JPS58206905A - シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 - Google Patents
シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置Info
- Publication number
- JPS58206905A JPS58206905A JP7394482A JP7394482A JPS58206905A JP S58206905 A JPS58206905 A JP S58206905A JP 7394482 A JP7394482 A JP 7394482A JP 7394482 A JP7394482 A JP 7394482A JP S58206905 A JPS58206905 A JP S58206905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- film
- wavelength
- thickness
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、可変波長の単色光をシート状物体に照射した
時の透過光又は反射光にみられる干渉による光の強又は
弱を、波長の函数として検出し、シート状物体の厚さを
測定するシート状物体の厚さ測定り沫及び測定装置に関
する。
時の透過光又は反射光にみられる干渉による光の強又は
弱を、波長の函数として検出し、シート状物体の厚さを
測定するシート状物体の厚さ測定り沫及び測定装置に関
する。
プラスチックフィルム等の透明又は半透明のシート状物
体の製造ラインにおける厚さ測定は、プロセスの解明に
重要であると共に、省資源、品質向上、コスト低減等の
点からも重要である。
体の製造ラインにおける厚さ測定は、プロセスの解明に
重要であると共に、省資源、品質向上、コスト低減等の
点からも重要である。
従来から、このようなシート状物体の厚さ測定装置とし
て、β線岸さ測定装置や赤外線厚さ測定装置が用いられ
ている。
て、β線岸さ測定装置や赤外線厚さ測定装置が用いられ
ている。
これらの厚さ測定装置は、第１図に示すような構成とな
っている。図中、１及び２は垂直フレーｌい、３及び４
は水平フレームで、これらで０形フレーム５が構成され
ている。６はシート状物体（例えば、フィルム）、７は
照射部、８は検出部である。照射部７及び検出部８は、
適度の間隙をもって水平フレーム３及び４に設置され、
水平フレーム３．４上のＬ＋とＬ２の間を同期して４ｉ
復走行しながら（駆動部は図示せず）、前記間隙を流れ
るフィルム６の厚さに関連する信号を検出し、演篩部（
図示せず）で所定の演算をして、フィルムの厚さ信号が
得られるようになっている。
っている。図中、１及び２は垂直フレーｌい、３及び４
は水平フレームで、これらで０形フレーム５が構成され
ている。６はシート状物体（例えば、フィルム）、７は
照射部、８は検出部である。照射部７及び検出部８は、
適度の間隙をもって水平フレーム３及び４に設置され、
水平フレーム３．４上のＬ＋とＬ２の間を同期して４ｉ
復走行しながら（駆動部は図示せず）、前記間隙を流れ
るフィルム６の厚さに関連する信号を検出し、演篩部（
図示せず）で所定の演算をして、フィルムの厚さ信号が
得られるようになっている。
ところで、β線厚さ測定装置の場合、ト記照射部７は、
密封容器に収納された線源で構成され、次式に基づく信
号を、電離箱等の放１）Ｊ線検出器で構成された検出部
８で検出することによって、精度の良い厚さ信号を得ら
れることが特徴となつＣいる。
密封容器に収納された線源で構成され、次式に基づく信
号を、電離箱等の放１）Ｊ線検出器で構成された検出部
８で検出することによって、精度の良い厚さ信号を得ら
れることが特徴となつＣいる。
ｒ ＝ Ｉ ０１ ｅ
但し、１・・・透過β線強度
Ｉ ｏｒ・・・フィルムがない時のβ線強度μ・・・吸
収係数 Ｑ・・・フィルムの厚さ −ｊ５、赤外線厚さ測定装置の場合、上記照射部７は、
フィルム６に最も吸収帯酸を持つ近赤外線を発生する光
源で構成され、次式に基づく信号【（λ）を、サーミス
タボロメータ等の赤外線レンジで構成される検出部８に
て検出することにより、応答性の良い厚さ信号を得られ
ることが特徴となっている。
収係数 Ｑ・・・フィルムの厚さ −ｊ５、赤外線厚さ測定装置の場合、上記照射部７は、
フィルム６に最も吸収帯酸を持つ近赤外線を発生する光
源で構成され、次式に基づく信号【（λ）を、サーミス
タボロメータ等の赤外線レンジで構成される検出部８に
て検出することにより、応答性の良い厚さ信号を得られ
ることが特徴となっている。
【（λ〉−［ψｅ
但し、ｌ（λ）・・・透過赤外線強度
１ψ・・・フィルムがない時の赤外線強度α（λ）・・
・波長λにおけるフィルム吸収係数 ９・・・フィルムの厚さ しかしながら、β線厚さ測定装置は、空気層による減衰
の影響を補償する手段を必要とするため、構成が複雑に
なるという問題がある上に、故＠線障害防止法等に基づ
く法的な規制を受け、取扱主任布の選任や安全管理の実
施を行う必要があるので、装置の導入に当って慎重にな
らざるを術なかった。又、赤外線厚さ測定装置は、前述
のように、近赤外線が被測定体それぞれに固有の吸収帯
を有することを測定原理としているため、被測定体の性
状、例えば、フィルムの重合度が異なると、照射する波
長をその都度選択する必要があり、その取り扱いが煩わ
しかった。
・波長λにおけるフィルム吸収係数 ９・・・フィルムの厚さ しかしながら、β線厚さ測定装置は、空気層による減衰
の影響を補償する手段を必要とするため、構成が複雑に
なるという問題がある上に、故＠線障害防止法等に基づ
く法的な規制を受け、取扱主任布の選任や安全管理の実
施を行う必要があるので、装置の導入に当って慎重にな
らざるを術なかった。又、赤外線厚さ測定装置は、前述
のように、近赤外線が被測定体それぞれに固有の吸収帯
を有することを測定原理としているため、被測定体の性
状、例えば、フィルムの重合度が異なると、照射する波
長をその都度選択する必要があり、その取り扱いが煩わ
しかった。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、その
目的は、光学方式の利点を生かし、且つ、被測定体の性
状による波長選択の必要がないシート状物体の厚さ測定
方法及び測定装置を提供するにある。
目的は、光学方式の利点を生かし、且つ、被測定体の性
状による波長選択の必要がないシート状物体の厚さ測定
方法及び測定装置を提供するにある。
以下、図面を参照し本発明の詳細な説明する。
第２図は、本発明方法を実現する装置、換言すれば本発
明装置の一実施例の要部（照射部及び検出部）の構成を
示す説明図である。図において、６はシート状物体であ
るフィルム、７は照射部、８は検出部である。照射部７
及び検出部８は、フィルム６の幅方向の厚さを測定する
場合は、第１図で説明したと同様なＯ形フシームに設置
され、同期して走行するようになっている。１１は複色
光を発生する光源ランプ、１２はレンズ、１３はプリズ
ム、１４はスリット、１５は駆動部である。光源ランプ
１１の光は、レンズ１２により平行光線となってプリズ
ム１３に導かれて分光され単色光を発生し、この単色光
がスリット１４を介してフィルム６に照射される構成と
なっている。又、駆動部１５は、プリズム１３を回転さ
せると共にプリズム１３の回転角度に対応する角度信号
Ｅｌ、即ら、スリット１４を介してフィルム６に照射さ
れる単色光の波長信号を出力Ｊるようになっている。
明装置の一実施例の要部（照射部及び検出部）の構成を
示す説明図である。図において、６はシート状物体であ
るフィルム、７は照射部、８は検出部である。照射部７
及び検出部８は、フィルム６の幅方向の厚さを測定する
場合は、第１図で説明したと同様なＯ形フシームに設置
され、同期して走行するようになっている。１１は複色
光を発生する光源ランプ、１２はレンズ、１３はプリズ
ム、１４はスリット、１５は駆動部である。光源ランプ
１１の光は、レンズ１２により平行光線となってプリズ
ム１３に導かれて分光され単色光を発生し、この単色光
がスリット１４を介してフィルム６に照射される構成と
なっている。又、駆動部１５は、プリズム１３を回転さ
せると共にプリズム１３の回転角度に対応する角度信号
Ｅｌ、即ら、スリット１４を介してフィルム６に照射さ
れる単色光の波長信号を出力Ｊるようになっている。
従って、駆動部１５は、フィルム６に照射される単色光
の波長を出力する手段でもある。１６は集光レンズ、１
７は光センサ、１８は増幅部、１９は演篩部である。フ
ィルム６を透過した光はレンズ１６で集光されて光セン
サ１７に導かれ、その検出信号８２は増幅部１８で増幅
され、信号Ｅ２となって検出部８から出力される。演締
部１９には、信号Ｅ＋及び「？が入力され、後述する演
算が行われ、フィルム６の厚さに対応する信号Ｅ３が出
力される構成となっている。
の波長を出力する手段でもある。１６は集光レンズ、１
７は光センサ、１８は増幅部、１９は演篩部である。フ
ィルム６を透過した光はレンズ１６で集光されて光セン
サ１７に導かれ、その検出信号８２は増幅部１８で増幅
され、信号Ｅ２となって検出部８から出力される。演締
部１９には、信号Ｅ＋及び「？が入力され、後述する演
算が行われ、フィルム６の厚さに対応する信号Ｅ３が出
力される構成となっている。
次に、上記構成の測定装置の動作について説明する。こ
の測定装置において、プリズム１３が連続的に回転する
と、スリット１４を介してフィルム６に照射される光は
、連続的に異なる波長の単色光となる。又、スリット１
４を通過する単色光の波長λは、プリズム１３の回転角
度と一定の関係を有しているので、駆動部１５の角度信
号Ｅ＋は、フィルム６に照射されている単色光の波長λ
に対応する信号となる。
の測定装置において、プリズム１３が連続的に回転する
と、スリット１４を介してフィルム６に照射される光は
、連続的に異なる波長の単色光となる。又、スリット１
４を通過する単色光の波長λは、プリズム１３の回転角
度と一定の関係を有しているので、駆動部１５の角度信
号Ｅ＋は、フィルム６に照射されている単色光の波長λ
に対応する信号となる。
一方、単色光がフィルム６を透過する時、フィルム６の
前面、後面で一部が反射する。このため、単色光の波長
λとフィルム６の厚さＱがある相関を持つと、反射光と
直進光が合成されて弱まり（いわゆる光の干渉現象）、
光の透過率が変化する。即ち、第３−の（イ）及び（ロ
）に示すように、フィルム６の後面６ｂで反射した光Ｓ
２がフィルム６の前面６ａで合成される場合（第３図の
（ロ）参照）、透過光ＳＩが弱くなり、逆に、合成され
ない場合（第３図の（イ）参照〉、透過光Ｓ＋が強くな
る。このため、プリズム１３を回転し、連続的に異なる
波長の単色光をフィルム６に照射した時の透過光を検出
して得られる信号Ｅ２と単色光の波長λの関係は第４図
に示す特性となる。従って、第４図の信号Ｅ２のグラフ
における隣り合う山と山（谷と谷でもよい）を形成する
波長をλｌ及びλ２としたとき、信＠ＥＩ及びＥ２が入
力される演粋部１９において、λ１及びλ２を求めるこ
とができる（信号Ｅｌがプリズムの回転角度、即ら、単
色光の波長に対応する信号なので、λｌ及びλ２を求め
ることは可能である）。
前面、後面で一部が反射する。このため、単色光の波長
λとフィルム６の厚さＱがある相関を持つと、反射光と
直進光が合成されて弱まり（いわゆる光の干渉現象）、
光の透過率が変化する。即ち、第３−の（イ）及び（ロ
）に示すように、フィルム６の後面６ｂで反射した光Ｓ
２がフィルム６の前面６ａで合成される場合（第３図の
（ロ）参照）、透過光ＳＩが弱くなり、逆に、合成され
ない場合（第３図の（イ）参照〉、透過光Ｓ＋が強くな
る。このため、プリズム１３を回転し、連続的に異なる
波長の単色光をフィルム６に照射した時の透過光を検出
して得られる信号Ｅ２と単色光の波長λの関係は第４図
に示す特性となる。従って、第４図の信号Ｅ２のグラフ
における隣り合う山と山（谷と谷でもよい）を形成する
波長をλｌ及びλ２としたとき、信＠ＥＩ及びＥ２が入
力される演粋部１９において、λ１及びλ２を求めるこ
とができる（信号Ｅｌがプリズムの回転角度、即ら、単
色光の波長に対応する信号なので、λｌ及びλ２を求め
ることは可能である）。
波長λ１及びλ２を求めた演篩部１９は、（１）式に基
づく演算をして信号Ｅ３を出力すλ１ λ２ 但し、ｎ・・・フィルム６の屈折率（定数）θ・・・光
の入射角（定数） 次に、（１）式に基づく信号Ｅ３が、フィルム６の厚さ
信号であることについて説明する。
づく演算をして信号Ｅ３を出力すλ１ λ２ 但し、ｎ・・・フィルム６の屈折率（定数）θ・・・光
の入射角（定数） 次に、（１）式に基づく信号Ｅ３が、フィルム６の厚さ
信号であることについて説明する。
第４図で説明したように、信号Ｅ２が波長λに対して強
弱を示づのは、光の干渉によるためであり、その干渉条
件式は（２）式となる。
弱を示づのは、光の干渉によるためであり、その干渉条
件式は（２）式となる。
２ｎＱｃｏｓθ−醜λ・（２）
但し、ｎ・・・フィルムの屈折率
Ｑ・・・フィルムの厚さ
θ・・・光の入射角
ｍ・・・整数
λ・・・波長−
いま、第４図の信号Ｅ２のグラフにおける隣り合う山と
山を形成する波長をλ１及びλ２とすれば、（３）式が
成立し、（３）式から踵を消去して（４）式を導くこと
ができる。
山を形成する波長をλ１及びλ２とすれば、（３）式が
成立し、（３）式から踵を消去して（４）式を導くこと
ができる。
２ｎＱＣＯ８θ−ｍλ１−（＋＋１）λｚ−（３）λ、
λ２ 従って、フィルムの屈折率ｎ及び光の入射角θを、あら
かじめ求めておき、フィルム６に可変波長の単色光を照
射し、波長λ１及びλ２又はその逆数１／λ１及び１／
λ２を測定すれば、−ノイルムロの厚さ９を求めること
ができる。即ち、（１）式及び（４）式から明らかなよ
うに、演鋒部１９の出力Ｅ３からフィルム６の厚さＱを
連続的に求めることができる。
λ２ 従って、フィルムの屈折率ｎ及び光の入射角θを、あら
かじめ求めておき、フィルム６に可変波長の単色光を照
射し、波長λ１及びλ２又はその逆数１／λ１及び１／
λ２を測定すれば、−ノイルムロの厚さ９を求めること
ができる。即ち、（１）式及び（４）式から明らかなよ
うに、演鋒部１９の出力Ｅ３からフィルム６の厚さＱを
連続的に求めることができる。
尚、上記波長２１及びλ２は、第４図のグラフにおける
隣り合う山と山を形成する波長となっているが、任意の
山と山、又は山と谷、又は谷と谷を形成する波長を求め
ることによって、上記実施例と同じようにシート状物体
の厚さを測定することができる。
隣り合う山と山を形成する波長となっているが、任意の
山と山、又は山と谷、又は谷と谷を形成する波長を求め
ることによって、上記実施例と同じようにシート状物体
の厚さを測定することができる。
又、本発明は、単色光を術る手段及び単色光の波長又は
その逆数の検出手段を上記実施例に限定Ｊるものではな
い。即ち、単色光を得る手段として、第５図の（イ）及
び（ロ）に示すような、回折格子２０や干渉膜２１．２
２等を用いてもよい。又、単色光の波長に対応する信号
を得る手段は、上記実施例のように、駆動部と兼用する
構成に限定Ｊるものではなく、他の手段、例えばスリッ
ト通過後の単色光をビームスプリッタで分割し、その分
割された一方の光を複数のフィルタ及び光センサから成
る検出器に導入する構成のものであってもよい（分割さ
れた他方の光はフィルムへの照射光となる）。
その逆数の検出手段を上記実施例に限定Ｊるものではな
い。即ち、単色光を得る手段として、第５図の（イ）及
び（ロ）に示すような、回折格子２０や干渉膜２１．２
２等を用いてもよい。又、単色光の波長に対応する信号
を得る手段は、上記実施例のように、駆動部と兼用する
構成に限定Ｊるものではなく、他の手段、例えばスリッ
ト通過後の単色光をビームスプリッタで分割し、その分
割された一方の光を複数のフィルタ及び光センサから成
る検出器に導入する構成のものであってもよい（分割さ
れた他方の光はフィルムへの照射光となる）。
又、本発明は、単色光をシート状物体に照射し、その透
過光を検出する構成に限定するものではなく、被測定体
からの反射光を検出して信号処理づる構成であってもよ
い。
過光を検出する構成に限定するものではなく、被測定体
からの反射光を検出して信号処理づる構成であってもよ
い。
以上説明したように、本発明による厚さ測定方法及び装
置は、可変波長の単色光を用いるので、放射線り式にお
ける空気層による影響及び法的規制の問題や赤外線方式
のような波長選択の煩わしさがない。又、厚さ信号は、
光の強弱を検出し、光の干渉条件式に基づく（１／λＩ
）−（１／λ２）の演算をして得るようになっているの
で（信号レベルの絶対値や波長等の精度ご１゜ が重要でない）、特性の安定した光源や光センサ等で光
学系を構成する必要がない。このため、＠置を安価に、
且つ、簡単に構成できる。又、被測定体が薄くなるほど
、（１／λ＊） （１２／λ２）が大となり、＾感
度となるので、信号検出部、演算部等の構成を簡単にで
きる。
置は、可変波長の単色光を用いるので、放射線り式にお
ける空気層による影響及び法的規制の問題や赤外線方式
のような波長選択の煩わしさがない。又、厚さ信号は、
光の強弱を検出し、光の干渉条件式に基づく（１／λＩ
）−（１／λ２）の演算をして得るようになっているの
で（信号レベルの絶対値や波長等の精度ご１゜ が重要でない）、特性の安定した光源や光センサ等で光
学系を構成する必要がない。このため、＠置を安価に、
且つ、簡単に構成できる。又、被測定体が薄くなるほど
、（１／λ＊） （１２／λ２）が大となり、＾感
度となるので、信号検出部、演算部等の構成を簡単にで
きる。
第１図はシート状物体の厚さ測定装置の構成を示す説明
図、第２図は本発明方法を実現する装置（本発明装置の
一実施例）の構成を示す説明図、第３図及び第４図は本
発明による装置の動作を示す説明図、第５図は本発明の
他の実施例の構成の一部を示す説明図である。 １．２・・・垂直フレーム ３．４・・・水平フレーム ５・・・Ｏ形フシーム ６・・・フィルム７・・・照
射部 ８・・・検出部１１・・・光源ランプ
１２．１６・・・レンズ１３・・・プリズム １
４・・・スリット１５・・・駆動部 １７・・・
光Ｃンサ１８・・・増幅部 １９・・・演算部２
０・・・回折格子 ２１．２２・・・干渉躾特許出
願人 株式会社 横河電機製作所第１日 帛３日 （イ） （ロ） 第４図 ２ （イ） （ロ） 手続補正書ｍ発） ２、発明の名称 シート状物体の厚さ測定方法及び測定装置３、補正をす
る者 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３２号
氏 名（名称） （６７０） 株式会社 横河電機
製作所代表者 横河正三 ４、代 理 人 〒１８０ 住 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３
２号５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （１） 明細書第３ページ第１６行のｒｌ＝Ｉｏ＋ｅＪ
をｒｌ＝Ｉｏ＋８−声′町と補正する。 （２） 明細書第４ページ第８行のｒＩ（λ）＝Ｉａ２
ｅＪを−ｃｉ（Ａ）−Ｊ ＩＩ（λ）−１ψｅ 」と補正する。 以上
図、第２図は本発明方法を実現する装置（本発明装置の
一実施例）の構成を示す説明図、第３図及び第４図は本
発明による装置の動作を示す説明図、第５図は本発明の
他の実施例の構成の一部を示す説明図である。 １．２・・・垂直フレーム ３．４・・・水平フレーム ５・・・Ｏ形フシーム ６・・・フィルム７・・・照
射部 ８・・・検出部１１・・・光源ランプ
１２．１６・・・レンズ１３・・・プリズム １
４・・・スリット１５・・・駆動部 １７・・・
光Ｃンサ１８・・・増幅部 １９・・・演算部２
０・・・回折格子 ２１．２２・・・干渉躾特許出
願人 株式会社 横河電機製作所第１日 帛３日 （イ） （ロ） 第４図 ２ （イ） （ロ） 手続補正書ｍ発） ２、発明の名称 シート状物体の厚さ測定方法及び測定装置３、補正をす
る者 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３２号
氏 名（名称） （６７０） 株式会社 横河電機
製作所代表者 横河正三 ４、代 理 人 〒１８０ 住 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３
２号５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容 （１） 明細書第３ページ第１６行のｒｌ＝Ｉｏ＋ｅＪ
をｒｌ＝Ｉｏ＋８−声′町と補正する。 （２） 明細書第４ページ第８行のｒＩ（λ）＝Ｉａ２
ｅＪを−ｃｉ（Ａ）−Ｊ ＩＩ（λ）−１ψｅ 」と補正する。 以上
Claims (2)
- （１） 可変波長の単色光をシート状物体に照射した時
の透過光又は反射光にみられる干渉による光の強又は弱
を、波長の函数として検出し、該波長と光の干渉条件式
から前記物体の厚さを求めることを特徴とするシート状
物体の厚さ測定方法。 - （２） 連続的に異なる波長の単色光を作り、該単色光
を順次シート状物体に照射する照射部と、該物体に照射
される単色光の波数波長に対応する信号を出力する手段
と、前記物体の透過光又は反射光を検出する検出部と、
該検出部の検出信号及び前記波長に対応する信号が与え
られ、前記透過売名しくは反射光における強又は弱を示
す波長若しくはその逆数を求め、光の干渉条件式に基づ
く演篩をして前記物体の斥さに対応する信号を出力する
演篩部とから構成したことを特徴とするシート状物体の
厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7394482A JPS58206905A (ja) | 1982-05-01 | 1982-05-01 | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7394482A JPS58206905A (ja) | 1982-05-01 | 1982-05-01 | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58206905A true JPS58206905A (ja) | 1983-12-02 |
Family
ID=13532716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7394482A Pending JPS58206905A (ja) | 1982-05-01 | 1982-05-01 | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58206905A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138107A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-28 | Sunstar Inc | 皮膚化粧料 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158971A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-22 | Nippon Naitoronikusu Kk | Atsumikei |
| JPS53125865A (en) * | 1977-04-11 | 1978-11-02 | Fujitsu Ltd | Inspection of alumite substrate |
-
1982
- 1982-05-01 JP JP7394482A patent/JPS58206905A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5158971A (ja) * | 1974-11-20 | 1976-05-22 | Nippon Naitoronikusu Kk | Atsumikei |
| JPS53125865A (en) * | 1977-04-11 | 1978-11-02 | Fujitsu Ltd | Inspection of alumite substrate |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138107A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-28 | Sunstar Inc | 皮膚化粧料 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS589362B2 (ja) | 赤外線多層フイルム膜厚測定方法及びその測定装置 | |
| JPS5535214A (en) | Method and device for film-thickness measurement making use of infrared-ray interference | |
| KR940016660A (ko) | 박막 두께 측정 장치 및 방법 | |
| JPH0348705U (ja) | ||
| EP0176826A2 (en) | Method and apparatus for dual-beam spectral transmission measurements | |
| US3737234A (en) | Spectrophotometer for measurement of derivative spectra | |
| US3437811A (en) | Method and apparatus for measuring the thickness of a film | |
| JPS58206905A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 | |
| JPS58156837A (ja) | 光学式ガス分析用測定装置 | |
| JPS58206906A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 | |
| CN116222783B (zh) | 一种光谱测量装置及方法 | |
| JPS58206903A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定装置 | |
| JPS58206904A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定装置 | |
| JPH04313007A (ja) | 膜検査装置 | |
| JP2015227858A5 (ja) | ||
| KR100205532B1 (ko) | 분체의 수분 측정장치 | |
| JPS55149023A (en) | Infrared ray spectroscopic method | |
| SU1109610A1 (ru) | Способ измерени влажности | |
| JPS587547A (ja) | 赤外線水分計 | |
| JPH04355308A (ja) | 多層膜厚測定装置 | |
| SU1024862A1 (ru) | Способ определени ширины полосы и длины волны максимума пропускани интерференционного светофильтра | |
| JPH028163Y2 (ja) | ||
| JPS6350703A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| WO2018003045A1 (ja) | アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた検出器 | |
| JPH0531732B2 (ja) |