JPS5828655A - 単結晶体の切断面検査装置 - Google Patents
単結晶体の切断面検査装置Info
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- JPS5828655A JPS5828655A JP56125961A JP12596181A JPS5828655A JP S5828655 A JPS5828655 A JP S5828655A JP 56125961 A JP56125961 A JP 56125961A JP 12596181 A JP12596181 A JP 12596181A JP S5828655 A JPS5828655 A JP S5828655A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 title 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 1
- 241001233037 catfish Species 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発ＩＩＩＩｌｒ−Ｍｖｈられる水晶共振子ある一社トラ
ンジスタのようを半導体素子Ｋ１１ｉ−もれるシリコン
まえはゲルマエ☆五等の単結晶体は、これを所定の結晶
格子Ｗに対しニー鐘の角度で切断する必要がある―この
角度は、検査りようとする切断面ＫＸ線ビームを入射さ
せて回折の生ずる角度ｔ＊ｍすることＫよって測定され
る―従来＆ｉｉＩ定に際して一般ＥＸｍビームの位置を
画定し、試料を回転することにより入射角を変化［て−
大−シかし参Ｗ＆の試料につ−で自動測定を行うために
社試料の移送機構と、試料１）ｉｉ１動機構とを設けて
、その関で試料の受渡しを行わなけれ＆ｆ′＆ら７＆−
から、複雑て犬種の装置を必要とする欠点がある。資た
轡会１１１１４−１！ｌ１ｉｌ１号公報に記載されて−
るように試料をｌ１ｊｉ！してこれに入射する！義ｆ−
Ａを回動さ艙る装置もあるが、犬種て大重量のｘａＩ管
を回動さ豐るかも小櫃軽量な装置を得ｌｌ−欠点がある
農本発＃ｌ＃ｉ上述のような欠点がなく、機構が四重で
かり＋ｉｉ＊ｔｅ羨置を提供装ゐものである。
ンジスタのようを半導体素子Ｋ１１ｉ−もれるシリコン
まえはゲルマエ☆五等の単結晶体は、これを所定の結晶
格子Ｗに対しニー鐘の角度で切断する必要がある―この
角度は、検査りようとする切断面ＫＸ線ビームを入射さ
せて回折の生ずる角度ｔ＊ｍすることＫよって測定され
る―従来＆ｉｉＩ定に際して一般ＥＸｍビームの位置を
画定し、試料を回転することにより入射角を変化［て−
大−シかし参Ｗ＆の試料につ−で自動測定を行うために
社試料の移送機構と、試料１）ｉｉ１動機構とを設けて
、その関で試料の受渡しを行わなけれ＆ｆ′＆ら７＆−
から、複雑て犬種の装置を必要とする欠点がある。資た
轡会１１１１４−１！ｌ１ｉｌ１号公報に記載されて−
るように試料をｌ１ｊｉ！してこれに入射する！義ｆ−
Ａを回動さ艙る装置もあるが、犬種て大重量のｘａＩ管
を回動さ豐るかも小櫃軽量な装置を得ｌｌ−欠点がある
農本発＃ｌ＃ｉ上述のような欠点がなく、機構が四重で
かり＋ｉｉ＊ｔｅ羨置を提供装ゐものである。
第１閣社亭発明実施例の構成を示した図で１Ｘ線管ＸＯ
ターヂツ）１上に紙間と直角な方向の鐘状ｘｓ焦点３が
形成される・その焦点１から彎−分光結晶４に発散ｌｌ
ｌ１を入射させであるから一ターゲツ）１が例えば銅で
あるとすると銅の特性ｘＩＩＸＩＩ１１１が点４に焦点
を結んで、他の特性Ｘ線例えば−１ｌ＃ｉ他Ｏ点′ｙに
焦点を結ぶ、従つて点６０位ｍにスリブ）Ｓを配置して
、その冑後に例えけ炬腰板状に切断された水晶等の試料
・を設置すると、点＠から完全な単一波長の発散ｘＩｌ
ｌｌＯｆＩＸ上記試料會に入射するーζｏ ｘ ｆ４１
ｏは上達のように発散Ｘ線であるために、種々の入射角
をもって試料９に入射するから、その入射ｘＩａのうち
試料の結晶格子ＨＥ対してブラッグｏＩｉ新条件を満足
するものだけに回折を生ずる。上述のような回折Ｘ線１
１が投射される方向に伺えげシンチレーシ璽ン計歌管の
よう１ｋＸ線検出ＱＸＳを設けて、との検邑器０８１／
ｉＫ配置したスリットｌを！イターメータのようを微動
装置１４に取付けて、側車はパにスモー＃ｌｓで駆動す
るようにしである◎すなわｔスリブ）ＺＳ紘＊印−のよ
うＫＸＩＩＩとほば庫内な方向へ移動する％Ｏて、＠ａ
ｇｒζｅ部分０Ａ−Ａ矢視ｍｅ示して＆る・１また試料
−は自動交換装ｇｌｓ上に設置されて−るが、Ｘ線検ｆ
Ｂ器１８の出力を処理する電子計算１１によって上記試
料交換装置ｌ−およびパルスモータＺａ等を制御するよ
うにしである・上述の装置にお≠で、ＩＩｓ図は第１図
における試料９０部分を拡大した図で％埃印で示したよ
うｊ（Ｘ ＠ １０１ト１０． トチ挾ｉれる発散ｘＩ
ＩｌＯが試料−に入射するものとすると、その入射角は
Ｘ＠ＩＱ入射位置に応じてＩＩｌかも−まで変化する。
ターヂツ）１上に紙間と直角な方向の鐘状ｘｓ焦点３が
形成される・その焦点１から彎−分光結晶４に発散ｌｌ
ｌ１を入射させであるから一ターゲツ）１が例えば銅で
あるとすると銅の特性ｘＩＩＸＩＩ１１１が点４に焦点
を結んで、他の特性Ｘ線例えば−１ｌ＃ｉ他Ｏ点′ｙに
焦点を結ぶ、従つて点６０位ｍにスリブ）Ｓを配置して
、その冑後に例えけ炬腰板状に切断された水晶等の試料
・を設置すると、点＠から完全な単一波長の発散ｘＩｌ
ｌｌＯｆＩＸ上記試料會に入射するーζｏ ｘ ｆ４１
ｏは上達のように発散Ｘ線であるために、種々の入射角
をもって試料９に入射するから、その入射ｘＩａのうち
試料の結晶格子ＨＥ対してブラッグｏＩｉ新条件を満足
するものだけに回折を生ずる。上述のような回折Ｘ線１
１が投射される方向に伺えげシンチレーシ璽ン計歌管の
よう１ｋＸ線検出ＱＸＳを設けて、との検邑器０８１／
ｉＫ配置したスリットｌを！イターメータのようを微動
装置１４に取付けて、側車はパにスモー＃ｌｓで駆動す
るようにしである◎すなわｔスリブ）ＺＳ紘＊印−のよ
うＫＸＩＩＩとほば庫内な方向へ移動する％Ｏて、＠ａ
ｇｒζｅ部分０Ａ−Ａ矢視ｍｅ示して＆る・１また試料
−は自動交換装ｇｌｓ上に設置されて−るが、Ｘ線検ｆ
Ｂ器１８の出力を処理する電子計算１１によって上記試
料交換装置ｌ−およびパルスモータＺａ等を制御するよ
うにしである・上述の装置にお≠で、ＩＩｓ図は第１図
における試料９０部分を拡大した図で％埃印で示したよ
うｊ（Ｘ ＠ １０１ト１０． トチ挾ｉれる発散ｘＩ
ＩｌＯが試料−に入射するものとすると、その入射角は
Ｘ＠ＩＱ入射位置に応じてＩＩｌかも−まで変化する。
従って試料ｌｌが実線９１で示したような結晶務子田を
有する−のとすると、この格子ｌ１ｆＩｃ対してプラツ
ダの回折条件を満足するｘ ＩＩ １０ｓＯみがｌｏ’
； ｊｐように試料ｌ［”ｅｖＡ！ｌテ、他の入射Ｘ
ＩＩ １０１ 、 ｉｏｇ ｅ ３１）４ ’ｌ ａ回
折することなく、そＯ大部分が試料＃：吸収宴れる・ま
た試料・が破線９量で示したような結晶格子ＷＲを有す
ゐ−のとすると、このような試料に対して鯰例え―ｘＩ
ＩＩＯ４がプラツダの回折条件を満足しｃ １０．のよ
うに回折すゐ、スリブ）ｌｌｉｉ上述のようｅｗ折１
＠ １０’、 ＆るｖｈ＃ｉｚｏ；等に対してホイ東゛
角を方向へ矢印−のよう忙駆動される。かつその移動量
は前記Ａルスモー＃１１に加える〆にス置虻よって精密
に制御される０従って扛料１１ｅ交換毎［Ｘ９１）１３
＆移動ＬＹ！ＩＩ検閃−ｘｘＫｊｔｌ力を生ずる位置を
探索することにより、回折を生じたＩＩＩ １ｏｓ ＆
るい社１０４等の位置がわかるーこのようＫＬ’を回折
を生じたＸ線の入射位置を知ることにより、試料の表面
、すなわち切断園と結晶格子面・２あるーは９１等との
閏の角度が判明するから、これによりてｗｒｔ＊の良否
検査を行うことがて自る−な勅上述の実施例はＸ＠１１
１出ａ１１禽の前Ｉｉｉにスリット口を設けて、そのス
リットの位置管移動させゐことにより、回折Ｘ線の位置
を１ｌｊｉＥしたものである。Ｌかし上記Ｘ線検出器と
して入射位置検出廖ＯＸｇ検出器管用−ると自社スリッ
ト１為のような機械約可動部会全（必要とすることなく
切断間Ｏ検査を行うことがて愈る。また第１図に示した
ように分光結晶番を用−ると試料１１ｆＩｃ正確に単一
波長Ｏ発散Ｘ線Ｏみが入射するから精ＩＩ＆測定を行う
ことがで自為、しかＬ高精度会必要としｅ−場合韓、上
記分光結晶の焦点−〇位置ＫｘＩＩ管のターゲラ）ＪＲ
における焦点ｉｔ配装する仁とにより、装置を簡単に得
成し得る。
有する−のとすると、この格子ｌ１ｆＩｃ対してプラツ
ダの回折条件を満足するｘ ＩＩ １０ｓＯみがｌｏ’
； ｊｐように試料ｌ［”ｅｖＡ！ｌテ、他の入射Ｘ
ＩＩ １０１ 、 ｉｏｇ ｅ ３１）４ ’ｌ ａ回
折することなく、そＯ大部分が試料＃：吸収宴れる・ま
た試料・が破線９量で示したような結晶格子ＷＲを有す
ゐ−のとすると、このような試料に対して鯰例え―ｘＩ
ＩＩＯ４がプラツダの回折条件を満足しｃ １０．のよ
うに回折すゐ、スリブ）ｌｌｉｉ上述のようｅｗ折１
＠ １０’、 ＆るｖｈ＃ｉｚｏ；等に対してホイ東゛
角を方向へ矢印−のよう忙駆動される。かつその移動量
は前記Ａルスモー＃１１に加える〆にス置虻よって精密
に制御される０従って扛料１１ｅ交換毎［Ｘ９１）１３
＆移動ＬＹ！ＩＩ検閃−ｘｘＫｊｔｌ力を生ずる位置を
探索することにより、回折を生じたＩＩＩ １ｏｓ ＆
るい社１０４等の位置がわかるーこのようＫＬ’を回折
を生じたＸ線の入射位置を知ることにより、試料の表面
、すなわち切断園と結晶格子面・２あるーは９１等との
閏の角度が判明するから、これによりてｗｒｔ＊の良否
検査を行うことがて自る−な勅上述の実施例はＸ＠１１
１出ａ１１禽の前Ｉｉｉにスリット口を設けて、そのス
リットの位置管移動させゐことにより、回折Ｘ線の位置
を１ｌｊｉＥしたものである。Ｌかし上記Ｘ線検出器と
して入射位置検出廖ＯＸｇ検出器管用−ると自社スリッ
ト１為のような機械約可動部会全（必要とすることなく
切断間Ｏ検査を行うことがて愈る。また第１図に示した
ように分光結晶番を用−ると試料１１ｆＩｃ正確に単一
波長Ｏ発散Ｘ線Ｏみが入射するから精ＩＩ＆測定を行う
ことがで自為、しかＬ高精度会必要としｅ−場合韓、上
記分光結晶の焦点−〇位置ＫｘＩＩ管のターゲラ）ＪＲ
における焦点ｉｔ配装する仁とにより、装置を簡単に得
成し得る。
以上実施例に９いて説明したように本発明の装置は試料
およびこれに入射する！綿を何れ亀固定した状態で検査
を行−得るから、装置の特に機械的構成を簡単Ｋしてこ
れを小１［＠量にすることができる。
およびこれに入射する！綿を何れ亀固定した状態で検査
を行−得るから、装置の特に機械的構成を簡単Ｋしてこ
れを小１［＠量にすることができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （り試料の切断１１１Ｃ発散！線を入射させるｘｓ源と
、上記切ＷＩｉＩＷＩで回折したＸ線を検出するＸ線検
出−と、上記Ｘ線検出器における回折Ｉｓの入射位置！
検出する手段とよりなることｔ時機とする単結晶体ｅｗ
断閾検査装置 （り回折ｘＩＩの入射位置を検出する手ＲがＩ線検出ｍ
ｔ）＊ＷＲＫお−て入射Ｘ線とはイ直角な方向へ移動す
るスリットで島墨特許請求の範囲第（１） ｌ［ｏｗｅ
晶体ｖ’ｆＢＮＷｌ検査装置 （ｓ）Ｘ線検出ＩＩＩＩ＆びｔｃ回折Ｘ線の入射位置を
検出する手段として入射位置検出形のｘＩＩ検ｍＩｉを
用−た曹許請求の範囲第（１）項の単結晶体の切断面検
査装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56125961A JPS5828655A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 単結晶体の切断面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56125961A JPS5828655A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 単結晶体の切断面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5828655A true JPS5828655A (ja) | 1983-02-19 |
| JPS6326333B2 JPS6326333B2 (ja) | 1988-05-30 |
Family
ID=14923256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56125961A Granted JPS5828655A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | 単結晶体の切断面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5828655A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4812726A (en) * | 1986-01-16 | 1989-03-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servo circuit positioning actuator |
| US5619548A (en) * | 1995-08-11 | 1997-04-08 | Oryx Instruments And Materials Corp. | X-ray thickness gauge |
-
1981
- 1981-08-13 JP JP56125961A patent/JPS5828655A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4812726A (en) * | 1986-01-16 | 1989-03-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servo circuit positioning actuator |
| US5619548A (en) * | 1995-08-11 | 1997-04-08 | Oryx Instruments And Materials Corp. | X-ray thickness gauge |
| EP0858664A4 (en) * | 1995-08-11 | 2002-04-10 | Therma Wave Inc | X-RAY Thickness Gauge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326333B2 (ja) | 1988-05-30 |
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