JPS5830711A - 導波路形レンズの作製方法 - Google Patents
導波路形レンズの作製方法Info
- Publication number
- JPS5830711A JPS5830711A JP12821681A JP12821681A JPS5830711A JP S5830711 A JPS5830711 A JP S5830711A JP 12821681 A JP12821681 A JP 12821681A JP 12821681 A JP12821681 A JP 12821681A JP S5830711 A JPS5830711 A JP S5830711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- layer
- lens
- heated
- sio2
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は導波路形レンズの作製方法に関する〇近紙電気
的手法に代えて、光を通信、情報処珈等に使おうとする
研究が盛んに行われている。これらの分野では小形の光
部品が必要となり１導波路レンズは光部品を構成する主
要な素子の一つである口従来、導波路レンズとしてはモ
ードインデックスレンズ、ルネプルグレンズ、ジオデシ
ックレンズ等があり、特にジオデシックレンズは比較的
作製し易いので注目されはじめたＯ 第１図に前記３種類の導波路形レンズの模式図を示し、
（ａ）はモードインデックスレンズ、Φ）はルネプルグ
レンズ、（０）はジオデシックレンズを示したものであ
る０ これまでのレンズは第１図に示すように、光ファイバの
コアに相当するような埋め込み形の導波構造を宥してい
ないので、光ファイバとの接続が困難であり、端面の処
理がむずかしく、界面の散乱損失が大きいという欠点が
あった０ 本発明はジオデシックレンズ形状を持つ曲面上に屈折率
の高い導波層を形成し、さらにその上にクラッド層を形
成することを特徴とし、その目的は光ファイバとの接続
が容易でありＳｍｍの処理がし易く、界面の散乱損失を
減少させる薄膜レンズを提供することにある。
的手法に代えて、光を通信、情報処珈等に使おうとする
研究が盛んに行われている。これらの分野では小形の光
部品が必要となり１導波路レンズは光部品を構成する主
要な素子の一つである口従来、導波路レンズとしてはモ
ードインデックスレンズ、ルネプルグレンズ、ジオデシ
ックレンズ等があり、特にジオデシックレンズは比較的
作製し易いので注目されはじめたＯ 第１図に前記３種類の導波路形レンズの模式図を示し、
（ａ）はモードインデックスレンズ、Φ）はルネプルグ
レンズ、（０）はジオデシックレンズを示したものであ
る０ これまでのレンズは第１図に示すように、光ファイバの
コアに相当するような埋め込み形の導波構造を宥してい
ないので、光ファイバとの接続が困難であり、端面の処
理がむずかしく、界面の散乱損失が大きいという欠点が
あった０ 本発明はジオデシックレンズ形状を持つ曲面上に屈折率
の高い導波層を形成し、さらにその上にクラッド層を形
成することを特徴とし、その目的は光ファイバとの接続
が容易でありＳｍｍの処理がし易く、界面の散乱損失を
減少させる薄膜レンズを提供することにある。
第一図は本発明に使用するジオデシックレンズの形状と
なる基板の一例を示し、（〜は平［１０ｇ：ｉ、（ｂ）
は側面図で、長さ７０■、輻〃鴎、厚さ７閤の石、英基
板上に、半径７．ｊ−の曲面が形成されている。
なる基板の一例を示し、（〜は平［１０ｇ：ｉ、（ｂ）
は側面図で、長さ７０■、輻〃鴎、厚さ７閤の石、英基
板上に、半径７．ｊ−の曲面が形成されている。
曲面の曲率中径は１２．９−、頂角は７／Ｊ ’であり
、平Ｉｍ部分から曲面へ移行する部分は約／ｗｇの曲率
を持っており、レンズの周辺のエツジの部分で生じるモ
ード変換および光の散乱を防止する構造となっており、
焦点距離はＪ７１１１１である。
、平Ｉｍ部分から曲面へ移行する部分は約／ｗｇの曲率
を持っており、レンズの周辺のエツジの部分で生じるモ
ード変換および光の散乱を防止する構造となっており、
焦点距離はＪ７１１１１である。
第１図は本発明を実施するための装置の一例を示し、コ
は原料ガス供給部、Ｊは接続用パイプ１ダは電気炉、Ｓ
は反応管、ぷは排気口である。原料ガス供給ＷＬコは接
続用パイプＪにより、反応管Ｓの内に気体を供給するよ
うになっており、気体は反応管ｊを通過した後Ｓ排気口
ぶから排気される。次のこの装置の作用を説明する。
は原料ガス供給部、Ｊは接続用パイプ１ダは電気炉、Ｓ
は反応管、ぷは排気口である。原料ガス供給ＷＬコは接
続用パイプＪにより、反応管Ｓの内に気体を供給するよ
うになっており、気体は反応管ｊを通過した後Ｓ排気口
ぶから排気される。次のこの装置の作用を説明する。
ジオデシックレンズ用基板ｌを反応管ｊの内に固定し、
約２００℃に加熱する◎原料ガス供給［Ｊ内の８１０４
．およびＴ１０−の温度をＸ″Ｃに保っ◎その中に釘ガ
スを流量それぞれ／ｊＯｃｖａｉｎおよび５０ＣＣ／
ｗｉｎの条件で流し、各ガラス原料を反応管Ｓ内に導入
すると同時に、約１００ ｃｃ ／ｍｉｎの０゜を導入
し、約＃００℃に加熱して酸化反応を生じさ、せ、ｓ１
０□＋Ｔｉｅ、のガラス微粒子を形成し１ジオ。
約２００℃に加熱する◎原料ガス供給［Ｊ内の８１０４
．およびＴ１０−の温度をＸ″Ｃに保っ◎その中に釘ガ
スを流量それぞれ／ｊＯｃｖａｉｎおよび５０ＣＣ／
ｗｉｎの条件で流し、各ガラス原料を反応管Ｓ内に導入
すると同時に、約１００ ｃｃ ／ｍｉｎの０゜を導入
し、約＃００℃に加熱して酸化反応を生じさ、せ、ｓ１
０□＋Ｔｉｅ、のガラス微粒子を形成し１ジオ。
デシツクレンズ用基ＩＩｆＬｌ上に堆積する。８１０゜
−Ｔ１０２系ガラ、スを用いる珊白は、これが低熱＃張
係数を宥し、得られるａ、１ｏ２− Ｔｉｅ、導波路が
ガラス透明化において割れる心配がないからである。さ
らにｐＱｏ、を微量添加することもガラス軟化温度の低
減に有効である。堆積時間は約５分である０次に８１０
ｊ４／ｉ ｃｃ ／ １ｌｉｎと０□１００ ｃｃ ／
ｍｉｎ （Ｄみを反応管Ｓ内に導入し、同様に加熱酸
化させて８１０２のガラス微粒子を８１０． 十Ｔｉｅ
、層の上に堆積する。堆積時間は約２時間である。
−Ｔ１０２系ガラ、スを用いる珊白は、これが低熱＃張
係数を宥し、得られるａ、１ｏ２− Ｔｉｅ、導波路が
ガラス透明化において割れる心配がないからである。さ
らにｐＱｏ、を微量添加することもガラス軟化温度の低
減に有効である。堆積時間は約５分である０次に８１０
ｊ４／ｉ ｃｃ ／ １ｌｉｎと０□１００ ｃｃ ／
ｍｉｎ （Ｄみを反応管Ｓ内に導入し、同様に加熱酸
化させて８１０２のガラス微粒子を８１０． 十Ｔｉｅ
、層の上に堆積する。堆積時間は約２時間である。
次に第４図に示すように、ジオデシックレンス用基ＩＩ
ｉ、ｌの表面にガラス微粒子が堆積した導波路形レンズ
７を、別の加１１１％Ｆ４”の内にあるアルミナ板ｌ上
ニ′！装置する。炉内Ｃ！１００ ＣＣ／ ＷｉｎのＨ
ｅと幅の温容ガスを流しなから／ｊ００℃に加熱し、約
Ｘ分間保持する。その結果、ガラス微粒子５１０２およ
び８１０２＋ ＴｉＱｇは透明ガラス化する。このとき
のガラスの堆積膜厚は８１０８層約コＯＯμｍ、８１０
Ｂ十Ｔｉｅ、層は約７声■であり、Ｂ１０２の屈折率は
１．ｏｒ。
ｉ、ｌの表面にガラス微粒子が堆積した導波路形レンズ
７を、別の加１１１％Ｆ４”の内にあるアルミナ板ｌ上
ニ′！装置する。炉内Ｃ！１００ ＣＣ／ ＷｉｎのＨ
ｅと幅の温容ガスを流しなから／ｊ００℃に加熱し、約
Ｘ分間保持する。その結果、ガラス微粒子５１０２およ
び８１０２＋ ＴｉＱｇは透明ガラス化する。このとき
のガラスの堆積膜厚は８１０８層約コＯＯμｍ、８１０
Ｂ十Ｔｉｅ、層は約７声■であり、Ｂ１０２の屈折率は
１．ｏｒ。
８１０２＋ ＴｉｅＪ！の屈折率は！、事ｊである。
１１１ｉｊ図は作製された導波路形レンズの断面図であ
る。このように屈折率の高い８１０２＋ＴｉＯ□層ｔを
両側から屈折率の低い８１０２層１０で挾み込んだ構造
となっているので、ファイバとの接続が容易であり、端
面処理および界面の散乱損失の低減化に有利である□ 以上説明したように〜本発明の導波路形レンズの作馬方
法によれば、ジオデシックレンズ形状を有する曲面上に
導波層を形成し、さらにその上にクラッド層な形成する
ことにより、埋め込み形の導波層が作製されているので
、光ファイバとの結合が容易となり、端面の処理がし易
く、界面の散乱損失を減少させることができるという利
点がある０
る。このように屈折率の高い８１０２＋ＴｉＯ□層ｔを
両側から屈折率の低い８１０２層１０で挾み込んだ構造
となっているので、ファイバとの接続が容易であり、端
面処理および界面の散乱損失の低減化に有利である□ 以上説明したように〜本発明の導波路形レンズの作馬方
法によれば、ジオデシックレンズ形状を有する曲面上に
導波層を形成し、さらにその上にクラッド層な形成する
ことにより、埋め込み形の導波層が作製されているので
、光ファイバとの結合が容易となり、端面の処理がし易
く、界面の散乱損失を減少させることができるという利
点がある０
第７図は導波路形レンズの構成何回、第２図はジオデシ
ックレンズ用基板の概略図、１８１図はガラス微粒子を
堆積するための装置の概略図１第参図は透明ガラス化の
ための装置の概略図−第Ｓ図、は作製された導波路形レ
ンズの断面図である。 ｌ・・・ジオデシックレンズ用基板、コ・・・原料ガス
供給部、Ｊ・・・接続用パイプ、ダ・・・電気炉、参′
・・・加熱炉−よ・・・反応管、ｄ・・・排気口、７・
・・導波路形レンズ、ｌ・・・アルミナ板、デ・・・８
１０． ＋ ’Ｉ’１０２ガラス、ＩＯ・−８１０，ガ
ラス。 特許出願人 日本電信亀話公社
ックレンズ用基板の概略図、１８１図はガラス微粒子を
堆積するための装置の概略図１第参図は透明ガラス化の
ための装置の概略図−第Ｓ図、は作製された導波路形レ
ンズの断面図である。 ｌ・・・ジオデシックレンズ用基板、コ・・・原料ガス
供給部、Ｊ・・・接続用パイプ、ダ・・・電気炉、参′
・・・加熱炉−よ・・・反応管、ｄ・・・排気口、７・
・・導波路形レンズ、ｌ・・・アルミナ板、デ・・・８
１０． ＋ ’Ｉ’１０２ガラス、ＩＯ・−８１０，ガ
ラス。 特許出願人 日本電信亀話公社
Claims (1)
- Ｌ 超音波加工または機械的加工によって、石英基板上
にジオデシックレンズ形状の寸法を持つくぼみを形成し
、光学研磨面に仕上げた表面上に光導波路としての８１
０□−’Ｉ’１０２系の多孔質ガラス膜を堆積し・さら
にその上に８１０２系の多孔質ガラス膜を堆積した後、
これらの多孔質ガラス膜を加熱して透明ガラス化するこ
とを特徴とする導波路形レンズの作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12821681A JPS5830711A (ja) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | 導波路形レンズの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12821681A JPS5830711A (ja) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | 導波路形レンズの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830711A true JPS5830711A (ja) | 1983-02-23 |
Family
ID=14979360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12821681A Pending JPS5830711A (ja) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | 導波路形レンズの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830711A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS635309A (ja) * | 1986-04-04 | 1988-01-11 | ケルンフオルシユングスツエントルム・カ−ルスル−エ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | １つまたはそれ以上のエシユレツト格子を有する受動光学構成素子の製造法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5411757A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-29 | Olympus Optical Co Ltd | Lens for thin-film optical guide |
-
1981
- 1981-08-18 JP JP12821681A patent/JPS5830711A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5411757A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-29 | Olympus Optical Co Ltd | Lens for thin-film optical guide |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS635309A (ja) * | 1986-04-04 | 1988-01-11 | ケルンフオルシユングスツエントルム・カ−ルスル−エ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | １つまたはそれ以上のエシユレツト格子を有する受動光学構成素子の製造法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3873339A (en) | Method of forming optical waveguide circuit path | |
| JP3262259B2 (ja) | プレーナ光導波路の改善された製造方法 | |
| JP2855832B2 (ja) | 石英系光導波路の製造方法 | |
| Yamane et al. | Preparation of gradient-index glass rods by the sol-gel process | |
| JPS5992929A (ja) | 偏波保持光フアイバの製造方法 | |
| JPS58149007A (ja) | マルチプルフアイバ | |
| JPS6228098B2 (ja) | ||
| JPS59198407A (ja) | 回折格子付き光導波膜の製造方法 | |
| JPS6332731B2 (ja) | ||
| JP2603652B2 (ja) | 光導波路製造方法 | |
| US20020064360A1 (en) | Optical waveguide and a method for producing it | |
| JPS602905A (ja) | 拡散形ガラス導波路の製造方法 | |
| JPS6365619B2 (ja) | ||
| JP2618260B2 (ja) | 光ファイバ母材用中間体の製造方法 | |
| JP2588710B2 (ja) | 石英系光導波膜の製造方法 | |
| JPS59456B2 (ja) | 光ガラスフアイバの製造方法 | |
| JPS58115403A (ja) | 多心定偏波光フアイバおよびその製法 | |
| JPS63184707A (ja) | 平面状光導波路の製造方法 | |
| JPS63157107A (ja) | 高複屈折性単一モ−ドガラス光導波路 | |
| JPS6212180B2 (ja) | ||
| JPH08106022A (ja) | 光導波路の製造方法 | |
| JPS58111001A (ja) | フアイバ形偏光子の作製方法 | |
| JPH08136754A (ja) | 光導波路の作製方法 | |
| JPH04147201A (ja) | 石英系光導波路及びその製造方法 | |
| JPS6011241A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 |