JPS58206904A - シ−ト状物体の厚さ測定装置 - Google Patents
シ−ト状物体の厚さ測定装置Info
- Publication number
- JPS58206904A JPS58206904A JP7394282A JP7394282A JPS58206904A JP S58206904 A JPS58206904 A JP S58206904A JP 7394282 A JP7394282 A JP 7394282A JP 7394282 A JP7394282 A JP 7394282A JP S58206904 A JPS58206904 A JP S58206904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- monochromatic light
- film
- signal
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、可変波長の単色光をシート状物体に照射した
時の透過光又は反射光にみられる干渉による光の強又は
弱を、波長の函数として検出し、シート状物体の厚さを
測定するシート状物体の厚さ測定装置に関する。
時の透過光又は反射光にみられる干渉による光の強又は
弱を、波長の函数として検出し、シート状物体の厚さを
測定するシート状物体の厚さ測定装置に関する。
プラスチックフィルム等の透明又は半透明のシート状物
体の製造ラインにお番プる厚さ測定は、ブＤセスの解明
に重要であると共に、省資源、品質向上、コスト低減等
の点からも重要である。
体の製造ラインにお番プる厚さ測定は、ブＤセスの解明
に重要であると共に、省資源、品質向上、コスト低減等
の点からも重要である。
従来から、このようなシート状物体の厚さ測定装置とし
て、β線厚さ測定装置や赤外線厚さ測定装置が用いられ
ている。
て、β線厚さ測定装置や赤外線厚さ測定装置が用いられ
ている。
これらの厚さ測定装置は、第１図に示すような構成とな
っている。図中、１及び２は垂直フレーム、３及び４は
水平フレームで、これらで０形フレーム５が構成されて
いる。６はシート状物体（例えば、フィルム）、７は照
射部、８は検出部である。照射部７及び検出部８は、適
度の間隙をもって水平フレーム３及び４に設置され、水
平フレーム３，４上の１１と１２の問を同期して往復走
行しながら（駆動部は図示せず）、前記間隙を流れるフ
ィルム６の厚さに関連する信号を検出し、演算部（図示
せず）で所定の演算をして、フィルムの厚さ信号が得ら
れるようになっている。
っている。図中、１及び２は垂直フレーム、３及び４は
水平フレームで、これらで０形フレーム５が構成されて
いる。６はシート状物体（例えば、フィルム）、７は照
射部、８は検出部である。照射部７及び検出部８は、適
度の間隙をもって水平フレーム３及び４に設置され、水
平フレーム３，４上の１１と１２の問を同期して往復走
行しながら（駆動部は図示せず）、前記間隙を流れるフ
ィルム６の厚さに関連する信号を検出し、演算部（図示
せず）で所定の演算をして、フィルムの厚さ信号が得ら
れるようになっている。
ところで６、β線厚さ測定装置の場合、上記照射部７は
、密封容器に収納された線源で構成され、次式に基づく
信号を、電離箱等の放射線検出器で構成された検出部８
で検出することによって、精度の良い厚さ信号を得られ
ることが特徴となっている。
、密封容器に収納された線源で構成され、次式に基づく
信号を、電離箱等の放射線検出器で構成された検出部８
で検出することによって、精度の良い厚さ信号を得られ
ることが特徴となっている。
１− Ｉ ＯＩ ｅ
但し、■・・・透過β線強度
Ｔ ｏ＋・・・フィルムがない時のβ線強度μ・・・吸
収係数 Ｑ・・・フィルムの厚仝 一方、赤外線厚さ測定装置の場合、上記照射部７は、フ
ィルム６に最も吸収帯域を持つ近赤外線を発生する光源
で構成され、次式に基づく信号■（λ）を、サーミスタ
ボロメータ等の赤ことにより、応答性の良い厚さ信号を
得られることが特徴となっている。
収係数 Ｑ・・・フィルムの厚仝 一方、赤外線厚さ測定装置の場合、上記照射部７は、フ
ィルム６に最も吸収帯域を持つ近赤外線を発生する光源
で構成され、次式に基づく信号■（λ）を、サーミスタ
ボロメータ等の赤ことにより、応答性の良い厚さ信号を
得られることが特徴となっている。
【（λ）＝ｆｏ＋６
但し、■（λ）・・・透過赤外線強度
ｌψ・・・フィルムがない時の赤外線強度α（λ）・・
・波長λにおけるフィルム吸収係数 Ｑ・・・フィルムの厚さ しかしながら、β線厚さ測定装置は、空気層による減衰
の影響を補償する手段を必要とするため、構成が複雑に
なるという問題がある上に、放射線障害防止法等に基づ
く法的な規制を受け、取扱主任者の選任や安全管理の実
施を行う必要があるので、装置の導入に当って慎重にな
らざるを得なかった。又、赤外線厚さ測定装置は、前述
のように、近赤外線が被測定体それぞれに固自の吸収帯
を有することを測定原理としているため、被測定体の性
状、例えば、フィルムの垂合度が異なると、照射する波
長をその都度選択する必要があり、その取扱いが煩わし
かった。
・波長λにおけるフィルム吸収係数 Ｑ・・・フィルムの厚さ しかしながら、β線厚さ測定装置は、空気層による減衰
の影響を補償する手段を必要とするため、構成が複雑に
なるという問題がある上に、放射線障害防止法等に基づ
く法的な規制を受け、取扱主任者の選任や安全管理の実
施を行う必要があるので、装置の導入に当って慎重にな
らざるを得なかった。又、赤外線厚さ測定装置は、前述
のように、近赤外線が被測定体それぞれに固自の吸収帯
を有することを測定原理としているため、被測定体の性
状、例えば、フィルムの垂合度が異なると、照射する波
長をその都度選択する必要があり、その取扱いが煩わし
かった。
更に、いずれの方式も、被測定体が薄くなればなるほど
、検出信号のＳ ／−Ｎ比が急くなって信号処理が難し
くなっていた。
、検出信号のＳ ／−Ｎ比が急くなって信号処理が難し
くなっていた。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、その
目的は、光学方式の利点を生かし、且つ、被測定体の性
状による波長選択の必要がない厚さ測定装置を提供する
にある。
目的は、光学方式の利点を生かし、且つ、被測定体の性
状による波長選択の必要がない厚さ測定装置を提供する
にある。
以下、図面を参照し本発明の詳細な説明づる。
第２図は、本発明の一実施例の測定装置の内、特に、単
色光発生部、反射機構及び光検出部の構成を示す説明図
である。図において、６はフィルム、１１は複色光を発
生する光源ランプ、１２はレンズ、１３はプリズム、１
４はスリット、１５は駆動部、１６はミラー、１７及び
１８は反射部である。光源ランプ１１の光は、レンズ１
２により平行光線となってプリズム１３に導かれて分光
され単色光を発生し、この単色光４ス“ジット１４．ミ
ラー１６、等を介して、反射部１７に設けられた穴１７
ａからフィルム６に入射角θをもって照射される構成と
なっている。反射部１７と１８は、各反射面をフィルム
６に向け、略平行に配置されている。又、駆動部１５は
、プリズム１３を回転させると共にプリズム１３の回転
角度に対応する角度信号ＥＩｓ即ち、スリット１４を介
して照射光となる単色光の波長信号を出力づるようにな
っている。従って、駆動部１５は、フィルム６に照射さ
れるψ色光の波長信号を出力する手段でもある。１９は
光センサ、２０は増幅部、２１は演算部である。光セン
サ１９は、フィルム６の透過と反射部１７．１８の反射
を複数回して、反射部１８に設けられた穴１８ａから入
射する単色光を検出する位置に設置されている。光セン
サ１９で検出された信号ｅ１は増幅部２０で増幅され、
信＠Ｅ２となって演算部２１に入力される。演算部２１
には、この信号Ｅ２と角度信号（波長信号）Ｅｌが人力
され、後述する演算が行われ、フィルム６の厚さに対応
する信号Ｅ３が出力される構成となっている。
色光発生部、反射機構及び光検出部の構成を示す説明図
である。図において、６はフィルム、１１は複色光を発
生する光源ランプ、１２はレンズ、１３はプリズム、１
４はスリット、１５は駆動部、１６はミラー、１７及び
１８は反射部である。光源ランプ１１の光は、レンズ１
２により平行光線となってプリズム１３に導かれて分光
され単色光を発生し、この単色光４ス“ジット１４．ミ
ラー１６、等を介して、反射部１７に設けられた穴１７
ａからフィルム６に入射角θをもって照射される構成と
なっている。反射部１７と１８は、各反射面をフィルム
６に向け、略平行に配置されている。又、駆動部１５は
、プリズム１３を回転させると共にプリズム１３の回転
角度に対応する角度信号ＥＩｓ即ち、スリット１４を介
して照射光となる単色光の波長信号を出力づるようにな
っている。従って、駆動部１５は、フィルム６に照射さ
れるψ色光の波長信号を出力する手段でもある。１９は
光センサ、２０は増幅部、２１は演算部である。光セン
サ１９は、フィルム６の透過と反射部１７．１８の反射
を複数回して、反射部１８に設けられた穴１８ａから入
射する単色光を検出する位置に設置されている。光セン
サ１９で検出された信号ｅ１は増幅部２０で増幅され、
信＠Ｅ２となって演算部２１に入力される。演算部２１
には、この信号Ｅ２と角度信号（波長信号）Ｅｌが人力
され、後述する演算が行われ、フィルム６の厚さに対応
する信号Ｅ３が出力される構成となっている。
次に、上記構成の測定装置の動作について説明する。こ
の測定装置において、プリズム１３が連続的に回転する
と、スリット１４を介して得られる単色光は、連続的に
異なる波長を示す単色光となる。又、スリット１４を通
過する単色光の波長λは、プリズム１３の回転角度と一
定の関係を有しているので、駆動部１５の角度信号Ｅ１
は、フィルム６に照射されている単色光の波長λに対応
する信号となる。
の測定装置において、プリズム１３が連続的に回転する
と、スリット１４を介して得られる単色光は、連続的に
異なる波長を示す単色光となる。又、スリット１４を通
過する単色光の波長λは、プリズム１３の回転角度と一
定の関係を有しているので、駆動部１５の角度信号Ｅ１
は、フィルム６に照射されている単色光の波長λに対応
する信号となる。
フィルム６に入射角θを持って照射された単色光は、反
射部１７及び１８で角度θの反射とフィルム６の透過を
繰り返しながら穴１８ａに到達し、光センサ１９に導か
れる。この単色光がフィルム６を透過する時、フィルム
６の前面、後面で一部が反射する。このため、単色光の
波長λとフィルム６の厚さＱがある相関を持つと、反射
光と直進光が合成され１で弱まり（いわゆる光の干渉現
象）、光の透過率が変化する。即ち、第３図の（イ）及
び（ロ）に示すように、フィルム６の後面６ｂで反射し
た光Ｓ２がフィルム６の前面６ａで合成される場合（第
３図の（ロ）参照）、透過光Ｓ＋が弱くなり、逆に、合
成されない場合（第３図の（イ）参照）、透過光Ｓ１が
強くなる。このＩζめ、プリズム１３を回転し、連続的
に異なる波長の単色光をフィルム６に照射した時の透過
光を検出して得られる信号Ｅ２と単色光の波長λの関係
は第４図に示す特性となる。フィルム６の透過が複数回
行われているので、山と谷の差、即ら、第４図の［２ｍ
ａ×と［２ｓｉｎの差が非常に大きくなって現れる。
射部１７及び１８で角度θの反射とフィルム６の透過を
繰り返しながら穴１８ａに到達し、光センサ１９に導か
れる。この単色光がフィルム６を透過する時、フィルム
６の前面、後面で一部が反射する。このため、単色光の
波長λとフィルム６の厚さＱがある相関を持つと、反射
光と直進光が合成され１で弱まり（いわゆる光の干渉現
象）、光の透過率が変化する。即ち、第３図の（イ）及
び（ロ）に示すように、フィルム６の後面６ｂで反射し
た光Ｓ２がフィルム６の前面６ａで合成される場合（第
３図の（ロ）参照）、透過光Ｓ＋が弱くなり、逆に、合
成されない場合（第３図の（イ）参照）、透過光Ｓ１が
強くなる。このＩζめ、プリズム１３を回転し、連続的
に異なる波長の単色光をフィルム６に照射した時の透過
光を検出して得られる信号Ｅ２と単色光の波長λの関係
は第４図に示す特性となる。フィルム６の透過が複数回
行われているので、山と谷の差、即ら、第４図の［２ｍ
ａ×と［２ｓｉｎの差が非常に大きくなって現れる。
従って、第４図の信号Ｅ２のグラフにおける隣り合う山
と山（谷と谷で６よい）を形成する波長をλ、及びλ２
としたとき、信号Ｅ１及びＥ２・が入力される演算部２
１において、λｌ及、びλ２を求めることができる（信
号Ｅ＋がプリズムの回転角度、即ち、単色光の波長に対
応する信号なので、λｌ及びλ２を求めることが可能で
ある）。
と山（谷と谷で６よい）を形成する波長をλ、及びλ２
としたとき、信号Ｅ１及びＥ２・が入力される演算部２
１において、λｌ及、びλ２を求めることができる（信
号Ｅ＋がプリズムの回転角度、即ち、単色光の波長に対
応する信号なので、λｌ及びλ２を求めることが可能で
ある）。
波長λ１及びλ２を求めた演算部２１は、（１）式に基
づく演算をして信号Ｅ３を出力づる。
づく演算をして信号Ｅ３を出力づる。
λ１ λ２
但し、１１・・・−ノイルムロの屈折率（定数）θ・・
・光の入射角（定数） 次に、（１）式に基づく信号Ｅ３が、フィルム６の厚さ
信号であることについて説明する。
・光の入射角（定数） 次に、（１）式に基づく信号Ｅ３が、フィルム６の厚さ
信号であることについて説明する。
第４図で説明したように、信号Ｅ２が波長λに対して強
弱を示すのは、光の干渉によるためであり、その干渉条
件式は（２）式となる。
弱を示すのは、光の干渉によるためであり、その干渉条
件式は（２）式となる。
２ｎＱｃｏｓθ＝−λ−（２）
但し、ｎ・・・フィルムの屈折率
Ｑ・・・フィルムの厚さ
θ・・・光の入射角
−・・・整数
λ・・・波長
いま、第４図の信号Ｅ２のグラフにおける隣り合う山と
山を形成する波長をλ１及びλ２とすれば、（３）式が
成立し、（３）式から−を消去して（４）式を導くこと
ができる。
山を形成する波長をλ１及びλ２とすれば、（３）式が
成立し、（３）式から−を消去して（４）式を導くこと
ができる。
２ｎＱｃｏｓ θ−ｍ λ＋＝（ｌＤ＋１） λｚ
−（３）λ１ λ２ 従って、フィルムの屈折率０及び光の入射角θを、あら
か′じめ求めておき、フィルム６に可変波長の単色光を
照射し波長λ１及びλ２又はイの逆数１／λ１及び１／
λ２を測定すれば、ノイルムロの厚さ９を求めることが
できる。即ら、（１）式及び（４）式から明らかなよう
に、演算部１９の出力Ｅ３からフィルム６の厚さＱを連
続的に求めることができる。
−（３）λ１ λ２ 従って、フィルムの屈折率０及び光の入射角θを、あら
か′じめ求めておき、フィルム６に可変波長の単色光を
照射し波長λ１及びλ２又はイの逆数１／λ１及び１／
λ２を測定すれば、ノイルムロの厚さ９を求めることが
できる。即ら、（１）式及び（４）式から明らかなよう
に、演算部１９の出力Ｅ３からフィルム６の厚さＱを連
続的に求めることができる。
尚、上記波長λｌ及びλ２は、第４図のグラーノにＪ月
ノ今隣り合う山と山を形成する波長となつＣいるが、任
意の山と山、又は山と谷、又は谷と谷を形成する波長を
求めることによって、■−記実施例と同じようにシート
状物体の厚さを測定することができる。
ノ今隣り合う山と山を形成する波長となつＣいるが、任
意の山と山、又は山と谷、又は谷と谷を形成する波長を
求めることによって、■−記実施例と同じようにシート
状物体の厚さを測定することができる。
又、本発明は、単色光を得る手段及び単色光の波長又は
その逆数の検出手段を上記実施例に限定するものではな
い。即ち、単色光を得る手段として、第５図の（イ）及
び（ロ）に示すような、回折格子２２や干渉１Ｉ２３．
２４等を用いてもよい。又、単色光の波長に対応する信
号を得る手段は、上記実施例のように、駆動部と兼用す
る構成に限定するものではなく、他の手段、例えばスリ
ット通過後の単色光をビームスプリッタで分割し、その
分割された一方の光を複数のフィルタ及び光センサから
成る検出器に導入する構成のものであってもよい（分割
された他方の光はフィルムへの照射光となる）。
その逆数の検出手段を上記実施例に限定するものではな
い。即ち、単色光を得る手段として、第５図の（イ）及
び（ロ）に示すような、回折格子２２や干渉１Ｉ２３．
２４等を用いてもよい。又、単色光の波長に対応する信
号を得る手段は、上記実施例のように、駆動部と兼用す
る構成に限定するものではなく、他の手段、例えばスリ
ット通過後の単色光をビームスプリッタで分割し、その
分割された一方の光を複数のフィルタ及び光センサから
成る検出器に導入する構成のものであってもよい（分割
された他方の光はフィルムへの照射光となる）。
以上説明したように、本発明による厚さ測定装置は、可
変波長の単色光を用いるので、放射線方式における空気
層による影響及び法的規制の問題や赤外線方式のような
波長選択の煩わしさがない。又、厚さ信号は、光の強弱
を検出し、光の干渉条件式に基づく（１／λ１＞−（１
／λ２）の演算をして得るよ□うになっているので（信
号レベルの絶対値や波長等の精度が重要でない）、特性
の安定した光源や光センサ等で光学系を構成する必要が
ない。このため、光学系、即ら、装置を安価に、且つ、
簡単な構成にできる。史に、被測定体が薄くなるほど、
（１／λ＋＞ （１／λ２）が大となって高感度と
なるため、又、被測定体を複数回透過した単色光を検出
することによって信号Ｅ２における山と谷の差を大きく
しているため（Ｓ／Ｎ比の改善）、信号検出部、演算部
等の構成を簡単にできる。
変波長の単色光を用いるので、放射線方式における空気
層による影響及び法的規制の問題や赤外線方式のような
波長選択の煩わしさがない。又、厚さ信号は、光の強弱
を検出し、光の干渉条件式に基づく（１／λ１＞−（１
／λ２）の演算をして得るよ□うになっているので（信
号レベルの絶対値や波長等の精度が重要でない）、特性
の安定した光源や光センサ等で光学系を構成する必要が
ない。このため、光学系、即ら、装置を安価に、且つ、
簡単な構成にできる。史に、被測定体が薄くなるほど、
（１／λ＋＞ （１／λ２）が大となって高感度と
なるため、又、被測定体を複数回透過した単色光を検出
することによって信号Ｅ２における山と谷の差を大きく
しているため（Ｓ／Ｎ比の改善）、信号検出部、演算部
等の構成を簡単にできる。
第１図はシート状物体の厚さ測定装置の構成を示す説明
図、第２図は本発明の一実施例の構成を示す説明図、第
３図の（イ）及び（Ｄ）、並びに第４図は本発明による
装置の動作を承り説明図、第５図の（イ）及び（ロ）は
本発明の他の実施例の構成を示す説明図である。 １．２・・・垂直フレーム ３．４・・・水平フレーム ５・・・Ｏ形フシーム ６・・・フィルム７・・・照
射５Ｉ１８・・・検出部 １１・・・光源ランプ １２・・・レンズ１３・・・
プリズム １４・・・スリット１５・・・駆動部
１６・・・ミラー１７．１８・・・反射部 １９
・・・光センサ２０・・・増幅部 ２１・・・演
算部２２・・・回折格子 ２３．２４・・・干渉膜
特許出願人 株式会社 横河電機製作所代 理
人 弁理士 小 沢 信 助−Ｔ ＝＋
ｔ ：Ｔ二ｋｉｉＹｋ））第１図 第２図 第３日 （イ） （ロ） 第４図 第５図 （イ） （ロ） 手続補正型（酢） 昭和５７年 ５月２８日 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 昭和５７年５月１日提出の特許願（Ｂ）２、発明の名称 シート状物体の厚さ測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３２号
氏 名（名称） （６７０） 株式会社 横河電
機製作所代表者 横河正三 ４、代 理 人 〒１８０ 住 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３
２号５、補正の対象 明１ＩＩＩＩの「発明の詳細な説明」の欄６、補正の内
容 （１） 明細書第３ページ第１２行のｒＩ＝Ｉｏ＋ｅＪ
をＩ’１＝ｔｏ＋ｅす’ｉ」と補正する。 以上
図、第２図は本発明の一実施例の構成を示す説明図、第
３図の（イ）及び（Ｄ）、並びに第４図は本発明による
装置の動作を承り説明図、第５図の（イ）及び（ロ）は
本発明の他の実施例の構成を示す説明図である。 １．２・・・垂直フレーム ３．４・・・水平フレーム ５・・・Ｏ形フシーム ６・・・フィルム７・・・照
射５Ｉ１８・・・検出部 １１・・・光源ランプ １２・・・レンズ１３・・・
プリズム １４・・・スリット１５・・・駆動部
１６・・・ミラー１７．１８・・・反射部 １９
・・・光センサ２０・・・増幅部 ２１・・・演
算部２２・・・回折格子 ２３．２４・・・干渉膜
特許出願人 株式会社 横河電機製作所代 理
人 弁理士 小 沢 信 助−Ｔ ＝＋
ｔ ：Ｔ二ｋｉｉＹｋ））第１図 第２図 第３日 （イ） （ロ） 第４図 第５図 （イ） （ロ） 手続補正型（酢） 昭和５７年 ５月２８日 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 昭和５７年５月１日提出の特許願（Ｂ）２、発明の名称 シート状物体の厚さ測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３２号
氏 名（名称） （６７０） 株式会社 横河電
機製作所代表者 横河正三 ４、代 理 人 〒１８０ 住 所 東京都武蔵野市中町２丁目９番３
２号５、補正の対象 明１ＩＩＩＩの「発明の詳細な説明」の欄６、補正の内
容 （１） 明細書第３ページ第１２行のｒＩ＝Ｉｏ＋ｅＪ
をＩ’１＝ｔｏ＋ｅす’ｉ」と補正する。 以上
Claims (1)
- シート状物体を間にし、各反射面を該物体に向け、且つ
、略平行にして設置される一対の反射部と、連続的に異
なる波長の単色光を発生し、該単色光を前記シート状物
体に所定の入射角を持って照射する単色光発生部と、前
記シート状物体の透過及び前記反射部の反射を複数回し
た単色光を検出する光センサと、前記物体に照射される
単色光の波長に対応する信号を出力する手段と、該手段
の出り信号及び前記光センサの検出信号が与えられ、前
記検出される単色光における強又は弱を示す波長又はそ
の逆数を検知し、光の干渉条件式に基づ（演算をして前
記物体の厚さに対応する信号を出力する演算部とから構
成したことを特徴とするシート状物体の厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7394282A JPS58206904A (ja) | 1982-05-01 | 1982-05-01 | シ−ト状物体の厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7394282A JPS58206904A (ja) | 1982-05-01 | 1982-05-01 | シ−ト状物体の厚さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58206904A true JPS58206904A (ja) | 1983-12-02 |
Family
ID=13532664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7394282A Pending JPS58206904A (ja) | 1982-05-01 | 1982-05-01 | シ−ト状物体の厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58206904A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0559217U (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | 横河電機株式会社 | シート状物質オンライン測定装置 |
| JPH0712523A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-17 | Res Dev Corp Of Japan | 膜厚・屈折率の高感度色差観察法 |
-
1982
- 1982-05-01 JP JP7394282A patent/JPS58206904A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0559217U (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | 横河電機株式会社 | シート状物質オンライン測定装置 |
| JPH0712523A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-17 | Res Dev Corp Of Japan | 膜厚・屈折率の高感度色差観察法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2635705C (en) | Spectroscopic sensor for measuring sheet properties | |
| JPS589362B2 (ja) | 赤外線多層フイルム膜厚測定方法及びその測定装置 | |
| GB1583992A (en) | Spectrometers | |
| CA2261469A1 (en) | Method and apparatus for measurement of absolute biaxial birefringence in monolayer and multilayer films, sheets and shapes | |
| JPS58103604A (ja) | フイルムの厚さ測定方法及び測定装置 | |
| EP0176826A2 (en) | Method and apparatus for dual-beam spectral transmission measurements | |
| US3737234A (en) | Spectrophotometer for measurement of derivative spectra | |
| US3437811A (en) | Method and apparatus for measuring the thickness of a film | |
| US9322778B2 (en) | Optical sensing apparatus and a method for detecting characteristics of a sample | |
| JPS58206904A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定装置 | |
| JPS58206906A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 | |
| JPH04313007A (ja) | 膜検査装置 | |
| JPS58206905A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定方法及び測定装置 | |
| JPS58206903A (ja) | シ−ト状物体の厚さ測定装置 | |
| JP4967639B2 (ja) | 赤外線厚さ・配向計及び赤外線厚さ・配向測定方法 | |
| JPS55149023A (en) | Infrared ray spectroscopic method | |
| JP2932783B2 (ja) | シ―ト状物体の特性測定装置 | |
| WO2018003045A1 (ja) | アパーチャ機能を有するビームスプリッタ及びそのビームスプリッタを備えた検出器 | |
| SU1109610A1 (ru) | Способ измерени влажности | |
| JPH0458139A (ja) | 赤外線光学装置 | |
| JPS63305228A (ja) | 放射温度計 | |
| JPH04313005A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| SU1458700A1 (ru) | Способ определения толщины листового полупрозрачного материала | |
| JPH04355308A (ja) | 多層膜厚測定装置 | |
| JPS5887445A (ja) | 透明フイルムの複屈折度測定方法およびその装置 |