JPS58201385A - 封じ切り型ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 - Google Patents
封じ切り型ｃｏ↓２レ−ザ−発振管Info
- Publication number
- JPS58201385A JPS58201385A JP8330182A JP8330182A JPS58201385A JP S58201385 A JPS58201385 A JP S58201385A JP 8330182 A JP8330182 A JP 8330182A JP 8330182 A JP8330182 A JP 8330182A JP S58201385 A JPS58201385 A JP S58201385A
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- JP
- Japan
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- mixed gas
- cathode
- catalyst
- gas
- tube
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の発振管に関する。
本発明が適用される封じ切り型ＣＯ２レーザ−発振管は
、ＣＯ２ｆｆ：含む混合ガスを密閉した管内に循環させ
、その放電部において比較的大電流密度の直流を陽・陰
極間に放電せしめ一ＣＣＯ２の荷電粒子を陽極側から陰
極側に移動せしめることを継続することによりＣＯ２レ
ーザ−ビームを発振せしめる本のである．しかして、か
かる発振方式では、ＣＯ２がイオンとして移動せしめら
れるものであるから、原理的にはガス循環のためのター
がファン等を設置する必要がなく、従って全体の容積も
少くてすみ、また、封じ切り型であるから特別にＣＯ２
を補充しなくてもよく、発振管の寿命も比較的長い等の
利点を有するのであるが、反面次のような欠点を有する
ものである。
、ＣＯ２ｆｆ：含む混合ガスを密閉した管内に循環させ
、その放電部において比較的大電流密度の直流を陽・陰
極間に放電せしめ一ＣＣＯ２の荷電粒子を陽極側から陰
極側に移動せしめることを継続することによりＣＯ２レ
ーザ−ビームを発振せしめる本のである．しかして、か
かる発振方式では、ＣＯ２がイオンとして移動せしめら
れるものであるから、原理的にはガス循環のためのター
がファン等を設置する必要がなく、従って全体の容積も
少くてすみ、また、封じ切り型であるから特別にＣＯ２
を補充しなくてもよく、発振管の寿命も比較的長い等の
利点を有するのであるが、反面次のような欠点を有する
ものである。
（ｉ）上記の如く一方交通的に陽極から陰極にＣＯ２荷
電粒子が移動するものであるから放電管内の陰極側にＣ
Ｏ２ガスが比較的濃厚に集結し、発振管全体ではアンバ
ランスな圧力差を生じることとなり、これが原因で連続
して良好な発振を得る障害となっている。
電粒子が移動するものであるから放電管内の陰極側にＣ
Ｏ２ガスが比較的濃厚に集結し、発振管全体ではアンバ
ランスな圧力差を生じることとなり、これが原因で連続
して良好な発振を得る障害となっている。
（ｉｉ） ＣＯ２を陽極側に移動させるため、しかも
、その内部では放電の起らないよう比較的大径で曲折し
て形成されるリターンパスを設けているが、それにも拘
らずＣＯ２は陰極側に多く片寄って集結しがちであるの
で、Ｃ０２の一定量が絶えず陽極に補充される対策が必
要である。
、その内部では放電の起らないよう比較的大径で曲折し
て形成されるリターンパスを設けているが、それにも拘
らずＣＯ２は陰極側に多く片寄って集結しがちであるの
で、Ｃ０２の一定量が絶えず陽極に補充される対策が必
要である。
（１：： ）混合ガス中に放電により水分または有機物
等が生成されるので発振効率を高めるためにはこれを除
去する必要がある。
等が生成されるので発振効率を高めるためにはこれを除
去する必要がある。
（！Ｖ） ＣＯ２が循環している間に放電によりその
一部がＣＯと０２とに分解され、生成したＣＯの存在が
発振効率を著しく低下させるので、ＣＯをＣＯ２に再生
せせしめる対策が必要である。
一部がＣＯと０２とに分解され、生成したＣＯの存在が
発振効率を著しく低下させるので、ＣＯをＣＯ２に再生
せせしめる対策が必要である。
（Ｖ） この方式は、大電流密度の直流を放電せしめ
るものであるから、放電部が強く加熱され、特に陰極に
は陽極からのＣＯ２イオンが強烈に衝突するため発熱の
度合が犬であり、これを放置すると放電を阻害するので
特別の強制冷却手段が必要である。
るものであるから、放電部が強く加熱され、特に陰極に
は陽極からのＣＯ２イオンが強烈に衝突するため発熱の
度合が犬であり、これを放置すると放電を阻害するので
特別の強制冷却手段が必要である。
等多くの問題点を有するものであった。
これに対し、本発明は、これらの問題点を解決すべくな
されたもので、まず第１に片寄りがちなＣＯ２の陽極へ
の円滑な移動については、有効なガスリザーバー即ちガ
ス溜めを設置しようとするものである。本発明では、Ｃ
０２が最も濃厚に集結する陰極近傍又は陰極自身がそれ
に内蔵されるようにガスリザーバーが設置される。この
結果、陰極に集結するＣＯ２を含む混合ガスを上記ガス
リザーバー内に取り込み貯留させて前記リターン・Ｐス
を介して陽極に常時一定量を補充しつるように形成され
るものであるうまた、該ガスリザーバーには、その出口
及び入口に夫々金網等の網状物が張設され、混合ガス中
の水分及び有機物等の不純物が該網状物に衝突してこれ
に付着して除去されるようになっている。上記の機能を
果すガスリザーバーは比較的大容量のものが好ましい。
されたもので、まず第１に片寄りがちなＣＯ２の陽極へ
の円滑な移動については、有効なガスリザーバー即ちガ
ス溜めを設置しようとするものである。本発明では、Ｃ
０２が最も濃厚に集結する陰極近傍又は陰極自身がそれ
に内蔵されるようにガスリザーバーが設置される。この
結果、陰極に集結するＣＯ２を含む混合ガスを上記ガス
リザーバー内に取り込み貯留させて前記リターン・Ｐス
を介して陽極に常時一定量を補充しつるように形成され
るものであるうまた、該ガスリザーバーには、その出口
及び入口に夫々金網等の網状物が張設され、混合ガス中
の水分及び有機物等の不純物が該網状物に衝突してこれ
に付着して除去されるようになっている。上記の機能を
果すガスリザーバーは比較的大容量のものが好ましい。
次に、本発明では、この種の封じ切り型ＣＯ２レーデ−
発振管において重要なＣＯのＣＯ２への酸化再生に関し
加熱活性型の酸化触媒を充填する触媒槽を上記ガスリザ
ーバーに内蔵せしめて設置している・本発明が適用され
る発振器では、その陰極に温度上昇を招く。従って特に
この部分を強制冷却する必要があるが、本発明ではこの
熱量を触媒の加熱に使用するとともに冷却の補助的手段
に供せしめようとするものである・さらに、本発明では
混合−ｘス中のＣＯ量を常時看視するだめのｃｏ検出器
を備え、ガス中のＣＯ量が設定値以上になった場合には
触媒の活性化を促進するための昇温か必要ならば直ちに
触媒槽を加熱する加熱手段を設けている。
発振管において重要なＣＯのＣＯ２への酸化再生に関し
加熱活性型の酸化触媒を充填する触媒槽を上記ガスリザ
ーバーに内蔵せしめて設置している・本発明が適用され
る発振器では、その陰極に温度上昇を招く。従って特に
この部分を強制冷却する必要があるが、本発明ではこの
熱量を触媒の加熱に使用するとともに冷却の補助的手段
に供せしめようとするものである・さらに、本発明では
混合−ｘス中のＣＯ量を常時看視するだめのｃｏ検出器
を備え、ガス中のＣＯ量が設定値以上になった場合には
触媒の活性化を促進するための昇温か必要ならば直ちに
触媒槽を加熱する加熱手段を設けている。
以下、図面を参照して実施例に基づいて本発明を説明す
る。第１図、第２図ともに本発明に係る封じ切り型ｃｏ
２レーザー発振管を示す説明図である。陽極１と陰極２
との間には比較的大電流密度の直流で放電され、管内に
は矢印方向にＣＯ２、Ｎ２及びＨｅの混合ガスが循環し
、光共振器３，３′によりＣＯ２レーザ−ビームが発振
せしめられる。ｃｏ２は陽極１でイオン化され荷電粒子
として陰極２に衝突的に移動するがこの際ｃｏ２は陰極
２側に比較的濃厚に集結踵放電管４全体ではアンバラン
スな圧力差を生じるようになる。通常この種の発振管で
は連続して良好な発振を維持するためにその内部では放
電が起らないで比較的太径でしかも曲折して長い径路を
有して形成される混合ガスのリターンノｅス５が設けら
れている。
る。第１図、第２図ともに本発明に係る封じ切り型ｃｏ
２レーザー発振管を示す説明図である。陽極１と陰極２
との間には比較的大電流密度の直流で放電され、管内に
は矢印方向にＣＯ２、Ｎ２及びＨｅの混合ガスが循環し
、光共振器３，３′によりＣＯ２レーザ−ビームが発振
せしめられる。ｃｏ２は陽極１でイオン化され荷電粒子
として陰極２に衝突的に移動するがこの際ｃｏ２は陰極
２側に比較的濃厚に集結踵放電管４全体ではアンバラン
スな圧力差を生じるようになる。通常この種の発振管で
は連続して良好な発振を維持するためにその内部では放
電が起らないで比較的太径でしかも曲折して長い径路を
有して形成される混合ガスのリターンノｅス５が設けら
れている。
かかる構成において、本発明では、発振管における陰極
２の特に近傍に比較的大容量のガスリザーバー６が設け
られる。これは、前述の如く、陰極２側に比較的濃厚に
集結するｃｏ２を円滑に陽極ｌ側に帰還させるためには
、前記のリターンをス５だけでは十分でないので、これ
以外に一時的に混合ガスを貯留し、これを逐次リターン
・やスに流入しレーザービームの発振条件を斉一にする
効果を得ようとするものである。このガスリザーバー６
の入口及び出口には、夫々網状物例えば金網７゜７′−
が張設されて、循環する混合ガス中の水分及び有機物等
を付着せしめて除去している。さらに、本発明における
重要な特徴のひとつとして、該ガスリザーバーに触媒槽
８が内蔵されている。触媒槽８には、混合ガス中に放電
により経時的に増加するＣＯを再びｃｏ２に酸化するた
めの加熱活性型の酸化触媒が充填されている０そして、
ガスリゾ−パー６に流入した混合ガスが触媒槽の例えば
壁面から浸入し同槽内で酸化作用が行われ得るようにな
っている・また、本発明において、加熱活性型の酸化触
媒例えばＰｔ ＋ Ｓ＋０２ ＋ Ａｔ２０３等を使用
すするのは、陰極付近の比較的高温の混合ガスの熱量を
該触媒の加熱に利用して、有効な触媒活性が得られるか
らである。
２の特に近傍に比較的大容量のガスリザーバー６が設け
られる。これは、前述の如く、陰極２側に比較的濃厚に
集結するｃｏ２を円滑に陽極ｌ側に帰還させるためには
、前記のリターンをス５だけでは十分でないので、これ
以外に一時的に混合ガスを貯留し、これを逐次リターン
・やスに流入しレーザービームの発振条件を斉一にする
効果を得ようとするものである。このガスリザーバー６
の入口及び出口には、夫々網状物例えば金網７゜７′−
が張設されて、循環する混合ガス中の水分及び有機物等
を付着せしめて除去している。さらに、本発明における
重要な特徴のひとつとして、該ガスリザーバーに触媒槽
８が内蔵されている。触媒槽８には、混合ガス中に放電
により経時的に増加するＣＯを再びｃｏ２に酸化するた
めの加熱活性型の酸化触媒が充填されている０そして、
ガスリゾ−パー６に流入した混合ガスが触媒槽の例えば
壁面から浸入し同槽内で酸化作用が行われ得るようにな
っている・また、本発明において、加熱活性型の酸化触
媒例えばＰｔ ＋ Ｓ＋０２ ＋ Ａｔ２０３等を使用
すするのは、陰極付近の比較的高温の混合ガスの熱量を
該触媒の加熱に利用して、有効な触媒活性が得られるか
らである。
特に第２図に示す如く、ガスリザーバー６に陰極２を内
蔵したものでは上記の効果が顕著である。
蔵したものでは上記の効果が顕著である。
即ち、陰極２が内蔵されているとガスリザーバーに発振
管では最も高温な混合ガスが該ガスリザーバーに流入す
ることとなり触媒が高い熱効率で加熱される。
管では最も高温な混合ガスが該ガスリザーバーに流入す
ることとなり触媒が高い熱効率で加熱される。
本発明装置には、さらに必要に、応じ、ＣＯ検出器９を
設ける０前述の如＜Ｃ０２は放電計に連続して曝らされ
ることによりその一部が分解してＣＯを生じることにな
るが、混合ガス中にＣＯが多量に蓄積するとレーザービ
ームの発振効率を著しく阻害することとなり適当ではな
い。従って前述の触媒を働かしてＣＯから００２に酸化
せしめるのであるが、この場合、ＣＯ量が許容量以上で
あれば直ちに触媒が高能率で働きうるよう必要に応じ触
媒槽を外部から加熱することが好ましい。この目安とし
てＣ０検出器が有用である。さらに、上述の加熱に要す
る加熱手段例えば図示の如き触媒槽の外周を囲む電熱＠
１０が好ましく使用される。
設ける０前述の如＜Ｃ０２は放電計に連続して曝らされ
ることによりその一部が分解してＣＯを生じることにな
るが、混合ガス中にＣＯが多量に蓄積するとレーザービ
ームの発振効率を著しく阻害することとなり適当ではな
い。従って前述の触媒を働かしてＣＯから００２に酸化
せしめるのであるが、この場合、ＣＯ量が許容量以上で
あれば直ちに触媒が高能率で働きうるよう必要に応じ触
媒槽を外部から加熱することが好ましい。この目安とし
てＣ０検出器が有用である。さらに、上述の加熱に要す
る加熱手段例えば図示の如き触媒槽の外周を囲む電熱＠
１０が好ましく使用される。
本発明は以上の如き構成に基づくものであるから、本方
式において比較的陰極側に濃厚に集結するＣＯ２を、ガ
スリザーバーを使用して陽極に甲、滑に移動せしめて発
振効率を連続して良好に維持しうるとともに、該ガスリ
ザーバーにおいて混合ガス中の水分及び有機物等を除去
して同様に発振効率の低下を招く原因を除去し、さらに
、ｃｏ２の分解により発生するｃｏを酸化して再びｃｏ
２に変化せしめるため加熱活性型の酸化触媒を使用する
が、これを加熱する熱源の一部としてｃｏ２イオンの移
動にによシ昇温せしめられる陰極の発生熱を利用して効
果を挙げ、また必要に応じ、ＣＯ量を検出し触媒の加熱
に連動する加熱手段を設けてＣＯを除去して発振効率を
高める等多くの利点を有するものであり、この種のレー
ザー発振管に適用して極めて有用である。
式において比較的陰極側に濃厚に集結するＣＯ２を、ガ
スリザーバーを使用して陽極に甲、滑に移動せしめて発
振効率を連続して良好に維持しうるとともに、該ガスリ
ザーバーにおいて混合ガス中の水分及び有機物等を除去
して同様に発振効率の低下を招く原因を除去し、さらに
、ｃｏ２の分解により発生するｃｏを酸化して再びｃｏ
２に変化せしめるため加熱活性型の酸化触媒を使用する
が、これを加熱する熱源の一部としてｃｏ２イオンの移
動にによシ昇温せしめられる陰極の発生熱を利用して効
果を挙げ、また必要に応じ、ＣＯ量を検出し触媒の加熱
に連動する加熱手段を設けてＣＯを除去して発振効率を
高める等多くの利点を有するものであり、この種のレー
ザー発振管に適用して極めて有用である。
第１図及び第２図は本発明装置を示す説明図である。
■・・・陽極、２・・・陰極、３，３′ ・・・光共振
器、４・・・放ｔ！、５・・・リターン・ぞス、６・・
・ガスリザーバ＝７．７′・・・網状物、８・・・触媒
槽、９・・・ＣＯ検出器、１０・・・電熱線。 特許出願人 持田製薬株式会社 代理人 弁理士 甲 斐 正 憲 手 続 補 正 書 昭和５７年７月７日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 特願昭５７−８３３０１号 ２、発明の名称 封じ切り型ＣＯ２レーザー発振管 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区四谷１丁目７番地 名称 持田製薬株式会社 ４、代理人 ６、補正の対象 発明の詳細な説明 ７、補正の内容 別紙のとおり （１）明細書第５頁第６行［がＣＯと０２・・・」を「
が下式（１）の如＜ ＣＯと０２・・・」と改める。 （１１）同じく第６行ｒ ｃｏの存在が」を下文のとお
り改める。 ［０２が発振管の電極その他の部分を酸化し又はこれら
の部分に吸着するため費消され、式％式％（１） における解離再結合機構のバランスが崩れ、Ｃ０２が次
第に減少して」 （ｉｉｉｌ 同じく第７行「・・・低下させるの、で
、ＣＯを・・・」を［・・・低下させるので、過剰にな
つだＣＯを・・・」と改める。 ３５
器、４・・・放ｔ！、５・・・リターン・ぞス、６・・
・ガスリザーバ＝７．７′・・・網状物、８・・・触媒
槽、９・・・ＣＯ検出器、１０・・・電熱線。 特許出願人 持田製薬株式会社 代理人 弁理士 甲 斐 正 憲 手 続 補 正 書 昭和５７年７月７日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 特願昭５７−８３３０１号 ２、発明の名称 封じ切り型ＣＯ２レーザー発振管 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区四谷１丁目７番地 名称 持田製薬株式会社 ４、代理人 ６、補正の対象 発明の詳細な説明 ７、補正の内容 別紙のとおり （１）明細書第５頁第６行［がＣＯと０２・・・」を「
が下式（１）の如＜ ＣＯと０２・・・」と改める。 （１１）同じく第６行ｒ ｃｏの存在が」を下文のとお
り改める。 ［０２が発振管の電極その他の部分を酸化し又はこれら
の部分に吸着するため費消され、式％式％（１） における解離再結合機構のバランスが崩れ、Ｃ０２が次
第に減少して」 （ｉｉｉｌ 同じく第７行「・・・低下させるの、で
、ＣＯを・・・」を［・・・低下させるので、過剰にな
つだＣＯを・・・」と改める。 ３５
Claims (4)
- （１）全体を封じ切って陽極と陰極との間に比較的大電
流密度の直流を放電しＣＯ２を含む混合ガスを循環して
ＣＯ２レーザ−ビームを発振せしめるＣ０２レーザー発
振管において、前記陰極の近傍にその出・入口に夫々網
状物を張設して混合ガス中の水分、不純物等を除去しう
る比較的大容量のガスリザーバーを設け、該リザーバー
に前記混合ガス中のＣｏ ｉ ＣＯ２に再生する加熱活
性型の酸化触媒を充填する触媒槽を内蔵して構成される
ことを特徴とする封じ切り型ＣＯ２レーザー発振管。 - （２）全体を封じ切って陽極と陰極との間に比較的大電
流密度の直流を放電しＣＯ２を含む混合ガスを循環して
ＣＯ２レー鳩ビームを発振せしめるＣＯ２レーザー発振
管において、前記陰極の近傍にその出入口に夫々網状物
を張設して混合ガス中の水分、不純物等を除去しうる比
較的大容量のガスリザーバーを設け、該リザーバーに前
記混合ガス中のＣＯをＣＯ２に再生する加熱活性型の酸
化触媒を充填する触媒槽を内蔵するとともに、該混合ガ
ス中のＣＯ量を検出するＣＯ検出器及びＣＯ量が設定値
以上の場合前記触媒な必要に応じ加熱する加熱手段を設
けて構成されることを特徴とする封じ切り型ＣＯ２レー
ザー発振管。 - （３）全体を封じ切って陽極と陰極との間に比較的大電
流密度の直流を放電しＣＯ２を含む混合ガスを循環して
ＣＯ２レーザ−ビームを発振せしめるＣＯ２レーザー発
振管において、その出・入口（夫々網状物を張設して混
合ガス中の水分、不純物環イを除去しうる比較的大容量
のガスリザーバーを設けて該リザーバーに前記陰極を内
蔵するとともに、該陰極に隣接して、混合ガス中のＣＯ
をＣＯ２に再生する加熱活性型の酸化触媒を充填する触
媒槽を内蔵して構成されることを特徴とする封じ切り型
ＣＯ２レーザー発振管。 - （４） 全体を封じ切って陽極と陰極との間に比較的
大電流密度の直流を放電しＣＯ２を含む混合ガスを循環
してＣＯ２レーザ−ビームを発振せしめるＣＯ２レーザ
ー発振管において、その出・入口に夫々網状物を張設し
て混合ガス中の水分、不純物等を除去しうる比較的大容
量のガスリザーバーを設けて該リザーバーに前記陰極を
内蔵するとともに、該陰極に隣接して、混合ガス中のＣ
ＯをＣＯ２に再生する加熱活性型の酸化触媒を充填する
触媒槽を内蔵し、さらに、該混合ガス中のＣＯ量を検出
するＣＯ検出器及びＣＯ量が設定値以上の場合前記触媒
を必要に応じ加熱する加熱手段を設けて構成されること
を特徴とする封じ切り型ＣＯ２レーザー発振管０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8330182A JPS58201385A (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 封じ切り型ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8330182A JPS58201385A (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 封じ切り型ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201385A true JPS58201385A (ja) | 1983-11-24 |
| JPS6152597B2 JPS6152597B2 (ja) | 1986-11-13 |
Family
ID=13798581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8330182A Granted JPS58201385A (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 封じ切り型ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201385A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138964U (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-11 | 日本電気株式会社 | ガスレ−ザ発振器 |
| JPH06188485A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-08 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザのガス再生装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3789320A (en) * | 1972-06-19 | 1974-01-29 | Ferranti Ltd | Gas laser circulation system |
| JPS5648191A (en) * | 1979-09-27 | 1981-05-01 | Agency Of Ind Science & Technol | Carbon dioxide gas laser oscillator |
-
1982
- 1982-05-19 JP JP8330182A patent/JPS58201385A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3789320A (en) * | 1972-06-19 | 1974-01-29 | Ferranti Ltd | Gas laser circulation system |
| JPS5648191A (en) * | 1979-09-27 | 1981-05-01 | Agency Of Ind Science & Technol | Carbon dioxide gas laser oscillator |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138964U (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-11 | 日本電気株式会社 | ガスレ−ザ発振器 |
| JPH06188485A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-08 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザのガス再生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6152597B2 (ja) | 1986-11-13 |
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