JPS5829458B2 - ヒヨウメンケンサソウチ - Google Patents
ヒヨウメンケンサソウチInfo
- Publication number
- JPS5829458B2 JPS5829458B2 JP743068A JP306874A JPS5829458B2 JP S5829458 B2 JPS5829458 B2 JP S5829458B2 JP 743068 A JP743068 A JP 743068A JP 306874 A JP306874 A JP 306874A JP S5829458 B2 JPS5829458 B2 JP S5829458B2
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- JP
- Japan
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- inspected
- mirror
- optical path
- rotating
- view
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- Expired
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば圧延機で圧延された圧延材又はコイル
状の平板等による被検査体の表面の亀裂部又は損傷部を
高速度で検査する表面検査装置に関する。
状の平板等による被検査体の表面の亀裂部又は損傷部を
高速度で検査する表面検査装置に関する。
既に提案されている飛点走査式の表面検査装置は、−走
査視界（ユニット視界ともいう）を形成する発光装置及
び回転ミラー、振動ミラーの走査駆動系とより構成され
ており、特に、幅広い被検査体の表面検査には少くな（
とも２以上のユニット視界を必要とする関係上、複数の
単位表面検査装置を組込まなければならないので、安価
に提供することが困難であるばかりでなく、各単位表面
検査装置の組合せによる表面検査であるため、各ユニッ
ト視界の走査系同志の各光束及び毎分数百回転に及ぶ各
回転ミラーを同期させなげれば、正確な表面検査が難し
く、技術的にも難点があった。
査視界（ユニット視界ともいう）を形成する発光装置及
び回転ミラー、振動ミラーの走査駆動系とより構成され
ており、特に、幅広い被検査体の表面検査には少くな（
とも２以上のユニット視界を必要とする関係上、複数の
単位表面検査装置を組込まなければならないので、安価
に提供することが困難であるばかりでなく、各単位表面
検査装置の組合せによる表面検査であるため、各ユニッ
ト視界の走査系同志の各光束及び毎分数百回転に及ぶ各
回転ミラーを同期させなげれば、正確な表面検査が難し
く、技術的にも難点があった。
本発明は上述した点にかんがみ、集光レンズを有するレ
ーザー発振器の光路上に高速度で回転する回転ミラーを
設け、この回転ミラーの出射光路上にしてしかも幅広い
被検査体の上位に少くなくとも２以上のハーフミラ−若
しくは反射鏡を等距離にそれぞれ配設し、これらの反射
光を受光するようにした上記被検査体の照射光を受光す
るように受光検出器を配設し、これにより被検査体の表
面を検査するようにしたことを目的とする表面検査装置
を提供するものである。
ーザー発振器の光路上に高速度で回転する回転ミラーを
設け、この回転ミラーの出射光路上にしてしかも幅広い
被検査体の上位に少くなくとも２以上のハーフミラ−若
しくは反射鏡を等距離にそれぞれ配設し、これらの反射
光を受光するようにした上記被検査体の照射光を受光す
るように受光検出器を配設し、これにより被検査体の表
面を検査するようにしたことを目的とする表面検査装置
を提供するものである。
以下、本発明を図示の一実施例について説明する。
第１図において符号１はレーザー発振器であって、この
レーザー発振器１の先端部には集光レンズ２が設けられ
ており、この集光レンズ２の光路上には回転ミラー３が
高速度で回転し得るように配設されている。
レーザー発振器１の先端部には集光レンズ２が設けられ
ており、この集光レンズ２の光路上には回転ミラー３が
高速度で回転し得るように配設されている。
又この回転ミラー３の出射光路上には第１ミラー４、第
２ミラー５、第３ミラー６、が順に傾斜して配設されて
いる。
２ミラー５、第３ミラー６、が順に傾斜して配設されて
いる。
この各ミラー４，５，６は幅広い被検査体８の上位でか
つ前記回転ミラー３から各反射鏡４，５．６を介して走
行する被検査体８までの各光路長を等しくなるように位
置して、この被検査体８０表面を複数のユニット視界に
分割するとともにそれぞれ均一な反射光で照射し得るよ
うになっている。
つ前記回転ミラー３から各反射鏡４，５．６を介して走
行する被検査体８までの各光路長を等しくなるように位
置して、この被検査体８０表面を複数のユニット視界に
分割するとともにそれぞれ均一な反射光で照射し得るよ
うになっている。
即ち、上記回転ミラー３からの光束は、第１ミラー４に
よって上記被検査体８の第１視界８ａを照射し、前記第
２ミラー５によって上記被検査体８の第２視界８ｂを照
射し、第３ミラー６によって上記被検査体８の第３視界
８ｃをそれぞれ均等に照射するようになっている。
よって上記被検査体８の第１視界８ａを照射し、前記第
２ミラー５によって上記被検査体８の第２視界８ｂを照
射し、第３ミラー６によって上記被検査体８の第３視界
８ｃをそれぞれ均等に照射するようになっている。
レーザ光は各ミラー４，５゜６を介した回転ミラー３か
ら被検査体表面に至ろ各光路長が等しくなって被検査体
表面の全域を網羅して走査する。
ら被検査体表面に至ろ各光路長が等しくなって被検査体
表面の全域を網羅して走査する。
一方、上記被検査体８は、第１図において、紙背がわへ
高速度で搬送されており、またレーザ光は第４．５．６
のミラーおよび回転ミラー３０作用により被検査体表面
の全域を網羅して走査しており上記被検査体８０表面に
均一に照射された光束はこの被検査体８で反射して、例
えば光電変換素子のような受光検出器９ａ、９ｂ、９ｃ
、９ｄに受光されるようになっている。
高速度で搬送されており、またレーザ光は第４．５．６
のミラーおよび回転ミラー３０作用により被検査体表面
の全域を網羅して走査しており上記被検査体８０表面に
均一に照射された光束はこの被検査体８で反射して、例
えば光電変換素子のような受光検出器９ａ、９ｂ、９ｃ
、９ｄに受光されるようになっている。
従って、この各受光検出器９ ａ 、９ ｂ 、９ Ｃ
５９ｄは走行する被検査体８の表面に亀裂や損傷を検出
しなければ、この被検査体８からの均一な照射光束を受
光しても警報を発しないが、走行する被検査体８の表面
に異常があると、上記各光検出器９ ａ 、９ ｂ ｔ
９ ｃ ｔ ９ ｄがこれを検出して警報を発するよ
うになっている。
５９ｄは走行する被検査体８の表面に亀裂や損傷を検出
しなければ、この被検査体８からの均一な照射光束を受
光しても警報を発しないが、走行する被検査体８の表面
に異常があると、上記各光検出器９ ａ 、９ ｂ ｔ
９ ｃ ｔ ９ ｄがこれを検出して警報を発するよ
うになっている。
次に第２図に示される実施例は本発明の他の実施例であ
って、回転ミラー３からの出射光路上に分光プリズム１
０及び各偏向プリズム１１ａ。
って、回転ミラー３からの出射光路上に分光プリズム１
０及び各偏向プリズム１１ａ。
１１ｂを配設し、この各偏向プリズム１１ａ。
１１ｂからの光束を各受光検出器９ａ、９ｂｔ９ｃ 、
９ｄと一体をなす各第１、第２、第３、第４、ミラー４
，５，６，７に移送し、しかる後、走行する被検査体８
を照射し、上記各受光検出器９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄに
よって被検査体８の表面を検出するようにしたものであ
り、実質的には上述した第１図の具体例と同じ内容のも
のである。
９ｄと一体をなす各第１、第２、第３、第４、ミラー４
，５，６，７に移送し、しかる後、走行する被検査体８
を照射し、上記各受光検出器９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄに
よって被検査体８の表面を検出するようにしたものであ
り、実質的には上述した第１図の具体例と同じ内容のも
のである。
以上述べたように本発明によれば、集光レンズ２を有す
るレーザー発振器１の光路上に高速度で回転する回転ミ
ラー３を設け、この回転ミラー３の出射光路上にしてし
かも幅広い被検査体８の上位に少くなくとも２以上のミ
ラー４，５，６゜７を斜設し、上記被検査体８の照射光
を各受光検出器９ａｔ９ｂｔ９ｃｔ９ｄで受光して検出
するようになっているので、照射光源を唯一のレーザー
発振器１で兼用できるから、構成も簡素化され、しかも
均一な各ユニット視界を簡単に得ることもできるばかり
でなく、安価に提供できる等の優れた効果を有する。
るレーザー発振器１の光路上に高速度で回転する回転ミ
ラー３を設け、この回転ミラー３の出射光路上にしてし
かも幅広い被検査体８の上位に少くなくとも２以上のミ
ラー４，５，６゜７を斜設し、上記被検査体８の照射光
を各受光検出器９ａｔ９ｂｔ９ｃｔ９ｄで受光して検出
するようになっているので、照射光源を唯一のレーザー
発振器１で兼用できるから、構成も簡素化され、しかも
均一な各ユニット視界を簡単に得ることもできるばかり
でなく、安価に提供できる等の優れた効果を有する。
また各ミラー４，５，６，７を介した回転ミラー３から
被検査体表面に至る各光路長が等しくなるように各ミラ
ー４，５，６，７を配置する構成のため、光路長の違い
によって被検査体の表面のレーザー光のスポットが各ユ
ニット視野で異なるようなことがなくし得る。
被検査体表面に至る各光路長が等しくなるように各ミラ
ー４，５，６，７を配置する構成のため、光路長の違い
によって被検査体の表面のレーザー光のスポットが各ユ
ニット視野で異なるようなことがなくし得る。
そのことは各ユニット視野において検出感度が同じすな
わち各ユニット視野によって検出感度が異なることがな
い。
わち各ユニット視野によって検出感度が異なることがな
い。
第１図は本発明による表面検査装置の線図、第２図は本
発明の他の実施例を示す図である。 １・・・・・・レーザー発振器、２・・・・・・集光レ
ンズ、３・・・・・・回転ミラー、４，５，６，７・・
・・・・ミラー、８・・・・・・被検査体、９ ａ 、
９ ｂ 、９ ｃ 、９ ｄ・・・・・・受光検出器。
発明の他の実施例を示す図である。 １・・・・・・レーザー発振器、２・・・・・・集光レ
ンズ、３・・・・・・回転ミラー、４，５，６，７・・
・・・・ミラー、８・・・・・・被検査体、９ ａ 、
９ ｂ 、９ ｃ 、９ ｄ・・・・・・受光検出器。
Claims (1)
- １ レーザー発振器から出力されるレーザー光を回転ま
たは振動するミラーによって反射し、被検査体の表面上
において前記レーザー光を走査させ、前記被検査体の表
面と作用した光から前記被検査体の表面に存在する欠陥
を検出するものにおいて、前記回転または振動するミラ
ーの出射光路上で、かっこの回転または振動するミラー
から前記被検査体に至る間の光路長を等しくしつつ前記
被検査体の幅方向を複数のユニット視野に分割する位置
にそれぞれ配置される少なくとも２以上の固定ハーフミ
ラ−若しくはミラーを備えたことを特徴とする表面検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP743068A JPS5829458B2 (ja) | 1973-12-25 | 1973-12-25 | ヒヨウメンケンサソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP743068A JPS5829458B2 (ja) | 1973-12-25 | 1973-12-25 | ヒヨウメンケンサソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5097386A JPS5097386A (ja) | 1975-08-02 |
| JPS5829458B2 true JPS5829458B2 (ja) | 1983-06-22 |
Family
ID=11546999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP743068A Expired JPS5829458B2 (ja) | 1973-12-25 | 1973-12-25 | ヒヨウメンケンサソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5829458B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4338822A (en) * | 1978-06-20 | 1982-07-13 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Method and apparatus for non-contact ultrasonic flaw detection |
| JPS58216938A (ja) * | 1982-06-11 | 1983-12-16 | Kawasaki Steel Corp | 金属物体表面探傷装置 |
| CN1186972C (zh) * | 2000-02-11 | 2005-01-26 | 蒂科电子比利时公司 | 印制电路板 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5333857B2 (ja) * | 1972-03-18 | 1978-09-18 |
-
1973
- 1973-12-25 JP JP743068A patent/JPS5829458B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5097386A (ja) | 1975-08-02 |
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