JPS583101Y2 - Mos fetの特性測定回路 - Google Patents
Mos fetの特性測定回路Info
- Publication number
- JPS583101Y2 JPS583101Y2 JP15570179U JP15570179U JPS583101Y2 JP S583101 Y2 JPS583101 Y2 JP S583101Y2 JP 15570179 U JP15570179 U JP 15570179U JP 15570179 U JP15570179 U JP 15570179U JP S583101 Y2 JPS583101 Y2 JP S583101Y2
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- Japan
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- power supply
- voltage
- input terminal
- circuit
- pulse generator
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、NチャンネルMO8FETやCMO8(相
補型MO8) FETなどで動作中に発生する負性抵抗
ブレークダウン(またはスナップバック、スイッチバッ
ク)電圧やラッチアップ電圧を測定するMOS FET
の特性側定向路に関するものである。
補型MO8) FETなどで動作中に発生する負性抵抗
ブレークダウン(またはスナップバック、スイッチバッ
ク)電圧やラッチアップ電圧を測定するMOS FET
の特性側定向路に関するものである。
従来のこの種回路を第1図に示し、1はパルス発生器、
2は周波数選択スイッチ、3はパルスレベル設定スイッ
チ、4はパルス出力端子、5はパルス用配線、6は被測
定回路、7は被測定回路6の入力端子、8は電源配線、
9はGND配線、10は被測定回路6の出力端子、11
は配線、12はオシロスコープ入力端子、13はオシロ
スコープ、14は電源、15は電源出力端子、16は出
力電圧設定スイッチ、17は電圧レベルメータである。
2は周波数選択スイッチ、3はパルスレベル設定スイッ
チ、4はパルス出力端子、5はパルス用配線、6は被測
定回路、7は被測定回路6の入力端子、8は電源配線、
9はGND配線、10は被測定回路6の出力端子、11
は配線、12はオシロスコープ入力端子、13はオシロ
スコープ、14は電源、15は電源出力端子、16は出
力電圧設定スイッチ、17は電圧レベルメータである。
そして、この測定回路においては、パルス発生器1の周
波数選択スイッチ2で周波数を定め、パルスレベル設定
スイッチ3で、パルス出力端子4からでるパルスレベル
を設定し、パルス用配線5で被測定回路6の入力端子7
にパルスを供給する。
波数選択スイッチ2で周波数を定め、パルスレベル設定
スイッチ3で、パルス出力端子4からでるパルスレベル
を設定し、パルス用配線5で被測定回路6の入力端子7
にパルスを供給する。
この場合、パルスレベルは、通常、被測定回路6の電源
の配線8,9によって加えられている電圧と同じか、そ
れ以下のレベルが設定される。
の配線8,9によって加えられている電圧と同じか、そ
れ以下のレベルが設定される。
また、被測定回路6の出力波形は、出力端子10が配線
11によりオシロスコープ13の入力端子12に接続さ
れることにより、このオシロスコープ13で観測される
。
11によりオシロスコープ13の入力端子12に接続さ
れることにより、このオシロスコープ13で観測される
。
さらに、被測定回路6の電源は、電源14により、その
電源出力端子15から配線8,9により加えられている
。
電源出力端子15から配線8,9により加えられている
。
しかして、上記のような回路により、被測定回路(MO
S FET)6が負性抵抗ブレークダウンやラッチアッ
プを起す電圧を測定する場合は、被測定回路6の電源電
圧VDを電源14の出力電圧設定スイッチ16を用いて
順次上昇させていき、それに伴って、任意の周波数に設
定したパルス発生器1のパルスレベル設定スイッチ3を
用いてパルスレベルを電源電圧■。
S FET)6が負性抵抗ブレークダウンやラッチアッ
プを起す電圧を測定する場合は、被測定回路6の電源電
圧VDを電源14の出力電圧設定スイッチ16を用いて
順次上昇させていき、それに伴って、任意の周波数に設
定したパルス発生器1のパルスレベル設定スイッチ3を
用いてパルスレベルを電源電圧■。
レベルと同等レベルに上昇させることを繰り返し、オシ
ロスコープ13で被測定回路6の出力波形、電源14の
レベルメータ17で電源電圧v′Dを観測し、急激な、
波形の変動゛、レベルメータ17の低下が生じる電源電
圧を読みとり、その値を負性抵抗ブレークダウン電圧B
VsDJラッチアップ電圧BVLとする。
ロスコープ13で被測定回路6の出力波形、電源14の
レベルメータ17で電源電圧v′Dを観測し、急激な、
波形の変動゛、レベルメータ17の低下が生じる電源電
圧を読みとり、その値を負性抵抗ブレークダウン電圧B
VsDJラッチアップ電圧BVLとする。
゛−しかるに、このような測定回路では、
電源電圧の上昇に伴って、被測定回路6へ入力させるパ
ルスレベルを逐次変える必要があり、また負性抵抗ブレ
ークダウンまたはラッチアップが起ったときには、被測
定回路6内に大電流(数百mA以上)が流れる可能性が
あって、通常のMOS FETのICJ集積回路)など
では内部の金属配線などが溶断し、破壊され、再現性も
なくなるという欠点があった。
電源電圧の上昇に伴って、被測定回路6へ入力させるパ
ルスレベルを逐次変える必要があり、また負性抵抗ブレ
ークダウンまたはラッチアップが起ったときには、被測
定回路6内に大電流(数百mA以上)が流れる可能性が
あって、通常のMOS FETのICJ集積回路)など
では内部の金属配線などが溶断し、破壊され、再現性も
なくなるという欠点があった。
この考案は上記の点に鑑みなされたもので、MOSFE
Tの負性抵抗プレーZダウンまたはラッチアップ電圧を
容易にかつ操作性よく測定でき、しかも再現性も得るこ
とができるMOSFETの特性測定回路を提供すること
を目的とする。
Tの負性抵抗プレーZダウンまたはラッチアップ電圧を
容易にかつ操作性よく測定でき、しかも再現性も得るこ
とができるMOSFETの特性測定回路を提供すること
を目的とする。
以下この考案の実施例を図面を参照して説明する。
第2図はこの考案の実施例を示す図である。この図にお
いて、21は水晶振動子またはCRで発振する発振回路
や分周回路を内部したMOS FET(MOS IC
)からなるパルス発生器で、電源入力端子、22とパル
ス信号出力端子23を有する。
いて、21は水晶振動子またはCRで発振する発振回路
や分周回路を内部したMOS FET(MOS IC
)からなるパルス発生器で、電源入力端子、22とパル
ス信号出力端子23を有する。
また、24は出力端子25を有し、電圧と電流を可変し
得る直流電源回路、26は電圧降下用抵抗である。
得る直流電源回路、26は電圧降下用抵抗である。
さらに、27は単数よ、たは複数のMOSFETからな
り、電源電圧入力端子28と信号入力端子29さらには
庄号出力端子30を有する被測定回路、31は供給電圧
測定手段としての電圧計、32は波形観測用のオシロス
コープである。
り、電源電圧入力端子28と信号入力端子29さらには
庄号出力端子30を有する被測定回路、31は供給電圧
測定手段としての電圧計、32は波形観測用のオシロス
コープである。
そして、上記直流電源回路24の出力端子25がパルス
発生器21の電源入力端子22に接続キれるが、この両
端子22.25間に電圧降下用抵抗26が介在される。
発生器21の電源入力端子22に接続キれるが、この両
端子22.25間に電圧降下用抵抗26が介在される。
また、パルス発生器21の電源入力端子22に被測定回
路27の電源電圧入力端子28が接続されるとともに、
パルス発生器21のパルス信号出力端子23に被測定回
路27の信号入力端子29が接続されており、さらに被
測定回路27の信号出力端子30にオシロスコープ32
が接続される。
路27の電源電圧入力端子28が接続されるとともに、
パルス発生器21のパルス信号出力端子23に被測定回
路27の信号入力端子29が接続されており、さらに被
測定回路27の信号出力端子30にオシロスコープ32
が接続される。
また、電圧計31は、パルス発生器21の電源入力端子
22と接地電位間に接続されるものである。
22と接地電位間に接続されるものである。
なお、パルス発生器21のMOSFETには負抵抗ブレ
ークダウンまたはラッチアップ電圧が充分高いMOS
FETが使用される。
ークダウンまたはラッチアップ電圧が充分高いMOS
FETが使用される。
また、このようなMOSFETからなる上記パルス発生
器21は、出力パルス信号レベル(信号電圧)が電源電
圧と等しく、かつ電源電圧に応じて可変して取出せるの
で、被測定回路27の入力パルス信号源としては最適で
ある。
器21は、出力パルス信号レベル(信号電圧)が電源電
圧と等しく、かつ電源電圧に応じて可変して取出せるの
で、被測定回路27の入力パルス信号源としては最適で
ある。
このように構成された回路により、被測定回路(MOS
FET)27が負性抵抗ブレークダウンやラッチアッ
プを起す電圧を測定する方法について述べると、負性抵
抗ブレークダウンまたラッチアップ現象は、MOSFE
Tの動作中に発生し、電源電圧に依存する。
FET)27が負性抵抗ブレークダウンやラッチアッ
プを起す電圧を測定する方法について述べると、負性抵
抗ブレークダウンまたラッチアップ現象は、MOSFE
Tの動作中に発生し、電源電圧に依存する。
ゆえに、パルス発生器21から被測定回路27にパルス
信号を供給して動作させながら、直流電源回路24の出
力電圧を上げていく。
信号を供給して動作させながら、直流電源回路24の出
力電圧を上げていく。
この場合、直流電源回路24の出力電流は、通常動作に
おいて、パルス発生器21と被測定回路27で必要とさ
れる電流値に制限しておく。
おいて、パルス発生器21と被測定回路27で必要とさ
れる電流値に制限しておく。
そして、このようにしておいて電圧を上げていくと、あ
る電圧値■Xで負性抵抗ブレークダウンまたはラップア
ップが発生する。
る電圧値■Xで負性抵抗ブレークダウンまたはラップア
ップが発生する。
その電圧・電流特性は第3図のようになり、急激な大電
流が流れる。
流が流れる。
この最大電圧が上記現象の電圧(BVSDまたはBvL
)となるわけであり、これを電圧計31で読み取る。
)となるわけであり、これを電圧計31で読み取る。
また、その時の被測定回路27の出力波形をオシロスコ
ープ32で観測する。
ープ32で観測する。
ところで、急激な電流増加が続いて、その電流が被測定
回路27に流れ込むと、その内部回路が破壊されるおそ
れがある。
回路27に流れ込むと、その内部回路が破壊されるおそ
れがある。
しかるに、上記回路においては、急激な電流増加が生じ
ると、その電流による電圧降下が抵抗26で生じて被測
定回路27の電源電圧が下がる。
ると、その電流による電圧降下が抵抗26で生じて被測
定回路27の電源電圧が下がる。
したがって、被測定回路27は負性抵抗ブレークダウン
などの発生が押えられて正常動作に戻り、破壊が防止さ
れるようになり、その結果、被測定回路27の再測定が
でき、再現性が生じる。
などの発生が押えられて正常動作に戻り、破壊が防止さ
れるようになり、その結果、被測定回路27の再測定が
でき、再現性が生じる。
なお、このような測定回路においては、電源電圧により
出力パルス信号レベルが変化するパルス発生器21を被
測定回路27と同じ電源電圧で動作させるものであるか
ら、測定条件は絶えず一定である。
出力パルス信号レベルが変化するパルス発生器21を被
測定回路27と同じ電源電圧で動作させるものであるか
ら、測定条件は絶えず一定である。
以上実施例で詳述したように、この考案のMOSFET
の特性測定回路では、MOSFETで構成さ、れ出力パ
ルス信号レベルが電源電圧により可変されるパルス発生
器を被測定回路(MOSFET)と同一な電源電圧で使
用上でいるため、電源電圧の上昇に伴いパルス信号レベ
ルを逐次変える操作が不要であり、操作が簡単になる。
の特性測定回路では、MOSFETで構成さ、れ出力パ
ルス信号レベルが電源電圧により可変されるパルス発生
器を被測定回路(MOSFET)と同一な電源電圧で使
用上でいるため、電源電圧の上昇に伴いパルス信号レベ
ルを逐次変える操作が不要であり、操作が簡単になる。
また、パルス信号のレベル合せは必要なく、絶えず一定
した周波数゛とパルス幅が得られ、測定毎の条件の差(
周波数、パルス幅などの差)が生じないため、データの
比較が容易である。
した周波数゛とパルス幅が得られ、測定毎の条件の差(
周波数、パルス幅などの差)が生じないため、データの
比較が容易である。
さらに、上記測定回路によれば、負性抵抗ブレークダウ
ンやラッチアップが起った時に、抵抗の電圧降下により
、被測定回路に対する大電流の流入防止が図られるため
、被測定回路を破壊することなく測定可能となり、また
再現性を得ることができる。
ンやラッチアップが起った時に、抵抗の電圧降下により
、被測定回路に対する大電流の流入防止が図られるため
、被測定回路を破壊することなく測定可能となり、また
再現性を得ることができる。
このように、この考案のMOSFETの特性測定回路に
よれば、種々の設計基準やプロセス条件で作ったMOS
FETの特性を容易にがっ:操作性よく、シかも再現性
を有して測定できるものである。
よれば、種々の設計基準やプロセス条件で作ったMOS
FETの特性を容易にがっ:操作性よく、シかも再現性
を有して測定できるものである。
第1図は従来のMOSFETの特性測定回路を示す構成
図、第2図はこの考案によるMOSFETの特性測定回
路の実施例を示す構成図、第3図は負性抵抗特性図であ
る。 21・・・・・・パルス発生器、22・・・・・・電源
入力端子、23・・・・・・パルス信号出力端子、24
・・・・・・直流電源回路、25・・・・・・出力端子
、26・・・・・・電圧降下用抵抗、27・・・・・・
被測定回路、28・・・・・・電源電圧入力端子、29
・・・・・・信号入力端子、30・・・・・・信号出力
端子、31・・・・・・電圧計。
図、第2図はこの考案によるMOSFETの特性測定回
路の実施例を示す構成図、第3図は負性抵抗特性図であ
る。 21・・・・・・パルス発生器、22・・・・・・電源
入力端子、23・・・・・・パルス信号出力端子、24
・・・・・・直流電源回路、25・・・・・・出力端子
、26・・・・・・電圧降下用抵抗、27・・・・・・
被測定回路、28・・・・・・電源電圧入力端子、29
・・・・・・信号入力端子、30・・・・・・信号出力
端子、31・・・・・・電圧計。
Claims (1)
- MOSFETからなり、電源入力端子とパルス信号出力
端子を有し、電源電圧によりパルス信号電圧が可変され
るパルス発生器と、出力電圧を可変可能な直流電源回路
と、この電源回路の出力部と上記パルス発生器の電源入
力端子間に結合された電圧降下用抵抗と、上記パルス発
生器の電源入力端子に結合された電源電圧入力端子と上
記パルス発生器の信号出力端□子に結合された信号入力
端子を有し、単数または複数のMOSFETからなる被
測定回路と、上記パルス発生器の電源入力端子と接地電
位間に結合された供給電圧測定手段とを具備してなるM
OSFETの特性測定回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15570179U JPS583101Y2 (ja) | 1979-11-12 | 1979-11-12 | Mos fetの特性測定回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15570179U JPS583101Y2 (ja) | 1979-11-12 | 1979-11-12 | Mos fetの特性測定回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5674373U JPS5674373U (ja) | 1981-06-18 |
| JPS583101Y2 true JPS583101Y2 (ja) | 1983-01-19 |
Family
ID=29667444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15570179U Expired JPS583101Y2 (ja) | 1979-11-12 | 1979-11-12 | Mos fetの特性測定回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS583101Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-11-12 JP JP15570179U patent/JPS583101Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5674373U (ja) | 1981-06-18 |
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