JPS5829574B2 - 質量分析計の試料導入装置 - Google Patents
質量分析計の試料導入装置Info
- Publication number
- JPS5829574B2 JPS5829574B2 JP54116197A JP11619779A JPS5829574B2 JP S5829574 B2 JPS5829574 B2 JP S5829574B2 JP 54116197 A JP54116197 A JP 54116197A JP 11619779 A JP11619779 A JP 11619779A JP S5829574 B2 JPS5829574 B2 JP S5829574B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- emitter
- probe
- filament
- mass spectrometer
- introduction device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0468—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample
- H01J49/049—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample with means for applying heat to desorb the sample; Evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電界離脱形イオン源を有する質量分析計に係り
、特に、その試料導入装置の改良に関するものである。
、特に、その試料導入装置の改良に関するものである。
電界離脱形イオン源室に試料を導入するには、試料液を
付着させたフィラメントを支持しているエミッタと呼ば
れる端子部材をエミッタ支持用プローブの先端に装置し
、イオン源室に挿入することによって行われる。
付着させたフィラメントを支持しているエミッタと呼ば
れる端子部材をエミッタ支持用プローブの先端に装置し
、イオン源室に挿入することによって行われる。
試料を分析するときは、エミッタの周囲を真空状態に減
圧した後エミッタ支持用プローブの内部を通して上記エ
ミッタに接続している導線に電流を流し、フィラメント
に付着した試料を加熱気化させ、イオン源の電界効果に
よって試料物質をイオン化して分析している。
圧した後エミッタ支持用プローブの内部を通して上記エ
ミッタに接続している導線に電流を流し、フィラメント
に付着した試料を加熱気化させ、イオン源の電界効果に
よって試料物質をイオン化して分析している。
従来の試料導入装置はエミッタ支持用プローブをイオン
源に挿入した後でオペレータがスイッチを投入してエミ
ッタに電流を流し、分析終了後にスイッチを切ってエミ
ッタ支持用プローブを引出し１試料の分析操作を終了す
るようにしていた。
源に挿入した後でオペレータがスイッチを投入してエミ
ッタに電流を流し、分析終了後にスイッチを切ってエミ
ッタ支持用プローブを引出し１試料の分析操作を終了す
るようにしていた。
しかし、オペレータがスイッチを切ることを失念してエ
ミッタ支持用プローブを引出したときは、大気中でエミ
ッタに通電している状態となるので、フィラメントが断
線し再度使用することができないという問題点をもって
いた。
ミッタ支持用プローブを引出したときは、大気中でエミ
ッタに通電している状態となるので、フィラメントが断
線し再度使用することができないという問題点をもって
いた。
更に、上記エミッタのフィラメントはエミッタ作製装置
によって特殊な処理を施し、細い毛状の金属を付着させ
て試料液の保持を確実にしたものであるので、このよう
な処理を施したエミッタを新たに準備しなければならな
いことは実験効率を低下させる原因となるという欠点を
もっていた。
によって特殊な処理を施し、細い毛状の金属を付着させ
て試料液の保持を確実にしたものであるので、このよう
な処理を施したエミッタを新たに準備しなければならな
いことは実験効率を低下させる原因となるという欠点を
もっていた。
本発明はフィラメントを断線させることのない電界脱離
形イオン源を有する質量分析計の試料導入装置を提供す
ることを目的どし、その特徴とするところは、試料を付
着させたエミッタを装着したエミッタ支持用プローブが
イオン源室に挿入されたことを検出するプローブ位置検
出手段と、このプローブ位置検出手段の信号によってエ
ミッタ電流を制御する制御回路とを備え、エミッタ支持
用プローブを引抜いたときは自動的にエミッタ電流を遮
断するごとく構成したことにある。
形イオン源を有する質量分析計の試料導入装置を提供す
ることを目的どし、その特徴とするところは、試料を付
着させたエミッタを装着したエミッタ支持用プローブが
イオン源室に挿入されたことを検出するプローブ位置検
出手段と、このプローブ位置検出手段の信号によってエ
ミッタ電流を制御する制御回路とを備え、エミッタ支持
用プローブを引抜いたときは自動的にエミッタ電流を遮
断するごとく構成したことにある。
第１図は本発明の一実施例である試料導入装置のブロッ
ク線図で、第２図は第１図のエミッタの拡大斜視図であ
る。
ク線図で、第２図は第１図のエミッタの拡大斜視図であ
る。
エミッタ２は電気的絶縁材に埋設した２本の導体支柱９
の先端にフィラメント３を張り渡したもので、このフィ
ラメント３はエミッタ作製装置によって金属の毛が植毛
され、これに液体試料が保持されている。
の先端にフィラメント３を張り渡したもので、このフィ
ラメント３はエミッタ作製装置によって金属の毛が植毛
され、これに液体試料が保持されている。
このようなエミッタ２をエミッタ支持用プローブ４の先
端に取り付けると、エミッタ支持用プローブ４内を通っ
て気密に配設した導線の先端とエミッタ３の他端とが接
触して導通状態となる。
端に取り付けると、エミッタ支持用プローブ４内を通っ
て気密に配設した導線の先端とエミッタ３の他端とが接
触して導通状態となる。
また、エミッタ支持用プローブ４の中央部より右端に近
い部分には溝８が設けられており、エミッタ２がイオン
源室１に挿入され所定の位置に達するとマイクロスイッ
チ６の接片が溝８に嵌入してフィラメント３に通電する
ようになる。
い部分には溝８が設けられており、エミッタ２がイオン
源室１に挿入され所定の位置に達するとマイクロスイッ
チ６の接片が溝８に嵌入してフィラメント３に通電する
ようになる。
なお、エミッタ支持用プローブ４が移動してもプローブ
を貫通させている金具に装着した０ １Ｊング７によっ
てイオン源室１の真空は保持されている。
を貫通させている金具に装着した０ １Ｊング７によっ
てイオン源室１の真空は保持されている。
マイクロスイッチ６はインバータ１２に接続され、マイ
クロスイッチ６の接片が溝８に落ち込んだときはインバ
ータ１２の出力信号によってカウンタ１１を作動させ、
Ｄ／Ａコンバータ１３を経てエミッタ電流制御回路１４
よりフィラメント３を加熱する電流を発生させる。
クロスイッチ６の接片が溝８に落ち込んだときはインバ
ータ１２の出力信号によってカウンタ１１を作動させ、
Ｄ／Ａコンバータ１３を経てエミッタ電流制御回路１４
よりフィラメント３を加熱する電流を発生させる。
このようにして所定のカウント数、即ち、所定時間経過
しフィラメント３に付着させた試料成分がイオン化し分
析を終了した後でエミッタ支持用プローブ４を引出すと
、マイクロスイッチ６の接片が溝８から出るので、マイ
クロスイッチ６は接続状態となりインバータ１２の信号
を逆転してカウンタ１１をクリアーし、Ｄ／Ａコンバー
タ１３の信号を零とする。
しフィラメント３に付着させた試料成分がイオン化し分
析を終了した後でエミッタ支持用プローブ４を引出すと
、マイクロスイッチ６の接片が溝８から出るので、マイ
クロスイッチ６は接続状態となりインバータ１２の信号
を逆転してカウンタ１１をクリアーし、Ｄ／Ａコンバー
タ１３の信号を零とする。
これらの操作はエミッタ昇温制御部１０の指令によって
制御される。
制御される。
なお、図には省略しであるが、予備排気室１５内のイオ
ン源室１側に可動のバルブが設置され、エミッタ支持用
プローブ４を引抜いたときはイオン源室１を閉止するよ
うにしている。
ン源室１側に可動のバルブが設置され、エミッタ支持用
プローブ４を引抜いたときはイオン源室１を閉止するよ
うにしている。
第３図はフィラメントを加熱するエミッタ電流と時間と
の関係を示す線図である。
の関係を示す線図である。
エミッタ支持用プローブ４を挿入すると同時にエミッタ
電流は増加し、一定時間後は一定電流値となりＢ点にお
いてエミッタ電流は零となる。
電流は増加し、一定時間後は一定電流値となりＢ点にお
いてエミッタ電流は零となる。
このＢ点以後はエミッタ支持用プローブ４を引抜いても
、また、Ｂ点以前に誤ってエミッタ支持用プローブ４を
引出してもマイクロスイッチ６が作動してエミッタ電流
を断つのでフィラメント３が断線することはない０ このように構成された試料導入装置は、フィラメント３
に試料液を付着させてエミッタ支持用プローブ４をイオ
ン源室１に挿入したときは、自動的にエミッタ電流を制
御して試料成分をイオン化し、エミッタ支持用プローブ
４を引抜いた時は自動的にフィラメント電流を断ってフ
ィラメントの断線を防止している。
、また、Ｂ点以前に誤ってエミッタ支持用プローブ４を
引出してもマイクロスイッチ６が作動してエミッタ電流
を断つのでフィラメント３が断線することはない０ このように構成された試料導入装置は、フィラメント３
に試料液を付着させてエミッタ支持用プローブ４をイオ
ン源室１に挿入したときは、自動的にエミッタ電流を制
御して試料成分をイオン化し、エミッタ支持用プローブ
４を引抜いた時は自動的にフィラメント電流を断ってフ
ィラメントの断線を防止している。
したがって、エミッタ２は繰返し使用することができて
能率的な分析が可能となる。
能率的な分析が可能となる。
本実施例の試料導入装置は、エミッタ支持用プローブの
溝にマイクロスイッチの接片が落ち込んだ時にフィラメ
ント加熱制御回路が作動するように構成されているので
、フィラメントを断線させることなく何回も使用するこ
とが可能となり、分析能率を向上させるという効果をも
っている。
溝にマイクロスイッチの接片が落ち込んだ時にフィラメ
ント加熱制御回路が作動するように構成されているので
、フィラメントを断線させることなく何回も使用するこ
とが可能となり、分析能率を向上させるという効果をも
っている。
本発明の質量分析計の試料導入装置は、フィラメントの
断線を防止できるという効果が得られる。
断線を防止できるという効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例である試料導入装置のブロッ
ク線図、第２図は第１図のエミッタの拡大斜視図、第３
図はフィラメントを加熱するエミッタ電流と時間との関
係を示す線図である。 １・・・・・・イオン源室、２・・・・・・エミッタ、
３・・・・・・フィラメント、４・・・・・・エミッタ
支持用プローブ、５・・・・・・プローブ位置検出装置
、６・・・・・・マイクロスイッチ、７・・・・・・Ｏ
ＩＪソング８・・・・・・溝、９・・・・・・導体支柱
、１０・・・・・・エミッタ昇温制御部、１１・・・・
・・カウンタ、１２・・・・・・インバータ、１３・・
・・・・Ｄ／Ａコンバータ、１４・・・・・・エミッタ
電流制御回路、１５・・・・・・予備排気室。
ク線図、第２図は第１図のエミッタの拡大斜視図、第３
図はフィラメントを加熱するエミッタ電流と時間との関
係を示す線図である。 １・・・・・・イオン源室、２・・・・・・エミッタ、
３・・・・・・フィラメント、４・・・・・・エミッタ
支持用プローブ、５・・・・・・プローブ位置検出装置
、６・・・・・・マイクロスイッチ、７・・・・・・Ｏ
ＩＪソング８・・・・・・溝、９・・・・・・導体支柱
、１０・・・・・・エミッタ昇温制御部、１１・・・・
・・カウンタ、１２・・・・・・インバータ、１３・・
・・・・Ｄ／Ａコンバータ、１４・・・・・・エミッタ
電流制御回路、１５・・・・・・予備排気室。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電界脱離形イオン源室を有する質量分析計において
、試料を付着させたエミッタを装着したエミッタ支持用
プローブがイオン源室に挿入されたことを検出するプロ
ーブ位置検出手段と、このプローブ位置検出手段が発生
する信号によって上記エミッタに流す電流を制御する制
御回路とを備え、上記エミッタ支持用プローブを引抜い
た時はエミッタ電流を自動的に遮断するごとく構成した
ことを特徴とする質量分析計の試料導入装置。 ２ 上記プローブ位置検出手段が、上記エミッタ支持用
プローブに設けた溝に嵌入する接片を有するマイクロス
イッチである特許請求の範囲第１項記載の質量分析計の
試料導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54116197A JPS5829574B2 (ja) | 1979-09-12 | 1979-09-12 | 質量分析計の試料導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54116197A JPS5829574B2 (ja) | 1979-09-12 | 1979-09-12 | 質量分析計の試料導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5641665A JPS5641665A (en) | 1981-04-18 |
| JPS5829574B2 true JPS5829574B2 (ja) | 1983-06-23 |
Family
ID=14681233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54116197A Expired JPS5829574B2 (ja) | 1979-09-12 | 1979-09-12 | 質量分析計の試料導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5829574B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0462283U (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-28 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6876668B2 (ja) | 2018-11-21 | 2021-05-26 | 日本電子株式会社 | 質量分析システム及びエミッタ電流制御方法 |
-
1979
- 1979-09-12 JP JP54116197A patent/JPS5829574B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0462283U (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5641665A (en) | 1981-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2806991A (en) | Electrical vapor detector | |
| EP1082750B1 (en) | Pulsed ion source for ion trap mass spectrometer | |
| JPH031435A (ja) | 質量分析法のためのイオン化法 | |
| US3841835A (en) | Means for providing an information signal of sample introduction in apparatus for chemical analysis | |
| GB842897A (en) | Improvements relating to electrical vapour detectors | |
| JPS5829574B2 (ja) | 質量分析計の試料導入装置 | |
| EP0488371A2 (en) | Mass spectrometer ion source | |
| US5317270A (en) | Cold cathode ionization vacuum gauge with guard ring | |
| JPH10233187A (ja) | 四重極質量分析計 | |
| US7026611B2 (en) | Analytical instruments, ionization sources, and ionization methods | |
| US3400514A (en) | Carrier gas separating device | |
| US3158740A (en) | Mass spectrometer sample insertion devices | |
| US3410472A (en) | Electrically isolated copper soldering iron tip | |
| US3286216A (en) | Electric terminal | |
| USRE26392E (en) | Mass spectrometer sample insertion devices | |
| JP2000162185A (ja) | ガスクロマトグラフ質量分析装置 | |
| JPH03261061A (ja) | ガスクロマトグラフ質量分析計 | |
| JPS5848771Y2 (ja) | 質量分析装置における共用イオン源 | |
| JPH02123638A (ja) | 軽元素イオン源 | |
| JP3535117B2 (ja) | イオントラップ型質量分析計 | |
| SU911301A1 (ru) | Электронно-захватный детектор дл газовой хроматографии | |
| JPS61140046A (ja) | 質量分析型残留ガス分析計における加熱脱ガス方法 | |
| JP3039933B2 (ja) | 質量分析計 | |
| JPH0638346Y2 (ja) | 温度検出装置 | |
| JPH1012187A (ja) | イオントラップ質量分析計 |