実施例も、第６１の場合と同
様Ｋ。
１＃ｉ捩れ恨動を利用する音叉型水晶振動子、７２Ｆｉ
絶縁性の支持材、７５は振動子を励損するための二本の
電気的端子を兼ねたリード材、７４ｈステム、７５ｉｔ
振動子を封入する容器を表わし１いる。第７図において
、振動子の支持位置７６は電気的層子７３の容器への挿
入箇所７７とＶよ容器の擾さ方向に反灼側の位［にある
。第７図ｉｔ示す本発明の実施例も、第６１の場合と同
様Ｋ。
支持材の員さを十分大きくとれる。その結果、儀れ煽動
ＶＣよる音叉型水晶振動子の基部！Ｉｃシけるｕｓ’は
、リード材の容器への挿入箇所７７において十分小さく
なる。しかも、第７図の場合、振動子とリード材の関に
絶縁性の支持材があり、振動子の振動が直接リード材に
伝わらない様、緩衝材の役割を持っている。その結果、
第６図の場合に比べ、振動モレは更に低減する。
ＶＣよる音叉型水晶振動子の基部！Ｉｃシけるｕｓ’は
、リード材の容器への挿入箇所７７において十分小さく
なる。しかも、第７図の場合、振動子とリード材の関に
絶縁性の支持材があり、振動子の振動が直接リード材に
伝わらない様、緩衝材の役割を持っている。その結果、
第６図の場合に比べ、振動モレは更に低減する。
第８図は本発明の油の実ＩＩＩＡ例を示す側面図である
。８１は音叉型水晶振動子、８２は支持材、８５け二本
の電気的端子を兼ねた支持材、８４はステム、８５は振
動子を封入する容器を表わしている。
。８１は音叉型水晶振動子、８２は支持材、８５け二本
の電気的端子を兼ねた支持材、８４はステム、８５は振
動子を封入する容器を表わしている。
８２の支持材は導電性でも絶縁性でもどちらでも良い。
絶縁性の場合、その支持材の表面に導電性物質を蒸着あ
るいはスパッタ等で付着させ、電気的端子８５と水晶振
動子８１の導電を行なえば良い。第８図に示す本発明の
実施例の効果は、第６内と第７図の実施例におい讐欽明
した効果と同じである。
るいはスパッタ等で付着させ、電気的端子８５と水晶振
動子８１の導電を行なえば良い。第８図に示す本発明の
実施例の効果は、第６内と第７図の実施例におい讐欽明
した効果と同じである。
ところで、以上の説明において主に音叉型水晶振動子を
例に挙げて説明してきたが、本発明は水晶振動子に＠定
されるものではない。振動子の材料が水晶以外であって
も、本発明の効果はそのままあてはまる。
例に挙げて説明してきたが、本発明は水晶振動子に＠定
されるものではない。振動子の材料が水晶以外であって
も、本発明の効果はそのままあてはまる。
父、本発明の音叉型振動子の支持構造は、振動子の撮動
モードが秦れ伽動本独でも良く、あるいは僑れ振動と曲
の撮動モードの弾性結合を利用するものであっても良い
。弾性結合を利用する場合、主振動は捩れ振動であって
も、あるいは池の振動モードであっても良い・ 特に屈曲振動と捩れ振動の弾性結合を利用する１叉型水
晶撫動子は為精度振動子として注目されているが、との
去動子ｒ（対しても本発明の支持構造は振動モレを防ぐ
上で非常に効果的である。
モードが秦れ伽動本独でも良く、あるいは僑れ振動と曲
の撮動モードの弾性結合を利用するものであっても良い
。弾性結合を利用する場合、主振動は捩れ振動であって
も、あるいは池の振動モードであっても良い・ 特に屈曲振動と捩れ振動の弾性結合を利用する１叉型水
晶撫動子は為精度振動子として注目されているが、との
去動子ｒ（対しても本発明の支持構造は振動モレを防ぐ
上で非常に効果的である。
以上詳細に説明した様ｒ（、捩れ撮動を利用する音、父
型振動子に幻する本発明の支持構造は、振動モレの少な
い、それ故に安定なｆテ特性及びＭｉ１波数継−変化４
Ｉ性を持つ音叉型振動子を提供できる優れた効果を持っ
ている。
型振動子に幻する本発明の支持構造は、振動モレの少な
い、それ故に安定なｆテ特性及びＭｉ１波数継−変化４
Ｉ性を持つ音叉型振動子を提供できる優れた効果を持っ
ている。
第１図は音叉型振動子と容器の構造を示す側面図、第２
図は音叉型水晶振動子の形状を示す斜視図、’ｔｓ’図
は音叉型水晶振動子の基部端面における捩れ振動の変位
の三方向成分を示すグラフ、鯖４図は従来の音叉型水晶
振動子の支持構造を示す平面図、第５図は従来あ音叉型
水晶振動子の支持構造を示す１１４ｔ１面図、小６１Ｖ
、！７図、第６図は本発明の音叉型振動子の支持構造を
示すｌＩＩ面図・６１、７１．８１ ・・・音叉型振
動子６２、７３．８３ ・・・電気的リード端子７２
．８２・・・・・・・・・支持材 ６５、７４．８４ ・・・ステム ６４、７５． Ｂ５ ・・・容器 以 上 出願人 株式会社 第二精工舎 代理人 弁理士 傘 上 務 ７３ 第１図 第２図 ２′ 第３図 Ｈ１ −一一一一一−χ 第４図 第５図 りｄ ｔＩＮ６図 に４ 第７図 フ（ 第８図
図は音叉型水晶振動子の形状を示す斜視図、’ｔｓ’図
は音叉型水晶振動子の基部端面における捩れ振動の変位
の三方向成分を示すグラフ、鯖４図は従来の音叉型水晶
振動子の支持構造を示す平面図、第５図は従来あ音叉型
水晶振動子の支持構造を示す１１４ｔ１面図、小６１Ｖ
、！７図、第６図は本発明の音叉型振動子の支持構造を
示すｌＩＩ面図・６１、７１．８１ ・・・音叉型振
動子６２、７３．８３ ・・・電気的リード端子７２
．８２・・・・・・・・・支持材 ６５、７４．８４ ・・・ステム ６４、７５． Ｂ５ ・・・容器 以 上 出願人 株式会社 第二精工舎 代理人 弁理士 傘 上 務 ７３ 第１図 第２図 ２′ 第３図 Ｈ１ −一一一一一−χ 第４図 第５図 りｄ ｔＩＮ６図 に４ 第７図 フ（ 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）捩れ振動を利用する音叉型振動子において、振動
子を励振させるために容器の外部から内部に挿入する２
本の電気的端子の挿入部所に対し、容器の長さ方向に反
幻側の位置で振動子を支持する事を特徴とする揖れ振動
を利用する音叉型振動子の支持構造。 （２）振動子を励振するための電気的端子を兼ねたリー
ド材料で音叉型振動子を直接支持し大事を特徴とする特
許＃ｆｇ求の範囲１１！１項記載の音叉型振動子の支持
構造。 （３）振動子を励振するための電気的端子を兼ねたリー
ド材料と音叉型振動子の間ＫＩＩ！３ｍ性の支持材を設
けた拳を特徴とする特許請求の軛囲鯖１項記軟の音叉型
振動子の支持構造。 （４）振動子は水晶振動子である拳を特徴とする％Ｆｔ
ｉｍ求範ｖＡ硝１積、第２躬第５項記載の音叉＃！秦動
子の支持構造。 （６） ｉｉｉ動子Ｆｉ捩れ振動と屈曲振動の弾性結
合を謬１ｊ用する拳を特徴とする特許請求範囲第１項、
第２項、ＷｔＳ＊％第４墳記載の音叉型振動子の支持構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8376682A JPS58200616A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 音又型振動子の支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8376682A JPS58200616A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 音又型振動子の支持構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58200616A true JPS58200616A (ja) | 1983-11-22 |
Family
ID=13811701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8376682A Pending JPS58200616A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 音又型振動子の支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58200616A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5436523A (en) * | 1992-11-06 | 1995-07-25 | Avance Technology | High frequency crystal resonator |
| US7215066B2 (en) * | 2004-09-16 | 2007-05-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Piezoelectric actuator and micro-electromechanical device |
-
1982
- 1982-05-18 JP JP8376682A patent/JPS58200616A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5436523A (en) * | 1992-11-06 | 1995-07-25 | Avance Technology | High frequency crystal resonator |
| US7215066B2 (en) * | 2004-09-16 | 2007-05-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Piezoelectric actuator and micro-electromechanical device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4900971A (en) | Face shear mode quartz crystal resonator | |
| US4350918A (en) | Contour vibration mode piezoelectric resonator | |
| JP2002141770A (ja) | 小型振動子 | |
| US4139793A (en) | Integral resonant support arms for piezoelectric microresonators | |
| CN102013881A (zh) | 弯曲振动片、弯曲振子以及电子设备 | |
| JPH06112760A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| US3946257A (en) | Quartz crystal vibrator with partial electrodes for harmonic suppression | |
| US4503353A (en) | Cut angles for tuning fork type quartz resonators | |
| JPS58200616A (ja) | 音又型振動子の支持構造 | |
| JPS6117171B2 (ja) | ||
| JPS6244580Y2 (ja) | ||
| JPS6144408B2 (ja) | ||
| JPS6458108A (en) | Tuning fork type crystal vibrator | |
| JPH0150134B2 (ja) | ||
| JPS6324659Y2 (ja) | ||
| JPS5950128B2 (ja) | 縦振動子の支持構造 | |
| JPS6365167B2 (ja) | ||
| US4525646A (en) | Flexural mode vibrator formed of lithium tantalate | |
| JPS5818806B2 (ja) | 音叉形圧電振動子 | |
| SU860280A1 (ru) | Кварцевый вибратор с колебани ми сдвига по контуру | |
| JPS6019387Y2 (ja) | 複合振動子 | |
| JPS583411A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5851689B2 (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
| SU720700A1 (ru) | Преобразователь электромеханического фильтра | |
| JPS5853213A (ja) | 音又型水晶振動子 |