JPS5821883A - 複合圧電材料の製造方法 - Google Patents
複合圧電材料の製造方法Info
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- JPS5821883A JPS5821883A JP56120752A JP12075281A JPS5821883A JP S5821883 A JPS5821883 A JP S5821883A JP 56120752 A JP56120752 A JP 56120752A JP 12075281 A JP12075281 A JP 12075281A JP S5821883 A JPS5821883 A JP S5821883A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/092—Forming composite materials
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- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電体と有機物を複合させた圧電材料の製造
法に関するものである。圧電体を超音波変換器、特に人
体を対象とした医用超音波変換器に応用する場合、電気
と超音波の変換効率すなわち電気機械結合係数が大きい
のみならす、軟くて音舎インピーダンスの小さい材料か
望ましい。しかし、ＰＺＴセラミックスなど電気機械結
合係数の大きい無機材料は硬くて音智インピーダンスが
高く、人体とのマツチングが悪い。また、有機物のよう
に軟いものは、圧電性がないか、あるいはあっても電気
機械結合係数が小さいという欠点がある。このように両
者の条件を満足する材料は現在のところ存在しない。そ
こで、ＰＺＴのような無機材料と有ｍｌ料全複合させ、
それぞれの特長を同時にもつ被合材料を作ろうという試
みが盛んに行なわれるようＫなってきた。その先駆的な
試みは米国のニューハムによってなをれ、例えばマテリ
アル・リザーチ・プリテン誌１３巻５２５〜５３６頁に
その有用性が記述されている。その中で、第１図に示し
たような複合化が効果的であると述べられている。すな
わち、有機物１１の中に多数の柱状ＰＺ’ｌ’１２が２
次元的に埋め込まれている槁造にすると、電気機械結合
係数がＰＺＴのそれと比較してそれほど低下することな
く、圧電電圧定数を大きくすることかできる。ここで圧
電電圧定数とは、超音波を受けたときに現われる電圧の
大きさを規定する材料定数で、これが大きいほど受波感
度が高い。また、複合された材料はコン７”ライアンス
が尚くなる。これら、圧１＃ｆ、電圧定数とコンプライ
アンスはＰＺＴと有機物の体積化によって制御すること
ができる。
法に関するものである。圧電体を超音波変換器、特に人
体を対象とした医用超音波変換器に応用する場合、電気
と超音波の変換効率すなわち電気機械結合係数が大きい
のみならす、軟くて音舎インピーダンスの小さい材料か
望ましい。しかし、ＰＺＴセラミックスなど電気機械結
合係数の大きい無機材料は硬くて音智インピーダンスが
高く、人体とのマツチングが悪い。また、有機物のよう
に軟いものは、圧電性がないか、あるいはあっても電気
機械結合係数が小さいという欠点がある。このように両
者の条件を満足する材料は現在のところ存在しない。そ
こで、ＰＺＴのような無機材料と有ｍｌ料全複合させ、
それぞれの特長を同時にもつ被合材料を作ろうという試
みが盛んに行なわれるようＫなってきた。その先駆的な
試みは米国のニューハムによってなをれ、例えばマテリ
アル・リザーチ・プリテン誌１３巻５２５〜５３６頁に
その有用性が記述されている。その中で、第１図に示し
たような複合化が効果的であると述べられている。すな
わち、有機物１１の中に多数の柱状ＰＺ’ｌ’１２が２
次元的に埋め込まれている槁造にすると、電気機械結合
係数がＰＺＴのそれと比較してそれほど低下することな
く、圧電電圧定数を大きくすることかできる。ここで圧
電電圧定数とは、超音波を受けたときに現われる電圧の
大きさを規定する材料定数で、これが大きいほど受波感
度が高い。また、複合された材料はコン７”ライアンス
が尚くなる。これら、圧１＃ｆ、電圧定数とコンプライ
アンスはＰＺＴと有機物の体積化によって制御すること
ができる。
これを実状するために、ニューハムらはファイバ状のＰ
ＺＴセラミックを焼結し、これを多数本規則正しく束ね
て、溶かした有機物の中に浸した後これを固化する方法
を用いている。しかしこの方法は、 （１）細いＰＺＴファイバの作製が困難である、（２）
複合化してから分極処理が必要であるが、一様に高電圧
を印加するのが難しい、 （３）薄板加工が困難で、高周波用変換器を得にくい、 などの欠点がある。
ＺＴセラミックを焼結し、これを多数本規則正しく束ね
て、溶かした有機物の中に浸した後これを固化する方法
を用いている。しかしこの方法は、 （１）細いＰＺＴファイバの作製が困難である、（２）
複合化してから分極処理が必要であるが、一様に高電圧
を印加するのが難しい、 （３）薄板加工が困難で、高周波用変換器を得にくい、 などの欠点がある。
そこで、本発明の目的は、これらの欠点を解消し、簡単
な複合圧電材料の製造方法、特に高周波変換器用に適し
た複合圧電材料の製造方法を提供することにある。
な複合圧電材料の製造方法、特に高周波変換器用に適し
た複合圧電材料の製造方法を提供することにある。
本発明の製造方法は、まず、例えは厚み方向に分極処理
を施しであるＰＺＴセラミックス板を溶解可能な接着材
で平担な面を有する基板上に接着した後、セラミックス
板にセラミックス板を完全に分離する多数の溝を形成す
る。次に、溝の中に有機物を充填固化した後、接着材を
溶解しこれを基板から剥離するというもので、容易に薄
板状の複合材料を得ることができる。しかも、圧電セラ
ミックスと有機物の体積比や組織の細かさは、溝を入れ
る刃の厚さや切断ピッチを選ぶことにより自由に変える
ことができる。ネらに、セラミックスはすでに分極処理
されているので複合材料形成後に分極処理をする必要が
ない。得られる複合材料は充分フレキシブルで任意の形
に変形されて用いることができる。
を施しであるＰＺＴセラミックス板を溶解可能な接着材
で平担な面を有する基板上に接着した後、セラミックス
板にセラミックス板を完全に分離する多数の溝を形成す
る。次に、溝の中に有機物を充填固化した後、接着材を
溶解しこれを基板から剥離するというもので、容易に薄
板状の複合材料を得ることができる。しかも、圧電セラ
ミックスと有機物の体積比や組織の細かさは、溝を入れ
る刃の厚さや切断ピッチを選ぶことにより自由に変える
ことができる。ネらに、セラミックスはすでに分極処理
されているので複合材料形成後に分極処理をする必要が
ない。得られる複合材料は充分フレキシブルで任意の形
に変形されて用いることができる。
以下本発明を実施例によって詳しく説明する。
第２図は本発明の一実施例を説明するための図である。
実施例１
第２Ａ図のように厚み方向に分極処理を施した長さｔが
１０叫、幅Ｗが１０謹、厚さ１が４００μｍのＰＺＴセ
ラミックス４反２１をフェライト基板２３上にエレクト
ロンワックス２２を用いて接着し、厚さ９０μｍのダイ
ヤモンド刃を用い３００μｍピッチＰで第２Ｂ図のよう
に網の目状にＰＺＴを切断して溝２４を形成した。なお
、本実施例では、長さ方向のピッチと幅方向のピッチを
等しくしたが、異ならしめてもよいことは勿論である。
１０叫、幅Ｗが１０謹、厚さ１が４００μｍのＰＺＴセ
ラミックス４反２１をフェライト基板２３上にエレクト
ロンワックス２２を用いて接着し、厚さ９０μｍのダイ
ヤモンド刃を用い３００μｍピッチＰで第２Ｂ図のよう
に網の目状にＰＺＴを切断して溝２４を形成した。なお
、本実施例では、長さ方向のピッチと幅方向のピッチを
等しくしたが、異ならしめてもよいことは勿論である。
上述の工程により、２次元的に規則正しく配列された２
１０μｍ角、高さ４００μｍの多数のＰＺＴセラミック
ス角柱２５が得られたことになる。次にポリウレタンを
角柱２５の間の溝２４の中に充填し固化させた後、エレ
クトロンワックス２２を溶かしてＩ） Ｚ Ｔの板をフ
ェライト基板２３から剥離した。これにより、第２Ｃ図
のような、ＰＺＴ２５とポリウレタン２６の体積率が約
１＝１で、１（ｈ＋ｍ＋角板厚が４００μｍの複合材料
３０が得られた。この複合材料３０１−ｊ：変形が自由
で任意の形にすることができる。電極として、両面にク
ロムと金を蒸着した複合材料３０の電気機械結合係数に
１、圧電定数ｄｌおよび誘電率ε、３などを測定した。
１０μｍ角、高さ４００μｍの多数のＰＺＴセラミック
ス角柱２５が得られたことになる。次にポリウレタンを
角柱２５の間の溝２４の中に充填し固化させた後、エレ
クトロンワックス２２を溶かしてＩ） Ｚ Ｔの板をフ
ェライト基板２３から剥離した。これにより、第２Ｃ図
のような、ＰＺＴ２５とポリウレタン２６の体積率が約
１＝１で、１（ｈ＋ｍ＋角板厚が４００μｍの複合材料
３０が得られた。この複合材料３０１−ｊ：変形が自由
で任意の形にすることができる。電極として、両面にク
ロムと金を蒸着した複合材料３０の電気機械結合係数に
１、圧電定数ｄｌおよび誘電率ε、３などを測定した。
この得られた結果を複合材料を製造するのに用いたＩ）
Ｚ Ｔの特性とともに表１に示す。
Ｚ Ｔの特性とともに表１に示す。
ＰＺＴと比較すると、誘電率ε３３が約半分になり、電
気機械結合係数に、が約１．５倍の大きさになっている
。丑だ圧電定数ｄ３３けほとんど変化していない。した
がって、受波感度の尺度であるｇ＊ｓ”ｄｕ／εＩ３で
表わされる圧電電圧定数は、ＰＺＴＶｃ比較して約２倍
になる。さらに周波数定数すなわち音波の速度Ｖがあま
り変化しないことから、密度ρとＶの積で表わされる音
響インピーダンスは密度の減少分たけ小さくなる。
気機械結合係数に、が約１．５倍の大きさになっている
。丑だ圧電定数ｄ３３けほとんど変化していない。した
がって、受波感度の尺度であるｇ＊ｓ”ｄｕ／εＩ３で
表わされる圧電電圧定数は、ＰＺＴＶｃ比較して約２倍
になる。さらに周波数定数すなわち音波の速度Ｖがあま
り変化しないことから、密度ρとＶの積で表わされる音
響インピーダンスは密度の減少分たけ小さくなる。
実施例２
厚み方向に分極処理′（ｉ−施した１０ｍ角、４００μ
ｍ厚のＰＺＴセラミックス板をフェライト基板上にエレ
クトロンワックスを用いて接着し、厚１５０μｍのダイ
ヤモンド刃を用い３００μｎ〕ピツチで網の目状にＰＺ
Ｔを切断した。この工程により規則正しくならんだ１５
０μｍ角、高さ４００μｍの多数のＰＺＴセラミックス
角柱が得られたことになる。次にシリコンゴムを角柱の
間の溝に充填し固化させた後、エレクトロンワックスを
浴がしてＰＺＴ’の板を剥離した。その結果得られた、
ＰＺＴとシリコンゴムの体積比率が１＝４で板厚が４０
０μｎ１の複合材料は実施例１の場合に比較してさらに
フレキシブルであった。電極として、複合材料の両面に
クロムと金を蒸“着後、実施例１の場合と同様に材料定
数を測定した。その結果を表１に同時に示す。誘電率は
約１／４になっているが、圧電定数ｄｌｌは：ｂずかに
小さくなっているだけなので約３倍）Ｅ電電圧定数が大
きくなる。
ｍ厚のＰＺＴセラミックス板をフェライト基板上にエレ
クトロンワックスを用いて接着し、厚１５０μｍのダイ
ヤモンド刃を用い３００μｎ〕ピツチで網の目状にＰＺ
Ｔを切断した。この工程により規則正しくならんだ１５
０μｍ角、高さ４００μｍの多数のＰＺＴセラミックス
角柱が得られたことになる。次にシリコンゴムを角柱の
間の溝に充填し固化させた後、エレクトロンワックスを
浴がしてＰＺＴ’の板を剥離した。その結果得られた、
ＰＺＴとシリコンゴムの体積比率が１＝４で板厚が４０
０μｎ１の複合材料は実施例１の場合に比較してさらに
フレキシブルであった。電極として、複合材料の両面に
クロムと金を蒸“着後、実施例１の場合と同様に材料定
数を測定した。その結果を表１に同時に示す。誘電率は
約１／４になっているが、圧電定数ｄｌｌは：ｂずかに
小さくなっているだけなので約３倍）Ｅ電電圧定数が大
きくなる。
表１ 実施例の複合圧電材料の特性
以上説明したように、本発明の製造方法を用いると、筒
周波超音波技術に適した薄板状の複合圧電材料が得らｆ
＋る。この薄板状の複合材料は、任意の形に変形できる
ほどフレキシブルで、受波感度の目安となる圧電電圧定
数がＰＺＴ系セラミックスより数倍大きい。
周波超音波技術に適した薄板状の複合圧電材料が得らｆ
＋る。この薄板状の複合材料は、任意の形に変形できる
ほどフレキシブルで、受波感度の目安となる圧電電圧定
数がＰＺＴ系セラミックスより数倍大きい。
ＰＺＴセラミックス板などの圧電体薄板２１をマトリッ
クス状に切断する際、切断ピッチＰが小さくなるにつれ
、圧電体薄板２１の固定が困難となり、切断した圧電体
角柱２５が基板２３からはがれてしまうことがある。こ
れを解決するには圧電体薄板２１を基板２３に接着する
際、強力な接着剤を用いることが考えられるが、今度は
被合材料を基板からの剥隣が困難となる場合がある。ま
た、圧電体薄板２１を切断する際に、第３図に示すよう
に基板２３壕でにも溝２４が形成されてしまうことがわ
り、これがため有機物２６を充填した時有機物２６によ
り基板２３に接着され、剥離が困難となる場合もある。
クス状に切断する際、切断ピッチＰが小さくなるにつれ
、圧電体薄板２１の固定が困難となり、切断した圧電体
角柱２５が基板２３からはがれてしまうことがある。こ
れを解決するには圧電体薄板２１を基板２３に接着する
際、強力な接着剤を用いることが考えられるが、今度は
被合材料を基板からの剥隣が困難となる場合がある。ま
た、圧電体薄板２１を切断する際に、第３図に示すよう
に基板２３壕でにも溝２４が形成されてしまうことがわ
り、これがため有機物２６を充填した時有機物２６によ
り基板２３に接着され、剥離が困難となる場合もある。
かかる問題点をも解決した製造方法を以下に述べる。
第４Ａ図〜第４Ｆ図は本発明の他の実施例を説明するた
めの図である。第４Ａ図に示すように分極処理を施しで
ある圧電体薄板４１を接着剤４２で切断用基板４３に接
着し、第４Ｂ図のようにダイヤモンドカッターなどでマ
トリックス状に圧電板４１を切断し、次に有機物４４を
充填硬化させる。この接着剤４２は切断時に圧電材料４
１が切断用基板４３からはがれないだけの接着力を有す
るものでなければならない。なお、第４図ではまず、切
断溝が切断用台４３に形成される場合について述べる。
めの図である。第４Ａ図に示すように分極処理を施しで
ある圧電体薄板４１を接着剤４２で切断用基板４３に接
着し、第４Ｂ図のようにダイヤモンドカッターなどでマ
トリックス状に圧電板４１を切断し、次に有機物４４を
充填硬化させる。この接着剤４２は切断時に圧電材料４
１が切断用基板４３からはがれないだけの接着力を有す
るものでなければならない。なお、第４図ではまず、切
断溝が切断用台４３に形成される場合について述べる。
次に第４Ｃ図のように有機物４４を充填した圧電材料４
１を基板４５に接着剤４６で接着する。この時、基板４
５は引張り機（図示せず）に固定するための台で、接着
剤４６は接着剤４２より接着強度が強くなければならな
い。次に引張機にて引きはがすと第４Ｄ図のようになる
。
１を基板４５に接着剤４６で接着する。この時、基板４
５は引張り機（図示せず）に固定するための台で、接着
剤４６は接着剤４２より接着強度が強くなければならな
い。次に引張機にて引きはがすと第４Ｄ図のようになる
。
すなわち接着剤４２は接着剤４６より接着力が弱いため
、接着剤４２の部分で破損する。第４Ｄ図の状態の材料
を第４Ｅ図のように溶剤４７にひたし、接着剤４６を取
り去ると、第４Ｆ図のような複合材料４８が得られる。
、接着剤４２の部分で破損する。第４Ｄ図の状態の材料
を第４Ｅ図のように溶剤４７にひたし、接着剤４６を取
り去ると、第４Ｆ図のような複合材料４８が得られる。
これらの材料に要求される性質は次のようになる。接着
剤４２はダイヤモンドカッターに目づまりを起こさず、
切断に耐えるだけの接着力を有し、かつ接着剤４６より
接着力が小さくなければならない。有機物４４はポリウ
レタンやシリコンゴム等のように接着力が小（９） さく、浴剤４７に対してはｔ−５、とんど影響を受けな
い材料であることが必要である。接着剤４６は接着剤４
２．有機物４４より接着力が強く、浴剤４７に溶けるこ
とが必要である。本実施例では、接着剤４２として、エ
ポキシ系接着剤（商品名［エコボンド４５クリア」）ヲ
、接着剤４６としてエポキシ系接着剤（商品名［エコボ
ンド４５ＬＶｊ）’ｔ、溶剤４７としてはトリクロール
エチレンを使用した。なお、第４１３図の状態では接着
剤４２に溶剤を作用させてようとしても、有機物４４に
よって接着剤４２が四重れているため、接着剤４２に溶
剤を直接作用させることができないのである。しかし、
第２Ｂ図のように切断用台２３に溝２４を形成せずに切
断できれは、接着剤２２に浴剤を作用ζせ被合材料３０
を作ることができることは勿論である。この時、有機物
２６は使用する溶剤に影響を受けない材料であることが
必要である。第４Ｃ図から第４Ｄ凶の状態にするのに、
引張り力、剪断力のいずれヲ使っても良い。
剤４２はダイヤモンドカッターに目づまりを起こさず、
切断に耐えるだけの接着力を有し、かつ接着剤４６より
接着力が小さくなければならない。有機物４４はポリウ
レタンやシリコンゴム等のように接着力が小（９） さく、浴剤４７に対してはｔ−５、とんど影響を受けな
い材料であることが必要である。接着剤４６は接着剤４
２．有機物４４より接着力が強く、浴剤４７に溶けるこ
とが必要である。本実施例では、接着剤４２として、エ
ポキシ系接着剤（商品名［エコボンド４５クリア」）ヲ
、接着剤４６としてエポキシ系接着剤（商品名［エコボ
ンド４５ＬＶｊ）’ｔ、溶剤４７としてはトリクロール
エチレンを使用した。なお、第４１３図の状態では接着
剤４２に溶剤を作用させてようとしても、有機物４４に
よって接着剤４２が四重れているため、接着剤４２に溶
剤を直接作用させることができないのである。しかし、
第２Ｂ図のように切断用台２３に溝２４を形成せずに切
断できれは、接着剤２２に浴剤を作用ζせ被合材料３０
を作ることができることは勿論である。この時、有機物
２６は使用する溶剤に影響を受けない材料であることが
必要である。第４Ｃ図から第４Ｄ凶の状態にするのに、
引張り力、剪断力のいずれヲ使っても良い。
また１台４５は第４Ｃ図に示すような直方体であ（１０
） る必要はない。本実施例は、所定の性質を有する接着剤
を使い、引張り機にて引きはがす工程と、溶剤によって
はがすという工程とを含むことを特徴とする。次に本発
明の別の実施例を説明する。
） る必要はない。本実施例は、所定の性質を有する接着剤
を使い、引張り機にて引きはがす工程と、溶剤によって
はがすという工程とを含むことを特徴とする。次に本発
明の別の実施例を説明する。
本実施例では、圧電材料を切断用台に貼付ける時、熱を
加えると軟かくなる接着剤（例えばエレクトロンワック
ス）ｆ：用いることを特徴とする。本実施例では、第２
Ｂ図のように切断用台に溝を作らないように切断するこ
とが望ましい。そして有機物を切断溝に充填し、硬化さ
せた後、加熱して前記の熱軟化性接着剤を溶かし複合材
ｆ”）’にはがすのである。１だ、第４Ｂ図のように切
断用台に溝ができた時は、有機物を充填硬化畑せた後、
切断台力・らに、かすのに上述の方法のように引張り機
を使っても良いが、第５図のように加熱して接着剤５０
を軟かくしておき、１０〜１００μｍ程度の金属片４９
を接着層５０に入れ、有機物４４全切断することで骸合
体を切断用台４３からはがす方法がより好址しい。この
時、有機物４４としてポリウレタンやシリコンゴム等の
軟かい材料を用いれは、（１１） 金属片４９にて有機物の切断は容易である。第６図は本
発明の芒らに別の実施例を示す図である。
加えると軟かくなる接着剤（例えばエレクトロンワック
ス）ｆ：用いることを特徴とする。本実施例では、第２
Ｂ図のように切断用台に溝を作らないように切断するこ
とが望ましい。そして有機物を切断溝に充填し、硬化さ
せた後、加熱して前記の熱軟化性接着剤を溶かし複合材
ｆ”）’にはがすのである。１だ、第４Ｂ図のように切
断用台に溝ができた時は、有機物を充填硬化畑せた後、
切断台力・らに、かすのに上述の方法のように引張り機
を使っても良いが、第５図のように加熱して接着剤５０
を軟かくしておき、１０〜１００μｍ程度の金属片４９
を接着層５０に入れ、有機物４４全切断することで骸合
体を切断用台４３からはがす方法がより好址しい。この
時、有機物４４としてポリウレタンやシリコンゴム等の
軟かい材料を用いれは、（１１） 金属片４９にて有機物の切断は容易である。第６図は本
発明の芒らに別の実施例を示す図である。
本実施例は切断のピッチが１００μｍ程朋の細かい切断
をする場合でも圧電材料がはかれることなく、さらに筒
密度の複合材料を製造する場合に特に有効である。第６
八図に示すように圧電材料６１を切断用台６３に接着剤
６２で貼り利は図示のＸ方向に切断し、第１の有機物６
４を充填硬化させる。
をする場合でも圧電材料がはかれることなく、さらに筒
密度の複合材料を製造する場合に特に有効である。第６
八図に示すように圧電材料６１を切断用台６３に接着剤
６２で貼り利は図示のＸ方向に切断し、第１の有機物６
４を充填硬化させる。
この有機物６４としては、上述の方法で要求される性質
の他に、カッターの目づまりを起こさないものが望まし
い。次に１４６Ｂ図のように図示のＸ方向に切断し、第
２の有機物６５で充填硬化させる。第１の有機物６４と
第２の有機物は同じものでよいし、または違っていても
良い。これ以後、複合材料を台６３からハクリする方法
は上述の方法のいずれ？用いてもよい。
の他に、カッターの目づまりを起こさないものが望まし
い。次に１４６Ｂ図のように図示のＸ方向に切断し、第
２の有機物６５で充填硬化させる。第１の有機物６４と
第２の有機物は同じものでよいし、または違っていても
良い。これ以後、複合材料を台６３からハクリする方法
は上述の方法のいずれ？用いてもよい。
以上のように、使用する材料の熱的性質、接着強度、化
学的性質を利用することにより加工困難である複合材料
を簡単に作製することが可能となり、その効果は大きい
。
学的性質を利用することにより加工困難である複合材料
を簡単に作製することが可能となり、その効果は大きい
。
（１２）
なお、上述の説明では、圧電材料を切断する方向は互い
に直光する方向であったが、これに限定されるものでな
いことは勿論である。
に直光する方向であったが、これに限定されるものでな
いことは勿論である。
第１図は従来の複合材料の一例を示す図、第２Ａ図〜第
２Ｃ図は本発明の一実施例を示す図、第３図は本発明の
他の実施例を説明するための図、第４Ａ図〜第４Ｆ図は
本発明の他の実施例を示す図、第５図は本発明の別の実
施例を示す図、第６Ａ図及び第６Ｂ図は本発明のさらに
別の実施例を示す図である。 （１３） Ｚ１１ 別 ４ Ａ 図 第 ４８ 凹 箔 ４ Ｄ 図 第 ４ Ｅ 図 Δ５ ％４ｃ、 図
２Ｃ図は本発明の一実施例を示す図、第３図は本発明の
他の実施例を説明するための図、第４Ａ図〜第４Ｆ図は
本発明の他の実施例を示す図、第５図は本発明の別の実
施例を示す図、第６Ａ図及び第６Ｂ図は本発明のさらに
別の実施例を示す図である。 （１３） Ｚ１１ 別 ４ Ａ 図 第 ４８ 凹 箔 ４ Ｄ 図 第 ４ Ｅ 図 Δ５ ％４ｃ、 図
Claims (1)
- １、基板上に接着されたあらかじめ分極処理されている
圧電体薄板を切断して多数の溝を形成する工程と、該鍋
内に有機物を充填する工程と、これを上記基板から剥離
する工程からなることを特徴とする複合圧電材料の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56120752A JPS5821883A (ja) | 1981-08-03 | 1981-08-03 | 複合圧電材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56120752A JPS5821883A (ja) | 1981-08-03 | 1981-08-03 | 複合圧電材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5821883A true JPS5821883A (ja) | 1983-02-08 |
| JPH0153516B2 JPH0153516B2 (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=14794107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56120752A Granted JPS5821883A (ja) | 1981-08-03 | 1981-08-03 | 複合圧電材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821883A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62131700A (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子及びその製造方法 |
| JPS6484152A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Sekisui Plastics | Acceleration sensor |
| JPH0251289A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Sekisui Plastics Co Ltd | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
| DE19637397A1 (de) * | 1995-09-13 | 1997-03-20 | Toshiba Kawasaki Kk | Ultraschall-Meßkopf und Verfahren zur Herstellung eines Oxid-Monokristalls |
| US6873090B2 (en) | 2001-01-25 | 2005-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezocomposite, ultrasonic probe for ultrasonic diagnostic equipment, ultrasonic diagnostic equipment, and method for producing piezocomposite |
| US6919668B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-07-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric element |
| US6984922B1 (en) | 2002-07-22 | 2006-01-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric transducer and method of fabricating the same |
| US7288069B2 (en) | 2000-02-07 | 2007-10-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe and method of manufacturing the same |
-
1981
- 1981-08-03 JP JP56120752A patent/JPS5821883A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62131700A (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子及びその製造方法 |
| JPS6484152A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Sekisui Plastics | Acceleration sensor |
| JPH0251289A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Sekisui Plastics Co Ltd | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
| DE19637397A1 (de) * | 1995-09-13 | 1997-03-20 | Toshiba Kawasaki Kk | Ultraschall-Meßkopf und Verfahren zur Herstellung eines Oxid-Monokristalls |
| DE19637397C2 (de) * | 1995-09-13 | 2000-11-30 | Toshiba Kawasaki Kk | Ultraschall-Meßkopf und Verfahren zur Herstellung eines Oxid-Monokristalls |
| US7288069B2 (en) | 2000-02-07 | 2007-10-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe and method of manufacturing the same |
| US6873090B2 (en) | 2001-01-25 | 2005-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezocomposite, ultrasonic probe for ultrasonic diagnostic equipment, ultrasonic diagnostic equipment, and method for producing piezocomposite |
| US7424771B2 (en) | 2001-01-25 | 2008-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing a piezocomposite |
| US6919668B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-07-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric element |
| US6984922B1 (en) | 2002-07-22 | 2006-01-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric transducer and method of fabricating the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0153516B2 (ja) | 1989-11-14 |
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