JPS5824166B2 - 移動式液体「ろ」過供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、移動式液体濾過供給装置に関する。

さらに詳しく言えば、本発明は、微細な固体粒子を不純
物として含有する液体物質を濾過して供給することがで
きる移動式ｆ過供給装置に関する。

近年、微細な固体粒子を不純物として含有する液体物質
を濾過して供給する作業は、各技術分野において、極め
て重要なものとなってきている。

すなわち、無機化学工業、有機化学工業、食品工業、医
薬品工業、微生物化学工業、醗酵工業、電子工業等にお
いて、各種薬品、食品その他の液体材料物質に含有され
ている微細な固体粒子をいわゆるダスト（汚染固体粒子
）として除去する作業は、重要な位置を占めている。

特に、液体材料物質自体の汚染固体粒子の除去もさるこ
とながら、各技術分野に応じて設けられている清浄化さ
れた作業室内への液体材料物質の搬入は、搬入の際に用
いる容器およびそれを搬入する作業者の清浄化処理が相
当に頻雑なものとなり、その清浄化処理に要する設備、
費用、ならびに作業時間の節減は、各技術分野において
解決すべき重要な課題とされてきている。

従来、いわゆるダストフリーの液体物質の供給方式とし
ては、パイプ敷設によるパイプ搬送方式が、優れた方式
として採用されているが、パイプ敷設のための場所を必
要とすること、配設費用が膨大になること、地震などに
よる事故の際に災害が発生し易いことなどの点で、難点
があり、これに代るべき方策が要望されている。

本発明者等は、かかる課題ならひに方策につき、種々研
究の結果、本発明の移動式１過供給装置を完成するに至
った。

すなわち、本発明は、微細な。固体粒子を不純物として
含有する液体物質を濾過して供給し得る移動式ｆ過供給
装置を提供するものである。

本発明の装置により、使用直前に極めて簡便に、液体材
料物質をいわゆるダストフリーの状態で供給することが
でき、パイプ供給システムは不要となり、各種の清浄化
処理設備を簡素化することができるなどの利点のため、
作業の効率化、省力化、コストの低減化等、数多くの優
れた効果がもたらされる。

以下に本発明の詳細な説明する。

本発明の移動式沢過供給装置は、圧送用気体供給口１と
液体物質排出口２とを備えた本体１６の内部に、液体物
質を入れた容器３と、該容器内へ通ずる圧送用気体供給
口からの気体通路４と該容器３から液体物質排出口２へ
通ずる液体通路５を内蔵し、かつ該本体１６に静電防止
機能を有するキャスター７を直接又は間接に装備してな
り、前記の気体通路４には安全弁１０と沢過手段６と開
閉弁１１が設けられており、前記の液体通路５には、ｒ
過手段６と開閉弁１１とが設けられており、前記の気体
通路４および液体通路５は、容器３に着脱自在に接続さ
れており、容器３内の液体残存量を報知するための検知
器１３を備えていることを特徴とするものである。

前記の圧送用気体供給口１および液体物質排出口２には
、通常クイックコネクター８が接続される。

この圧送用気体としては、通常は、チッ素ガスが用いら
れる。

圧送用気体供給口１から液体物質を入れた容器３に至る
気体通路４の途中には安全弁１０と圧送用気体を清浄化
するための沢過手段（フィルター）６と開閉弁１１とが
設けられる。

この通路の途中には、通常、圧力計９がセットされ、こ
の圧力計は、本体１６の外部からの読み取りが可能な位
置に取付けられている。

また、上記の開閉弁１１は、本体１６の外部からコック
１７などにより開閉操作がなし得るようになっている。

上記の通路は、通常の配管により設けられるが、液体納
入容器３へ通ずる直前など所望の箇所にはフレキシブル
コイルホース１２を用いることができ、また容器３と通
路４の接続部にはクイックコネクター８を用いることが
できる。

なお、液体納入容器３の材質は、通常はステンレスであ
り、これにテフロンコーティングをしたものが好ましく
用いられる。

液体物質を入れた容器３から液体物質排出口２に至る通
路５には、ｆ過手段６と開閉体１１とが設けられ、この
沢過手段６により微細な固体粒子は除去され、ダストの
極めて少い清浄化された液体物質が本体外部に流出供給
されることとなる。

上記の開閉弁１１も前述の開閉弁と同様に本体１６の外
部からコック１７などにより開閉操作がなし得るように
なっている。

液体納入容器３からの液体通路５も、前述の気体通路４
の場合と同様に、通常の配管により設けられるが、液体
納入容器３から出た直後などにはフレキシブルコイルホ
ース１２を用いることができ、また、容器３と通路５の
接続部にはクイックコネクター８を用いることができる
。

さらに、本発明の移動式液体沢過供給装置には、液体納
入容器内の液体残存量を報知するための検知器１３が備
えられている。

検知器としては、例えば、静電センサー、圧力センサー
、フロートセンサー、重量センサーなどがあげられる。

また、この検知器に関連して指示装置１４などを設ける
ことができる。

また、本体１６には、静電防止機能を有するキャスター
７が直接又は間接に装備される。

この場合、間接に装備するというのは、キャスターＴの
装備された台上に本体１６を載置する意味である。

本体内に内蔵された液体物質を入れた容器３は、この容
器に気体通路４および液体通路５が着脱自在に接続され
ているので、随時交換することができる。

本体１６の一部を、第４図に示すように引き出し式にス
ライドする容器設置台１５としておくと、容器３を本体
外側へ引き出すことができる。

この引き出し式容器設置台１５により、液体納入容器３
を交換する操作が極めて容易となる。

本発明の装置は、例えば、次のようにして効率的に使用
することができる。

■ 工場内における液体物質の使用箇所近辺に本発明の
装置を配備しておく。

■ 容器内の液体物質が次第に使用され、容器内の液体
残存量がゼロもしくは、僅少量であることが検知器によ
り報知されたときに、その空となった容器から気体通路
４および液体通路５をはづし、その容器を、予め液体物
質を充填しである別の容器と交換して、気体通路および
液体通路をその新たな容器に接続する。

■ 工場内において、必要に応じ、随時本発明の装置を
必要箇所に移動する。

本発明の装置は、特に電子工業用薬品供給コンテナーと
して、半導体の製造工程、プリント回路製造工程、レジ
ストによる印刷製版工程などに用いられている薬品類の
１過供給装置として極めて有用である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の移動式液体沢過供給装置のフローシ
ートであり、第２図、第３図は、本発明の移動式液体濾
過供給装置の一態様例を示す外観図であり、第４図は本
発明の移動式液体沢過供給装置の一実施例である引き出
し式容器設置台を設けた場合を説明するための部分外観
図であり、第５図は、本発明に使用される液体物質納入
容器の一例の部分断面図である。 １・・・・・・圧送用気体供給口、２・・・・・・液体
物質排出口、３・・・・・・容器、１１・・・・・・開
閉弁、４・・・・・・気体通路、１２・・・・・・フレ
キシブルコイルホース、５・・・・・・液体通路、１３
・・・・・・検知器、６・・・・・・沢過手段、１４・
・・・・・指示装置、７・・・・・・キャスター、１５
・・・・・・容器設置台、８・・・・・・クイックコネ
クター、１６・・・・・・本体、９・・・・・・圧力計
、１７・・・・・・コック、１０・・・・・・安全弁。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 微細な固体粒子を不純物として含有する液体物質を
   １過して供給し得る移動式濾過供給装置であって、圧送
   用気体供給口１と液体物質排出口２とを備え、液体物質
   を入れた容器３と該容器内へ通ずる圧送用気体供給口か
   らの気体通路４と、該容器３から液体物質排出口２へ通
   ずる液体通路５を内蔵した本体１６に静電防止機能を有
   するキャスター７を直接又は間接に装備してなり、前記
   の気体通路４には安全弁１０と濾過手段６と開閉弁１１
   が設けられており、前記の液体通路５には濾過手段６と
   開閉弁１１とが設けられており、前記の気体通路４およ
   び液体通路５は、容器３に着脱自在に接続されており、
   容器３内の液体残存量を報知するための検知器１３を備
   えていることを特徴とする移動式液体ｆ過供給装置。