JPS605503Y2 - 透過型走査電子顕微鏡 - Google Patents
透過型走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS605503Y2 JPS605503Y2 JP3972280U JP3972280U JPS605503Y2 JP S605503 Y2 JPS605503 Y2 JP S605503Y2 JP 3972280 U JP3972280 U JP 3972280U JP 3972280 U JP3972280 U JP 3972280U JP S605503 Y2 JPS605503 Y2 JP S605503Y2
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- JP
- Japan
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- deflection
- current
- electron beam
- coil
- sample
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡に関し、特に試料に電子線を走査し
ながら照射し、試料を透過した散乱電子線を検出して試
料の暗視野像を得ることのできる透過型走査電子顕微鏡
に関する。
ながら照射し、試料を透過した散乱電子線を検出して試
料の暗視野像を得ることのできる透過型走査電子顕微鏡
に関する。
従来の透過型走査電子顕微鏡の概略は第１図に示すよう
なもので、１は試料であり、該試料１には、該試料上を
走査される電子線が照射される。
なもので、１は試料であり、該試料１には、該試料上を
走査される電子線が照射される。
該試料１を透過した電子線は該試料を透過する際に回折
され次数の異なった回折電子線毎に対物レンズ２の後焦
点面付近に回折像を結ぶ。
され次数の異なった回折電子線毎に対物レンズ２の後焦
点面付近に回折像を結ぶ。
このような回折電子線のうち例えば−次の回折電子線の
結像点からの電子線ａに基づく暗視野像を得るため該電
子線ａを対物レンズヨークによって囲まれた円柱状空間
に配置された第１の偏向コイル３によって光軸りに向け
て角度θ１だけ偏向し、更に同じく該空間部に配置され
た第２の偏向コイル４によって前とは逆向きに角度θ２
だけ振り戻して光軸りに沿って進ませ、電子線検出器に
導いている。
結像点からの電子線ａに基づく暗視野像を得るため該電
子線ａを対物レンズヨークによって囲まれた円柱状空間
に配置された第１の偏向コイル３によって光軸りに向け
て角度θ１だけ偏向し、更に同じく該空間部に配置され
た第２の偏向コイル４によって前とは逆向きに角度θ２
だけ振り戻して光軸りに沿って進ませ、電子線検出器に
導いている。
このような従来の装置において、より高次の回折電子線
に基づく暗視野像を得ようとすると第１、第２の偏向コ
イル、とりわけ第１の偏向コイル３によって作られる磁
界強度を増大させて、偏向角θを大きくしなければなら
ないため第１の偏向コイルを捲回数を増大させたり、成
るいは供給する電流を増大させなければならない。
に基づく暗視野像を得ようとすると第１、第２の偏向コ
イル、とりわけ第１の偏向コイル３によって作られる磁
界強度を増大させて、偏向角θを大きくしなければなら
ないため第１の偏向コイルを捲回数を増大させたり、成
るいは供給する電流を増大させなければならない。
一方、対物レンズヨークによって囲まれた円柱状空間に
光軸に沿って配置された第２の対物レンズとしての働き
をする電磁レンズを付加した電子顕微鏡があり、このよ
うな電子顕微鏡においては極めて広い範囲の倍率で像観
察可能なことが知られている。
光軸に沿って配置された第２の対物レンズとしての働き
をする電磁レンズを付加した電子顕微鏡があり、このよ
うな電子顕微鏡においては極めて広い範囲の倍率で像観
察可能なことが知られている。
そこで、本願は第１の偏向コイルの捲回数や供給電流を
増大させることなく、より高次の回折電子線に基づく暗
視野像を観察し得ると共に、極めて広い範囲の倍率で像
観察可能な新規な透過型走査電子顕微鏡を提供するもの
で、以下図面に基づき本考案を説明する。
増大させることなく、より高次の回折電子線に基づく暗
視野像を観察し得ると共に、極めて広い範囲の倍率で像
観察可能な新規な透過型走査電子顕微鏡を提供するもの
で、以下図面に基づき本考案を説明する。
本考案の一実施例を示すための第２図及び第３図におい
て、５は対物レンズヨークであり、６は対物レンズの励
磁コイルである。
て、５は対物レンズヨークであり、６は対物レンズの励
磁コイルである。
該対物レンズヨークの円柱状空間７内には、第１の偏向
コイル８と第２の偏向コイル９とが互いに離間して配置
されている。
コイル８と第２の偏向コイル９とが互いに離間して配置
されている。
該空間７の該第１、第２の偏向コイル８．９の間には該
光軸りに沿って電磁レンズ１０が配置されている。
光軸りに沿って電磁レンズ１０が配置されている。
該電磁レンズ１０は励磁コイル１１と補助ヨーク１０ａ
とよりなる。
とよりなる。
前記第１、第２の偏向コイル８，９は各々第３図に示す
ようにＸ線偏向コイルとＹ偏向コイルの一対づつ、即ち
８Ｘ、８Ｙ、９Ｘ、９Ｙからなる。
ようにＸ線偏向コイルとＹ偏向コイルの一対づつ、即ち
８Ｘ、８Ｙ、９Ｘ、９Ｙからなる。
該第３図は各コイルに供給する電流の相互関係と、電子
線の受ける偏向を説明するための図であり、同図におい
て１及び２は各々試料及び対物レンズを表わしており、
１１は第２図における励磁コイル１１を表わしている。
線の受ける偏向を説明するための図であり、同図におい
て１及び２は各々試料及び対物レンズを表わしており、
１１は第２図における励磁コイル１１を表わしている。
第３図に示すように、第１のＸ偏向コイル８Ｘ及び第１
のＹ偏向コイル８Ｙには各々第１のＸ偏向電源１２Ｘ１
第１のＹ偏向電源１２Ｙより各々電流調整器１３Ｘ、１
３Ｙを介して偏向電流が供給され、同様に第２のＸ偏向
及びＹ偏向コイル９Ｘ、９Ｙには各々第２のＸ偏向及び
Ｙ偏向電源１４Ｘ、１４Ｙより電流調整器１５Ｘ、１５
Ｙを介して偏向電流が供給される。
のＹ偏向コイル８Ｙには各々第１のＸ偏向電源１２Ｘ１
第１のＹ偏向電源１２Ｙより各々電流調整器１３Ｘ、１
３Ｙを介して偏向電流が供給され、同様に第２のＸ偏向
及びＹ偏向コイル９Ｘ、９Ｙには各々第２のＸ偏向及び
Ｙ偏向電源１４Ｘ、１４Ｙより電流調整器１５Ｘ、１５
Ｙを介して偏向電流が供給される。
該電流調整器１５Ｘ、１５Ｙによる供給電流の設定値に
関する信号は各々電流調整器１３Ｘ、１３Ｙに供給され
ている。
関する信号は各々電流調整器１３Ｘ、１３Ｙに供給され
ている。
又励磁コイル１１には電源１６よりの励磁電流が電流調
整器１７を介して供給される。
整器１７を介して供給される。
該電流調整器１７による供給電流の設定値に関する信号
は前記電流調整器１５Ｘ及び１５Ｙに供給されている。
は前記電流調整器１５Ｘ及び１５Ｙに供給されている。
このような構成において、試料を透過した回折電子線に
基づく暗視野像を観察しようとする場合暗視野像を形成
するために検出される回折電子線の次数に応じて電流、
調整器１５Ｘ、１５Ｙ及び１７を調整して各々第２のＸ
偏向コイル、Ｙ偏向コイル及び励磁コイル１１に供給す
る電流を設定する。
基づく暗視野像を観察しようとする場合暗視野像を形成
するために検出される回折電子線の次数に応じて電流、
調整器１５Ｘ、１５Ｙ及び１７を調整して各々第２のＸ
偏向コイル、Ｙ偏向コイル及び励磁コイル１１に供給す
る電流を設定する。
該電流調整器１５Ｘ、１５Ｙによる設定値に関する信号
は各々電流調整器１３Ｘ、１３Ｙに供給される第１のＸ
偏向、Ｙ偏向電源１２Ｘ、１２Ｙから第１のＸ偏向、Ｙ
偏向コイル１３Ｘ、１３Ｙに供給される電流が指定され
る。
は各々電流調整器１３Ｘ、１３Ｙに供給される第１のＸ
偏向、Ｙ偏向電源１２Ｘ、１２Ｙから第１のＸ偏向、Ｙ
偏向コイル１３Ｘ、１３Ｙに供給される電流が指定され
る。
又、電流調整器１７による供給電流設定値に関する信号
は、電流調整器１５Ｘ及び１５Ｙに供給されてこれら、
調整器による最初の電流供給量の設定値に補正を加える
。
は、電流調整器１５Ｘ及び１５Ｙに供給されてこれら、
調整器による最初の電流供給量の設定値に補正を加える
。
即ち、電磁レンズ１０は収束レンズ１８として作用する
が、このレンズ１８を電子線が通過すると、該電子線は
励磁強度に応じた角度だけ回転するため、この回転を相
殺する為の偏向を第２のＸ偏向、Ｙ偏向コイル９Ｘ、９
Ｙで合わせて行なわせるため、実際にこれらコイル９Ｘ
。
が、このレンズ１８を電子線が通過すると、該電子線は
励磁強度に応じた角度だけ回転するため、この回転を相
殺する為の偏向を第２のＸ偏向、Ｙ偏向コイル９Ｘ、９
Ｙで合わせて行なわせるため、実際にこれらコイル９Ｘ
。
９Ｙに供給される電流値は最初の設定値からずれた値と
なっている。
なっている。
さて、このようにして決定された電流を各コイル、８Ｘ
、８Ｙ、１１，９Ｘ、９Ｙに供給した状態において、試
料１に走査される電子線を照射すれば、回折電子線は第
１の偏向コイル８によって光軸りに向けて角度Φ１だけ
偏向され、更に励磁コイル１１によって形成される収束
レンズ１８によって角度Φだけ偏向された後、第２の偏
向コイル９によって角度Φ２だけ振り戻されて光軸りに
沿って進むようにされる。
、８Ｙ、１１，９Ｘ、９Ｙに供給した状態において、試
料１に走査される電子線を照射すれば、回折電子線は第
１の偏向コイル８によって光軸りに向けて角度Φ１だけ
偏向され、更に励磁コイル１１によって形成される収束
レンズ１８によって角度Φだけ偏向された後、第２の偏
向コイル９によって角度Φ２だけ振り戻されて光軸りに
沿って進むようにされる。
従って電子線は収束レンズ１８による偏向角度Φだけ余
分に偏向され、第１の偏向コイルの捲回数や供給電流を
増大させることなく、実質的に第１図におけるΦ□を大
きな値にとることができ、高次の回折電子線に基づく暗
視野像を観察することができる。
分に偏向され、第１の偏向コイルの捲回数や供給電流を
増大させることなく、実質的に第１図におけるΦ□を大
きな値にとることができ、高次の回折電子線に基づく暗
視野像を観察することができる。
又、このような本願考案に基づく装置において、第１及
び第２の偏向コイル８，９に電流を供給しない状態で電
磁レンズ１０だけを他のレンズと共同して稼動させれば
、極めて広い範囲の倍率で電子顕微鏡透過像を観察する
ことができる。
び第２の偏向コイル８，９に電流を供給しない状態で電
磁レンズ１０だけを他のレンズと共同して稼動させれば
、極めて広い範囲の倍率で電子顕微鏡透過像を観察する
ことができる。
第１図は従来装置を説明するための図、第２図及び第３
図は本考案の一実施例を説明するための図である。 １：試料、２：対物レンズ、３，８：第１の偏向コイル
、４，９：第２の偏向コイル、５：対物レンズヨーク、
６．１１：励磁コイル、７：円柱状空間、１０：電磁レ
ンズ、１０ａ：補助ヨーク、１２Ｘ、１２Ｙ、１４Ｘ、
１４Ｙ：偏向電源、１３Ｘ、１３Ｙ、１５Ｘ、１５Ｙ、
１７：電流調整器、１６：電源、Ｌ：光軸。
図は本考案の一実施例を説明するための図である。 １：試料、２：対物レンズ、３，８：第１の偏向コイル
、４，９：第２の偏向コイル、５：対物レンズヨーク、
６．１１：励磁コイル、７：円柱状空間、１０：電磁レ
ンズ、１０ａ：補助ヨーク、１２Ｘ、１２Ｙ、１４Ｘ、
１４Ｙ：偏向電源、１３Ｘ、１３Ｙ、１５Ｘ、１５Ｙ、
１７：電流調整器、１６：電源、Ｌ：光軸。
Claims (1)
- 対物レンズヨークによって囲まれた円柱状空間に配置さ
れ、試料を透過した電子線が入射する第１及び第２の偏
向コイルと、該空間内の該第１゜第２の偏向コイルの間
に配置された電磁レンズと該第１の偏向コイルによって
偏向された該電磁レンズによって回転された電子線を光
軸に沿って進行するように振り戻すため該第１の偏向コ
イルの偏向電流と該電磁レンズの励磁強度に関連して該
第２の偏向コイルに偏向電流を供給する手段を具備する
ことを特徴とする透過性走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3972280U JPS605503Y2 (ja) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 透過型走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3972280U JPS605503Y2 (ja) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 透過型走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56141357U JPS56141357U (ja) | 1981-10-26 |
| JPS605503Y2 true JPS605503Y2 (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=29635165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3972280U Expired JPS605503Y2 (ja) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 透過型走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605503Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4712125A1 (en) * | 2024-09-11 | 2026-03-18 | Fei Company | Magnetic magnification control for transmission electron microscopes |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5941854U (ja) * | 1982-09-01 | 1984-03-17 | 日本電子株式会社 | 走査透過電子顕微鏡 |
| JPS59157942A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-07 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
-
1980
- 1980-03-26 JP JP3972280U patent/JPS605503Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4712125A1 (en) * | 2024-09-11 | 2026-03-18 | Fei Company | Magnetic magnification control for transmission electron microscopes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56141357U (ja) | 1981-10-26 |
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