JPS5832348A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
透過型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5832348A JPS5832348A JP56130618A JP13061881A JPS5832348A JP S5832348 A JPS5832348 A JP S5832348A JP 56130618 A JP56130618 A JP 56130618A JP 13061881 A JP13061881 A JP 13061881A JP S5832348 A JPS5832348 A JP S5832348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- objective lens
- lens
- pole piece
- magnetic pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本錐明は＃ｃ′ＩＩＩ＃＃ｉとに細く絞られた電子線を
層射し、＃ｃＩＩＩ＃函上の微小部分の分析を行うこと
のできる透過渥電子頴黴鏡に関する・ 透過臘電子頴黴虜において、試料の透過像を観察しなが
ら試料を移動さぜ、分析しようとする部分を透過像中の
中央ｌｌｆ：配置させた後、１ｉｔｓ段の収束レンズに
より電子線を紋、って分析しようとするＳ＆にのみ電子
線を照射し、そのＳ発生するＸ線等を１ＩＩＬ出して分
析を行うＣとがなされているが、電子線をｔｓ２段の収
束レンズにより績り込む過−＃Ｃおいて像中の分析しよ
うとする部分に確実に絞り込まれて行くことを確認しな
がら行うため、対物レンズは嬉１ｇ４ａ）ｇ：示ｔよう
な結像条件を満たすようにｌｋａを固定したまま行って
いる。但し第１ｇ１ＫＩ＆％で、１は試料、２は対物Ｖ
７ズ、６は中間レンズ、４は中間レンズの一面、ＪＩＢ
は電子線である。
層射し、＃ｃＩＩＩ＃函上の微小部分の分析を行うこと
のできる透過渥電子頴黴鏡に関する・ 透過臘電子頴黴虜において、試料の透過像を観察しなが
ら試料を移動さぜ、分析しようとする部分を透過像中の
中央ｌｌｆ：配置させた後、１ｉｔｓ段の収束レンズに
より電子線を紋、って分析しようとするＳ＆にのみ電子
線を照射し、そのＳ発生するＸ線等を１ＩＩＬ出して分
析を行うＣとがなされているが、電子線をｔｓ２段の収
束レンズにより績り込む過−＃Ｃおいて像中の分析しよ
うとする部分に確実に絞り込まれて行くことを確認しな
がら行うため、対物レンズは嬉１ｇ４ａ）ｇ：示ｔよう
な結像条件を満たすようにｌｋａを固定したまま行って
いる。但し第１ｇ１ＫＩ＆％で、１は試料、２は対物Ｖ
７ズ、６は中間レンズ、４は中間レンズの一面、ＪＩＢ
は電子線である。
ところが、対物レンズを高分解能の透過像が得られるよ
うに１述した虐ａ＃ｃ設定した状−では、ＩｓｍｆｌＡ
−に示すように対物レンズの−１磁界ＰＢＥの縮小率が
充分でないため７１１段の収束レンズ９を介して導かれ
た電子線ＭＢ（Ｆ）ｇ％１Ｌにおける照射域の直径は数
ｔｏｏｏλより小さくすることはで自ず、試料面上の償
小部分の分析を行うことはで１１なかった０ 本発明はこのような従来装置の欠点を解決し、分析する
試料面上の電子線の直径を大幅に縮小し微小部分の分析
を行うことので合る透過臘電子願黴鏡を提供するもので
、対物レンズの内側ｌ−りの光軸ｌｌＫ励磁コイルを、
設けると共に、対物レンズの下磁極片の下側＃Ｃ鋏下＃
１極片との閾にギャップを有して新たに磁極片を設け、
ＩＩＩ起励磁コイルを励磁した緑に−１ギャップ間に補
助レンズが形成されるようにＳａｔ、たことを轡黴とし
ている◎以下１本俺＠において基本となっている考え方
＊ ＄ＩＩｆｉｌｌ （Ｄ 光ｍ ｄｉｌ Ｋ ａｆｔ
ツイテＩ！ 明ｔ ４ 。
うに１述した虐ａ＃ｃ設定した状−では、ＩｓｍｆｌＡ
−に示すように対物レンズの−１磁界ＰＢＥの縮小率が
充分でないため７１１段の収束レンズ９を介して導かれ
た電子線ＭＢ（Ｆ）ｇ％１Ｌにおける照射域の直径は数
ｔｏｏｏλより小さくすることはで自ず、試料面上の償
小部分の分析を行うことはで１１なかった０ 本発明はこのような従来装置の欠点を解決し、分析する
試料面上の電子線の直径を大幅に縮小し微小部分の分析
を行うことので合る透過臘電子願黴鏡を提供するもので
、対物レンズの内側ｌ−りの光軸ｌｌＫ励磁コイルを、
設けると共に、対物レンズの下磁極片の下側＃Ｃ鋏下＃
１極片との閾にギャップを有して新たに磁極片を設け、
ＩＩＩ起励磁コイルを励磁した緑に−１ギャップ間に補
助レンズが形成されるようにＳａｔ、たことを轡黴とし
ている◎以下１本俺＠において基本となっている考え方
＊ ＄ＩＩｆｉｌｌ （Ｄ 光ｍ ｄｉｌ Ｋ ａｆｔ
ツイテＩ！ 明ｔ ４ 。
周吻レンズは従来においては蛾高の分解能が得られるよ
うにその励磁電流が欽定されているが、試１４１の位置
を下１に＠片側に一定赦移−させることにより、対物レ
ンズのｌｌ１１．ＩＦ磁界による試料入射電子線径の縮
小率を格ＪＲｃ増大させることがで會る◎しかしながら
、このように試料位置を移動させた場合、＄１１ ｄｉ
ｌ Ｉｋ’） Ｋ示す光ｍ図から明らかなように試料１
の像は対物レンズ１の一方に虚像５として形成され、中
間レンズ６の物＠ｉ４には形成されない。従って透過像
は観察できないため、電子―照射域を試料の分析しよう
とする部分に絞り込んで行＜Ｉｌに、それをＩＩＩＩシ
ながら行うことはできない口そこで、対物レンズ２の後
段に嬉１ｄｌｌ切ｇ：おいて６で示すような補助レンズ
を設け、補助レンズ６ｇ：よって虚像５の像が中間レン
ズ６の物＠４に形ｆｉ＆されるようにすれば、透過像を
観察しながら絞り込みを行うことができる◎尚、その−
補助レンズを対物レンズから離す楢、電子線が補助レン
ズに入射するまでに光軸から離れるＳ直が大ｉ（なり球
鋼収差が大会くなると共に、観察倍率が低下するが補助
レンズ６の主−が対物レンズ２の主＃に可能な臓り接近
させるように構成すれば、これらの影響を無くす乙とが
できる０以下、このような考えに基づく本発明の一実施
例を＃Ｉ３−を付してＩＩ！嘴する。
うにその励磁電流が欽定されているが、試１４１の位置
を下１に＠片側に一定赦移−させることにより、対物レ
ンズのｌｌ１１．ＩＦ磁界による試料入射電子線径の縮
小率を格ＪＲｃ増大させることがで會る◎しかしながら
、このように試料位置を移動させた場合、＄１１ ｄｉ
ｌ Ｉｋ’） Ｋ示す光ｍ図から明らかなように試料１
の像は対物レンズ１の一方に虚像５として形成され、中
間レンズ６の物＠ｉ４には形成されない。従って透過像
は観察できないため、電子―照射域を試料の分析しよう
とする部分に絞り込んで行＜Ｉｌに、それをＩＩＩＩシ
ながら行うことはできない口そこで、対物レンズ２の後
段に嬉１ｄｌｌ切ｇ：おいて６で示すような補助レンズ
を設け、補助レンズ６ｇ：よって虚像５の像が中間レン
ズ６の物＠４に形ｆｉ＆されるようにすれば、透過像を
観察しながら絞り込みを行うことができる◎尚、その−
補助レンズを対物レンズから離す楢、電子線が補助レン
ズに入射するまでに光軸から離れるＳ直が大ｉ（なり球
鋼収差が大会くなると共に、観察倍率が低下するが補助
レンズ６の主−が対物レンズ２の主＃に可能な臓り接近
させるように構成すれば、これらの影響を無くす乙とが
できる０以下、このような考えに基づく本発明の一実施
例を＃Ｉ３−を付してＩＩ！嘴する。
第３図において７は電子銃、８．９は嬉１段。
１１１４２ｔＲの収束レンズ、１０はそのｍ磁電源であ
る。
る。
１１、、ｌｌｂは各々対物レンズの外側及び内側−一り
、１２は励磁コイルである◎１６は対物レンズの＊＊電
源であり、１４．．１４ｂは対物レンズの上ａｍ片及び
下磁極片である。内側１−り１１ｂの光軸Ｃｌｌには補
助レンズの励磁コイル１ｓが備えられており、１６はそ
の電源である◎対物レンズの下磁極片１４）の下側には
ギャップＧを有しτ下ａ極片１４ｅに対向するように嬉
３の磁極片１７が配置されている０１８はａ−りであり
、ａｍコイル１５をＪＩＩ磁することによりギャップ０
間に形成される磁界によって補助レンズが形成される◎
６は中間レンズ、１９は投影レンズ、２０は螢光板であ
り、１は試料であり、該試料は通常の透過像を得る場合
より、一定鍬下ａ極片１４ｋに近い偶に配置されている
。
、１２は励磁コイルである◎１６は対物レンズの＊＊電
源であり、１４．．１４ｂは対物レンズの上ａｍ片及び
下磁極片である。内側１−り１１ｂの光軸Ｃｌｌには補
助レンズの励磁コイル１ｓが備えられており、１６はそ
の電源である◎対物レンズの下磁極片１４）の下側には
ギャップＧを有しτ下ａ極片１４ｅに対向するように嬉
３の磁極片１７が配置されている０１８はａ−りであり
、ａｍコイル１５をＪＩＩ磁することによりギャップ０
間に形成される磁界によって補助レンズが形成される◎
６は中間レンズ、１９は投影レンズ、２０は螢光板であ
り、１は試料であり、該試料は通常の透過像を得る場合
より、一定鍬下ａ極片１４ｋに近い偶に配置されている
。
このような構成において電源１６より＃磁コイル１５ｇ
：供、給される電流をｇｅｔ、、て補助レンズによって
ＪＩＩＩＩｇ１４ｃ）に示すように虚像５の像が中間レ
ンズ６の物１１４に形成されるようにする。
：供、給される電流をｇｅｔ、、て補助レンズによって
ＪＩＩＩＩｇ１４ｃ）に示すように虚像５の像が中間レ
ンズ６の物１１４に形成されるようにする。
さて、このような状１１に＆ｉいては螢光板２０上には
試料の透過像が映し出されるため、この像をｍ談しなが
ら試料１を光軸と垂直方向に移動させ、分析しようとす
るＳ＃−を観察像の中央に位置させる口そこで、電源１
０よりＪＩ２＆の収束レンズ９に供給される電流を変化
させ、試料向上における電子線の照射域を縮小させて行
く。これに伴い、螢光板２０上に投影される像の儀も縮
小して行くが、操作者はこのように縮小して行く僚が分
析しようとするＳ分に肉って縮小して行くことを確−し
ながらこの縮小を行う仁とが′できる◎この場合、試料
の１位置が通常の透過像を得る場合より対物レンズの下
＃Ｉ＆Ｉｌに近づいているため、対物レンズの一方磁界
ＦＢＩの試料入射電子線に対する縮小率が大きく、電子
線の照射域を最も縮小させた―の光−一は第２図１ｍ）
）に示す如自ものとなり、試料向上６ｃ＆ｔける電子＃
［射城の直径は゛欽１０ム掘度まで小さくすることがで
きる。従って、このような微小部分より発生したＸＩｓ
をｌ示外の検出Ｓにより検出することにより、試料向上
の微小Ｉ１分の分析を行うことができる・
試料の透過像が映し出されるため、この像をｍ談しなが
ら試料１を光軸と垂直方向に移動させ、分析しようとす
るＳ＃−を観察像の中央に位置させる口そこで、電源１
０よりＪＩ２＆の収束レンズ９に供給される電流を変化
させ、試料向上における電子線の照射域を縮小させて行
く。これに伴い、螢光板２０上に投影される像の儀も縮
小して行くが、操作者はこのように縮小して行く僚が分
析しようとするＳ分に肉って縮小して行くことを確−し
ながらこの縮小を行う仁とが′できる◎この場合、試料
の１位置が通常の透過像を得る場合より対物レンズの下
＃Ｉ＆Ｉｌに近づいているため、対物レンズの一方磁界
ＦＢＩの試料入射電子線に対する縮小率が大きく、電子
線の照射域を最も縮小させた―の光−一は第２図１ｍ）
）に示す如自ものとなり、試料向上６ｃ＆ｔける電子＃
［射城の直径は゛欽１０ム掘度まで小さくすることがで
きる。従って、このような微小部分より発生したＸＩｓ
をｌ示外の検出Ｓにより検出することにより、試料向上
の微小Ｉ１分の分析を行うことができる・
慕１ｇは補助レンズの作用をｅｌｌ＠するための図、嬉
８図は従来及び本実＠におけるｊｌｌ物レンズの一方磁
界の電子線径縮小率の差を比較して示すための図、ＪＩ
ｓ＃！Ｊは本発明の一実施例を示すための図である◎ １：試料、２：対物レンズ、ｉＩ：中間レンズ、４：吻
鋼、５：虚像、６：補助レンズ、７：電子銃、８．９：
収束レンズ、１０：＠磁電源、１１゜：外側ａ−ｐ、１
１ｂ：内側ヨーク、１２：励磁コイル、１４．１６：＠
磁電源、１４ｍ、１４１ｅ：上、下磁極片、Ｉ５：補助
励磁コイル、Ｇ：ギャップ、１７：磁極片、１８：＊−
タ、１９：投影レンズ、２０：螢光板。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者加勢忠雄 ！″′ｐ
８図は従来及び本実＠におけるｊｌｌ物レンズの一方磁
界の電子線径縮小率の差を比較して示すための図、ＪＩ
ｓ＃！Ｊは本発明の一実施例を示すための図である◎ １：試料、２：対物レンズ、ｉＩ：中間レンズ、４：吻
鋼、５：虚像、６：補助レンズ、７：電子銃、８．９：
収束レンズ、１０：＠磁電源、１１゜：外側ａ−ｐ、１
１ｂ：内側ヨーク、１２：励磁コイル、１４．１６：＠
磁電源、１４ｍ、１４１ｅ：上、下磁極片、Ｉ５：補助
励磁コイル、Ｇ：ギャップ、１７：磁極片、１８：＊−
タ、１９：投影レンズ、２０：螢光板。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者加勢忠雄 ！″′ｐ
Claims (1)
- 対物レンズの内ｌｌｍ−りの光軸Ｉｌに励磁コイルを設
けると共に、対物レンズの下ａ極片の下側に該下ａ極片
との間にギャップを舊して第三のＩｌｋ極片を設け、、
―起励磁コイルに励磁電藏を供給した際に鍵配ギャップ
間に補助レンズが形成されるようｇ：＃Ｉ成したことを
特徴とする透過麿電子顕做鏡〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56130618A JPS5832348A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56130618A JPS5832348A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 透過型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5832348A true JPS5832348A (ja) | 1983-02-25 |
| JPS6329928B2 JPS6329928B2 (ja) | 1988-06-15 |
Family
ID=15038527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56130618A Granted JPS5832348A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832348A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006344533A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｘ線用光電変換型イメージング管 |
| EP2590205A3 (en) * | 2011-11-02 | 2014-11-05 | Jeol Ltd. | Transmission electron microscope and method of observing TEM images |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5150650A (en) * | 1974-10-30 | 1976-05-04 | Hitachi Ltd | Denshisensochino hitenshusahoseisochi |
-
1981
- 1981-08-20 JP JP56130618A patent/JPS5832348A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5150650A (en) * | 1974-10-30 | 1976-05-04 | Hitachi Ltd | Denshisensochino hitenshusahoseisochi |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006344533A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｘ線用光電変換型イメージング管 |
| EP2590205A3 (en) * | 2011-11-02 | 2014-11-05 | Jeol Ltd. | Transmission electron microscope and method of observing TEM images |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6329928B2 (ja) | 1988-06-15 |
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