JPS5823809U - 半導体ウエ−ハ搬送用シユ−ト - Google Patents
半導体ウエ−ハ搬送用シユ−トInfo
- Publication number
- JPS5823809U JPS5823809U JP11692881U JP11692881U JPS5823809U JP S5823809 U JPS5823809 U JP S5823809U JP 11692881 U JP11692881 U JP 11692881U JP 11692881 U JP11692881 U JP 11692881U JP S5823809 U JPS5823809 U JP S5823809U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- wafer transport
- transport chute
- chute
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Chutes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａ、 ｂは従来の半導体ウェーハ搬送用シュー
トの一例の斜視図および断面図、第２図ａ。 ｂは本考案の一実施例の斜視図および断面図である。 １・・・・・・シュート、２・・・・・・半導体ウェー
ハ、１１・・・・・・シュート、１２・・・・・・レー
ル。
トの一例の斜視図および断面図、第２図ａ。 ｂは本考案の一実施例の斜視図および断面図である。 １・・・・・・シュート、２・・・・・・半導体ウェー
ハ、１１・・・・・・シュート、１２・・・・・・レー
ル。
Claims (1)
- 断面が凹字形で長い機影の半導体ウェーハ搬送用シュー
トにおいて、前記シュートの底面に、かつ長手方向に少
（とも２本のレールを設けたことを特徴とする半導体ウ
ェーハ搬送用シュート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11692881U JPS5823809U (ja) | 1981-08-05 | 1981-08-05 | 半導体ウエ−ハ搬送用シユ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11692881U JPS5823809U (ja) | 1981-08-05 | 1981-08-05 | 半導体ウエ−ハ搬送用シユ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5823809U true JPS5823809U (ja) | 1983-02-15 |
Family
ID=29911136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11692881U Pending JPS5823809U (ja) | 1981-08-05 | 1981-08-05 | 半導体ウエ−ハ搬送用シユ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5823809U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010001155A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Yoshitaka Aoyama | 部品移送用の湾曲通路部材 |
-
1981
- 1981-08-05 JP JP11692881U patent/JPS5823809U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010001155A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Yoshitaka Aoyama | 部品移送用の湾曲通路部材 |
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