JPS5821984Y2 - シンクウシツノ エキタイハイシユツソウチ - Google Patents
シンクウシツノ エキタイハイシユツソウチInfo
- Publication number
- JPS5821984Y2 JPS5821984Y2 JP12035074U JP12035074U JPS5821984Y2 JP S5821984 Y2 JPS5821984 Y2 JP S5821984Y2 JP 12035074 U JP12035074 U JP 12035074U JP 12035074 U JP12035074 U JP 12035074U JP S5821984 Y2 JPS5821984 Y2 JP S5821984Y2
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- JP
- Japan
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- cylinder
- oil
- thin tube
- liquid
- tip
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- Expired
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 17
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
回転対陰極Ｘ線発生装置に釦いては、対陰極の回転軸を
真空室内に導入するための軸封部から潤滑油が該真空室
内へ漏洩することを避は得ない。
真空室内に導入するための軸封部から潤滑油が該真空室
内へ漏洩することを避は得ない。
従って真空室内に溜った油を随時排出しなければならな
いが、本考案は真空を保持した状態でこのような真空室
内の液体を大気中へ排出することのできる簡単な構造の
装置を提供するものである。
いが、本考案は真空を保持した状態でこのような真空室
内の液体を大気中へ排出することのできる簡単な構造の
装置を提供するものである。
第１図は本考案実施例の縦断面図、第２図は第１図の装
置の側面図で、例えば回転対陰極Ｘ線発生装置に釦ける
対陰極の回転軸１が軸封部２を介して真空室３に導入さ
れている。
置の側面図で、例えば回転対陰極Ｘ線発生装置に釦ける
対陰極の回転軸１が軸封部２を介して真空室３に導入さ
れている。
軸封部２は蒸気圧の極めて低い例えば拡散ポンプ用の油
を潤滑油として多量に供給することにより真空を保持す
るもので、その油が軸１の表面を伝って真空室３に侵入
する。
を潤滑油として多量に供給することにより真空を保持す
るもので、その油が軸１の表面を伝って真空室３に侵入
する。
従って軸１につば４を設けて遠心力でその油を飛散させ
て液体溜５に集取するもので、この液体溜５を図のよう
に真空壁における上記液体溜より低い位置に形成したシ
リンダ６の側面に液体通路７によって連結し、かつ該シ
リンダの基端を通路８によって上記液体溜に連結しであ
る。
て液体溜５に集取するもので、この液体溜５を図のよう
に真空壁における上記液体溜より低い位置に形成したシ
リンダ６の側面に液体通路７によって連結し、かつ該シ
リンダの基端を通路８によって上記液体溜に連結しであ
る。
シリンダ６には、Ｏリング９を有するピストン１０を摺
動自在に嵌合して、その駆動ロッド１１をシリンダの基
端から０ ’Ｊタング２を介して大気中に引出しである
。
動自在に嵌合して、その駆動ロッド１１をシリンダの基
端から０ ’Ｊタング２を介して大気中に引出しである
。
また上記シリンダ６の先端には孔１３を設けて、その孔
の段部にＯリング１４を嵌合しかつＯリング１５に摺接
するねじ１６を螺合しである。
の段部にＯリング１４を嵌合しかつＯリング１５に摺接
するねじ１６を螺合しである。
このねじ１６の頭部は大気中に突出し、先端が上記Ｏリ
ング１４に対向している。
ング１４に対向している。
従ってねじ１６を締付けると先端がＯリング１４に圧接
して、孔１３が閉じられるもので、上記先端が開閉弁１
７を形成している。
して、孔１３が閉じられるもので、上記先端が開閉弁１
７を形成している。
このような孔１３に例えば内径１ｍｍ以下、長さ１ｍ程
度の細管１８の基端を連結して、該細管の先端１９を大
気に開放したものである。
度の細管１８の基端を連結して、該細管の先端１９を大
気に開放したものである。
上述の装置において、常時ばねじ１６を締付けて弁１７
で孔１３を塞いでおく。
で孔１３を塞いでおく。
従って真空室３およびシリンダ６は完全に密閉されて、
図示してない排気ポンプで高真空に排気される。
図示してない排気ポンプで高真空に排気される。
この状態で軸１を回転すると液体溜５に次第に油２０が
蓄積され、かつ一部は図のように通路７を通ってシリン
ダ６内に流入する。
蓄積され、かつ一部は図のように通路７を通ってシリン
ダ６内に流入する。
その油２０を排出する場合には、図のように弁１７を開
いてロッド１１を矢印ａのように往復駆動する。
いてロッド１１を矢印ａのように往復駆動する。
すなわちこの往復駆動によってピストン１０が第１図の
上方へ移動すると、シリンダ６内の油が孔１３から細管
１８を通って大気中へ排出される。
上方へ移動すると、シリンダ６内の油が孔１３から細管
１８を通って大気中へ排出される。
かつピストン１０が第１図の下方へ移動する場合には、
細管１８内に充満している油がその流動抵抗によって緩
速度でシリンダ６内へ逆流する。
細管１８内に充満している油がその流動抵抗によって緩
速度でシリンダ６内へ逆流する。
従ってピストン１０を迅速に移動させると共に通路７を
充分大きく形成しておくことにより、液体部５の油２０
が再びシリンダ６に充満し、つぎにピストン１０が第１
図の上方へ移動する行程でその油が細管１８を通って先
端９から大気中へ排出される。
充分大きく形成しておくことにより、液体部５の油２０
が再びシリンダ６に充満し、つぎにピストン１０が第１
図の上方へ移動する行程でその油が細管１８を通って先
端９から大気中へ排出される。
すなわち油２０の比重を１．０７、動粘度を４０センチ
ストークスとすると、前記寸法の細管１８を逆流する油
の流量は毎秒０．１ ｃ ｃ程度にすぎないから、ピス
トン１０の下降行程においては細管１８内の油によって
真空の保持が行われるものである。
ストークスとすると、前記寸法の細管１８を逆流する油
の流量は毎秒０．１ ｃ ｃ程度にすぎないから、ピス
トン１０の下降行程においては細管１８内の油によって
真空の保持が行われるものである。
このように本考案の装置は細管中を流通する液体の抵抗
によって真空を保持するもので、複雑で精密な工作を必
要とする逆止弁を必要としないから、装置を簡単に製作
し得る。
によって真空を保持するもので、複雑で精密な工作を必
要とする逆止弁を必要としないから、装置を簡単に製作
し得る。
かつ細管はこれを折曲げることによって、極めて小容積
中に収容し得るから装置を小型に形成することができる
。
中に収容し得るから装置を小型に形成することができる
。
な釦前記実施例は本考案を回転対陰極Ｘ線発生装置に用
いた場合について説明したが、本考案はこれを真空室中
から液体を取り出す必要のある各種の装置、例えば任意
の液体の真空蒸留装置において蒸留された液体を取出す
場合、あるいは真空中で遠心分離を行う装置の漏洩潤滑
油を取出す場合、ターボモレキュラーポンプの潤滑油を
交換する場合等にも用いることができる。
いた場合について説明したが、本考案はこれを真空室中
から液体を取り出す必要のある各種の装置、例えば任意
の液体の真空蒸留装置において蒸留された液体を取出す
場合、あるいは真空中で遠心分離を行う装置の漏洩潤滑
油を取出す場合、ターボモレキュラーポンプの潤滑油を
交換する場合等にも用いることができる。
例えばターボモレキュラーポンプは多数の羽を有する回
転軸を毎分数百回転の高速度で回転して羽の低真空側を
オイルロータリーポンプ等で１０Ｈｒ程度に保持し、高
真空側の気体分子を羽で叩き出すことによって１Ｏ−９
〜１０ ｍｍＨｆ Ｏ高真空を得るもので、上記回転
軸の潤滑油は低真空側の油溜からポンプで強制循環され
る。
転軸を毎分数百回転の高速度で回転して羽の低真空側を
オイルロータリーポンプ等で１０Ｈｒ程度に保持し、高
真空側の気体分子を羽で叩き出すことによって１Ｏ−９
〜１０ ｍｍＨｆ Ｏ高真空を得るもので、上記回転
軸の潤滑油は低真空側の油溜からポンプで強制循環され
る。
上述のようなターボモレキュラーポンプを長時間連続運
転する場合は真空を破ることなく潤滑油の交換を行わな
ければならないが、このような場合にも本考案を利用し
て真空室中の潤滑油を排出することができる。
転する場合は真空を破ることなく潤滑油の交換を行わな
ければならないが、このような場合にも本考案を利用し
て真空室中の潤滑油を排出することができる。
第１図は本考案実施例の縦断面図、第２図は第１図の装
置の側面図である。 なお図において、１は回転軸、２は軸封部、３は真空室
、４はつば、５は液体部、６はシリンダ、Ｔは液体通路
、８は液体通路、９ＨＯ！、ポンプ、１０はピストン、
１１はピストンの駆動ロッド、１２はＯリング、１３は
孔、１４はＯリング、１５は０リング、１６はねじ、１
１は開閉弁、１８は細管、１９は細管の先端、２０は油
である。
置の側面図である。 なお図において、１は回転軸、２は軸封部、３は真空室
、４はつば、５は液体部、６はシリンダ、Ｔは液体通路
、８は液体通路、９ＨＯ！、ポンプ、１０はピストン、
１１はピストンの駆動ロッド、１２はＯリング、１３は
孔、１４はＯリング、１５は０リング、１６はねじ、１
１は開閉弁、１８は細管、１９は細管の先端、２０は油
である。
Claims (1)
- 真空室内の液体溜を該液体溜より低い位置に形成したシ
リンダの側面に連結する通路を設けて、上記シリンダに
摺動自在に嵌合したピストンの駆動ロッドを該シリンダ
の基端から大気中に引出し、かつ上記シリンダの先端に
前記液体溜の液体が高い抵抗をもって流通する細管の基
端を連結して該細管の先端を大気に開放すると共に上記
シリンダと細管の先端との間に開閉弁を設けた真空室の
液体排出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12035074U JPS5821984Y2 (ja) | 1974-10-07 | 1974-10-07 | シンクウシツノ エキタイハイシユツソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12035074U JPS5821984Y2 (ja) | 1974-10-07 | 1974-10-07 | シンクウシツノ エキタイハイシユツソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5147667U JPS5147667U (ja) | 1976-04-08 |
| JPS5821984Y2 true JPS5821984Y2 (ja) | 1983-05-10 |
Family
ID=28361454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12035074U Expired JPS5821984Y2 (ja) | 1974-10-07 | 1974-10-07 | シンクウシツノ エキタイハイシユツソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5821984Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641797Y2 (ja) * | 1986-08-21 | 1994-11-02 | 愛知製鋼株式会社 | 棒材の面取り装置 |
-
1974
- 1974-10-07 JP JP12035074U patent/JPS5821984Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5147667U (ja) | 1976-04-08 |
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