JPS5824844A - 電子スピン共鳴装置 - Google Patents
電子スピン共鳴装置Info
- Publication number
- JPS5824844A JPS5824844A JP12051081A JP12051081A JPS5824844A JP S5824844 A JPS5824844 A JP S5824844A JP 12051081 A JP12051081 A JP 12051081A JP 12051081 A JP12051081 A JP 12051081A JP S5824844 A JPS5824844 A JP S5824844A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pore
- holder
- cavity resonator
- plate
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/20—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
- G01R33/28—Details of apparatus provided for in groups G01R33/44 - G01R33/64
- G01R33/32—Excitation or detection systems, e.g. using radio frequency signals
- G01R33/34—Constructional details, e.g. resonators, specially adapted to MR
- G01R33/345—Constructional details, e.g. resonators, specially adapted to MR of waveguide type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子スピン共鳴装置（ｇａＲ裟置装１ζ関し、
特に大きな板状の試料を破壊することなく測定できるＢ
ＡＢ装置１こ関するものである０近時磁気バブルメモリ
が実用段’ニー１に入り、コンピュータ用あるいは電子
交換機用のメモリとじて幅広く利用されるものと期待さ
れている。現在バブル材料として用いられるのは磁性ガ
ーネットであり、非磁性ガーネット基板の上にエピタキ
シャル法で薄膜として成長させている。この様なバブル
材料の特性を測定して評価を下す手段として８８Ｒ装置
を用いることが提案されている０具体的には第１図に示
す様に静磁場Ｈｅ中ｌこ置かれた空胴共振器１内に基板
２を配置し、基板面がＨＯの方向となす角度を０’、、
９０’ ｌこ変えるかあるいは０から９０の間で何段
階か１こ変えてＰｌｔ８Ｒスペクトルを測定し、スペク
トルの変化から材料の特性パラメータを求めている。と
ころがこの轍な従来の方法では空胴共振器１内に挿入で
きる試を料の大きさに限界があるため、製造段階で数イ
ンチ径の基板５こ作成したメモリから数ｍｍ角程度のチ
ップを切出して測定しなければならず、手間がかかると
同時に基板全面について測定することは困難であった。
特に大きな板状の試料を破壊することなく測定できるＢ
ＡＢ装置１こ関するものである０近時磁気バブルメモリ
が実用段’ニー１に入り、コンピュータ用あるいは電子
交換機用のメモリとじて幅広く利用されるものと期待さ
れている。現在バブル材料として用いられるのは磁性ガ
ーネットであり、非磁性ガーネット基板の上にエピタキ
シャル法で薄膜として成長させている。この様なバブル
材料の特性を測定して評価を下す手段として８８Ｒ装置
を用いることが提案されている０具体的には第１図に示
す様に静磁場Ｈｅ中ｌこ置かれた空胴共振器１内に基板
２を配置し、基板面がＨＯの方向となす角度を０’、、
９０’ ｌこ変えるかあるいは０から９０の間で何段
階か１こ変えてＰｌｔ８Ｒスペクトルを測定し、スペク
トルの変化から材料の特性パラメータを求めている。と
ころがこの轍な従来の方法では空胴共振器１内に挿入で
きる試を料の大きさに限界があるため、製造段階で数イ
ンチ径の基板５こ作成したメモリから数ｍｍ角程度のチ
ップを切出して測定しなければならず、手間がかかると
同時に基板全面について測定することは困難であった。
本発明はと述した点に鑑みてなされたものであり、円筒
型空胴共振器の局面に外部と連通ずる小穴を開は該小穴
１こ外部から基板をめでると共に、該基板を回転させる
機構と平行移動させる機構を設けることにより、基板を
破壊することなしに基板全面ｌこわたってＥＳＳ測測定
行い得るよう１こしたことを特徴としている。以下図面
を用いて本発明を詳説する。
型空胴共振器の局面に外部と連通ずる小穴を開は該小穴
１こ外部から基板をめでると共に、該基板を回転させる
機構と平行移動させる機構を設けることにより、基板を
破壊することなしに基板全面ｌこわたってＥＳＳ測測定
行い得るよう１こしたことを特徴としている。以下図面
を用いて本発明を詳説する。
第２図は本発明の一実施例の構成を示し、（ａ）は正面
図、（ｂ）は平面図、（Ｃ）はＡ−Ａ＠面図である。
図、（ｂ）は平面図、（Ｃ）はＡ−Ａ＠面図である。
図において１１は円筒型（ＴＢＯＬＩモード）空ハ同共
賑器であり、磁極１２，１２°間１こ配置されている。
賑器であり、磁極１２，１２°間１こ配置されている。
該空胴共振器１１の周側面１こは例えば数ｍｍ角程度の
小穴１６が開けられており、この小穴の部分（こ近接す
るように被検試料である数インチ径の基板１４が配置さ
れている。該基板１４はプレート１５内で回転可能に設
けられているホルダ１６１こよって保持されている。１
７は基板１４をホルダ１６１こ押圧するおさえリングで
ある。
小穴１６が開けられており、この小穴の部分（こ近接す
るように被検試料である数インチ径の基板１４が配置さ
れている。該基板１４はプレート１５内で回転可能に設
けられているホルダ１６１こよって保持されている。１
７は基板１４をホルダ１６１こ押圧するおさえリングで
ある。
父上記プレート１５は前記ホルダ１６を保持したままガ
イド１８１こ沿って上下動可能ｆこ設けられている。更
に該プレート１５の他の側面にはラック１９が設けられ
、該ラック１９１こはビニオン２０が噛合っている。
イド１８１こ沿って上下動可能ｆこ設けられている。更
に該プレート１５の他の側面にはラック１９が設けられ
、該ラック１９１こはビニオン２０が噛合っている。
斯かる構成ＩＣおいて円筒型空胴共振器１１内１こは高
周波（マイクロ波）磁界が第２図（ｂｌ 、 （ｃｌ
ｉこ破線で示す様１こ放射状ｆこ回転対称形で分布して
おり、小穴の部分では外部ｌこ漏洩している。そしてそ
の漏洩部分１こ当る様１こ基板１４が配置されでいるた
め、該基板１ｃ対して平行、な静磁場Ｈａを印加してＥ
ＳＲ測定を行えば、ＨｏＩこ対しで０の角度でのＥ８Ｒ
スペクトルを得ることができる。
周波（マイクロ波）磁界が第２図（ｂｌ 、 （ｃｌ
ｉこ破線で示す様１こ放射状ｆこ回転対称形で分布して
おり、小穴の部分では外部ｌこ漏洩している。そしてそ
の漏洩部分１こ当る様１こ基板１４が配置されでいるた
め、該基板１ｃ対して平行、な静磁場Ｈａを印加してＥ
ＳＲ測定を行えば、ＨｏＩこ対しで０の角度でのＥ８Ｒ
スペクトルを得ることができる。
この時得られ、るＥ８几スペクトルは基板上で小穴から
漏洩したマイクロ波が影響を及ぼす数ｍｍ角程度の領域
ｌこ関するものであり、基板全面１こついて測定するた
め１こは基板を移動させて測定を繰返す必要がある。と
ころがＥＳＴ’４装置では狭い磁極間に空胴共振器が配
置されるので通常考えられるｘ−Ｙ移動では基板の移動
区ｆこ大幅な制約を受ける。その点本発明ではホルダ１
６１こ設けたダイヤルＤを手で回して基板１４を回転さ
）上ることと、ビニオン２０を回して基板１４を磁極間
隙に沿う方向（上下方向）１こ平行移動させることがで
きるため、第３図１こ示す様ｌこ回転→上下方向のステ
ップ移動→回転→ステップ移動と繰返すこと１こより基
板上のあらゆる部位を小穴１６１こ対接させることがで
き、しかも限られた磁極空間内で磁極面への衝突等を心
配せずに行うことができるという大きな効果が得られる
。
漏洩したマイクロ波が影響を及ぼす数ｍｍ角程度の領域
ｌこ関するものであり、基板全面１こついて測定するた
め１こは基板を移動させて測定を繰返す必要がある。と
ころがＥＳＴ’４装置では狭い磁極間に空胴共振器が配
置されるので通常考えられるｘ−Ｙ移動では基板の移動
区ｆこ大幅な制約を受ける。その点本発明ではホルダ１
６１こ設けたダイヤルＤを手で回して基板１４を回転さ
）上ることと、ビニオン２０を回して基板１４を磁極間
隙に沿う方向（上下方向）１こ平行移動させることがで
きるため、第３図１こ示す様ｌこ回転→上下方向のステ
ップ移動→回転→ステップ移動と繰返すこと１こより基
板上のあらゆる部位を小穴１６１こ対接させることがで
き、しかも限られた磁極空間内で磁極面への衝突等を心
配せずに行うことができるという大きな効果が得られる
。
尚もう１つの小穴２１を第２図世）に示す様に小穴１６
に対して９０°ずれた位置に開け、Ｊ：紀と同様の基板
回転機構及び平行移動機構を設ければ、ＨＯに対して９
０のＥＳＢスペクトルを基板全面ｌこついて測定するこ
とができる。その際本発明では円筒型空胴共振器を用い
ているので先ｌこ述べたようｌこ高周波磁界が軸回転対
称１こ分布しているため、小穴を開ける位置に神経を払
わなくても２つの小穴から漏洩するマイクロ波磁界強度
は常Ｉこ等しいので、同一条件で測定を行うことができ
る。
に対して９０°ずれた位置に開け、Ｊ：紀と同様の基板
回転機構及び平行移動機構を設ければ、ＨＯに対して９
０のＥＳＢスペクトルを基板全面ｌこついて測定するこ
とができる。その際本発明では円筒型空胴共振器を用い
ているので先ｌこ述べたようｌこ高周波磁界が軸回転対
称１こ分布しているため、小穴を開ける位置に神経を払
わなくても２つの小穴から漏洩するマイクロ波磁界強度
は常Ｉこ等しいので、同一条件で測定を行うことができ
る。
以と詳述した如く本発明によれば大きな試料を破壊せず
に全面ＩこわたってＥ８Ｒ測定を行うことのできる装置
が実現される。
に全面ＩこわたってＥ８Ｒ測定を行うことのできる装置
が実現される。
第１図は従来例を説明するための図、第２図は本発明の
一実施例の構成を示す図、第３図は基板の回転及び平行
移動を説明するための図である。 １１：円筒型空胴共振器、１２．１２’：磁極、１６゜
２１：小穴、１５ニブレート、１６：ホルダ、１８ニガ
イド、１９ニラツク、２０：ビニオン。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者加勢忠雄
一実施例の構成を示す図、第３図は基板の回転及び平行
移動を説明するための図である。 １１：円筒型空胴共振器、１２．１２’：磁極、１６゜
２１：小穴、１５ニブレート、１６：ホルダ、１８ニガ
イド、１９ニラツク、２０：ビニオン。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者加勢忠雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 静磁場Ｈｅ中に円筒製空胴共振器を配置し、該空胴
共振器の外周部に内部のマイクロ波磁界を外部へ漏洩さ
せるための穴を設け、該共振器外部から試料をと肥大へ
接近させて配置し、且つ該試料を紋穴に対して平行移動
させる機構及び回転させる機構を設けたことを特徴とす
る電子スピン共鳴装置。 ２、 前記穴を９０°の角度をおいて２つ設けてなる特
許請求の範囲第１項記載の電子スピン共鳴装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56120510A JPS6051660B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 電子スピン共鳴装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56120510A JPS6051660B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 電子スピン共鳴装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5824844A true JPS5824844A (ja) | 1983-02-14 |
| JPS6051660B2 JPS6051660B2 (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=14787991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56120510A Expired JPS6051660B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | 電子スピン共鳴装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6051660B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5583477A (en) * | 1978-12-18 | 1980-06-23 | Tokyo Electric Co Ltd | Controlling circuit of transistor oscillating inverter |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP56120510A patent/JPS6051660B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5583477A (en) * | 1978-12-18 | 1980-06-23 | Tokyo Electric Co Ltd | Controlling circuit of transistor oscillating inverter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6051660B2 (ja) | 1985-11-15 |
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