JPS5829093A - アブソリユ−トエンコ−ダ - Google Patents
アブソリユ−トエンコ−ダInfo
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- JPS5829093A JPS5829093A JP56126013A JP12601381A JPS5829093A JP S5829093 A JPS5829093 A JP S5829093A JP 56126013 A JP56126013 A JP 56126013A JP 12601381 A JP12601381 A JP 12601381A JP S5829093 A JPS5829093 A JP S5829093A
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- Japan
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- line sensor
- track
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/308—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental with additional pattern means for determining the absolute position, e.g. reference marks
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は長さ又は角度を読み取る為のエンコー〆に係シ
、特にアブソリ1−トエンコー〆に関するものである。
、特にアブソリ1−トエンコー〆に関するものである。
通?16アブソリエート式エンコーダは蕗1囚に示す如
く、矢印1方向に移動するコード板2にトラックa、b
・・・・を設け、各トラックには位置を示す例えば2連
符号ノターンを設けて、これを対応する光源3、マスク
4、および受光素子群5で読み取る様にしている。従5
ヤアブソリ息−ト方式によれば、測定途中で電源が切れ
るとか、或いは電気雑音で誤動作する等の事故があって
も正常状態に復帰すれば再び正確な測定値が得られる。
く、矢印1方向に移動するコード板2にトラックa、b
・・・・を設け、各トラックには位置を示す例えば2連
符号ノターンを設けて、これを対応する光源3、マスク
4、および受光素子群5で読み取る様にしている。従5
ヤアブソリ息−ト方式によれば、測定途中で電源が切れ
るとか、或いは電気雑音で誤動作する等の事故があって
も正常状態に復帰すれば再び正確な測定値が得られる。
この点はインクリメンメル方式にない大きな長所なので
あるが、欠点もいくつかあシそれらを列記すると下記の
様になる。
あるが、欠点もいくつかあシそれらを列記すると下記の
様になる。
■ 多数の光源、受光素子が必要であシ装置が複雑であ
る。
る。
■ ・臂ターン製作精度、受光素子感度岬の点から分解
能をあげることが困難である。
能をあげることが困難である。
以上の欠点を除去したアブソリ凰−トエンコーダとして
、本出願人社、コード板を移動方向に幾つかのブ日ツク
に分割し、各fロックに、ブロックの基準位置を示すマ
ークパターン @18″″01情報が、繰シ返し形成さ
れてなる格子/中メーン及びブロックのアドレス情報を
示すアドレスパターンを一列に配列し、それを、複数の
独立した感度をもつセンナが一列に配列されてなるライ
ンセンサにて読み取る事による、高精度のアブソリ凰−
トエンコー〆を発明・出願している。その内容は、特開
昭55−82919号公報に詳しく開示されているが、
とζでその概要を簡単に記す、第2図に、その光学系の
概略図を、第3図にコード板とラインセンナの関係を示
す。
、本出願人社、コード板を移動方向に幾つかのブ日ツク
に分割し、各fロックに、ブロックの基準位置を示すマ
ークパターン @18″″01情報が、繰シ返し形成さ
れてなる格子/中メーン及びブロックのアドレス情報を
示すアドレスパターンを一列に配列し、それを、複数の
独立した感度をもつセンナが一列に配列されてなるライ
ンセンサにて読み取る事による、高精度のアブソリ凰−
トエンコー〆を発明・出願している。その内容は、特開
昭55−82919号公報に詳しく開示されているが、
とζでその概要を簡単に記す、第2図に、その光学系の
概略図を、第3図にコード板とラインセンナの関係を示
す。
コード板8杜、幾つかのブロックに分割され、各々のブ
ローツクには、第3図に示す様に、特徴的ノリーンIS
と、それにつづく基準位置マーク14から成るマークパ
ターン12、格子パターン16及びアドレスパターン2
0が記録されている。このコード板8紘嬉2図に示す光
源6、コンデンサレンズ1によシ照明され、その光学偉
がリレーレンズ9によシラインセンサ10上に結像する
様に配置される。コード板8とラインセンサ10は、図
中矢印11方向に相対的な移動を行なうとし、ある時点
におけるコード板とラインセンナの相対関係が第3図に
示すごとくであるとする。この時のラインセンサ10の
出力を第3図(c) K%シラインセンサ駆動する為の
りはツクパルスを(d) K示す、ラインセンサ出力(
oJよシコード板8とラインセンサ10の相対移動量の
検出社、次の様和しておζなわれる。
ローツクには、第3図に示す様に、特徴的ノリーンIS
と、それにつづく基準位置マーク14から成るマークパ
ターン12、格子パターン16及びアドレスパターン2
0が記録されている。このコード板8紘嬉2図に示す光
源6、コンデンサレンズ1によシ照明され、その光学偉
がリレーレンズ9によシラインセンサ10上に結像する
様に配置される。コード板8とラインセンサ10は、図
中矢印11方向に相対的な移動を行なうとし、ある時点
におけるコード板とラインセンナの相対関係が第3図に
示すごとくであるとする。この時のラインセンサ10の
出力を第3図(c) K%シラインセンサ駆動する為の
りはツクパルスを(d) K示す、ラインセンサ出力(
oJよシコード板8とラインセンサ10の相対移動量の
検出社、次の様和しておζなわれる。
■ 特徴的・臂ターンIJにつづく基準位置!−り14
の投影されているラインセンナ素子の素子委号の検出(
第3図15) ■ 基準位置i−りより一定の距離だけ離れた位置に2
進符号にて記録されているブロックのアドレスを示すア
ドレスパターン20の各ビット11の状態の判定及びそ
れによるブロックアドレスの解読。
の投影されているラインセンナ素子の素子委号の検出(
第3図15) ■ 基準位置i−りより一定の距離だけ離れた位置に2
進符号にて記録されているブロックのアドレスを示すア
ドレスパターン20の各ビット11の状態の判定及びそ
れによるブロックアドレスの解読。
■ ラインセンサ上に任意に定められたインデックスビ
ットIBと基準位置マーク14を検出したラインセンナ
素子16間の距離の演算(図の状態では、ラインセンナ
素子数にして5素子分である。) ■ ■、■の結果より相対移動量をラインセンナの素子
のピッチPを基準として測定する。
ットIBと基準位置マーク14を検出したラインセンナ
素子16間の距離の演算(図の状態では、ラインセンナ
素子数にして5素子分である。) ■ ■、■の結果より相対移動量をラインセンナの素子
のピッチPを基準として測定する。
今、′ラインセンナのピッチが10μmであシ、コード
板lブロックがラインセンサ50素子に和尚する長さを
もち、■項で解読されたブロックアドレス値が@8″で
あるならその相対移動量は、 (8X50)+5品405票子つtシラインセンサのピ
ッチを基準としてコード板の原点よシ405素子分、4
050声塑移動している事となる。
板lブロックがラインセンサ50素子に和尚する長さを
もち、■項で解読されたブロックアドレス値が@8″で
あるならその相対移動量は、 (8X50)+5品405票子つtシラインセンサのピ
ッチを基準としてコード板の原点よシ405素子分、4
050声塑移動している事となる。
以上社、ラインセンサ素子間のピッチPを基準とした読
み取シであシ、それ以下の内挿は、格子パターン16と
ラインセンサの副尺関係を利用して行なわれる。図に示
した例では、格子パターンの11″、″0#の各スリッ
ト数とそれと対応する長さ内圧存在するラインセンナの
素子数との間には、10:11の副尺関係が成立する様
に構成されている。ヒの様に、格子/中ターンの11”
、10mのスリットとラインセンナ素子間に副尺関係を
もたせると、ラインセンナ出力(1には、コード板とラ
インセンナ間の相対移動において、コード板格子ノ9タ
ーンllJ#o”1”。
み取シであシ、それ以下の内挿は、格子パターン16と
ラインセンサの副尺関係を利用して行なわれる。図に示
した例では、格子パターンの11″、″0#の各スリッ
ト数とそれと対応する長さ内圧存在するラインセンナの
素子数との間には、10:11の副尺関係が成立する様
に構成されている。ヒの様に、格子/中ターンの11”
、10mのスリットとラインセンナ素子間に副尺関係を
もたせると、ラインセンナ出力(1には、コード板とラ
インセンナ間の相対移動において、コード板格子ノ9タ
ーンllJ#o”1”。
01の一組の格子の巾の移動量を一周期としたうねシが
生じ、コード板の格子ノ臂ターン部ICに対向している
ラインセンサ素子の一素子毎の包絡@ OL 、 KL
の交差点Xの位置は、その相対移動量に従りてラインセ
ンナ上を移動し、N二N+1の副尺関係にある場合は、
格子パターンのスリット巾をWと、すると、/N−1−
1(ラインセンサのピッチPに対しては P/Nの相対
移動により交差点Xはラインセンサ上を一素子分移動す
る。従つてこの交差点の位置を、ラインセンサ上で検出
する事によ)ラインセンナ素子ピッチ以下の内挿が可能
となる0図の例でラインセンサピッチP冨10μm1ス
リット巾W冨11畑とすると10:11の副尺関係によ
〕1μm単位O内挿が可能である。これについて社、本
出願人が先に出願した特開昭55−82918号公報に
詳しく開示されている。
生じ、コード板の格子ノ臂ターン部ICに対向している
ラインセンサ素子の一素子毎の包絡@ OL 、 KL
の交差点Xの位置は、その相対移動量に従りてラインセ
ンナ上を移動し、N二N+1の副尺関係にある場合は、
格子パターンのスリット巾をWと、すると、/N−1−
1(ラインセンサのピッチPに対しては P/Nの相対
移動により交差点Xはラインセンサ上を一素子分移動す
る。従つてこの交差点の位置を、ラインセンサ上で検出
する事によ)ラインセンナ素子ピッチ以下の内挿が可能
となる0図の例でラインセンサピッチP冨10μm1ス
リット巾W冨11畑とすると10:11の副尺関係によ
〕1μm単位O内挿が可能である。これについて社、本
出願人が先に出願した特開昭55−82918号公報に
詳しく開示されている。
この様に、アドレスI46メーイ20よシプロツタのア
ドレス値を、マークパターンJJKよシ、1ブロツク内
のセンナ素子ピッチを基準とした読み取〕を、格子/ヤ
ターン16によ)センサ素子ピッチ間の内挿読み敗)を
行ない、以上の値を合成する事により、フード板とライ
ンセンナ間の相対移動量を得ている。この構成に於ては
、アブソリ為−トエン;−〆であ〕ながら、移動方向に
延長される一本のコードトラックのみによる読み取シが
可能であ〕、又、格子i4 、J−ン部とラインセンナ
間の副尺関係を遮蟲に選択する事によ)、高精度な読み
取シを行なう事ができるという大きな利点をもっている
がt応答速度を上げるのが離しいという欠点を有してい
る。
ドレス値を、マークパターンJJKよシ、1ブロツク内
のセンナ素子ピッチを基準とした読み取〕を、格子/ヤ
ターン16によ)センサ素子ピッチ間の内挿読み敗)を
行ない、以上の値を合成する事により、フード板とライ
ンセンナ間の相対移動量を得ている。この構成に於ては
、アブソリ為−トエン;−〆であ〕ながら、移動方向に
延長される一本のコードトラックのみによる読み取シが
可能であ〕、又、格子i4 、J−ン部とラインセンナ
間の副尺関係を遮蟲に選択する事によ)、高精度な読み
取シを行なう事ができるという大きな利点をもっている
がt応答速度を上げるのが離しいという欠点を有してい
る。
通常、測定機勢にエンコー〆を用いる場合は、スタテッ
クな読み取ル、つtb静止状態での読み取シが#1とん
どであるが、NC機械等のステージの位置検出器として
はダイナミックな読み取)、それ亀かな夛高速なものが
要求される。アブソリ為−トエンコー〆の場合は、移動
中に応答周波数範囲を超える様な事がありてもインクリ
メンタルエンコー〆とは異なシ通常使用状態に復帰すれ
ば、読み取ル誤差を生ずるという事はないが、高速移動
中は、読み取)が不可能になるという欠点はまぬがれな
い、上記の例による工ンコー〆の応答速度は次の様にし
て決められる。一般的にいうなら高速移動中に6!pH
な移動量の単位は、あま)小さいものは要求されず、移
動中のステージの概要の位置を示す程度でよい為、第3
図の例では、最も上位の読み散〕値を与えるブロックの
アドレス値の読み取プ可能な限界をその応答スピードと
する。ラインセンサにCCDという名称で知られている
光蓄積蓋の固体撮像素子1728素子構成のものを1
knitの周波数で駆動するならその光積分時間Tln
&は、Tint =−m−「X 1728 # 1−7
m5se1×10 となる。
クな読み取ル、つtb静止状態での読み取シが#1とん
どであるが、NC機械等のステージの位置検出器として
はダイナミックな読み取)、それ亀かな夛高速なものが
要求される。アブソリ為−トエンコー〆の場合は、移動
中に応答周波数範囲を超える様な事がありてもインクリ
メンタルエンコー〆とは異なシ通常使用状態に復帰すれ
ば、読み取ル誤差を生ずるという事はないが、高速移動
中は、読み取)が不可能になるという欠点はまぬがれな
い、上記の例による工ンコー〆の応答速度は次の様にし
て決められる。一般的にいうなら高速移動中に6!pH
な移動量の単位は、あま)小さいものは要求されず、移
動中のステージの概要の位置を示す程度でよい為、第3
図の例では、最も上位の読み散〕値を与えるブロックの
アドレス値の読み取プ可能な限界をその応答スピードと
する。ラインセンサにCCDという名称で知られている
光蓄積蓋の固体撮像素子1728素子構成のものを1
knitの周波数で駆動するならその光積分時間Tln
&は、Tint =−m−「X 1728 # 1−7
m5se1×10 となる。
ラインセンナのピッチが10μmでアb、第s図に示す
様にアドレスパターン部20の2進数の各ビット11が
センナ素子2素子に和尚する巾のピット情報部18と、
−素子和尚のビラトストラfryよル構成されるなら上
記の光積分時間内にコード板とラインセンサがセンサ2
素子分移動を行なうと、アドレス値の読み取りは、不可
能となる。従ってその応答速度は 20μm / 1.7m5t@# 11.8 vm /
@114 。
様にアドレスパターン部20の2進数の各ビット11が
センナ素子2素子に和尚する巾のピット情報部18と、
−素子和尚のビラトストラfryよル構成されるなら上
記の光積分時間内にコード板とラインセンサがセンサ2
素子分移動を行なうと、アドレス値の読み取りは、不可
能となる。従ってその応答速度は 20μm / 1.7m5t@# 11.8 vm /
@114 。
とな夛、高速応答を必要とする用途には充分でない・
光源をパルス的圧点灯させる事によりて移動中のコード
板の像を静止像としてラインセンナ上に投影するという
方法も考えられるが、その場合は、光源に強力なものを
用いる必要があシ、装置の小型化・低価格化という理想
に相反するものとなる。又、アドレス部のパターンを広
く設計する事によって応答速度を改善する事も可能であ
るが、ブロック長が長くなシ、かつ通常、読み取〕の信
頼性を向上させる為多プ0ツクにわたる読み取シを行な
う必要のある事を考えると、それKも限度があ夛、多大
な改善は望めない。
板の像を静止像としてラインセンナ上に投影するという
方法も考えられるが、その場合は、光源に強力なものを
用いる必要があシ、装置の小型化・低価格化という理想
に相反するものとなる。又、アドレス部のパターンを広
く設計する事によって応答速度を改善する事も可能であ
るが、ブロック長が長くなシ、かつ通常、読み取〕の信
頼性を向上させる為多プ0ツクにわたる読み取シを行な
う必要のある事を考えると、それKも限度があ夛、多大
な改善は望めない。
又、上述の原理をo −fiリエンコー/に適用する際
は、円弧状に配列されたp4ターンを直線状のラインセ
ンサで読み取る為、多ブロックにわたる測定を行なうと
円弧による誤差の影響がさけられず、又、コード板の小
型化に対しても、それにより制限をうける事となる。
は、円弧状に配列されたp4ターンを直線状のラインセ
ンサで読み取る為、多ブロックにわたる測定を行なうと
円弧による誤差の影響がさけられず、又、コード板の小
型化に対しても、それにより制限をうける事となる。
本発明の目的は、上記の欠点を克服したアブソリ為−ト
エンコー〆を提供するものであ〕、そのため本発明にお
いて杜ブロックのアドレス部と、格子I4ターン部を分
離配置し、゛かクプ四ツクのアドレス部の配列を、コー
ド板とラインセンサの相対移動方向と交差する方向とし
た事を特徴とするものである。
エンコー〆を提供するものであ〕、そのため本発明にお
いて杜ブロックのアドレス部と、格子I4ターン部を分
離配置し、゛かクプ四ツクのアドレス部の配列を、コー
ド板とラインセンサの相対移動方向と交差する方向とし
た事を特徴とするものである。
本発明によれば相対移動方向に複数のブロックに分割さ
れ、その各プnツクにはブロックのアドレス値を表わす
アドレス情報がそれヤれ前記移動方向と交差する方向に
配置されてなる第1トラツクと、前記移動方向に複数O
f協フッタ分割され、七の各ブロックKaブロックの基
準位置を表わす基準位置情報および複数の格子パターン
がそれぞれ前記移動方向に直列に記録一つのトラックが
それぞれ前記移動方向に並列に配列されてなるブード板
と、 前記コード板の前記格子パターンの配列に対し副尺関係
を生ずるように配列されてな〕、かつ、前記コード板の
前記各トラックに記録された情報を読みとるラインセン
サと、 前記ラインセンナの出力から得られる前記コード板と前
記ラインセンサとの相対移動量を含む情報を処理する情
報処理手段と、 を具備してなることを特徴とするアブソリ島−トエンコ
ーダが得られる。
れ、その各プnツクにはブロックのアドレス値を表わす
アドレス情報がそれヤれ前記移動方向と交差する方向に
配置されてなる第1トラツクと、前記移動方向に複数O
f協フッタ分割され、七の各ブロックKaブロックの基
準位置を表わす基準位置情報および複数の格子パターン
がそれぞれ前記移動方向に直列に記録一つのトラックが
それぞれ前記移動方向に並列に配列されてなるブード板
と、 前記コード板の前記格子パターンの配列に対し副尺関係
を生ずるように配列されてな〕、かつ、前記コード板の
前記各トラックに記録された情報を読みとるラインセン
サと、 前記ラインセンナの出力から得られる前記コード板と前
記ラインセンサとの相対移動量を含む情報を処理する情
報処理手段と、 を具備してなることを特徴とするアブソリ島−トエンコ
ーダが得られる。
以下添付図面を参照して本発明の実施例について詳細に
説明する。
説明する。
第4図は本発明の一実施例におけるコードパターンの部
分図である。なお説明に際してすでに述べえものと同様
な構成をもち、同様な作用効果をおよぼすものについて
は、同一記号を附し、その説明を省略する。第4図に於
て、コード板8上には、2つのトラック例えば!−り/
4ターン12と格子/量ターン16とが相対移動方向1
1に直列に記録されて成る機銃トラック21(第2トラ
ツク)及びブロック内のアドレス情報を前記移動方向と
交差する方向に記録してなる粗読トラック22(第1ト
ラツク)が移動方向に並列に配列されている。機銃トツ
ック21の格子パターン部1Gは、第3図で示した例と
同様にラインセンサIOHのピッチ(もしくは、格子ツ
ヤターンスリット巾)内を内挿するものであり、それに
対向するラインセンナの素子の配列とは副尺関係を保持
する様に構成され、例えば、対応する長さ内K @1’
、 ”O’の格子/中ターンの数が10個、センナ素
子の数が11個それぞれ配列されてこれらの配列が10
:11の副尺関係になるように構成される。又、マーク
lり一ン12も、第3図と同様に、それが投影されてい
るラインセンサの素子番号を検出し、ラインセンナ上に
予め設定された基準素子(インデックスビットIB)と
の距離を計数もしくは算出する事によってラインセンサ
の素子ピッチを基準単位とした読み、取〕を行なう為に
設けられている。
分図である。なお説明に際してすでに述べえものと同様
な構成をもち、同様な作用効果をおよぼすものについて
は、同一記号を附し、その説明を省略する。第4図に於
て、コード板8上には、2つのトラック例えば!−り/
4ターン12と格子/量ターン16とが相対移動方向1
1に直列に記録されて成る機銃トラック21(第2トラ
ツク)及びブロック内のアドレス情報を前記移動方向と
交差する方向に記録してなる粗読トラック22(第1ト
ラツク)が移動方向に並列に配列されている。機銃トツ
ック21の格子パターン部1Gは、第3図で示した例と
同様にラインセンサIOHのピッチ(もしくは、格子ツ
ヤターンスリット巾)内を内挿するものであり、それに
対向するラインセンナの素子の配列とは副尺関係を保持
する様に構成され、例えば、対応する長さ内K @1’
、 ”O’の格子/中ターンの数が10個、センナ素
子の数が11個それぞれ配列されてこれらの配列が10
:11の副尺関係になるように構成される。又、マーク
lり一ン12も、第3図と同様に、それが投影されてい
るラインセンサの素子番号を検出し、ラインセンナ上に
予め設定された基準素子(インデックスビットIB)と
の距離を計数もしくは算出する事によってラインセンサ
の素子ピッチを基準単位とした読み、取〕を行なう為に
設けられている。
第3図の例では、特徴的パターン13と、それにつづく
基準位置マーり14VCよりて2重の検出を行なってb
るが、仁の第4図図示の本発明の一実施例では、第3図
の特徴的パターンに和尚するパターンのみによりてマー
クパターン12を構成している。従って前記の機銃トラ
ック21は、相対移動方向11に幾つかの2pツクに分
割され、各ブロックは、マークパターン12と格子ツヤ
ターン16よ多構成され、それに対向するラインセンサ
JOBは、その長手方向を機銃トラック21のブロック
の配列方向と一致して配列されている。前記の粗読トラ
νり22は、機銃トラック21と前記移動方向く並列し
て同一コード板8上に配列され、さらに前記移動方向1
1に幾つかのブロックに分割され、各ブロックには、ブ
ロックのアドレスを示すアドレス値が2進数で記録され
ている。アドレス値を示す2進数の各ビット211〜2
2・は、相対移動方向11と交差する方向に配列され、
それに対向するラインセンナIOAは、2進数の各ビッ
ト22a〜22・の配列方向と、その長手方向が並列す
る樺に配置される。従ってツインセン+10AKよジブ
ロックのアドレス値を読み取シ、ラインセンサl0BK
よって、う゛インセンサのピッチを基準とした読み取〕
、及びその内挿を行ない、後述の情報処理手段にて以上
の値を合成する事で、コード板8とラインセンサ10ム
、JOB間の相対移動量を含む情報を検出する事が可能
となる。この場合に用いられる光学系は、例えば第2図
に示す様なものでよく、すV−レン/e#によりてりV
−されたコードパターンの結像位置にツインセンナ10
ム。
基準位置マーり14VCよりて2重の検出を行なってb
るが、仁の第4図図示の本発明の一実施例では、第3図
の特徴的パターンに和尚するパターンのみによりてマー
クパターン12を構成している。従って前記の機銃トラ
ック21は、相対移動方向11に幾つかの2pツクに分
割され、各ブロックは、マークパターン12と格子ツヤ
ターン16よ多構成され、それに対向するラインセンサ
JOBは、その長手方向を機銃トラック21のブロック
の配列方向と一致して配列されている。前記の粗読トラ
νり22は、機銃トラック21と前記移動方向く並列し
て同一コード板8上に配列され、さらに前記移動方向1
1に幾つかのブロックに分割され、各ブロックには、ブ
ロックのアドレスを示すアドレス値が2進数で記録され
ている。アドレス値を示す2進数の各ビット211〜2
2・は、相対移動方向11と交差する方向に配列され、
それに対向するラインセンナIOAは、2進数の各ビッ
ト22a〜22・の配列方向と、その長手方向が並列す
る樺に配置される。従ってツインセン+10AKよジブ
ロックのアドレス値を読み取シ、ラインセンサl0BK
よって、う゛インセンサのピッチを基準とした読み取〕
、及びその内挿を行ない、後述の情報処理手段にて以上
の値を合成する事で、コード板8とラインセンサ10ム
、JOB間の相対移動量を含む情報を検出する事が可能
となる。この場合に用いられる光学系は、例えば第2図
に示す様なものでよく、すV−レン/e#によりてりV
−されたコードパターンの結像位置にツインセンナ10
ム。
JOBをそれぞれ館4図に示す様に配置すればよい、こ
の場合に例えば直線状のラインセンサを同一平面内に交
差して配置するくは、ハーフミラ−等によシ光路を2分
割し、2分割されえ光路の結像位置に各ツインセンナを
実質的に交差する様に配置すればよいことはいうまでも
ない6本実施例に於けるよυ好ましい光学系の配置を第
6図に示す、第6図は、第4図に示すコード板gt−−
個のラインセンサ10で読み取る為のものである。光源
Cによ〕放射された光束は、コリメー!レンズ1により
てコード板1上の2つのトラック即ち機銃トラック21
と粗読トラック22をそれぞれ照射する。照射された機
銃トラック21は、結像レンズ2rによって移動方向1
1と並列に配置されたラインセンサ10上に結像される
。一方粗読トラック22を照射した光束は、それぞれ2
ラーxe、goを介して結像レンズ28に入射し、さら
にミラー31によってラインセンサ10上にその像が9
0°回転して結像される。この様な配置和する事により
て、唯一個のラインセンtKて等価的に第4図に示す様
な機銃トラックと粗読トラックとに対するラインセンナ
の装置とする事ができる0以上の様に本発明によれば機
銃ノ臂ターンと粗読パターンを分離し、かつ粗読パター
ンの2進数を構成する各ビット(第4図12a〜12・
)をコード板とツインセンナ間の相対移動方向と交差す
る方向に配列する事によシ、次の様々利点が得られる。
の場合に例えば直線状のラインセンサを同一平面内に交
差して配置するくは、ハーフミラ−等によシ光路を2分
割し、2分割されえ光路の結像位置に各ツインセンナを
実質的に交差する様に配置すればよいことはいうまでも
ない6本実施例に於けるよυ好ましい光学系の配置を第
6図に示す、第6図は、第4図に示すコード板gt−−
個のラインセンサ10で読み取る為のものである。光源
Cによ〕放射された光束は、コリメー!レンズ1により
てコード板1上の2つのトラック即ち機銃トラック21
と粗読トラック22をそれぞれ照射する。照射された機
銃トラック21は、結像レンズ2rによって移動方向1
1と並列に配置されたラインセンサ10上に結像される
。一方粗読トラック22を照射した光束は、それぞれ2
ラーxe、goを介して結像レンズ28に入射し、さら
にミラー31によってラインセンサ10上にその像が9
0°回転して結像される。この様な配置和する事により
て、唯一個のラインセンtKて等価的に第4図に示す様
な機銃トラックと粗読トラックとに対するラインセンナ
の装置とする事ができる0以上の様に本発明によれば機
銃ノ臂ターンと粗読パターンを分離し、かつ粗読パター
ンの2進数を構成する各ビット(第4図12a〜12・
)をコード板とツインセンナ間の相対移動方向と交差す
る方向に配列する事によシ、次の様々利点が得られる。
■ (へ)2トラツクにする事で最終的な読み敗シ精度
を決定する機銃I臂ターンの記俺密度が向上し、高精度
な読み取りが可能となる。(ロ)又゛、信頼性を向上さ
せる為数ブロックに亘る読み取シを行なう際にも、第3
図に示す例と比較して、lブロック長を短かくできる為
、コード板を照明する照明範囲が狭くてもよく、(ハ)
又、ロータリエンコーダの様に円弧状のパターンを読み
取る際も、直線状のセンナによってII!み取る為の誤
差を無視できる範囲とする事ができる。
を決定する機銃I臂ターンの記俺密度が向上し、高精度
な読み取りが可能となる。(ロ)又゛、信頼性を向上さ
せる為数ブロックに亘る読み取シを行なう際にも、第3
図に示す例と比較して、lブロック長を短かくできる為
、コード板を照明する照明範囲が狭くてもよく、(ハ)
又、ロータリエンコーダの様に円弧状のパターンを読み
取る際も、直線状のセンナによってII!み取る為の誤
差を無視できる範囲とする事ができる。
■ コード板とラインセンナが高速に相対移動を行なう
際でも、ブロックのアドレス値を読み取る事に関してい
えば、第3図の例に比較してツインセンナの光積分時間
内に移動できる範囲を大幅にゆ↓↓事ができる。
際でも、ブロックのアドレス値を読み取る事に関してい
えば、第3図の例に比較してツインセンナの光積分時間
内に移動できる範囲を大幅にゆ↓↓事ができる。
なお第4図で、微読トラツタの1プ鴛ツクに相当する長
さ内を粗読トラックが2つのブーツタに分割しているの
は機銃トラックによる読み値と、粗読トラックによる読
み値との桁合せ照合を容nK行なう為のものであ)、以
下これについて説明する。今、第4図の粗読トラック2
2VC於てアドレスが“0”から11“K切替る境界上
にラインセンサ1oムが位置しかつその時のラインセン
ナIOHによる機銃トラックの値が@50”であるとす
る、(これは、機銃トラックの1ブロツクがラインセン
サ素子100素子に対応する長さをもつ場合を想定し、
マークパターン120投影されているセンナ素子が、ラ
インセンサ上に任意に定められた基準位置(インデック
スビット)よ、6−をフサ50素子分移動した状態を表
わす、)この状態からコード板とライy * y t
カ更K 相対移動を行ない、アドレス@1”と@rの境
界上に1に−)たとするとその時の微読値は″99″か
ら′″0″の境界上となる。但し、説明を簡単和する為
、微読値に於ける格子ノtターンによる内挿値は考えな
い事とする。この様に粗読値及び微読値が切替る様子を
下の表IK表1 表1のスケールは先に述べた状態を示し粗読値は、@o
#もしくは@1″を取〕、微読値は′″5o”を取る。
さ内を粗読トラックが2つのブーツタに分割しているの
は機銃トラックによる読み値と、粗読トラックによる読
み値との桁合せ照合を容nK行なう為のものであ)、以
下これについて説明する。今、第4図の粗読トラック2
2VC於てアドレスが“0”から11“K切替る境界上
にラインセンサ1oムが位置しかつその時のラインセン
ナIOHによる機銃トラックの値が@50”であるとす
る、(これは、機銃トラックの1ブロツクがラインセン
サ素子100素子に対応する長さをもつ場合を想定し、
マークパターン120投影されているセンナ素子が、ラ
インセンサ上に任意に定められた基準位置(インデック
スビット)よ、6−をフサ50素子分移動した状態を表
わす、)この状態からコード板とライy * y t
カ更K 相対移動を行ない、アドレス@1”と@rの境
界上に1に−)たとするとその時の微読値は″99″か
ら′″0″の境界上となる。但し、説明を簡単和する為
、微読値に於ける格子ノtターンによる内挿値は考えな
い事とする。この様に粗読値及び微読値が切替る様子を
下の表IK表1 表1のスケールは先に述べた状態を示し粗読値は、@o
#もしくは@1″を取〕、微読値は′″5o”を取る。
従って単純に合成すると大きな誤差を含む値となる。こ
れをさける為桁合せ照合として次の様な処理を行なう。
れをさける為桁合せ照合として次の様な処理を行なう。
■ アドレス値が奇数であ〕微読値が@251よシ大き
い場合は、アドルス値よ〕lだけ滅じ微読値と合成し、
″25#よ〕小さい場合は、1だけ加算して合成する。
い場合は、アドルス値よ〕lだけ滅じ微読値と合成し、
″25#よ〕小さい場合は、1だけ加算して合成する。
■ アドレス値が偶数であシ、微読値が@75mよル大
きい場合は、アドレス値よ#)@2”だけ減じ微読値と
合成し、75よシ小さい場合はその11合成する。この
様に微読値の読み取〕範囲を粗読値の最少単位よ)ひろ
くとる様和すれば、(すなわち、微読値の読み取り範囲
の更新周期を粗読値の最少単位毎の更新周期よ)広くと
れば)微読値の状態を知る事によ)正確な桁合せ照合を
行なう事ができる。
きい場合は、アドレス値よ#)@2”だけ減じ微読値と
合成し、75よシ小さい場合はその11合成する。この
様に微読値の読み取〕範囲を粗読値の最少単位よ)ひろ
くとる様和すれば、(すなわち、微読値の読み取り範囲
の更新周期を粗読値の最少単位毎の更新周期よ)広くと
れば)微読値の状態を知る事によ)正確な桁合せ照合を
行なう事ができる。
なお、この場合アドレスコードとして用いられるコード
は、グレーコードが望ましい、グレーコードは、一般的
なアブソリ為−トエンコーダ等に用いられるコード化手
法の一つであ〕、コード間の境界上に於ても読み取シ値
が最少1単位しか変化しないコードとしてよく知られて
いる。
は、グレーコードが望ましい、グレーコードは、一般的
なアブソリ為−トエンコーダ等に用いられるコード化手
法の一つであ〕、コード間の境界上に於ても読み取シ値
が最少1単位しか変化しないコードとしてよく知られて
いる。
第7図には本発明による前記実施例を実際の装置に適用
した場合の全体のブロックダイアダラムを示す、第7図
において工作機械のテーブル等の移動部材45に設置さ
れ九コード板8は、光源6、照明レン−erKよ〉照明
されその透過ノ豐ターンカ光学系レンズ9によシライン
センサ10上に結像するようになされている。ζζでコ
ード板8上に記録されているコードΔターンは、第4図
に示す様なものであシ、そのパターンを1個のラインセ
ンサ10に投影する光学系レンズ9は、第6図で示すも
のと同様な′構成とされる。
した場合の全体のブロックダイアダラムを示す、第7図
において工作機械のテーブル等の移動部材45に設置さ
れ九コード板8は、光源6、照明レン−erKよ〉照明
されその透過ノ豐ターンカ光学系レンズ9によシライン
センサ10上に結像するようになされている。ζζでコ
ード板8上に記録されているコードΔターンは、第4図
に示す様なものであシ、そのパターンを1個のラインセ
ンサ10に投影する光学系レンズ9は、第6図で示すも
のと同様な′構成とされる。
次にラインセンナ10の出力から得られる情報を処理す
る情報処理手段について説明する。
る情報処理手段について説明する。
ラインセンサ10はΔルス発生器32のスタートノ臂ル
スJJKよ〕走査を開始し、同じく/タルス発生器32
から出力されるクロックツ臂ルス34に同期して出力信
号35を増幅器3#に与える。増幅器S−を通りた信号
はサンプルアンドホールド31でアナ胃グ電圧として一
素子毎の出力のピーク値を保持され、アナログーデジメ
ル変換器38でデジタル信号に変換される。
スJJKよ〕走査を開始し、同じく/タルス発生器32
から出力されるクロックツ臂ルス34に同期して出力信
号35を増幅器3#に与える。増幅器S−を通りた信号
はサンプルアンドホールド31でアナ胃グ電圧として一
素子毎の出力のピーク値を保持され、アナログーデジメ
ル変換器38でデジタル信号に変換される。
デジタルメモリJ9はム/D変換されたラインセンサ1
0の出力を順次記憶するものであシ、これをランダムア
クセス方式のメモリで構成するなら、ラインセンナ出力
に同期しているクロックを計数するカウンタ40の出力
によ〕メモυ番地の指定を行なう事でメモリ00番地よ
〕順次ラインセンサの出力値が格納される。従って、メ
モリの番地とラインセンサのピット番号が直接の対応を
もつ事となる。なお、カウンタ40は、ラインセンサ1
0の走査開始のスタートパルス3 J 又ハ、走査JI
了ノ?ルス41VCよってあらかじめリセットしておく
必要のある事は言うまでもない。信号処理回路4Sは、
例えば、マイクロプロセッサ等によ〕構成され、ライン
センサの走査終了パルス41を受けつけると、デジタル
メモリ39に一時的に格納されているラインセンサ出力
データをその管理下にあるデータメモリ42に転送し、
データの処理を開始し、その結果を表示器44I/c出
力する。
0の出力を順次記憶するものであシ、これをランダムア
クセス方式のメモリで構成するなら、ラインセンナ出力
に同期しているクロックを計数するカウンタ40の出力
によ〕メモυ番地の指定を行なう事でメモリ00番地よ
〕順次ラインセンサの出力値が格納される。従って、メ
モリの番地とラインセンサのピット番号が直接の対応を
もつ事となる。なお、カウンタ40は、ラインセンサ1
0の走査開始のスタートパルス3 J 又ハ、走査JI
了ノ?ルス41VCよってあらかじめリセットしておく
必要のある事は言うまでもない。信号処理回路4Sは、
例えば、マイクロプロセッサ等によ〕構成され、ライン
センサの走査終了パルス41を受けつけると、デジタル
メモリ39に一時的に格納されているラインセンサ出力
データをその管理下にあるデータメモリ42に転送し、
データの処理を開始し、その結果を表示器44I/c出
力する。
次に信号、処理回路43の動作内容を第4図、第8図を
参照しながら述べる。第4図に於て、マークz4ターン
12はラインセンサ6素子相尚の白部12aと3素子相
尚の黒部ZJbからな〕、マークツ臂ターンの前のブロ
ックストップ12・は、3素子相幽の巾から構成され、
格子ノ臂ターン16はラインセンサに対して10:11
の副尺関係にある′″1”、′″01の格子が、30格
子で構成されているとする。又、粗読トラックの2進数
を示す各ビット22a〜22・は、4素子相当の巾で記
録されておシ、22・のビットが最下位ビットであると
する。この様なコード板8を第6図に示す光学系により
てラインセンサ10上に投影した場合のラインセンナ出
力を第8図(a) K 、それに対応するラインセンサ
を第8図(b)にそれぞれ示す。なお第8図(a)は第
4図の暗部がラインセンサに出力を生じさせる部分とし
たものである。信号処理の動作は以下のように行なわれ
る。
参照しながら述べる。第4図に於て、マークz4ターン
12はラインセンサ6素子相尚の白部12aと3素子相
尚の黒部ZJbからな〕、マークツ臂ターンの前のブロ
ックストップ12・は、3素子相幽の巾から構成され、
格子ノ臂ターン16はラインセンサに対して10:11
の副尺関係にある′″1”、′″01の格子が、30格
子で構成されているとする。又、粗読トラックの2進数
を示す各ビット22a〜22・は、4素子相当の巾で記
録されておシ、22・のビットが最下位ビットであると
する。この様なコード板8を第6図に示す光学系により
てラインセンサ10上に投影した場合のラインセンナ出
力を第8図(a) K 、それに対応するラインセンサ
を第8図(b)にそれぞれ示す。なお第8図(a)は第
4図の暗部がラインセンサに出力を生じさせる部分とし
たものである。信号処理の動作は以下のように行なわれ
る。
■ ノヤメーン1xeJ−パターンZJaK!る、ライ
ンセンサ出力信号12et’*11m’の立下多位置の
検出、第8図の例では第8図6)のラインセンサの4番
目の素子で検出される。
ンセンサ出力信号12et’*11m’の立下多位置の
検出、第8図の例では第8図6)のラインセンサの4番
目の素子で検出される。
■ 任意に定められ九ラインセンナ上の基準位置IBと
0項で検出された素子番号より、その間の距離ヲ、ライ
ンセンサのピッチを基準トシテ求める0図の例では(2
7−4)−23素子となシ、ラインセンサが10μmの
ピッチなら、その移動量は、230μmとなる。
0項で検出された素子番号より、その間の距離ヲ、ライ
ンセンサのピッチを基準トシテ求める0図の例では(2
7−4)−23素子となシ、ラインセンサが10μmの
ピッチなら、その移動量は、230μmとなる。
■ 格子パターンとラインセンサ間の副尺関係によって
生じた振動波形ICのデジタル量としてメモIJ K格
納されている1素子毎の出力4#。
生じた振動波形ICのデジタル量としてメモIJ K格
納されている1素子毎の出力4#。
50を周期関数で近似し、その交点a6m41e48が
生ずるラインセンナ上の位置を演算する。
生ずるラインセンナ上の位置を演算する。
演算処理によ)交点46がラインセンサの18.3素子
上に1交点41が31.2素子上(、交点48が40.
0 X子上に存在するとい・う結果が与えられたとする
。コレニよ、9XWIY=−18,3、!−2Y −3
1,2、X−3Y=40.0の3点よシ直線回帰計算を
行ない平均された値としてXツ1の場合の推定値を求め
ると、約18.98となる。この様に機銃)臂ターンと
ブロックアドレス部を分離し九為、格子ノ々ターン部の
記録密度を上げる事ができ平均化処理を有効に行なう事
が可能となシ測定精度の向上が図れるのは、先に述べ九
通〕である。この@に検出されたラインセンナ出力の交
点の位置はコード板とラインセンナとの微少な相対移動
によプラインセンサ出力上を大きく移動するのは、先に
述べた通りであシ、又、・本出願人が先に出願した特開
昭55−82918号公報に詳しく開示されている為、
ここでは詳しい記載は行なわない、今■項和よって検出
されたブロックの基準位置が″4”であ〕、内挿値に於
て、前記交点の位置がブロックの基準位置よ)10素子
分右側に存在する時を、その内挿値の0基準とすると(
18,98−(10+4 ) )=4.98となシ、前
記交点が基準位置よ、り 4.98素子分右側にライン
センナ出力上を移動した事となる。10:11の副尺関
係でかつラインセンサのピッチは10μmであるから内
挿値は、4.98μmとなる。
上に1交点41が31.2素子上(、交点48が40.
0 X子上に存在するとい・う結果が与えられたとする
。コレニよ、9XWIY=−18,3、!−2Y −3
1,2、X−3Y=40.0の3点よシ直線回帰計算を
行ない平均された値としてXツ1の場合の推定値を求め
ると、約18.98となる。この様に機銃)臂ターンと
ブロックアドレス部を分離し九為、格子ノ々ターン部の
記録密度を上げる事ができ平均化処理を有効に行なう事
が可能となシ測定精度の向上が図れるのは、先に述べ九
通〕である。この@に検出されたラインセンナ出力の交
点の位置はコード板とラインセンナとの微少な相対移動
によプラインセンサ出力上を大きく移動するのは、先に
述べた通りであシ、又、・本出願人が先に出願した特開
昭55−82918号公報に詳しく開示されている為、
ここでは詳しい記載は行なわない、今■項和よって検出
されたブロックの基準位置が″4”であ〕、内挿値に於
て、前記交点の位置がブロックの基準位置よ)10素子
分右側に存在する時を、その内挿値の0基準とすると(
18,98−(10+4 ) )=4.98となシ、前
記交点が基準位置よ、り 4.98素子分右側にライン
センナ出力上を移動した事となる。10:11の副尺関
係でかつラインセンサのピッチは10μmであるから内
挿値は、4.98μmとなる。
■ 粗読ノ臂ターン投影部よジブロックのアドレスを読
み取る。2値化コードによる出力22a′〜22・′は
、0.1.0.0.0と読み取られグレーコードによる
デコードを行ないそのアドレスは、@″31と知ること
ができる。
み取る。2値化コードによる出力22a′〜22・′は
、0.1.0.0.0と読み取られグレーコードによる
デコードを行ないそのアドレスは、@″31と知ること
ができる。
■ 0項及び0項で検出した値よ)微読値は、(230
μm + 4.98μm)冨234.98μmとな)、
これと粗読値との合成値は、先に述べた桁合せ照合を行
なう事によル得られ、それがコード板とラインセンナ間
の相対移動量を示す値となる。
μm + 4.98μm)冨234.98μmとな)、
これと粗読値との合成値は、先に述べた桁合せ照合を行
なう事によル得られ、それがコード板とラインセンナ間
の相対移動量を示す値となる。
次に第9図に示す本発明の他の実施例について説明する
。
。
第9図は、本発明をロータリエンコーダに適用したもの
である。この場合のコード板8は中心軸00回シを回転
するものであ〕、第4図と同様な機銃トラック21と粗
読トラック22を有している6通常ロータリエンコーダ
は、コード板の偏心の影響をさける為180@対向した
2ケ所の位置でコード板を読み取シその平均をとるとい
う事が行なわれる。第9図に示す例も、対向読み取シを
行なう場合の例であるが、偏心量は、それ程大きな量で
はない為対向読み取りを行なうのは、機銃トラック21
のみである。
である。この場合のコード板8は中心軸00回シを回転
するものであ〕、第4図と同様な機銃トラック21と粗
読トラック22を有している6通常ロータリエンコーダ
は、コード板の偏心の影響をさける為180@対向した
2ケ所の位置でコード板を読み取シその平均をとるとい
う事が行なわれる。第9図に示す例も、対向読み取シを
行なう場合の例であるが、偏心量は、それ程大きな量で
はない為対向読み取りを行なうのは、機銃トラック21
のみである。
光源501、コリメーメレン、e51*<よって照明さ
れる微貌パ!−ンの一部511mは、ミラー52 m
、 リレーレンズ51*、 ンラー54a155a
1 リv−vンズ56a、およびンラー571によりて
ラインセンサ10上K l 9 aのごと<KM偉され
る。機銃ノ々ターンの1′部58aとほぼ180°対向
する位置の機銃パターンs8bツメ 4同様に光源5ob、”s≠今一タレンズ51bによシ
照明され、ミラー52b1 リレーレンズ63b1 ミ
ラー14b、61b、 リレーレンズ16bおよびtラ
ーl r b IICヨ2 テ59 b (Dととくに
結像される。又、粗読トラックの1部60は、図示しな
い照明装置によシ照明され、その儂は、62の様にライ
ンセンサ10上に結像レンズ61によ)結像される。機
銃トラックによるラインセンサ上の像19*e19bは
1それぞれ、すでに記載した方法によりて読み取られ、
平均された後、粗読トラックによる読み値と桁合せ照合
され角度位置情報として検出される。
れる微貌パ!−ンの一部511mは、ミラー52 m
、 リレーレンズ51*、 ンラー54a155a
1 リv−vンズ56a、およびンラー571によりて
ラインセンサ10上K l 9 aのごと<KM偉され
る。機銃ノ々ターンの1′部58aとほぼ180°対向
する位置の機銃パターンs8bツメ 4同様に光源5ob、”s≠今一タレンズ51bによシ
照明され、ミラー52b1 リレーレンズ63b1 ミ
ラー14b、61b、 リレーレンズ16bおよびtラ
ーl r b IICヨ2 テ59 b (Dととくに
結像される。又、粗読トラックの1部60は、図示しな
い照明装置によシ照明され、その儂は、62の様にライ
ンセンサ10上に結像レンズ61によ)結像される。機
銃トラックによるラインセンサ上の像19*e19bは
1それぞれ、すでに記載した方法によりて読み取られ、
平均された後、粗読トラックによる読み値と桁合せ照合
され角度位置情報として検出される。
第5図は、本発明のさらに他の実施例を示すものである
。この例では、コード板8は、4つのトラックに分割さ
れラインセンサJOBと副尺関係を発生させる格子ノリ
ーンをもっ内挿用トラック21a1ラインセンナのピッ
チを基準単位とする読み取)を行なう為K11方向の移
動に対してラインセンサ10a上の位置が変化する斜行
パターン24m、24bを有スるトラック23、fロッ
クのアドレスを示す粗読トラック22及び移動方向11
と直角方向の位置を定める基準トラック25からなる。
。この例では、コード板8は、4つのトラックに分割さ
れラインセンサJOBと副尺関係を発生させる格子ノリ
ーンをもっ内挿用トラック21a1ラインセンナのピッ
チを基準単位とする読み取)を行なう為K11方向の移
動に対してラインセンサ10a上の位置が変化する斜行
パターン24m、24bを有スるトラック23、fロッ
クのアドレスを示す粗読トラック22及び移動方向11
と直角方向の位置を定める基準トラック25からなる。
コード板8は移動方向にそりて幾つかの7’oツクに分
割されておシ粗読トラックJJKよってブロックのアド
レスを読み取シ、ま九格子パターンが連続して記録され
ている内挿用トラックJJaによってラインセンナJO
Bのピッチ単位以下の内挿値を読み取るのはすでに述ぺ
た例と同様である。ラインセンサIOAのピッチを基準
単位とした読み取〕は、斜行ノ4メーン24&e24k
がラインセンナ10ム上に投影される位置を検出する事
によ〕行なわれる。斜行パターンは、ブロック長よ〕着
干長く、かつ隣〕合う斜行パターンとは、その太さ等が
異なシ識別可能な/1ターンとなりている。これは、斜
行ツヤターンによる読み値とアドレスによる読み値との
桁合せ照合を容易に行なう為のものであ)、そめ処理は
次の様に行なう。
割されておシ粗読トラックJJKよってブロックのアド
レスを読み取シ、ま九格子パターンが連続して記録され
ている内挿用トラックJJaによってラインセンナJO
Bのピッチ単位以下の内挿値を読み取るのはすでに述ぺ
た例と同様である。ラインセンサIOAのピッチを基準
単位とした読み取〕は、斜行ノ4メーン24&e24k
がラインセンナ10ム上に投影される位置を検出する事
によ〕行なわれる。斜行パターンは、ブロック長よ〕着
干長く、かつ隣〕合う斜行パターンとは、その太さ等が
異なシ識別可能な/1ターンとなりている。これは、斜
行ツヤターンによる読み値とアドレスによる読み値との
桁合せ照合を容易に行なう為のものであ)、そめ処理は
次の様に行なう。
■ 図の様K Ji I/−hp#ターンが太いI9タ
ーンの上方にある時は、読取りたアドレスが奇数ならば
、そのままのアドレスと細%A 、、f jI−ンによ
ル黴読値を加算する。又読取りたアドレスが偶数ならば
、その値から1を引き、細いパターンによる微読値を加
算する。
ーンの上方にある時は、読取りたアドレスが奇数ならば
、そのままのアドレスと細%A 、、f jI−ンによ
ル黴読値を加算する。又読取りたアドレスが偶数ならば
、その値から1を引き、細いパターンによる微読値を加
算する。
■ 太い71ターンが細いIす―ンの上方にある時は、
読取ったアドレスが偶数ならば、そのままのアドレスと
太い/譬ターンによる微読値を加算する。又読取ったア
ドレスが奇数ならば、その値から1を引き、太い/fタ
ーンによる微読値を加算する。
読取ったアドレスが偶数ならば、そのままのアドレスと
太い/譬ターンによる微読値を加算する。又読取ったア
ドレスが奇数ならば、その値から1を引き、太い/fタ
ーンによる微読値を加算する。
又、内挿値と微読値との桁合せ照合に関しては、すでに
述べた様に内挿の範囲を微読値より広くとればよい為、
内挿が、ラインセンサのピッチ内を行なうものなら、微
読値は、1ピツチ以下の単位で読み取れば、容易に行な
う事ができる。斜行ノ9ターンの中心位置の正確な検出
は、第7図に示す様な回路によシデジタル量としてメモ
リの内に格納されているラインセンナの素子毎の出力に
対し、多項式近似等を行ないその極大点を算出する事で
達成される。第5図の基準トラック2IIは、ラインセ
ンナ1jAIIC対するコード板80基準位置を与える
ものである。
述べた様に内挿の範囲を微読値より広くとればよい為、
内挿が、ラインセンサのピッチ内を行なうものなら、微
読値は、1ピツチ以下の単位で読み取れば、容易に行な
う事ができる。斜行ノ9ターンの中心位置の正確な検出
は、第7図に示す様な回路によシデジタル量としてメモ
リの内に格納されているラインセンナの素子毎の出力に
対し、多項式近似等を行ないその極大点を算出する事で
達成される。第5図の基準トラック2IIは、ラインセ
ンナ1jAIIC対するコード板80基準位置を与える
ものである。
斜行I中ターン24&e14bKよる機銃値O読み取シ
は、ラインセンサ10ム上に任意に定められた位置を基
準とし斜行パターンの投影されているラインセンナ上の
位置まで0距離を検出する事によって行なわれるがこの
方式では、移動方向11と直角な方向へのコード板とラ
インセンサの相対移動が生じ死時、移動方向11に対す
る誤差となる。従って、図の様に基準トラック25を設
け、それの投影されているラインセンナ上の位置を基準
として機銃値讐読み取る事によって上記の誤差紘さける
ことができる。
は、ラインセンサ10ム上に任意に定められた位置を基
準とし斜行パターンの投影されているラインセンナ上の
位置まで0距離を検出する事によって行なわれるがこの
方式では、移動方向11と直角な方向へのコード板とラ
インセンサの相対移動が生じ死時、移動方向11に対す
る誤差となる。従って、図の様に基準トラック25を設
け、それの投影されているラインセンナ上の位置を基準
として機銃値讐読み取る事によって上記の誤差紘さける
ことができる。
又、基準トラック2Jのもう一つの効果は、基準トラッ
ク2jのラインセンサ上の位置を検出する事によりて粗
読トラック22の2進数を構成する各ビットzx*〜1
2・が投影されているラインセンナ上の位置を正確に検
出する事ができるというむとである。これによシ、あら
かじめ定められたラインセンサ10ム上O位置に粗読ト
ラックが投影される様に調整する必要がなくなシ、組立
工数の削減を図れる。又、2本の基準トラックが、粗読
トラックを挾む様に配置し、その間隔を検出する事で粗
読トラックの2進数を構成する各ビット221〜21@
がラインセンサ10ムの何素千に@幽するかを検知すれ
ば、例えば第6図に示す光学系にて読み取)を行なう場
合、結像レンズ280投影倍率、建う−19.IO,1
1の正確なアライメントが必要なくなシ組立上の大きな
利点を得る事ができ、更に6IP’1以上に粗読トラッ
クの各ビット巾を広くする事が磨くなる為前記第4図図
示の実施例の場合と同様に光学系の小型化が可能となる
。
ク2jのラインセンサ上の位置を検出する事によりて粗
読トラック22の2進数を構成する各ビットzx*〜1
2・が投影されているラインセンナ上の位置を正確に検
出する事ができるというむとである。これによシ、あら
かじめ定められたラインセンサ10ム上O位置に粗読ト
ラックが投影される様に調整する必要がなくなシ、組立
工数の削減を図れる。又、2本の基準トラックが、粗読
トラックを挾む様に配置し、その間隔を検出する事で粗
読トラックの2進数を構成する各ビット221〜21@
がラインセンサ10ムの何素千に@幽するかを検知すれ
ば、例えば第6図に示す光学系にて読み取)を行なう場
合、結像レンズ280投影倍率、建う−19.IO,1
1の正確なアライメントが必要なくなシ組立上の大きな
利点を得る事ができ、更に6IP’1以上に粗読トラッ
クの各ビット巾を広くする事が磨くなる為前記第4図図
示の実施例の場合と同様に光学系の小型化が可能となる
。
以上は本発明のいくつかの実施例について説明したが本
発明は、以上の実施例のみに限定されるものでなく、種
々変形、変更を加え得るものである0例えば粗読トラッ
クに記帰する2進化コードは、グレーコード以外でもよ
く、又、第6図、第9図に示す光学系の例に於て、照明
は透過照明でなく、反射照明でもよく、更にこれらのも
のと異った光学系の配置も考えられる。
発明は、以上の実施例のみに限定されるものでなく、種
々変形、変更を加え得るものである0例えば粗読トラッ
クに記帰する2進化コードは、グレーコード以外でもよ
く、又、第6図、第9図に示す光学系の例に於て、照明
は透過照明でなく、反射照明でもよく、更にこれらのも
のと異った光学系の配置も考えられる。
またコード板とラインセンサの!lI!際の相対移動で
力く、両者を結合する光学系の変位、回転による見掛け
の相対移動を検出する様に構成するととも可能であるこ
と言う壕でもない。
力く、両者を結合する光学系の変位、回転による見掛け
の相対移動を検出する様に構成するととも可能であるこ
と言う壕でもない。
第1図は従来のアブソリ為−トエンコー〆を説明するた
めの説明用概略図、 第2図は従来のアブソリ島−トエンコー〆の光学系の概
略図、 第3図は従来のアブソリ為−トエンコーダのコード板と
ラインセンナとの関係を説明するための概略図、 第4図は本発明の一実施例におけるコード板とラインセ
ンナとの関係を説明するためのコードパターンの1部の
概略図、 第5図は本発明の他の実施例におけるコード板とライン
センサとの関係を説明するためのコード/臂ターンの1
部の概略図、 第6図は本発明の一実施例くおける光学系の概略図、 第7図は本発明によるアブソリ為−トエンコ−/を実際
の装置に適用した場合の全体の構成を示すブロック線図
、 第8図は本発明の一実施例における信号処理回路の作動
を説明するための説明用図面、第9図は本発明を四−タ
リエンコ−/に適用した場合の一実施例の概略図である
。 1・・・移動方向、2−・コード板、1・・・光源、4
−マスク、5・・・受光素子群、c・・・光源、1・・
・レンズ、J−:f−ド板、9−V 7ズ、10.10
A。 10B・・・ラインセンナ、11・・・移動方向%JJ
”・マーク−#fメーン、IJ・・・特徴的ノ臂メーン
、14・・・基準位置!−り、15・・・素子番号、1
6・・・格子ノ量メーン1,11・・・各ビット、18
・・・ビット情報5.19・・・ビットストνf s
20 ””アドレスパターン、11・・・機銃トラック
、22・・・粗読トラック、j l−)ラック、J 4
a e J 4 b ”・斜行/l fi−ン、25
・・・基準トラック、11 e J l・・・レンズ、
J p t s o 、 s J−?ラー、Jj−・パ
ルス発生器、33・・・スI−ト/中ルス、34・・・
クロックパルス、ll・・・出力信号、si・・・増巾
器、31川サン!ルアンドホールド、38・・・アナ口
/ −f”?Iル変換器、39・・・デジタルl −q
IJ、40・・・カウンタ、41・−走査終了パルス
、42・・・データメモリ、41・・・信号処理回路、
44・・・表示器、45・・・移動部材、4 # e
47 # 4 J −・・交点、49 、50−・・出
力、s o a 、 # # b −・・光源、lil
&、51belll&@13b、16&。 56b、61−レンズ、j J a g J J b
+ 54 a #t4b 、15&’:・−l5m a
JFA e 5vb−iラー、l1m、夕8b・・・
機銃djl!−ンの一部、59 m 、 89 b 、
6 j ””結像、IO−粗読トラックの一部。
めの説明用概略図、 第2図は従来のアブソリ島−トエンコー〆の光学系の概
略図、 第3図は従来のアブソリ為−トエンコーダのコード板と
ラインセンナとの関係を説明するための概略図、 第4図は本発明の一実施例におけるコード板とラインセ
ンナとの関係を説明するためのコードパターンの1部の
概略図、 第5図は本発明の他の実施例におけるコード板とライン
センサとの関係を説明するためのコード/臂ターンの1
部の概略図、 第6図は本発明の一実施例くおける光学系の概略図、 第7図は本発明によるアブソリ為−トエンコ−/を実際
の装置に適用した場合の全体の構成を示すブロック線図
、 第8図は本発明の一実施例における信号処理回路の作動
を説明するための説明用図面、第9図は本発明を四−タ
リエンコ−/に適用した場合の一実施例の概略図である
。 1・・・移動方向、2−・コード板、1・・・光源、4
−マスク、5・・・受光素子群、c・・・光源、1・・
・レンズ、J−:f−ド板、9−V 7ズ、10.10
A。 10B・・・ラインセンナ、11・・・移動方向%JJ
”・マーク−#fメーン、IJ・・・特徴的ノ臂メーン
、14・・・基準位置!−り、15・・・素子番号、1
6・・・格子ノ量メーン1,11・・・各ビット、18
・・・ビット情報5.19・・・ビットストνf s
20 ””アドレスパターン、11・・・機銃トラック
、22・・・粗読トラック、j l−)ラック、J 4
a e J 4 b ”・斜行/l fi−ン、25
・・・基準トラック、11 e J l・・・レンズ、
J p t s o 、 s J−?ラー、Jj−・パ
ルス発生器、33・・・スI−ト/中ルス、34・・・
クロックパルス、ll・・・出力信号、si・・・増巾
器、31川サン!ルアンドホールド、38・・・アナ口
/ −f”?Iル変換器、39・・・デジタルl −q
IJ、40・・・カウンタ、41・−走査終了パルス
、42・・・データメモリ、41・・・信号処理回路、
44・・・表示器、45・・・移動部材、4 # e
47 # 4 J −・・交点、49 、50−・・出
力、s o a 、 # # b −・・光源、lil
&、51belll&@13b、16&。 56b、61−レンズ、j J a g J J b
+ 54 a #t4b 、15&’:・−l5m a
JFA e 5vb−iラー、l1m、夕8b・・・
機銃djl!−ンの一部、59 m 、 89 b 、
6 j ””結像、IO−粗読トラックの一部。
Claims (3)
- (1)相対移動方向に複数のブロックに分割され、その
各ブロックにはブロックのアトレス値を表わすアドレス
情報がそれぞれ前記移動方向と交差する方向に記録され
てなる第1トラツクと、前記移動方向に複数のブロック
に分割され、その各ブロックに拡ブロックの基準位置を
表わす基準位置情報および複数の格子パターンがそれぞ
れ前記移動方向に直列に記録されてなる第2トラツクと
からなる少なくとも2つのトラックがそれぞれ前記移動
方向に並列に配列されてなるコード板と、 前記;−ド板の前記格子パターンの配列に対し副尺関係
を生ずるように配・列されてなシ、かつ前記コード板の
前記各トラックに記録された情報を読みとるラインセン
ナと、 前記ラインセンtの出力から得られる前記コード板と前
記ラインセンサとの相対移動量を含む情報を処理する情
報処理手段と、 を具備してなることを特徴とするアブンリ為−トエンコ
ー〆。 - (2)前記コード板と前記ラインセンサとの相対移動時
に1前記第2トラツクの各ブロックの前記相対移動に伴
う更新周期を前記第1トラツクの各ブロックの前記相対
移動に伴う更新周期よシ大きくなるようにしてなる仁と
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載のアブソリ島−
トエンコー〆。 - (3)前記コード板には前記相対移動方向と交差する方
向の基準位置を表わす小くとも1本の基準トラックを含
むようKしてなることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載のアブソリ。 −トエンコー〆。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56126013A JPS5829093A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | アブソリユ−トエンコ−ダ |
| DE198282107383T DE72549T1 (de) | 1981-08-13 | 1982-08-13 | Absolutwertgeber. |
| DE8282107383T DE3279655D1 (en) | 1981-08-13 | 1982-08-13 | Absolute encoder |
| EP82107383A EP0072549B1 (en) | 1981-08-13 | 1982-08-13 | Absolute encoder |
| US06/774,859 US4602242A (en) | 1981-08-13 | 1985-09-11 | Encoder for photoelectric measuring devices |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56126013A JPS5829093A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | アブソリユ−トエンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5829093A true JPS5829093A (ja) | 1983-02-21 |
| JPH0157292B2 JPH0157292B2 (ja) | 1989-12-05 |
Family
ID=14924560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56126013A Granted JPS5829093A (ja) | 1981-08-13 | 1981-08-13 | アブソリユ−トエンコ−ダ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4602242A (ja) |
| EP (1) | EP0072549B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5829093A (ja) |
| DE (2) | DE3279655D1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170813A (ja) * | 1986-01-23 | 1987-07-27 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 絶対番地形位置検出装置 |
| JPH11320457A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-11-24 | Jc Bamford Excavators Ltd | 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法 |
| JP2004132972A (ja) * | 2002-09-23 | 2004-04-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | エンコーダ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3427411C2 (de) * | 1984-07-25 | 1987-01-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Meßeinrichtung |
| DE3526206A1 (de) * | 1985-07-23 | 1987-02-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Wegmesseinrichtung |
| US4733069A (en) * | 1986-02-14 | 1988-03-22 | Optec Co., Ltd. | Position encoder using a laser scan beam |
| US4967075A (en) * | 1986-09-16 | 1990-10-30 | High Yield Technology | Velocity monitoring method and apparatus |
| SE460928B (sv) * | 1986-10-13 | 1989-12-04 | Johansson Ab C E | Absolutmaetande skalsystem |
| JP2645350B2 (ja) * | 1987-01-28 | 1997-08-25 | チノン株式会社 | シリアルドットマトリクスプリンタ |
| DE3809569A1 (de) * | 1988-03-22 | 1989-10-05 | Frankl & Kirchner | Positionsgeber |
| JP2567036B2 (ja) * | 1988-05-10 | 1996-12-25 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
| IT1217650B (it) * | 1988-05-19 | 1990-03-30 | Microptronics Srl | Dispositivo per la lettura ottica di supporti planari |
| US5214426A (en) * | 1988-07-12 | 1993-05-25 | Furuno Electric Company, Limited | Rotary encoder having absolute angle patterns and relative angle patterns |
| JP2715655B2 (ja) * | 1990-11-21 | 1998-02-18 | 株式会社デンソー | 非接触式移動量測定方法およびその装置 |
| US5254919A (en) * | 1991-03-22 | 1993-10-19 | Eastman Kodak Company | Encoder system using linear array sensor for high resolution |
| US5336884A (en) * | 1992-07-01 | 1994-08-09 | Rockwell International Corporation | High resolution optical hybrid absolute incremental position encoder |
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| KR100264312B1 (ko) * | 1995-10-13 | 2000-08-16 | 디지래드 | 개선된 전하 수집능력을 갖는 반도체 방사선 검출기 |
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| US6017114A (en) * | 1998-09-30 | 2000-01-25 | Hewlett-Packard Company | Shifted element scanning/printing routine coordinated with media advance |
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| US20070114370A1 (en) * | 2003-10-10 | 2007-05-24 | Smith Ronald H | Fiber optic remote reading encoder |
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| JP5159663B2 (ja) | 2009-02-13 | 2013-03-06 | キヤノン株式会社 | 原点検出装置、変位測定装置および電子機器 |
| KR101456882B1 (ko) | 2012-05-18 | 2014-11-03 | 서울대학교산학협력단 | 버니어 방식 광학 엔코더의 비트 오차 보정을 위한 디지털 옵토-일렉트리컬 펄스 적용 방법 |
| WO2013172564A1 (en) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | Snu R&Db Foundation | Digital opto-electric pulse application method for correcting bit error of vernier-type optical encoder |
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-
1981
- 1981-08-13 JP JP56126013A patent/JPS5829093A/ja active Granted
-
1982
- 1982-08-13 DE DE8282107383T patent/DE3279655D1/de not_active Expired
- 1982-08-13 DE DE198282107383T patent/DE72549T1/de active Pending
- 1982-08-13 EP EP82107383A patent/EP0072549B1/en not_active Expired
-
1985
- 1985-09-11 US US06/774,859 patent/US4602242A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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|---|---|
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| JPH0157292B2 (ja) | 1989-12-05 |
| US4602242A (en) | 1986-07-22 |
| DE72549T1 (de) | 1985-08-14 |
| EP0072549A3 (en) | 1985-05-15 |
| EP0072549A2 (en) | 1983-02-23 |
| DE3279655D1 (en) | 1989-06-01 |
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