JPS58202384A - 真空装置の起動負荷軽減装置 - Google Patents
真空装置の起動負荷軽減装置Info
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- JPS58202384A JPS58202384A JP8499782A JP8499782A JPS58202384A JP S58202384 A JPS58202384 A JP S58202384A JP 8499782 A JP8499782 A JP 8499782A JP 8499782 A JP8499782 A JP 8499782A JP S58202384 A JPS58202384 A JP S58202384A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 23
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
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- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はロータリーポンプと真空容器を配管で接続し
、ロータリーポンプの運転によって、容器内の流体を吸
引排出し真空状態とする、真空装置におけるロータリー
ポンプ起動時の負荷を軽減する負荷軽減装置に関する。
、ロータリーポンプの運転によって、容器内の流体を吸
引排出し真空状態とする、真空装置におけるロータリー
ポンプ起動時の負荷を軽減する負荷軽減装置に関する。
ロータリーポンプと真空容器を配管で接続した真空装置
においてはロータリーポンプ起動時には容器と配管内の
全容積の流体が負荷となるのでポンプは負荷容量の大き
い状態で起動され数分間は過負荷状態の運転となり消費
電力も大きく、ポンプ自体の寿命を縮めていた。
においてはロータリーポンプ起動時には容器と配管内の
全容積の流体が負荷となるのでポンプは負荷容量の大き
い状態で起動され数分間は過負荷状態の運転となり消費
電力も大きく、ポンプ自体の寿命を縮めていた。
場合によっては過負荷のためモータが廻らないことも起
る。
る。
そのために過負荷運転が継快しないように大容量のポン
プを用いる等の方法をとっていた。
プを用いる等の方法をとっていた。
したものである。
本発明の構成はロータリーポンプと真空容器の間の管路
内に、容器内圧力と大気圧の圧力差に応じて弁の開度を
犬にして全開、全閉状態に至る流量制御弁を設けて起動
時において流量を絞って負荷を軽減し、前記圧力差に応
じて次第に流量を増して全開に至る間負荷をはｇ一定に
するロータリーポンプ起動時の負荷軽減装置を提供する
ものである。
内に、容器内圧力と大気圧の圧力差に応じて弁の開度を
犬にして全開、全閉状態に至る流量制御弁を設けて起動
時において流量を絞って負荷を軽減し、前記圧力差に応
じて次第に流量を増して全開に至る間負荷をはｇ一定に
するロータリーポンプ起動時の負荷軽減装置を提供する
ものである。
上記の構駿によりロータリーポンプ起動前は容器内の圧
力は大気圧に近くその差が一定値に達しないときは弁は
全閉位置の状態となっており、この状態でポンプが極め
て容易に起動され、弁のポンプ側の管路内の流体が吸引
されて圧力低下する。それによって弁の容器側管路内の
流体と圧力差を生じ容器側の流体は弁と管壁との間隙か
らポンプ側に流れ容器側管路内の圧力は低下し、大気圧
との差圧が一定値以上になると弁はその差圧に応じて開
度を大にし容器内の流体がポンプ側に流れる量を増加し
、所定の圧力差に達して弁は全開となり、以後この状態
でポンプは運転され容器内を所定の真空度とするもので
ある。
力は大気圧に近くその差が一定値に達しないときは弁は
全閉位置の状態となっており、この状態でポンプが極め
て容易に起動され、弁のポンプ側の管路内の流体が吸引
されて圧力低下する。それによって弁の容器側管路内の
流体と圧力差を生じ容器側の流体は弁と管壁との間隙か
らポンプ側に流れ容器側管路内の圧力は低下し、大気圧
との差圧が一定値以上になると弁はその差圧に応じて開
度を大にし容器内の流体がポンプ側に流れる量を増加し
、所定の圧力差に達して弁は全開となり、以後この状態
でポンプは運転され容器内を所定の真空度とするもので
ある。
第６図はこの状態を容器の真空度とポンプの電力量の線
図で示したもので、線図（１）は従来例、（２）は本発
明の例を示したもので、従来例では起動時に於ては容器
内および配管内の流体がポンプ負荷となるので消費電力
は大きくポンプの運転が経過するにしたがって流体の密
度が次第に小さくなるので、電力量も次第に減する状態
になる。本発明においては起動時におけるポンプ負荷は
弁のポンプ側の管路内流体であるので、（１）に比し小
さくポンプの運転が続き、弁の容器側の圧力が減じ大気
圧との差に応じて流量は増してゆくが流体の密度も小さ
くなるのでポンプ負荷としてはそれ程差はなくはｙ一定
の消費電力で経過し、全開の状態から密度が小さくなる
ことにより消費電力は減じてゆくものである。
図で示したもので、線図（１）は従来例、（２）は本発
明の例を示したもので、従来例では起動時に於ては容器
内および配管内の流体がポンプ負荷となるので消費電力
は大きくポンプの運転が経過するにしたがって流体の密
度が次第に小さくなるので、電力量も次第に減する状態
になる。本発明においては起動時におけるポンプ負荷は
弁のポンプ側の管路内流体であるので、（１）に比し小
さくポンプの運転が続き、弁の容器側の圧力が減じ大気
圧との差に応じて流量は増してゆくが流体の密度も小さ
くなるのでポンプ負荷としてはそれ程差はなくはｙ一定
の消費電力で経過し、全開の状態から密度が小さくなる
ことにより消費電力は減じてゆくものである。
したがって、従来例（１）の起動待負荷に要するポンプ
消費電力に対し本案（２）による起動時から弁全開に至
る間の消費電力は小さくかつはｙ一定であるので、この
消費電力に相当する適正出力のモータとすることができ
る。
消費電力に対し本案（２）による起動時から弁全開に至
る間の消費電力は小さくかつはｙ一定であるので、この
消費電力に相当する適正出力のモータとすることができ
る。
以下図面に基づき本発明起動負荷軽減装置（流量制御弁
）の実施例について説明する。
）の実施例について説明する。
第１図は本発明実施例の断面図を示したもので、弁本体
（１）は一端にロータリーポンプ配管に接続するフラン
ジ（２）と、他端に真空容器配管に接続する７ランジ（
３）を有する管状体で、その周面には管状体の中心軸に
はｙ直交する方向に突出する分岐管（４）を管状体と一
体的に設け、前記分岐管（４）を被覆し、分岐管と同心
のベローズ（５）でその底板（６）を管状体面に気密に
密着して設けられ、前記分岐管（４）内を摺動する棹体
（７）は尾部に螺合する調節ねじ（８）を前記ベローズ
内で管状体面と、前記調節ねじの間に介設するばね（９
）でベローズ遊端面に当接するよう付勢し、ベローズ内
外の圧力差とばね（９）が対抗する。分岐管（４）は容
器側の管状体内に開口している。
（１）は一端にロータリーポンプ配管に接続するフラン
ジ（２）と、他端に真空容器配管に接続する７ランジ（
３）を有する管状体で、その周面には管状体の中心軸に
はｙ直交する方向に突出する分岐管（４）を管状体と一
体的に設け、前記分岐管（４）を被覆し、分岐管と同心
のベローズ（５）でその底板（６）を管状体面に気密に
密着して設けられ、前記分岐管（４）内を摺動する棹体
（７）は尾部に螺合する調節ねじ（８）を前記ベローズ
内で管状体面と、前記調節ねじの間に介設するばね（９
）でベローズ遊端面に当接するよう付勢し、ベローズ内
外の圧力差とばね（９）が対抗する。分岐管（４）は容
器側の管状体内に開口している。
前記管状体の弁本体、（１）内周面には対向する位置に
支軸ｆａｌ ｌ ｆａｔを内方へ突出して固着し、管状
体軸心と直交し管状体内面に周縁を接する円板状の弁体
（１０）を設け、弁体ＯＧ面に固着し、前記支軸ｆａｔ
Ｉ ｆａｔに軸支する連結具Ｑｌｌ、（ｌυで弁体（
ｌωを支軸＋ａｌ ｌ ｌａｌを軸として回動可能に支
保する。前記支軸［ａｌ ｌ ｔａｌを結ぶ中心線と直
交する。弁体面の中心線上で中心を外した位置に環状ま
たは半環状の連結環（１２＋を設け、連結棹Ｉの一端を
係合し、連結桿圓の他の一端は前記棹体（７）の分岐管
内の一端に固着する連結環ａ３に係合し、棹体（７）の
分岐管内の進退により弁体（１０）を支軸ｆａｌ ｌ
ｌａｌを軸として傾動可能としている。第２図および第
３図は第１図の要部の部分拡大断面図を示したもので、
弁体（１０１とその棹体（７）との連結構造を示し、第
２図は弁全開の状態を示し、（イ）は横断面図、１釦は
Ａ−Ａ′線に沿う断面図であり、弁体（１０）と弁本体
（１）内面との間隙を誇張して示しているが実際は接し
た状態にあるものでちる。第３図は弁全開の状態を示し
、（イ）は横断面図、（ロ）はＡ−Ａ線に沿った断面図
である。
支軸ｆａｌ ｌ ｆａｔを内方へ突出して固着し、管状
体軸心と直交し管状体内面に周縁を接する円板状の弁体
（１０）を設け、弁体ＯＧ面に固着し、前記支軸ｆａｔ
Ｉ ｆａｔに軸支する連結具Ｑｌｌ、（ｌυで弁体（
ｌωを支軸＋ａｌ ｌ ｌａｌを軸として回動可能に支
保する。前記支軸［ａｌ ｌ ｔａｌを結ぶ中心線と直
交する。弁体面の中心線上で中心を外した位置に環状ま
たは半環状の連結環（１２＋を設け、連結棹Ｉの一端を
係合し、連結桿圓の他の一端は前記棹体（７）の分岐管
内の一端に固着する連結環ａ３に係合し、棹体（７）の
分岐管内の進退により弁体（１０）を支軸ｆａｌ ｌ
ｌａｌを軸として傾動可能としている。第２図および第
３図は第１図の要部の部分拡大断面図を示したもので、
弁体（１０１とその棹体（７）との連結構造を示し、第
２図は弁全開の状態を示し、（イ）は横断面図、１釦は
Ａ−Ａ′線に沿う断面図であり、弁体（１０）と弁本体
（１）内面との間隙を誇張して示しているが実際は接し
た状態にあるものでちる。第３図は弁全開の状態を示し
、（イ）は横断面図、（ロ）はＡ−Ａ線に沿った断面図
である。
次にその作用を説明する。第１図においてベローズ（５
）の有効断面積（Ａ）ｃＩｌ桿体棹体）の断面積ｆａｔ
ｃｌ、大気圧（ＰＧ）％、容器内圧力（Ｐ、）〜、ば
ね（９）の弾力■に２とし、ロータリ°−ポンプ起動前
においてはベローズ内外および容器内圧力ははｙ大気圧
（Ｐｏ）になっており、ばね（９）の弾力（Ｓ）でベロ
ーズ（５）は図の右方へ偏倚され、弁体ααは全閉とな
るようばね（９）の弾力■は設定される。
）の有効断面積（Ａ）ｃＩｌ桿体棹体）の断面積ｆａｔ
ｃｌ、大気圧（ＰＧ）％、容器内圧力（Ｐ、）〜、ば
ね（９）の弾力■に２とし、ロータリ°−ポンプ起動前
においてはベローズ内外および容器内圧力ははｙ大気圧
（Ｐｏ）になっており、ばね（９）の弾力（Ｓ）でベロ
ーズ（５）は図の右方へ偏倚され、弁体ααは全閉とな
るようばね（９）の弾力■は設定される。
ロータリーポンプが起動されると先ず弁体（１０１から
ポンプ側の管路内の流体が吸引されて圧力低下し、容器
側の管路内の流体は弁体００１と管路内壁との隙間から
ポンプ側に流れて圧力を低下するとともにベローズ内の
流体も分岐管（４）と棹体（７）の間隙から吸引されて
圧力低下し、容器内と同様にベローズ内の圧力は大気圧
Ｐｏより低いＰ。
ポンプ側の管路内の流体が吸引されて圧力低下し、容器
側の管路内の流体は弁体００１と管路内壁との隙間から
ポンプ側に流れて圧力を低下するとともにベローズ内の
流体も分岐管（４）と棹体（７）の間隙から吸引されて
圧力低下し、容器内と同様にベローズ内の圧力は大気圧
Ｐｏより低いＰ。
となる。ベローズ内外の圧力差（Ｐｏ Ｐｔ ）による
力（Ｐｏ−Ｐｌ）Ａがばねの弾力（Ｓ）より冥よるとば
ね、ｌ； を平衡する位置まで圧縮し、したがって棹体（７）は図
の左方へ移動し連結栓（１４１を介して弁体０１を支軸
ｆａｌ ｔ ｆａｌを中心として傾動し、管状体（１１
の内壁と弁体α０）との間隙を拡げポンプ側へ吸引する
流量を増し、圧力差（Ｐｏ−Ｐｌ）に応じて開度を増し
、全開の位置でばねの圧縮限度に達し、以後は圧力差が
増しても開度は変らず全開の状態で容器内の流体を吸引
し、所定の真空度を得るものである。
力（Ｐｏ−Ｐｌ）Ａがばねの弾力（Ｓ）より冥よるとば
ね、ｌ； を平衡する位置まで圧縮し、したがって棹体（７）は図
の左方へ移動し連結栓（１４１を介して弁体０１を支軸
ｆａｌ ｔ ｆａｌを中心として傾動し、管状体（１１
の内壁と弁体α０）との間隙を拡げポンプ側へ吸引する
流量を増し、圧力差（Ｐｏ−Ｐｌ）に応じて開度を増し
、全開の位置でばねの圧縮限度に達し、以後は圧力差が
増しても開度は変らず全開の状態で容器内の流体を吸引
し、所定の真空度を得るものである。
第４図は他の実施例の断面図を示したもので、弁本体（
２１１にはロータリーポンプの配管に接続するフランジ
（２渇と真空容器の配管に接続するフランジ（ハ）を有
し、両フラン゛ジ内を流れる流路を連通する連通孔に弁
座（２４）を形成し、該弁座を開閉する弁体（２艶全ポ
ンプ側に設けている。
２１１にはロータリーポンプの配管に接続するフランジ
（２渇と真空容器の配管に接続するフランジ（ハ）を有
し、両フラン゛ジ内を流れる流路を連通する連通孔に弁
座（２４）を形成し、該弁座を開閉する弁体（２艶全ポ
ンプ側に設けている。
弁体Ｃ２５１は、中心を貫通し弁座内を通過して弁本体
の中心軸方向に延長する弁軸（２６）の一端にナツト（
資）で固着されている。弁軸（２６）の延長方向には弁
本体Ｃυと一体的なベローズ室（２８）が形成され、そ
の上端面（２８ａ）に端面を固着するベローズ（２９）
がベローズ室内に垂設され、前記ベローズ室の上端面に
はベローズ内と大気を導通ずる導孔００）を有している
。弁本体（２１＋とベローズ室（２８）との間には両者
を導通する複数の導通孔（３２を有する隔壁（３１）が
弁本体に固着しており、前記弁軸（２６）は隔壁ｃ３１
）を摺動自在に挿通しその先端には前記ベローズ翰の遊
端面を抱持する受金具（３３１を固着しており受金具（
至）には容器内の流体圧力をベローズに感知させる小孔
（３４）を穿っている。隔壁Ｃ３１）と受金異例との間
には弁体（２５１を弁座（２４）を閉止する方向に付勢
するコイルばねｃ３ωを介設している。
の中心軸方向に延長する弁軸（２６）の一端にナツト（
資）で固着されている。弁軸（２６）の延長方向には弁
本体Ｃυと一体的なベローズ室（２８）が形成され、そ
の上端面（２８ａ）に端面を固着するベローズ（２９）
がベローズ室内に垂設され、前記ベローズ室の上端面に
はベローズ内と大気を導通ずる導孔００）を有している
。弁本体（２１＋とベローズ室（２８）との間には両者
を導通する複数の導通孔（３２を有する隔壁（３１）が
弁本体に固着しており、前記弁軸（２６）は隔壁ｃ３１
）を摺動自在に挿通しその先端には前記ベローズ翰の遊
端面を抱持する受金具（３３１を固着しており受金具（
至）には容器内の流体圧力をベローズに感知させる小孔
（３４）を穿っている。隔壁Ｃ３１）と受金異例との間
には弁体（２５１を弁座（２４）を閉止する方向に付勢
するコイルばねｃ３ωを介設している。
上記構成によりポンプ起動前は容器内、ベローズ内外共
大気圧（Ｐｏ）で、弁体（２５）はばねＣ３５１によっ
て弁座（２４）を閉止している。
大気圧（Ｐｏ）で、弁体（２５）はばねＣ３５１によっ
て弁座（２４）を閉止している。
この状態でポンプが起動されると弁体（２５１とポンプ
の間の管路内の流体が吸引されて減圧し、７ランジ（２
２側と、７ランジの側の流体圧力に差を生じ、弁体（２
■と弁座（２４）の間隙から７ランジＱり側の流体がポ
ンプ側に流れ、７ランジ（２３）側即ちベローズ外面に
作用する流体圧力は大気圧（ＰＧ）より低下し、ベロー
ズ内外に圧力差を生じ、その圧力差がばねＧ５１の弾力
より大きくなると、ばね（３つは平衡する位置まで圧縮
され、したがって受金具０３．弁軸（２６）を介して弁
体Ｃ９は下方へ移動し、弁座を開き、容器側からポンプ
側へ流れる流量を増す。弁体の開度はベローズ内外の圧
力差に対応し、ばね（３９の圧縮の限度に於て全開とな
り、以後は圧力差が増加してもこの状態で容器内の流体
はポンプに吸引され所定の真空度に減圧されるものであ
る。
の間の管路内の流体が吸引されて減圧し、７ランジ（２
２側と、７ランジの側の流体圧力に差を生じ、弁体（２
■と弁座（２４）の間隙から７ランジＱり側の流体がポ
ンプ側に流れ、７ランジ（２３）側即ちベローズ外面に
作用する流体圧力は大気圧（ＰＧ）より低下し、ベロー
ズ内外に圧力差を生じ、その圧力差がばねＧ５１の弾力
より大きくなると、ばね（３つは平衡する位置まで圧縮
され、したがって受金具０３．弁軸（２６）を介して弁
体Ｃ９は下方へ移動し、弁座を開き、容器側からポンプ
側へ流れる流量を増す。弁体の開度はベローズ内外の圧
力差に対応し、ばね（３９の圧縮の限度に於て全開とな
り、以後は圧力差が増加してもこの状態で容器内の流体
はポンプに吸引され所定の真空度に減圧されるものであ
る。
第５図はさらに他の実施例の断面図を示したもので、弁
本体（４υにはポンプの配管に接続するフランジ（４り
と真空容器の配管に接続するフランジ（４３を有し、弁
本体（４１）は隔壁（４４）で上下二基Ｖ・区画され、
上室（４５ａ）には端面を上室の上端ｎｆに固着して垂
設された第１のベローズ（４６）を有し５、該ベローズ
（４ｅの内部に容器内圧力を導入す４・導入管（４印が
開口している。王室（４５ｂ）内には隔壁（４４）に端
面を固着して垂設された、第１のベローズ（４１９より
有効受圧面積の小さい第２のベローズ（４ηを有し、第
１のベローズ顛の遊端面金具（４６ａ）の外面に固着し
、前記隔壁（４４）を挿通して第２のベローズ（４７）
の内部に挿設され、その先端を第２のベローズ遊端面金
具（４７ａ、）の内面に固着する連結ロッド（４９）を
設ける。第２のベローズ遊端面金具（４７ａ）の外面に
は、一体重に連結環６ωを形成し、真空容器に連る配管
の弁本体内開口端（４３ａ）を開閉し、弁本体周壁に固
着するピン軸（５０に回転可能に枢支した、蝶弁（５埠
と前記直結環（５０が着脱自在に係合している。弁本体
上室には外気と導通する導孔−を、また隔壁（４４）に
は第２のベローズ（４？）内と大気を導通ずる導通孔（
５４１を有している。又第１または第２のベローズ内に
は、一定限度以上にベローズ長が収縮することを防止す
るコイルばね（５鴫、または（圀がそれぞれ内蔵されて
いる。
本体（４υにはポンプの配管に接続するフランジ（４り
と真空容器の配管に接続するフランジ（４３を有し、弁
本体（４１）は隔壁（４４）で上下二基Ｖ・区画され、
上室（４５ａ）には端面を上室の上端ｎｆに固着して垂
設された第１のベローズ（４６）を有し５、該ベローズ
（４ｅの内部に容器内圧力を導入す４・導入管（４印が
開口している。王室（４５ｂ）内には隔壁（４４）に端
面を固着して垂設された、第１のベローズ（４１９より
有効受圧面積の小さい第２のベローズ（４ηを有し、第
１のベローズ顛の遊端面金具（４６ａ）の外面に固着し
、前記隔壁（４４）を挿通して第２のベローズ（４７）
の内部に挿設され、その先端を第２のベローズ遊端面金
具（４７ａ、）の内面に固着する連結ロッド（４９）を
設ける。第２のベローズ遊端面金具（４７ａ）の外面に
は、一体重に連結環６ωを形成し、真空容器に連る配管
の弁本体内開口端（４３ａ）を開閉し、弁本体周壁に固
着するピン軸（５０に回転可能に枢支した、蝶弁（５埠
と前記直結環（５０が着脱自在に係合している。弁本体
上室には外気と導通する導孔−を、また隔壁（４４）に
は第２のベローズ（４？）内と大気を導通ずる導通孔（
５４１を有している。又第１または第２のベローズ内に
は、一定限度以上にベローズ長が収縮することを防止す
るコイルばね（５鴫、または（圀がそれぞれ内蔵されて
いる。
上記の構成によりポンプ起動前には容器内圧力、第１．
第２のベローズ内外は大気圧となっているので、コイル
ばね（５四または（−で第１．第２ベローズは伸張し連
結環５０）は弁（５場と当接して弁（５錦を下方へ付勢
しピン軸（５１）を軸として時計方向に回動し、弁（５
′４は容器配管の弁本体内開口端（４３ａ）を閉止する
。（第５図実線で示した弁（（支）の状態）。
第２のベローズ内外は大気圧となっているので、コイル
ばね（５四または（−で第１．第２ベローズは伸張し連
結環５０）は弁（５場と当接して弁（５錦を下方へ付勢
しピン軸（５１）を軸として時計方向に回動し、弁（５
′４は容器配管の弁本体内開口端（４３ａ）を閉止する
。（第５図実線で示した弁（（支）の状態）。
この状態でポンプが運転されると、弁本体下室（４５ｂ
）の流体が先ず吸引されて減圧し、第２のベローズ的内
外に圧力差を生じ、ベローズ（４７）は伸長して弁を閉
止方向に付勢するが、弁−の両面に圧力差を生じ、容器
管路（４３ｂ）内の流体は弁と開口端（４３ａ）の間隙
を通ってポンプ側に流れ、容器側の流体圧力は大気圧（
Ｐｏ）より低下する。したがって第１のベローズ（４０
の内部圧力は大気圧より低下し、ベローズ（佃は収縮し
弁（５錦を開方向に付勢し、第２のベローズ（４７）と
相反する動作をするが１．第１のベローズと第２のベロ
ーズの受圧面積の差で弁は開方向に作用する。
）の流体が先ず吸引されて減圧し、第２のベローズ的内
外に圧力差を生じ、ベローズ（４７）は伸長して弁を閉
止方向に付勢するが、弁−の両面に圧力差を生じ、容器
管路（４３ｂ）内の流体は弁と開口端（４３ａ）の間隙
を通ってポンプ側に流れ、容器側の流体圧力は大気圧（
Ｐｏ）より低下する。したがって第１のベローズ（４０
の内部圧力は大気圧より低下し、ベローズ（佃は収縮し
弁（５錦を開方向に付勢し、第２のベローズ（４７）と
相反する動作をするが１．第１のベローズと第２のベロ
ーズの受圧面積の差で弁は開方向に作用する。
弁の開放により容器側の圧力（即ち第１ベローズ内圧力
）および弁本体下室内圧力（即ち第２ベローズ（４７）
の外部圧力）は低下し、弁（５乃の開閉動作に対して第
１ベローズ（４６）と第２ベローズ（４７）は相反する
動作をするが、前述の如く受圧面積差で弁は開き方向に
動作し、大気圧と容器内圧力の圧力差と弁の開きが対応
し、第１のベローズ（４６）のばねに）の圧縮限度で全
開となるものである。
）および弁本体下室内圧力（即ち第２ベローズ（４７）
の外部圧力）は低下し、弁（５乃の開閉動作に対して第
１ベローズ（４６）と第２ベローズ（４７）は相反する
動作をするが、前述の如く受圧面積差で弁は開き方向に
動作し、大気圧と容器内圧力の圧力差と弁の開きが対応
し、第１のベローズ（４６）のばねに）の圧縮限度で全
開となるものである。
以上説明のように本発明は真空装置のロータリーポンプ
と真空容器を接続する配管の途中に容器内圧力と大気圧
との圧力差に応じて弁の開度を変え、全開、全閉に至る
流量制御弁を設けた構成としているので、従来のように
ポンプの起動時に容器と配管内全容積の流体がポンプ負
荷となることが防止され、起動時から前記流量制御弁が
全開に至る間は負荷をは父一定にすることができるので
、この負荷に応する適正容量のポンプで足り、従来に比
しモータを小型にすることができ、電力消費量の節減と
、過負荷運転がなくなることにより、ポンプの寿命を延
すことができる効果を奏する。
と真空容器を接続する配管の途中に容器内圧力と大気圧
との圧力差に応じて弁の開度を変え、全開、全閉に至る
流量制御弁を設けた構成としているので、従来のように
ポンプの起動時に容器と配管内全容積の流体がポンプ負
荷となることが防止され、起動時から前記流量制御弁が
全開に至る間は負荷をは父一定にすることができるので
、この負荷に応する適正容量のポンプで足り、従来に比
しモータを小型にすることができ、電力消費量の節減と
、過負荷運転がなくなることにより、ポンプの寿命を延
すことができる効果を奏する。
図面は本発明実施例を示したもので、第１図は実施例の
断面図を示し、第２図、第３図は第１図要部の部分拡大
断面図を全閉と全開状態別に示し、第４図、第５図は他
の実施例の断面図第６図は真空度と電力との関係を示す
線図である。 （１＋・・・弁本体 ｔ２＋、ｆ３）・・・フランジ
（４）・・・分岐管（５）・・・ベローズ （７）・・
・環体 （８）・・・調節ねじ （９）・・・ばね （
１０１・・・弁体 ｔｉｎ・・・連結具 ｆ１２１，１
３１・・・連結環（１４１・・・連結環 （２４）・・
・弁座 （ハ）・・・弁体 （イ）・・・弁軸（２訃・
・ベローズＷ （２Ｓ・・・ベローズ （ト）・・・
ハネ（４Ｂ）・・・第１ベローズ （４７）・・・第１
ベローズ （＠・・・蝶弁 特許出願人 ■１宮製作所 Ｉ １ ｓ ｆｌＱ＊ （イ） （ロ） １１１３ Ｉｔ （イ） （ロ）
断面図を示し、第２図、第３図は第１図要部の部分拡大
断面図を全閉と全開状態別に示し、第４図、第５図は他
の実施例の断面図第６図は真空度と電力との関係を示す
線図である。 （１＋・・・弁本体 ｔ２＋、ｆ３）・・・フランジ
（４）・・・分岐管（５）・・・ベローズ （７）・・
・環体 （８）・・・調節ねじ （９）・・・ばね （
１０１・・・弁体 ｔｉｎ・・・連結具 ｆ１２１，１
３１・・・連結環（１４１・・・連結環 （２４）・・
・弁座 （ハ）・・・弁体 （イ）・・・弁軸（２訃・
・ベローズＷ （２Ｓ・・・ベローズ （ト）・・・
ハネ（４Ｂ）・・・第１ベローズ （４７）・・・第１
ベローズ （＠・・・蝶弁 特許出願人 ■１宮製作所 Ｉ １ ｓ ｆｌＱ＊ （イ） （ロ） １１１３ Ｉｔ （イ） （ロ）
Claims (1)
- ロータリーポンプと真空容器とを配管で接続し、ロータ
リーポンプの運転によって容器内の流体を吸引排出し真
空状態とする真空装置において、ロータリーポンプと真
空容器の間の管路内に、大気圧と前記容器内圧力との差
圧に応じて弁の開度を変え全開、全閉状態に至る流量制
御弁を設けたことを特徴とする真空装置の起動負荷軽減
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8499782A JPS58202384A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 真空装置の起動負荷軽減装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8499782A JPS58202384A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 真空装置の起動負荷軽減装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11519390A Division JPH02298689A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 流量制御弁を用いた真空装置の起動負荷軽減装置 |
| JP11519490A Division JPH02298690A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 流量制御弁と二つのベローズを用いた真空装置の起動負荷軽減装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58202384A true JPS58202384A (ja) | 1983-11-25 |
| JPH0259307B2 JPH0259307B2 (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=13846265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8499782A Granted JPS58202384A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | 真空装置の起動負荷軽減装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58202384A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244408A (en) * | 1975-10-04 | 1977-04-07 | Kyowa Shinku Gijutsu Kk | Method and device for the optional control of vacuum degree |
-
1982
- 1982-05-21 JP JP8499782A patent/JPS58202384A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244408A (en) * | 1975-10-04 | 1977-04-07 | Kyowa Shinku Gijutsu Kk | Method and device for the optional control of vacuum degree |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259307B2 (ja) | 1990-12-12 |
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