JPS5825073A - 無電極放電ランプ - Google Patents
無電極放電ランプInfo
- Publication number
- JPS5825073A JPS5825073A JP12370781A JP12370781A JPS5825073A JP S5825073 A JPS5825073 A JP S5825073A JP 12370781 A JP12370781 A JP 12370781A JP 12370781 A JP12370781 A JP 12370781A JP S5825073 A JPS5825073 A JP S5825073A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge lamp
- electrodeless discharge
- natural radioactive
- discharge
- radioactive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、マイクロ波放電を利用した光源装置に用い
られる無電極放電ランプに関し９発光管内に天然放射性
元素を封入することにより始動を改善しようとするもの
である。
られる無電極放電ランプに関し９発光管内に天然放射性
元素を封入することにより始動を改善しようとするもの
である。
最近、放電利用の光源装置として高周波放電特に高周波
にマイクロ波を用いた光源装置が注目されている。従来
の有電極の光源装置ではランプの寿命が電極の消耗によ
り決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装置では
ランプを無電極にできるためランプ寿命−が゛長くなる
という特−がある。また、電極による熱損失がなく放電
のインピーダンスが初期状態と安定状態で差が小さいた
め、初期状態での電力注入が容易であり、さらに放電電
力がランプ管壁に偏っている等の理由で最大出方到達ま
での時間が短くなるという特徴もある。
にマイクロ波を用いた光源装置が注目されている。従来
の有電極の光源装置ではランプの寿命が電極の消耗によ
り決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装置では
ランプを無電極にできるためランプ寿命−が゛長くなる
という特−がある。また、電極による熱損失がなく放電
のインピーダンスが初期状態と安定状態で差が小さいた
め、初期状態での電力注入が容易であり、さらに放電電
力がランプ管壁に偏っている等の理由で最大出方到達ま
での時間が短くなるという特徴もある。
しかしながら、無電極放電ランプの透明石英からなる発
光管内に、アルゴン等の始動補助用希ガスおよび放電維
持封入物として水銀を封入したランプ、あるいは放電維
持封入物として所望の発光スペクトルを得るためＫさら
に金属ハロゲン化物を封入したランプにおいては、電源
を投入してから放電開始までに約５〜１０秒かかるとい
う始動性において問題があった。
光管内に、アルゴン等の始動補助用希ガスおよび放電維
持封入物として水銀を封入したランプ、あるいは放電維
持封入物として所望の発光スペクトルを得るためＫさら
に金属ハロゲン化物を封入したランプにおいては、電源
を投入してから放電開始までに約５〜１０秒かかるとい
う始動性において問題があった。
この発明は、上記した点に鑑みてなされたものであり、
マイクロ波により励起されて発光する無電極ランプにお
いて、ランプの発光管内に天然放射性元素を封入して、
光学的及び働程特性に悪影響を及ぼすこと無く、従来に
比較して電源投入後、放電開始までの時間を短かくする
ことを目的とするものである。
マイクロ波により励起されて発光する無電極ランプにお
いて、ランプの発光管内に天然放射性元素を封入して、
光学的及び働程特性に悪影響を及ぼすこと無く、従来に
比較して電源投入後、放電開始までの時間を短かくする
ことを目的とするものである。
以下にマイクロ波放電光源装置の一例を第１図および第
２図に基づいて説明すると９図に於いて、（１）は無電
極放電ランプで、透明石英で形成された内部に始動補助
用希ガスおよび放電維持封入物が封入された発光管（２
）とこの発光管（２）から棒状に突出して設けられた一
対のランプ支持部（３）から構成されている。（４）は
マグネトロン。
２図に基づいて説明すると９図に於いて、（１）は無電
極放電ランプで、透明石英で形成された内部に始動補助
用希ガスおよび放電維持封入物が封入された発光管（２
）とこの発光管（２）から棒状に突出して設けられた一
対のランプ支持部（３）から構成されている。（４）は
マグネトロン。
（５）はマグネトロンアンテナ、（６）は導波管、（７
）はほぼ半球に形成されたマイクロ波空胴で、半球状の
光反射板（７ａ）とこの光反射板（７ａ）の開口部を塞
ぎ、マイクロ波は遮断するが、光は透過するメツシュ板
（１ｂ）から形成されている。（８）は導波管（６）と
マイクロ波空胴（７）を構成する光反射板（１ａ）の接
合部に設けられた給電口、（９）はマグネトロン（４）
と無電極放電ランプ（１）を冷却するための冷却ファン
、ａ・は冷却ファン（９）からの冷却風を讐グネトロン
（４）を介して導波管（６）内に導くための送風管、α
υは送風管ａω内の冷却風を導波管（６）内に入れるた
め導波管（６）にあけられた通風口。
）はほぼ半球に形成されたマイクロ波空胴で、半球状の
光反射板（７ａ）とこの光反射板（７ａ）の開口部を塞
ぎ、マイクロ波は遮断するが、光は透過するメツシュ板
（１ｂ）から形成されている。（８）は導波管（６）と
マイクロ波空胴（７）を構成する光反射板（１ａ）の接
合部に設けられた給電口、（９）はマグネトロン（４）
と無電極放電ランプ（１）を冷却するための冷却ファン
、ａ・は冷却ファン（９）からの冷却風を讐グネトロン
（４）を介して導波管（６）内に導くための送風管、α
υは送風管ａω内の冷却風を導波管（６）内に入れるた
め導波管（６）にあけられた通風口。
０はマグ４トロン（４）、導波管（６）、空棚（７）等
を嶺５箱体である。
を嶺５箱体である。
この様に構成されたマイクロ波放電光源装置ニオいて、
その動作はマグネトロン（４）Ｋよって発生されたマイ
クロ波がマグネトロンアンテナ（５１を通して導波管（
６）内に放射され、このマイクロ波が導波管（６）を伝
播し給電口（８）を通して空胴（７）内にマイクロ゛波
型磁界を形成する。このマイクロ波電磁界によりまず、
ランプ（１）内に封入された始動補助用希ガスが放電し
２発光管（２）壁が熱せられ、それまで発光管（２）壁
に付着していた放電維持封入物である水銀あるいは水銀
及び金属ハロゲン化物も蒸発し放電は金属蒸気放電を主
体とした放電となる。この時封入金属の種類に応じ゛て
それ゛ぞれの金属特有の発光スペクトルを待った発光を
生じるのでこれを光源として用いるものである。なお、
このランプ（１）からの光を有効に利用するため空胴（
７）の後面を反射板（７ａ）として用い、前面はマイク
ロ波は透過しないが光は透過する金属メツシュ板（７ｂ
）で構成して光を前方のみに放射させるようにしである
ものであり、」方６マグネトロン（４）及びランプ（１
１は動作中冷却する必要があるため冷却ファン（９）に
よりマグネトロン（４）を冷却し、この冷却空気は送風
管ａ・、送風口０υ、導波管（６）及び給電口（８）を
経てランプ（１）を冷却した後メツシュ板（７ｂ）から
排気されるものである。
その動作はマグネトロン（４）Ｋよって発生されたマイ
クロ波がマグネトロンアンテナ（５１を通して導波管（
６）内に放射され、このマイクロ波が導波管（６）を伝
播し給電口（８）を通して空胴（７）内にマイクロ゛波
型磁界を形成する。このマイクロ波電磁界によりまず、
ランプ（１）内に封入された始動補助用希ガスが放電し
２発光管（２）壁が熱せられ、それまで発光管（２）壁
に付着していた放電維持封入物である水銀あるいは水銀
及び金属ハロゲン化物も蒸発し放電は金属蒸気放電を主
体とした放電となる。この時封入金属の種類に応じ゛て
それ゛ぞれの金属特有の発光スペクトルを待った発光を
生じるのでこれを光源として用いるものである。なお、
このランプ（１）からの光を有効に利用するため空胴（
７）の後面を反射板（７ａ）として用い、前面はマイク
ロ波は透過しないが光は透過する金属メツシュ板（７ｂ
）で構成して光を前方のみに放射させるようにしである
ものであり、」方６マグネトロン（４）及びランプ（１
１は動作中冷却する必要があるため冷却ファン（９）に
よりマグネトロン（４）を冷却し、この冷却空気は送風
管ａ・、送風口０υ、導波管（６）及び給電口（８）を
経てランプ（１）を冷却した後メツシュ板（７ｂ）から
排気されるものである。
次に、この様に構成されたマイクロ波放電光源装置にお
いて、始動性を向上させるためＫ。
いて、始動性を向上させるためＫ。
発光管（２）内に天然放射性元素を封入したこの発明の
詳細な説明する。
詳細な説明する。
実施例１゜
発光管（２）の内径を３０１とじ９発光管（２１内に始
動補助用希ガスとして＠Ｏｔｏｒｒのアルゴンを封入す
るとともに、放電維持封入金属として１謹９のガリウム
と４■の沃化水銀を封入し、かつ天然放射性元素として
レニウム（Ｒｅ）金属を１■添加した無電極放電ランプ
（１）を製作した。この無電極放電ランプ（１）を第２
図に示す装置に組み込み点灯したところ、水銀およびガ
リウムの発光により波長３５０ｎｍから４５０ｎｍ付近
に強い光を放射する装置が得られるとともに、電源投入
後放電開始までの時藺が１０本製作したランプのほとん
どが瞬時点灯し、長くても２秒程度で放電を開始し、レ
ニウム金属の封入されていない無電極放電ランプが約５
〜１０秒かかったのに対し大幅に始動性が改善されたも
のである。
動補助用希ガスとして＠Ｏｔｏｒｒのアルゴンを封入す
るとともに、放電維持封入金属として１謹９のガリウム
と４■の沃化水銀を封入し、かつ天然放射性元素として
レニウム（Ｒｅ）金属を１■添加した無電極放電ランプ
（１）を製作した。この無電極放電ランプ（１）を第２
図に示す装置に組み込み点灯したところ、水銀およびガ
リウムの発光により波長３５０ｎｍから４５０ｎｍ付近
に強い光を放射する装置が得られるとともに、電源投入
後放電開始までの時藺が１０本製作したランプのほとん
どが瞬時点灯し、長くても２秒程度で放電を開始し、レ
ニウム金属の封入されていない無電極放電ランプが約５
〜１０秒かかったのに対し大幅に始動性が改善されたも
のである。
しかも、レニウムは発光管内に封入された金属ハロゲン
化物である沃化水銀、特にハロゲンである沃素と反応し
にり＜９発光にもほとんど寄与しないため９点灯に際し
て光学的特性および働程特性に悪影響を及ばさないもの
であった。
化物である沃化水銀、特にハロゲンである沃素と反応し
にり＜９発光にもほとんど寄与しないため９点灯に際し
て光学的特性および働程特性に悪影響を及ばさないもの
であった。
この様にレニウムを発光管（２）内に封入したことＫよ
り、始動性が向上した理由は、レニウムは絶えずβ線を
放射し、２ｇ＋９からの単位時間当りのβ線放出量が２
個／秒と非常に多いので、β線の大きな電離能力により
無電極放電ランプ始動時に必要なイオン及び電子の生成
が助長され放電が起こりやすくなり、その結果ランプ始
動が良くなると考えられる。
り、始動性が向上した理由は、レニウムは絶えずβ線を
放射し、２ｇ＋９からの単位時間当りのβ線放出量が２
個／秒と非常に多いので、β線の大きな電離能力により
無電極放電ランプ始動時に必要なイオン及び電子の生成
が助長され放電が起こりやすくなり、その結果ランプ始
動が良くなると考えられる。
なお１発光管（２）内に封入されるレニウムの封入量は
発光管（２１内容積１ＣＣ当り０．０２１１９未満であ
ると始動改善に対する充分な効果が得られなかったので
９発光管（２）内容積１ｃｃ当り０．０２■以上とする
と良いものである。
発光管（２１内容積１ＣＣ当り０．０２１１９未満であ
ると始動改善に対する充分な効果が得られなかったので
９発光管（２）内容積１ｃｃ当り０．０２■以上とする
と良いものである。
実施例２
発光管（２）の内径３０■とし９発光管（２）内に始動
補助用ガスとしてｌｉｅ ｔｏｒｒのアルゴンを封入す
るとともに、放電維持封入金属として１■のガリウムと
４１１９の沃化水銀を封入し、かつ天然放射性元素とし
てルテチウム（ＬＵ）金属を２ｗＩ添加した無電極放電
ランプを製作したこの無電極放電ランプ（１）におい【
も、上記実施例１のものと同様に波長３５０ ａｍから
４５０ ｎｍ付近に強い光を放射する装置が得られると
ともに、電源投入後放電開始までの時間が１０本製作し
たランプはとんどが瞬時点灯し、長くても２秒程度で放
電を開始し、しかも点灯に際して光学的特性及び働程特
性に悪影響を及ぼさないものであった。
補助用ガスとしてｌｉｅ ｔｏｒｒのアルゴンを封入す
るとともに、放電維持封入金属として１■のガリウムと
４１１９の沃化水銀を封入し、かつ天然放射性元素とし
てルテチウム（ＬＵ）金属を２ｗＩ添加した無電極放電
ランプを製作したこの無電極放電ランプ（１）におい【
も、上記実施例１のものと同様に波長３５０ ａｍから
４５０ ｎｍ付近に強い光を放射する装置が得られると
ともに、電源投入後放電開始までの時間が１０本製作し
たランプはとんどが瞬時点灯し、長くても２秒程度で放
電を開始し、しかも点灯に際して光学的特性及び働程特
性に悪影響を及ぼさないものであった。
この様にルテチウムを発光管（２）内に封入したことに
より、始動性が向上−した理由は、ルテチウムは絶えず
β線を放射し、２ｍｇからの単位時間当りのβ線放出量
が０．１６個／秒と多いので。
より、始動性が向上−した理由は、ルテチウムは絶えず
β線を放射し、２ｍｇからの単位時間当りのβ線放出量
が０．１６個／秒と多いので。
このβ線の大きな電離能力により始動性が向上するもの
と考えられる。
と考えられる。
なお１発光管（２）内に封入されるルテチウムの封入量
は９発光管（２）内容積１ｃｃ当りｏ、ｏｓｍｙ未満で
あると始動改善に対する充分な効果が得られなかったの
で９発光管（２）内容積１ｃｃ当りｏｏｓ ｗ以上とす
ると良いものである。
は９発光管（２）内容積１ｃｃ当りｏ、ｏｓｍｙ未満で
あると始動改善に対する充分な効果が得られなかったの
で９発光管（２）内容積１ｃｃ当りｏｏｓ ｗ以上とす
ると良いものである。
実施例λ
発光管（２）の内径３０ｍ＋とじ９発光管（２）内に始
動補助用希ガスとして８０ ｔｏｒｒのアルゴンを封入
するとともに、放電維持封入金属として１ｗｊのガリウ
ムと４■の沃化水銀を封入し、かつ天然放射性元素とし
てサマリウム（Ｓｍ）金属を２■添加した無電極放電ラ
ンプを製作した。この無電極放電ランプ（１）において
も、上記実施例１のものと同様に波長３５０ ｎｍから
４５０ ｎｍ付近に強い光を放射する装置が得られると
ともに、電源投入後放電開始まで力時間が１０本製作し
たランプはとんどが瞬時点灯し、長くても２秒程度で放
電を開始し、しかも点灯に際して光学的特性及び働程特
性に悪影響を及ぼさないものであった。
動補助用希ガスとして８０ ｔｏｒｒのアルゴンを封入
するとともに、放電維持封入金属として１ｗｊのガリウ
ムと４■の沃化水銀を封入し、かつ天然放射性元素とし
てサマリウム（Ｓｍ）金属を２■添加した無電極放電ラ
ンプを製作した。この無電極放電ランプ（１）において
も、上記実施例１のものと同様に波長３５０ ｎｍから
４５０ ｎｍ付近に強い光を放射する装置が得られると
ともに、電源投入後放電開始まで力時間が１０本製作し
たランプはとんどが瞬時点灯し、長くても２秒程度で放
電を開始し、しかも点灯に際して光学的特性及び働程特
性に悪影響を及ぼさないものであった。
この様にサマリウムを発光管（２）内に封入したことに
より始動性が向上した理由は、サマリウムは絶えずα線
を放射し、２富９からの単位時間当りのα線放出量は０
．２個／秒と多いので、このα線の大きな電離能力によ
り始動性が向上するものと考えられる。
より始動性が向上した理由は、サマリウムは絶えずα線
を放射し、２富９からの単位時間当りのα線放出量は０
．２個／秒と多いので、このα線の大きな電離能力によ
り始動性が向上するものと考えられる。
なお９発光管（２）内に封入されるサマリウムの封入量
は１発光管（２）内容積Ｉｃｅ当りｒｏｓ■未満である
と始動改善に対する充分な効果は得られなかったので９
発光管（２）内容積１ｃｃ当りｏ、ｏｓ ｍｙ以上とす
ると良いものである。
は１発光管（２）内容積Ｉｃｅ当りｒｏｓ■未満である
と始動改善に対する充分な効果は得られなかったので９
発光管（２）内容積１ｃｃ当りｏ、ｏｓ ｍｙ以上とす
ると良いものである。
なお、上記実施例１ないし３に示すものは。
天然放射性元素としてレニウム、ルテチウム。
サマリウムをそれぞれ単体成分として封入したものであ
るが、２種あるいは３種組合せて封入しても良いもので
ある。
るが、２種あるいは３種組合せて封入しても良いもので
ある。
また、天然放射性元素として、ネオジウム（粘）あるい
はセリウム（Ｃｅ）を用いても゛、ネオジウムが２１１
９の単位時間当りのα線放出量が１０−５個／秒であり
、セリウムが２■の単位時間当りのα線放出量が４Ｘ１
０””個／秒 と上記実施例１ないし３に示すものに比
し、放出量は少ないが。
はセリウム（Ｃｅ）を用いても゛、ネオジウムが２１１
９の単位時間当りのα線放出量が１０−５個／秒であり
、セリウムが２■の単位時間当りのα線放出量が４Ｘ１
０””個／秒 と上記実施例１ないし３に示すものに比
し、放出量は少ないが。
天然放射性元素を封入していないものより始動性が向上
するものである。ただし、ネオジウムあるいはセリウム
を封入する無電極放電ランプとしては、放電維持封入物
として金属ハロゲン化物が封入されているものであると
、ネオジウムあるいはセリウムと金属ハｐゲン化物が反
応してネオジウムあるいはセリウムの発光スペクトルが
現われる恐れがあるので、放電維持封入物としては水銀
のみのものが良い。
するものである。ただし、ネオジウムあるいはセリウム
を封入する無電極放電ランプとしては、放電維持封入物
として金属ハロゲン化物が封入されているものであると
、ネオジウムあるいはセリウムと金属ハｐゲン化物が反
応してネオジウムあるいはセリウムの発光スペクトルが
現われる恐れがあるので、放電維持封入物としては水銀
のみのものが良い。
この発明は以上に述べたように、マイクロ波により励起
されて発光する無電極放電ランプにおいて９発光管内に
放電維持封入物以外に天然放射性元素を封入したので、
天然放射性元素より放射される放射線の電離能力により
、放電ランプとしての始動性が大幅に向上するという効
果があるものである。
されて発光する無電極放電ランプにおいて９発光管内に
放電維持封入物以外に天然放射性元素を封入したので、
天然放射性元素より放射される放射線の電離能力により
、放電ランプとしての始動性が大幅に向上するという効
果があるものである。
第１図は無電極放電ランプの断面図、第２図はマイク四
波放電光源装置の構成を示す断面図である。 図において、（１）は無電極放電ランプ、（４）はマグ
ネトロン、（７）はマイクロ波空胴である。 代理人 葛 野 信 −
波放電光源装置の構成を示す断面図である。 図において、（１）は無電極放電ランプ、（４）はマグ
ネトロン、（７）はマイクロ波空胴である。 代理人 葛 野 信 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１マイクロ波により励起されて発光する無電極放電
ランプにおいて、この無電極放電ランプの発光管内に放
電維持封入物以外に天然放射性元素を封入したことを特
徴とする無電極放電ランプ。 （２）天然放射性元素をレニウムの単体成分としたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無電極放電ラ
ンプ。 ＋３） レニウムの封入量を９発光管内容積１ｃｃ当
り００２ ｗｉ以上としたことを特徴とする特許請求の
範囲第２項記載の無電極放電ランプ。 （４）天然放射性元素をルテチウムの単体成分としたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無電極放電
ランプ。 （５） ルテチウムの封入量を９発光管内容積１ｃｃ
当りＯ，ｏｓｍｙ以上としたことを特徴とする特許請求
の範囲第４項記載の無電極放電ランプ。 （６１天然放射性元素をサマリウムの単体成分としたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無電極放電
ランプ。 （７）サマリウムの封入量を９発光管内容積ＩＯＣ当り
ａＳＳ■以上としたことを特徴とする特許請求の範囲第
６項記載の無電極放電ランプ。 （８）天然放射性元素をレニウム、ルテチウム。 およびサマリウムの単体成分の少なくとも２種としたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無電極放電
ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12370781A JPS5825073A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | 無電極放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12370781A JPS5825073A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | 無電極放電ランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5825073A true JPS5825073A (ja) | 1983-02-15 |
Family
ID=14867349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12370781A Pending JPS5825073A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | 無電極放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5825073A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003096774A1 (en) * | 2002-05-08 | 2003-11-20 | Dana Corporation | Plasma catalyst |
| US7189940B2 (en) | 2002-12-04 | 2007-03-13 | Btu International Inc. | Plasma-assisted melting |
| US7432470B2 (en) | 2002-05-08 | 2008-10-07 | Btu International, Inc. | Surface cleaning and sterilization |
| US7445817B2 (en) | 2002-05-08 | 2008-11-04 | Btu International Inc. | Plasma-assisted formation of carbon structures |
| US7465362B2 (en) | 2002-05-08 | 2008-12-16 | Btu International, Inc. | Plasma-assisted nitrogen surface-treatment |
| US7494904B2 (en) | 2002-05-08 | 2009-02-24 | Btu International, Inc. | Plasma-assisted doping |
| US7497922B2 (en) | 2002-05-08 | 2009-03-03 | Btu International, Inc. | Plasma-assisted gas production |
| US7498066B2 (en) | 2002-05-08 | 2009-03-03 | Btu International Inc. | Plasma-assisted enhanced coating |
| US7560657B2 (en) | 2002-05-08 | 2009-07-14 | Btu International Inc. | Plasma-assisted processing in a manufacturing line |
| US7638727B2 (en) | 2002-05-08 | 2009-12-29 | Btu International Inc. | Plasma-assisted heat treatment |
-
1981
- 1981-08-07 JP JP12370781A patent/JPS5825073A/ja active Pending
Cited By (18)
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