JPS5821035B2 - 銅の電着用組成物及び方法 - Google Patents
銅の電着用組成物及び方法Info
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- JPS5821035B2 JPS5821035B2 JP50115933A JP11593375A JPS5821035B2 JP S5821035 B2 JPS5821035 B2 JP S5821035B2 JP 50115933 A JP50115933 A JP 50115933A JP 11593375 A JP11593375 A JP 11593375A JP S5821035 B2 JPS5821035 B2 JP S5821035B2
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- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 25
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims abstract description 25
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims abstract description 14
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- 125000001273 sulfonato group Chemical group [O-]S(*)(=O)=O 0.000 claims abstract description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 31
- -1 organic divalent sulfur compound Chemical class 0.000 claims description 23
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 16
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 claims description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 claims description 8
- 229940100198 alkylating agent Drugs 0.000 claims description 7
- 239000002168 alkylating agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 5
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 claims description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000005077 polysulfide Substances 0.000 claims description 2
- 229920001021 polysulfide Polymers 0.000 claims description 2
- 150000008117 polysulfides Polymers 0.000 claims description 2
- JZMJDSHXVKJFKW-UHFFFAOYSA-M methyl sulfate(1-) Chemical compound COS([O-])(=O)=O JZMJDSHXVKJFKW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 abstract description 14
- KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N benzyl chloride Chemical compound ClCC1=CC=CC=C1 KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 229940073608 benzyl chloride Drugs 0.000 abstract description 7
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 4
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 abstract description 4
- 230000002152 alkylating effect Effects 0.000 abstract description 3
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 abstract description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 abstract description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005956 quaternization reaction Methods 0.000 abstract 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 4
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- RILZRCJGXSFXNE-UHFFFAOYSA-N 2-[4-(trifluoromethoxy)phenyl]ethanol Chemical compound OCCC1=CC=C(OC(F)(F)F)C=C1 RILZRCJGXSFXNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CTKINSOISVBQLD-UHFFFAOYSA-N Glycidol Chemical compound OCC1CO1 CTKINSOISVBQLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 3
- 125000001174 sulfone group Chemical group 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920001281 polyalkylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 2
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- CSPHGSFZFWKVDL-UHFFFAOYSA-M (3-chloro-2-hydroxypropyl)-trimethylazanium;chloride Chemical compound [Cl-].C[N+](C)(C)CC(O)CCl CSPHGSFZFWKVDL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FSSPGSAQUIYDCN-UHFFFAOYSA-N 1,3-Propane sultone Chemical compound O=S1(=O)CCCO1 FSSPGSAQUIYDCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOBRDRYODQBAMW-UHFFFAOYSA-N copper(i) cyanide Chemical compound [Cu+].N#[C-] DOBRDRYODQBAMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VAYGXNSJCAHWJZ-UHFFFAOYSA-N dimethyl sulfate Chemical compound COS(=O)(=O)OC VAYGXNSJCAHWJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910001448 ferrous ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008116 organic polysulfides Chemical class 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000003558 thiocarbamic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
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- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/38—Electroplating: Baths therefor from solutions of copper
-
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は銅の電着用組成物及びその電着方法に関し、更
に詳しくは水性酸性鍍金浴、特(こ硫酸銅及びフッ化ホ
ウ素酸浴から銅を鍍金することに関するものであり、よ
り詳しくは、広範囲の浴濃度と操作電流密度ζこおいて
、光沢性、高延性、低応力及び高平滑性の銅を析出する
ような鍍金浴中に、有機化合物を使用することに関する
。
に詳しくは水性酸性鍍金浴、特(こ硫酸銅及びフッ化ホ
ウ素酸浴から銅を鍍金することに関するものであり、よ
り詳しくは、広範囲の浴濃度と操作電流密度ζこおいて
、光沢性、高延性、低応力及び高平滑性の銅を析出する
ような鍍金浴中に、有機化合物を使用することに関する
。
米国特許第3.770.598号(こは、上述の利点を
得るために、酸性の銅鍍金浴にある種の反応生成物を添
加することが提案されている。
得るために、酸性の銅鍍金浴にある種の反応生成物を添
加することが提案されている。
この先行技術中に示される添加物は、例えばベンジルク
ロライドのようなアルキル化剤とポリエチレンイミンと
の反応によって生成する。
ロライドのようなアルキル化剤とポリエチレンイミンと
の反応によって生成する。
このような反応生成物は銅の析出物の性状を改善するに
は効果的であるが、水性の酸性鍍金浴に比較的溶解し難
い場合が多い。
は効果的であるが、水性の酸性鍍金浴に比較的溶解し難
い場合が多い。
本発明は銅の析出物の性状が、水性酸性鍍金浴にポリ(
アルカノール第四級アンモニウム塩)を添加することに
よって改善されることを見出し、完成されたものである
。
アルカノール第四級アンモニウム塩)を添加することに
よって改善されることを見出し、完成されたものである
。
このような塩類は前記先行技術に示されるアルキル化ポ
リエチレンイミンよりも水性酸性浴に対して溶解度が高
く又、相溶性にもすぐれている。
リエチレンイミンよりも水性酸性浴に対して溶解度が高
く又、相溶性にもすぐれている。
本発明による組成物とその方法は、酸性の硫酸銅又は、
酸性のフッ化ホウ素酸銅型の酸性銅鍍金浴を含むもので
ある。
酸性のフッ化ホウ素酸銅型の酸性銅鍍金浴を含むもので
ある。
よく知られた通り、このような酸性硫酸銅浴は、代表的
には硫酸銅約180〜250g/7it、と硫酸30〜
sog/lit。
には硫酸銅約180〜250g/7it、と硫酸30〜
sog/lit。
を含んでいるが、酸性フッ化ホウ素酸銅浴は代表的には
フッ化ホウ素酸銅200〜600 j!/11t。
フッ化ホウ素酸銅200〜600 j!/11t。
及びフッ化ホウ素酸約O〜609/ait、を含んでい
る。
る。
更に、本発明の添加物を使用すれば、これらの酸性銅鍍
金浴は、高い酸濃度と低い金属含量の条件下で操作でき
ることが見出されている。
金浴は、高い酸濃度と低い金属含量の条件下で操作でき
ることが見出されている。
従って、例えば、約7.5 g/ Ai t、という低
濃度の銅と350 g/lIL、という高濃度の硫酸又
はフッ化ホウ素酸を含むような鍍金浴でも、優れた鍍金
効果が得られる。
濃度の銅と350 g/lIL、という高濃度の硫酸又
はフッ化ホウ素酸を含むような鍍金浴でも、優れた鍍金
効果が得られる。
これらの鍍金浴は約10〜100A/ft2(約1.1
〜IIA/dm2)の電流密度範囲内で操作されること
が好ましいが、多くの場合、約0.5 A/ft2(0
,056A/dm”)という低電流密度でも操作するこ
とができる。
〜IIA/dm2)の電流密度範囲内で操作されること
が好ましいが、多くの場合、約0.5 A/ft2(0
,056A/dm”)という低電流密度でも操作するこ
とができる。
低銅濃度、高酸濃度浴では、約10〜50A/ft2(
約1.0〜5.4A/dm”)範囲の電流密度が一般(
こ使用される。
約1.0〜5.4A/dm”)範囲の電流密度が一般(
こ使用される。
又、輪転グラビア版シリンダーの鍍金に用いられるよう
な強攪拌浴中において、400A/ft2(43/dm
”)という高い電流密度を採用することもできる。
な強攪拌浴中において、400A/ft2(43/dm
”)という高い電流密度を採用することもできる。
浴は空気攪拌、陰極棒攪拌又は溶液攪拌と陰極棒攪拌を
用いて操作してもよいが、それは使用される特定浴と鍍
金条件によって左右される。
用いて操作してもよいが、それは使用される特定浴と鍍
金条件によって左右される。
代表的な鍍金浴温度は約25〜35℃の範囲内であるが
、それより低部又は高温度、例えば50℃又はそれ以上
の温度も使用できる。
、それより低部又は高温度、例えば50℃又はそれ以上
の温度も使用できる。
これに関連して、注目すべきことは、本発明の鍍金浴が
銅の電気精錬にも利用できるということであり、銅の電
気精錬法では一般に約60〜70℃の温度が採用される
。
銅の電気精錬にも利用できるということであり、銅の電
気精錬法では一般に約60〜70℃の温度が採用される
。
浴中の塩素イオン及び/又は臭素イオンの濃度は、約0
.1g/lit、以下であることが望ましいが、可なり
多量の多くの無機イオン例えば第一鉄イオン、ニッケル
、コバルト、亜鉛、カドミウム等の各イオンが少くとも
約25g/lit、という高濃度で浴中に存在しても、
有害作用を及ぼさないことが分った。
.1g/lit、以下であることが望ましいが、可なり
多量の多くの無機イオン例えば第一鉄イオン、ニッケル
、コバルト、亜鉛、カドミウム等の各イオンが少くとも
約25g/lit、という高濃度で浴中に存在しても、
有害作用を及ぼさないことが分った。
更に又、本発明による酸性銅鍍金浴は、高濃度の酸と低
銅金属含量という条件下においても、優れた結果を与え
るのみならず、貫通孔の鍍金にもよく適応し、従って印
刷回路板の製造にも可なり利用できることが分る。
銅金属含量という条件下においても、優れた結果を与え
るのみならず、貫通孔の鍍金にもよく適応し、従って印
刷回路板の製造にも可なり利用できることが分る。
本発明によるポリ(アルカノール第四級アンモニウム塩
)は、ある反応順序に従って調製される3一段目はポリ
アルキレンイミンの混合物とアルキレンオキサイドとの
反応によってポリアルカノールアミンを生成する反応を
含み、二段目はこのポリアルカノールアミンがアルキル
化又は第四化合物化剤と反応して、ポリ(アルカノール
第四級アンモニウム塩)を生成する反応を含む。
)は、ある反応順序に従って調製される3一段目はポリ
アルキレンイミンの混合物とアルキレンオキサイドとの
反応によってポリアルカノールアミンを生成する反応を
含み、二段目はこのポリアルカノールアミンがアルキル
化又は第四化合物化剤と反応して、ポリ(アルカノール
第四級アンモニウム塩)を生成する反応を含む。
この反応過程は次のように表わされる:
鼓にR,、R2−炭素原子数1〜6のアルキレン基、
R,= −CH2−CH−R6又はH
R5=炭素原子数1〜4のアルキル基、アラルキル基、
炭素原子数1〜4のアルケニル基、炭素原子数1〜4の
アルキニル基、 炭素原子数1〜4のアルキレンスルホネート基(例えば R6=H,−CH3,−CH20H。
炭素原子数1〜4のアルケニル基、炭素原子数1〜4の
アルキニル基、 炭素原子数1〜4のアルキレンスルホネート基(例えば R6=H,−CH3,−CH20H。
R7−炭素原子数1〜4のアルキル基、
m=1〜2
X〇−C1■、Br○、 CH380,l。
p=l〜2である。
mとpの値は、最終生成物が若干のアルカノール第四級
アンモニウム基を含むようζこ選択しなければならない
。
アンモニウム基を含むようζこ選択しなければならない
。
若しpの値が2以下であれば、上式中のR5基(及び第
四級アンモニウム基)の数はこれζこ対応する値を持つ
ことが明らかである。
四級アンモニウム基)の数はこれζこ対応する値を持つ
ことが明らかである。
アルキル化剤がアルカンスルトンであれば、式中のX○
はアルキレン基についたスルホン基(SO9であること
は明らかである。
はアルキレン基についたスルホン基(SO9であること
は明らかである。
本発明で利用できる特定のポリアルキレンイミンは、
の重合生成物として表わすことができる;鼓にR8(!
:R9は水素、炭素原子数1〜3のアルキル基、Rlo
は水素、又は炭素原子数1〜3のアルキル、アラルキル
又はヒ1−joキシアルキル基である。
:R9は水素、炭素原子数1〜3のアルキル基、Rlo
は水素、又は炭素原子数1〜3のアルキル、アラルキル
又はヒ1−joキシアルキル基である。
好ましいポリアルキレンイミンは、分子量約300〜約
i、o o o、o o oの範囲内の未置換ポリエチ
レンイミンである。
i、o o o、o o oの範囲内の未置換ポリエチ
レンイミンである。
本発明で利用できるアルキレンオキサイドとしては、エ
チレンオキサイド、プロピレンオキサイド及びグリシド
ールなどが挙げられ、これらの化合物はポリエチレンイ
ミンと反応して分子量約300〜約i、o o o、o
o o範囲内の反応生成物を生ずる。
チレンオキサイド、プロピレンオキサイド及びグリシド
ールなどが挙げられ、これらの化合物はポリエチレンイ
ミンと反応して分子量約300〜約i、o o o、o
o o範囲内の反応生成物を生ずる。
ポリアルキレンイミンとアルキレンオキサイドの反応生
成物すなわちポリアルカノールアミンは、アルキル化剤
と反応して酸性の銅鍍金浴に可溶性の生成物を生ずるが
、エチレンオキサイドとグリシドールから得られる反応
生成物は、プロピレンオキサイドから得られる反応生成
物より溶解度が大きい。
成物すなわちポリアルカノールアミンは、アルキル化剤
と反応して酸性の銅鍍金浴に可溶性の生成物を生ずるが
、エチレンオキサイドとグリシドールから得られる反応
生成物は、プロピレンオキサイドから得られる反応生成
物より溶解度が大きい。
ポリアルカノールアミンの窒素をアルキル化することに
よって、本発明の浴に添加する反応生成物を生成させる
には、各種の有機化合物をポリアルカノールアミンと反
応させることができる。
よって、本発明の浴に添加する反応生成物を生成させる
には、各種の有機化合物をポリアルカノールアミンと反
応させることができる。
特に好結果を与えることが分った特定化合物は、ベンジ
ルクロライド、アリルブPマイト、ジメチル硫酸、プロ
パンスルトン及び(3−クロロ−2−ヒドロキシプロピ
ル)トリメチル塩化アンモニウムすなわち (Cl−CH2−CHOHCH2−N (CHs)3)
+Cl−などである。
ルクロライド、アリルブPマイト、ジメチル硫酸、プロ
パンスルトン及び(3−クロロ−2−ヒドロキシプロピ
ル)トリメチル塩化アンモニウムすなわち (Cl−CH2−CHOHCH2−N (CHs)3)
+Cl−などである。
この反応生成物の生成法は、比較的簡単である。
ポリアルカノールアミンの必要量を熱湯に溶かして之に
所要量のアルキル化剤を加え、この反応混合物を約50
〜約100℃の範囲の温度に加熱しさえすればよい。
所要量のアルキル化剤を加え、この反応混合物を約50
〜約100℃の範囲の温度に加熱しさえすればよい。
ポリアルカノールアミンとアルキル化剤の量比は、ポリ
アルカノールアミン中のアミノ基の全部はアルキル化さ
れないように種々変えることができる。
アルカノールアミン中のアミノ基の全部はアルキル化さ
れないように種々変えることができる。
本発明の内容を更に詳述すると、反応成分としてN−(
2−ヒドロキシエチル)ポリエチレンイミンとベンジル
クロライドを例に取ると、次のような反応が起るものと
考えられている: 本発明の水性酸性銅鍍金浴は、上述の光沢剤の外に、少
くとも一種の浴可溶性のポリエーテル化合物を含むこと
が好ましい。
2−ヒドロキシエチル)ポリエチレンイミンとベンジル
クロライドを例に取ると、次のような反応が起るものと
考えられている: 本発明の水性酸性銅鍍金浴は、上述の光沢剤の外に、少
くとも一種の浴可溶性のポリエーテル化合物を含むこと
が好ましい。
この鍍金浴に可溶性のポリエーテル化合物として各種の
ものが使用できる。
ものが使用できる。
例えば、特に高硫酸濃度と低調金属浴では、長さ6以上
の炭素チェーンを持ったポリグライコールのような非イ
オン性のポリエーテル湿潤剤が有用である。
の炭素チェーンを持ったポリグライコールのような非イ
オン性のポリエーテル湿潤剤が有用である。
熱し、一般に最も好ましいポリエーテル類は、少くとも
6個のエーテル酸素原子を含んでいて、直鎖又は側鎖に
6個以上の炭素原子のアルキル基を含まないようなもの
である。
6個のエーテル酸素原子を含んでいて、直鎖又は側鎖に
6個以上の炭素原子のアルキル基を含まないようなもの
である。
使用することのできる各種のポリエーテル化合物の中で
、優れた結果が得られるのは、平均分子量約360〜i
、oooのポリプロピレンプロパノールとポリグライコ
ール、すなわち一般式(CsHaO) yなる基を含む
ポリエーテル類である、鼓にyは約6〜20の整数であ
る。
、優れた結果が得られるのは、平均分子量約360〜i
、oooのポリプロピレンプロパノールとポリグライコ
ール、すなわち一般式(CsHaO) yなる基を含む
ポリエーテル類である、鼓にyは約6〜20の整数であ
る。
又、(C2H40) x (xは少くとも6の整数)基
を含むポリエーテル類によっても、優れた結果が得られ
る。
を含むポリエーテル類によっても、優れた結果が得られ
る。
米国特許第3.328,273号明細書第5.第6欄の
表■に、各種の好ましいポリエーテル化合物の例を掲げ
である。
表■に、各種の好ましいポリエーテル化合物の例を掲げ
である。
本発明の鍍金浴はこれらのポリエーテル化合物を約0.
01〜5 g/ li tの範囲内の濃度で含むことが
望ましく、低い方の濃度は一般に比較的高分子量のポリ
エーテル類に対して用いられる。
01〜5 g/ li tの範囲内の濃度で含むことが
望ましく、低い方の濃度は一般に比較的高分子量のポリ
エーテル類に対して用いられる。
本発明の水性酸性銅鍍金浴中には、前述のポリエチレン
イミン反応生成物とポリエーテル類の外に、有機の二価
イオウ化合物を加えることも望ましい。
イミン反応生成物とポリエーテル類の外に、有機の二価
イオウ化合物を加えることも望ましい。
この種の適当な有機化合物の代表的なものは、スルホン
化有機硫化物、すなわち少くとも1個のスルホン基を有
する有機硫化物である。
化有機硫化物、すなわち少くとも1個のスルホン基を有
する有機硫化物である。
之らの有機スルホン化硫化物は又その分子特に芳香族と
複素環式硫化物スルホン酸に各種の置換基を持つことが
できる。
複素環式硫化物スルホン酸に各種の置換基を持つことが
できる。
例えばメチル、クロロ、ブロモ、メトキシ、エトキシ、
カルボキシ及びヒドロキシ基などである。
カルボキシ及びヒドロキシ基などである。
これらの有機硫化物スルホン酸は遊離の酸として、ある
いはアルカリ金属塩として、又は有機アミン塩として用
いることができる。
いはアルカリ金属塩として、又は有機アミン塩として用
いることができる。
これらの有機硫化物スルホン酸塩の例は、米国特許第3
,267.010号明細書の第5と第6欄の表■及び第
7と第8欄に示しである。
,267.010号明細書の第5と第6欄の表■及び第
7と第8欄に示しである。
本発明で使用されるその他の適当な有機二価イオウ化合
物にはメルカプタン、チオカーバメイト、チオールカー
バメイト、チオザンセイト及びチオカーボネイトなどが
あり、何れも少くとも1個のスルホン基を含むものであ
る。
物にはメルカプタン、チオカーバメイト、チオールカー
バメイト、チオザンセイト及びチオカーボネイトなどが
あり、何れも少くとも1個のスルホン基を含むものであ
る。
更に、有機ポリサルファイド類も使用できるが、この種
の有機ポリサルファイド化合物は、一般式XR1−(S
)。
の有機ポリサルファイド化合物は、一般式XR1−(S
)。
R25O3Hで表わされ、鼓にR1とR2は炭素数的1
〜6の同種又は異種のアルキレン基であり、Xは水素又
は5O3Hで、nは約2〜5の数である。
〜6の同種又は異種のアルキレン基であり、Xは水素又
は5O3Hで、nは約2〜5の数である。
これらの有機二価イオウ化合物は脂肪族ポリサルファイ
ドで少くとも2個の二価イオウ原子がビシナルの位置に
あり且つその分子は1個又は2個の末端スルホン酸基を
持っている。
ドで少くとも2個の二価イオウ原子がビシナルの位置に
あり且つその分子は1個又は2個の末端スルホン酸基を
持っている。
分子中のアルキレン基は、メチル、エチル、クロロ、ブ
ロモ、エトキシ、ヒドロキシなどの基で置換されていて
もよい。
ロモ、エトキシ、ヒドロキシなどの基で置換されていて
もよい。
これらの化合物は、遊離酸の又はアルカリ金属塩又はア
ミン塩の形で添加することができる。
ミン塩の形で添加することができる。
本発明で使用される特定の有機ポリサルファイド化合物
は、米国特許第3,328,273号明細書第2欄の表
Iに例示しである。
は、米国特許第3,328,273号明細書第2欄の表
Iに例示しである。
これらの有機ポリサルファイド化合物の本発明の鍍金浴
中の量は、約0.0005〜1,0g71口、の範囲内
である。
中の量は、約0.0005〜1,0g71口、の範囲内
である。
次に示す反応生成物とその調製法及び鍍金浴とその操作
法の実施例は、本発明の内容を具体的に示すだめの例で
あって、本発明はそれによって何何ら制限されるもので
は無い。
法の実施例は、本発明の内容を具体的に示すだめの例で
あって、本発明はそれによって何何ら制限されるもので
は無い。
■1反応生成物の調製
(a) エチレンオキサイドとポリエチレンイミン重
合体繰返し単位とのモル比1:1で合成した分子量約1
,200のエトキシ化ポリエチレ74::7]09部の
混合物を500部の水に溶解し、この溶液に80〜90
℃で64部のベンジルクロライドを加えた。
合体繰返し単位とのモル比1:1で合成した分子量約1
,200のエトキシ化ポリエチレ74::7]09部の
混合物を500部の水に溶解し、この溶液に80〜90
℃で64部のベンジルクロライドを加えた。
この反応混合物を90℃で5時間加熱し、70℃で更に
19時間加熱を続けた。
19時間加熱を続けた。
この反応生成物を冷却してから11it、に稀釈した。
(b) 分子量約3,600のエトキシ化ポリエチレ
ンイミンを用いた以外(a)と同様な混合物調製と操作
を繰返した。
ンイミンを用いた以外(a)と同様な混合物調製と操作
を繰返した。
(c) (a)と同一の混合物と操作を繰返した、但
し分子量約120,000のエトキシ化ポリエチレンイ
ミンを用いた。
し分子量約120,000のエトキシ化ポリエチレンイ
ミンを用いた。
(d) プロピレンオキサイドとポリエチレンイミン
重合体繰返し単位とのモル比1:2で調製した分子量約
1,000のプロポキシ化ポリエチレンイミンの混合物
146部を500部の水に溶かし、この溶液に80−9
0℃で64部のベンジルクロライドを加えた。
重合体繰返し単位とのモル比1:2で調製した分子量約
1,000のプロポキシ化ポリエチレンイミンの混合物
146部を500部の水に溶かし、この溶液に80−9
0℃で64部のベンジルクロライドを加えた。
この反応混合物を5時間90℃で加熱し、70℃で19
時間加熱を続けた。
時間加熱を続けた。
この反応生成物を冷却してから1#it、迄稀釈した。
(e) プロピレンオキサイドとポリエチレンイミン
重合体繰返し単位とのモル比1:1で調製した分子量約
3,000のプロポキシ化ポリエチレンイミン109部
の混合物を上記(d)と同様に水に溶かしてベンジルク
ロライドと反応させ、反応生成物を得た。
重合体繰返し単位とのモル比1:1で調製した分子量約
3,000のプロポキシ化ポリエチレンイミン109部
の混合物を上記(d)と同様に水に溶かしてベンジルク
ロライドと反応させ、反応生成物を得た。
■、電気鍍金
実施例 1
J”型研摩スチールパネルを清浄処理し、シアン化銅の
被覆をうずく鍍金し、この被覆パネルを水洗してから次
の組成を有する酸性鍍金浴中で鍍金した: 220 &/ li t、 Cu5O・5H20
60〃 H2SO4 10m9/ l i t 、 HCl115 〃
H3O3−(CH2)3−8−8−(CH2
)3−803H 10μ ポリエチレングライコール分子量9,
000 パネルの鍍金は温度約25℃で電流密度40A/ft2
(約4.5A/dm2)、空気攪拌の下に20分間行な
われた。
被覆をうずく鍍金し、この被覆パネルを水洗してから次
の組成を有する酸性鍍金浴中で鍍金した: 220 &/ li t、 Cu5O・5H20
60〃 H2SO4 10m9/ l i t 、 HCl115 〃
H3O3−(CH2)3−8−8−(CH2
)3−803H 10μ ポリエチレングライコール分子量9,
000 パネルの鍍金は温度約25℃で電流密度40A/ft2
(約4.5A/dm2)、空気攪拌の下に20分間行な
われた。
得られた鍍金パネルは、鍍金が不均一で全体が曇ってい
た。
た。
実施例 2
別の5J”形研摩スチールパネル清浄処理、被覆鍍金を
施し、0.5■/lht、の前記(clの反応物を加え
た以外、実施例1と同様な組成を有する鍍金浴で鍍金し
た。
施し、0.5■/lht、の前記(clの反応物を加え
た以外、実施例1と同様な組成を有する鍍金浴で鍍金し
た。
得られたパネルは鏡面光沢性、均一性を示し、改良され
た平滑化性を持っていた。
た平滑化性を持っていた。
実施例 3
1J“形の研摩スチールパネルを清浄処理後実施例1と
同様Oこ被覆鍍金を施し、次いで次の組成を有する酸性
の銅浴中で電気鍍金した: パネルの鍍金は光沢があり、平滑化性にすぐれた均一性
を示した。
同様Oこ被覆鍍金を施し、次いで次の組成を有する酸性
の銅浴中で電気鍍金した: パネルの鍍金は光沢があり、平滑化性にすぐれた均一性
を示した。
実施例 4
別の研摩したゞJ“形スチールパネルを実施例1と同様
に清浄してから被覆鍍金した。
に清浄してから被覆鍍金した。
次いで次の組成を有する鍍金浴中で電気鍍金した:
鍍金されたパネルはすぐれた光沢を示し、パネル上には
平滑化性の良い銅鍍金が一様に析出されていた。
平滑化性の良い銅鍍金が一様に析出されていた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 下記の反応式に示すアルコキシ化ポリアルキレンイ
ミンとアルキル化剤との反応生成物を0.04〜100
0〜/l;it、の範囲で溶存する水性酸註銅鍍金浴か
ら成る銅の電着浴: 〔ここでR,、R2は炭素数1〜6のアルキレン基; R5は炭素数1〜4のアルキlし基、アラルキル基、 炭素数1〜4のアルケニル基、 炭素数1〜4のアルキニル基、 炭素数1〜4のアルキレンスルホネート基(例えば−C
H2CH2CH25030)及びR6はH,−CH3,
−CH20H; R7は炭素数1〜4のアルキル基; mは1〜2; X○は(J’■、Br○、 CHSO○; 4 pは1〜2である。 〕2 下記の反応式ζこ示すアルコキシ化ポリアルキレ
ンイミンとアルキル化剤との反応生成物を0.04〜1
000m9/ Ait、の範囲で溶存し、更に0.01
〜5.0g/lit、の溶に可溶性のポリエーテル化合
物ならびに少なくとも1個のスルホン基を有する脂肪族
ポリサルファイドと有機硫化物かろ選ばれた0、000
5〜1.ogll目、の有機二価イオウ化合物を含有す
る水性酸性銅鍍金浴から成る電着浴: 〔ここでR,、R2は炭素数1〜6のアルキレン基; R3は炭素数1〜4のアルキル基、アラルキル基、 炭素数1〜4のアルケニル基、 炭素数1〜4のアルキニル基、 炭素数1〜4のアルキレンスルホネート 基(例えば −CH2CH2CH2別9)及び R6はH,−CH3,−CH20H; R7は炭素数1〜4のアルキル基; mは1〜2: X■はC1■、Br■、CH3SO4■ ;pは1〜2
である。 〕
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US55744375A | 1975-03-11 | 1975-03-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51104442A JPS51104442A (en) | 1976-09-16 |
| JPS5821035B2 true JPS5821035B2 (ja) | 1983-04-26 |
Family
ID=24225416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50115933A Expired JPS5821035B2 (ja) | 1975-03-11 | 1975-09-25 | 銅の電着用組成物及び方法 |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4110176A (ja) |
| JP (1) | JPS5821035B2 (ja) |
| AU (1) | AU496780B2 (ja) |
| BE (1) | BE833384A (ja) |
| BR (1) | BR7506841A (ja) |
| CA (1) | CA1050924A (ja) |
| DE (1) | DE2541897C2 (ja) |
| ES (1) | ES440918A1 (ja) |
| FR (1) | FR2303871A1 (ja) |
| GB (1) | GB1526076A (ja) |
| IT (1) | IT1046971B (ja) |
| NL (1) | NL7510771A (ja) |
| SE (1) | SE444822B (ja) |
Families Citing this family (115)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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