JPS5983029U - 半導体基板 - Google Patents
半導体基板Info
- Publication number
- JPS5983029U JPS5983029U JP18016482U JP18016482U JPS5983029U JP S5983029 U JPS5983029 U JP S5983029U JP 18016482 U JP18016482 U JP 18016482U JP 18016482 U JP18016482 U JP 18016482U JP S5983029 U JPS5983029 U JP S5983029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- recorded
- semiconductor
- roughened
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の実施例を示す平面図である。
１・・・・・・半導体基板、３・・・・・・粗面。
Claims (1)
- 複数組の半導体素子が形成される半導体基板において、
少くとも一方の面の周縁部を粗面としたことを特徴とす
る半導体基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18016482U JPS5983029U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 半導体基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18016482U JPS5983029U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 半導体基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983029U true JPS5983029U (ja) | 1984-06-05 |
Family
ID=30390710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18016482U Pending JPS5983029U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 半導体基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983029U (ja) |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP18016482U patent/JPS5983029U/ja active Pending
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