JPS6364071B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6364071B2 JPS6364071B2 JP22040983A JP22040983A JPS6364071B2 JP S6364071 B2 JPS6364071 B2 JP S6364071B2 JP 22040983 A JP22040983 A JP 22040983A JP 22040983 A JP22040983 A JP 22040983A JP S6364071 B2 JPS6364071 B2 JP S6364071B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- mixed gas
- gas
- gas reservoir
- discharge
- Prior art date
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- Expired
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は封じ切り型のCO2レーザー発振管に関
する。
する。
本発明が適用される封じ切り型のCO2レーザー
発振管はCO2、He、Ne等からなる混合ガスを密
閉した管内に循環させ、その放電路において比較
的大電流密度の直流を陽・陰極間に放電してCO2
レーザービームを発振せしめる方式のものであ
る。
発振管はCO2、He、Ne等からなる混合ガスを密
閉した管内に循環させ、その放電路において比較
的大電流密度の直流を陽・陰極間に放電してCO2
レーザービームを発振せしめる方式のものであ
る。
しかして、かかる発振方式では、原理的にはガ
ス循環のためのターボフアン等を設置する必要が
なくて全体の容積が少くてすみ、また、CO2を補
充しなくてもよく、また、発振管の寿命が他の方
式のものに較べて長い等の利点を有するものであ
るが、反面一方交通的に陽極から陰極に向つて
CO2荷電粒子を移動するため陰極側に混合ガスが
比較的濃厚に集結し発振管全体としてアンバラン
スな圧力を生じ、さらにCO2の一部がCOに還元
されこの結果連続して安定した発振が得られず発
振効率も低下することが欠点となつていた。
ス循環のためのターボフアン等を設置する必要が
なくて全体の容積が少くてすみ、また、CO2を補
充しなくてもよく、また、発振管の寿命が他の方
式のものに較べて長い等の利点を有するものであ
るが、反面一方交通的に陽極から陰極に向つて
CO2荷電粒子を移動するため陰極側に混合ガスが
比較的濃厚に集結し発振管全体としてアンバラン
スな圧力を生じ、さらにCO2の一部がCOに還元
されこの結果連続して安定した発振が得られず発
振効率も低下することが欠点となつていた。
本発明者等はこれが対策として、CO2を含む混
合ガスを陰極側に滞留せしめずに陽極側に円滑に
移動させ、また、該ガスを冷却するため曲折した
長いリターンパスを付設したガスリザーバーを設
け、さらに、混合ガス中に発生するCOをCO2に
再生酸化する触媒を該ガスリザーバーに内蔵した
レーザー発振管を提供している。
合ガスを陰極側に滞留せしめずに陽極側に円滑に
移動させ、また、該ガスを冷却するため曲折した
長いリターンパスを付設したガスリザーバーを設
け、さらに、混合ガス中に発生するCOをCO2に
再生酸化する触媒を該ガスリザーバーに内蔵した
レーザー発振管を提供している。
しかし、その後さらに検討を重ねた結果、曲折
した長尺のリターンパスを設けることが装置の全
体容積を徒らに増大し装置を複雑化するため適当
でなく、また、ガスリザーバーに内蔵する触媒が
混合ガスの円滑な流動を阻害する等の問題点が存
することが判明したためこれが改善を企図し本発
明を完成するに至りたるものである。
した長尺のリターンパスを設けることが装置の全
体容積を徒らに増大し装置を複雑化するため適当
でなく、また、ガスリザーバーに内蔵する触媒が
混合ガスの円滑な流動を阻害する等の問題点が存
することが判明したためこれが改善を企図し本発
明を完成するに至りたるものである。
本発明に係るレーザー発振管の構成上の重要な
特徴は、酸化触媒をメツシユ状物に形成して陰極
の外周に環設し混合ガスの円滑な循環に寄与せし
める点、ガスリザーバーに付設する曲折した長尺
のリターンパスの代りにしかも該パスと比較して
同等以上の冷却効果を奏せしめるための強制冷却
水通路に接してガスリザーバーを配設する点、さ
らに、該ガスリザーバーを介して両極間に放電が
行われることを防止するため陰極に近接するガス
リザーバーの端部に穿設された混合ガスの流入小
孔にコイル状の流入管を取付けている点に存する
もので、かくして、封じ切り型発振管における混
合ガスの流動性を高めるとともに十分な冷却を行
いさらに後述する如くガスリザーバーにおける放
電抵抗を生ぜしめて発振効率を向上し、また、ガ
スリザーバーに触媒を内蔵しリターンパスを設置
する等装置の全体容積を増大する要因を除去して
装置をコンパクトにし実用性を高めた発振管を提
供するものである。
特徴は、酸化触媒をメツシユ状物に形成して陰極
の外周に環設し混合ガスの円滑な循環に寄与せし
める点、ガスリザーバーに付設する曲折した長尺
のリターンパスの代りにしかも該パスと比較して
同等以上の冷却効果を奏せしめるための強制冷却
水通路に接してガスリザーバーを配設する点、さ
らに、該ガスリザーバーを介して両極間に放電が
行われることを防止するため陰極に近接するガス
リザーバーの端部に穿設された混合ガスの流入小
孔にコイル状の流入管を取付けている点に存する
もので、かくして、封じ切り型発振管における混
合ガスの流動性を高めるとともに十分な冷却を行
いさらに後述する如くガスリザーバーにおける放
電抵抗を生ぜしめて発振効率を向上し、また、ガ
スリザーバーに触媒を内蔵しリターンパスを設置
する等装置の全体容積を増大する要因を除去して
装置をコンパクトにし実用性を高めた発振管を提
供するものである。
以下図面を参照し実施例に基づいて本発明を説
明する。
明する。
第１図は本発明装置を示す断面的説明図であ
る。陽極１と陰極２との間には放電路３が介在
し、比較的大電流密度の直流を放電している。管
内にはCO2、He及びN2からなる混合ガスが循環
し光共振器４，４′によりCO2レーザービームが
発振せしめられる。CO2は荷電粒子として陰極２
側に衝突的に移動するが、この際CO2は陰極２側
に比較的濃厚に集結する。
る。陽極１と陰極２との間には放電路３が介在
し、比較的大電流密度の直流を放電している。管
内にはCO2、He及びN2からなる混合ガスが循環
し光共振器４，４′によりCO2レーザービームが
発振せしめられる。CO2は荷電粒子として陰極２
側に衝突的に移動するが、この際CO2は陰極２側
に比較的濃厚に集結する。
本発明では、放電過程で経時的に増加するCO
をCO2に再生するための酸化触媒を網目状に形成
したメツシユ状物５が陰極２の外側に環設され、
この状態が第２図においても示されている。触媒
にはアルミナ担体の白金・バナジウム系のものが
非加熱活性型として賞用されているが、このほか
加熱活性型の白金、シリカ、アルミナ等も使用で
きる。加熱型の場合、昇温されている陰極の余熱
を利用できる。
をCO2に再生するための酸化触媒を網目状に形成
したメツシユ状物５が陰極２の外側に環設され、
この状態が第２図においても示されている。触媒
にはアルミナ担体の白金・バナジウム系のものが
非加熱活性型として賞用されているが、このほか
加熱活性型の白金、シリカ、アルミナ等も使用で
きる。加熱型の場合、昇温されている陰極の余熱
を利用できる。
次に、本発明では、陰極２付近に比較的濃厚に
集結する混合ガスを陽極１に帰還させるためのガ
スリザーバー７を冷却水通路６の外側に接して設
けている。６ａ及び６ｂは夫々冷却水の導入口及
び導出口である。
集結する混合ガスを陽極１に帰還させるためのガ
スリザーバー７を冷却水通路６の外側に接して設
けている。６ａ及び６ｂは夫々冷却水の導入口及
び導出口である。
さらに、ガスリザーバー７の後端には混合ガス
を該ガスリザーバー内側に導入するための流入小
孔８が１個又は複数個穿設されている。そして、
小孔のガスリザーバー内側には該小孔に連接して
コイル状流入管が取付けられている。一般に陽・
陰極間の放電は放電路３においてのみ言われるの
が好ましく、他の経路で放電現象が生じることは
混合ガスを徒らに加熱する等して極めて不都合で
ある。このため本発明に係るガスリザーバーは特
に陰極側を開放口に形成せず、穿設した小孔に連
接してコイル状流入管９を設け、直接的な放電経
路を断つて放電抵抗が生じるように構成されるも
のである。同様な目的で小孔とコイル状管とを混
合ガスが流出する陽極側の端部に設けることもで
きる。
を該ガスリザーバー内側に導入するための流入小
孔８が１個又は複数個穿設されている。そして、
小孔のガスリザーバー内側には該小孔に連接して
コイル状流入管が取付けられている。一般に陽・
陰極間の放電は放電路３においてのみ言われるの
が好ましく、他の経路で放電現象が生じることは
混合ガスを徒らに加熱する等して極めて不都合で
ある。このため本発明に係るガスリザーバーは特
に陰極側を開放口に形成せず、穿設した小孔に連
接してコイル状流入管９を設け、直接的な放電経
路を断つて放電抵抗が生じるように構成されるも
のである。同様な目的で小孔とコイル状管とを混
合ガスが流出する陽極側の端部に設けることもで
きる。
本発明は以上の如き構成に基づくものであつ
て、混合ガス中のCOをCO2に再生する酸化触媒
がメツシユ状物として陰極の外周に環設されてい
るので、陰極付近に集結する混合ガス中のCOを
最も効率よく酸化再生し、特に網目状に形成され
ているので触媒とガスとの接触がよく、また、停
滞しないので流動が円滑である等の利点を有す
る。さらに、放電路及び両極を強制冷却する冷却
水の通路の外側に接してガスリザーバーを設けて
いるので、ガスリザーバーを経由して陰極側から
陽極側に帰還する混合ガスを十分に冷却すること
ができて、この結果発振効率を高めうるものであ
り、また、陰極側から該陰極リザーバーに混合ガ
スを流入する小孔に連接してコイル状流入管を取
付けた構成となつているので、ガスリザーバーを
介する放電経路を断つて放電抵抗が生ずることと
なり放電路以外における異常リークによる発振効
率の低下を防止しうる等多くの利点を有し、さら
に、装置全体がコンパクトに形成されて構造が単
純化されているので価格の低廉化が可能であり、
この種封じ切り発振管に適用して極めて有用なる
発明である。
て、混合ガス中のCOをCO2に再生する酸化触媒
がメツシユ状物として陰極の外周に環設されてい
るので、陰極付近に集結する混合ガス中のCOを
最も効率よく酸化再生し、特に網目状に形成され
ているので触媒とガスとの接触がよく、また、停
滞しないので流動が円滑である等の利点を有す
る。さらに、放電路及び両極を強制冷却する冷却
水の通路の外側に接してガスリザーバーを設けて
いるので、ガスリザーバーを経由して陰極側から
陽極側に帰還する混合ガスを十分に冷却すること
ができて、この結果発振効率を高めうるものであ
り、また、陰極側から該陰極リザーバーに混合ガ
スを流入する小孔に連接してコイル状流入管を取
付けた構成となつているので、ガスリザーバーを
介する放電経路を断つて放電抵抗が生ずることと
なり放電路以外における異常リークによる発振効
率の低下を防止しうる等多くの利点を有し、さら
に、装置全体がコンパクトに形成されて構造が単
純化されているので価格の低廉化が可能であり、
この種封じ切り発振管に適用して極めて有用なる
発明である。
第１図は本発明装置を示す断面的説明図、第２
図は陰極部分を示す要部斜視図である。 １……陽極、２……陰極、３……放電路、４，
４′……光共振器、５……メツシユ状物、６……
冷却水通路、７……ガスリザーバー、８……流入
小孔、９……コイル状流入管。
図は陰極部分を示す要部斜視図である。 １……陽極、２……陰極、３……放電路、４，
４′……光共振器、５……メツシユ状物、６……
冷却水通路、７……ガスリザーバー、８……流入
小孔、９……コイル状流入管。
Claims (1)
- １ 全体を封じ切り陽極と陰極との間にCO2を含
む混合ガスを介在して放電しレーザービームを発
振せしめるCO2レーザー発振管において、混合ガ
ス中のCOをCO2に再生する酸化触媒からなるメ
ツシユ状物が陰極の外側に環設されるとともに、
放電路及び両極を強制冷却する冷却水の通路の外
側に接して陰極付近に集結した混合ガスを逐次導
入する流入小孔を有するガスリザーバーを設け、
かつ、該ガスリザーバーの内側に該流入小孔に連
接してコイル状流入管を取付けて構成されること
を特徴とする封じ切り型のCO2レーザー発振管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22040983A JPS60113490A (ja) | 1983-11-23 | 1983-11-23 | Ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22040983A JPS60113490A (ja) | 1983-11-23 | 1983-11-23 | Ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113490A JPS60113490A (ja) | 1985-06-19 |
| JPS6364071B2 true JPS6364071B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=16750662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22040983A Granted JPS60113490A (ja) | 1983-11-23 | 1983-11-23 | Ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113490A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06268359A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Nippon Dennetsu Keiki Kk | はんだ付け方法 |
-
1983
- 1983-11-23 JP JP22040983A patent/JPS60113490A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06268359A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Nippon Dennetsu Keiki Kk | はんだ付け方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60113490A (ja) | 1985-06-19 |
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