JPS5833307A - 音叉型水晶振動子の支持構造 - Google Patents
音叉型水晶振動子の支持構造Info
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- JPS5833307A JPS5833307A JP466182A JP466182A JPS5833307A JP S5833307 A JPS5833307 A JP S5833307A JP 466182 A JP466182 A JP 466182A JP 466182 A JP466182 A JP 466182A JP S5833307 A JPS5833307 A JP S5833307A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
- H03H9/0519—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は音叉型圧III振動子の固定、支持構造に関す
る。
る。
本発明の目的は齢記振動子の単純な支持構造を提出する
ことでるる。
ことでるる。
本発明は圧電振動子一般について適用されるものでるる
か、例として実験的経験量の多い水晶振動子を用いて説
明する。
か、例として実験的経験量の多い水晶振動子を用いて説
明する。
近年、水晶振動子の小型化がすすみ、これら振動子を時
間標準として用いた水lI&時計が数多く発表されるよ
うになった。このような用途の振動子に対して求められ
る条件は、1iiIiNfKシて小型、安価でるるとい
うことでるる、この目的に沿って開発された薄い音叉型
圧111!kR動子は、従来の機械的な方法ではなく、
写真技術と化学腐食技術を用いて作られるので、大朦生
産に適しているなど多くの長所を持っている。
間標準として用いた水lI&時計が数多く発表されるよ
うになった。このような用途の振動子に対して求められ
る条件は、1iiIiNfKシて小型、安価でるるとい
うことでるる、この目的に沿って開発された薄い音叉型
圧111!kR動子は、従来の機械的な方法ではなく、
写真技術と化学腐食技術を用いて作られるので、大朦生
産に適しているなど多くの長所を持っている。
以下、とのLうにして開発された2**の音叉型水晶振
動子およびその従来例としての固定、結線方法についで
詳述する。
動子およびその従来例としての固定、結線方法についで
詳述する。
腑1図に示すのは第1の従来例でめシ、振動子1は厚さ
数100ミフロンNTカツト晶板↓如前述の写真−化学
腐食法によって抜きとら扛る。
数100ミフロンNTカツト晶板↓如前述の写真−化学
腐食法によって抜きとら扛る。
図の2,3は振動子に電界を加えるためのm極を示す、
を極2.5はワイヤー4.5をボンディングすることに
よって端子6.7に接続される。振動子1の裏面の電極
!の形状は11.2mK示される。
を極2.5はワイヤー4.5をボンディングすることに
よって端子6.7に接続される。振動子1の裏面の電極
!の形状は11.2mK示される。
振動子1は裏面電極の一部、第2図の10で示される部
分KLって電極端子を葦ねぇ固定台8に装着される。そ
の際、接着剤には合金ハンダ等導電性のものが用いられ
る。
分KLって電極端子を葦ねぇ固定台8に装着される。そ
の際、接着剤には合金ハンダ等導電性のものが用いられ
る。
第S図は振動子1の抜き取られる方向を示す図であり、
X軸、Y軸、2軸は水晶の結晶軸である。
X軸、Y軸、2軸は水晶の結晶軸である。
図のaは最初の回転角を、bは2に目の回転角を示し、
それぞれg9..1g’、55″〜70″の範囲内にと
られる。を極2.!、9にニジ第4図に示すように電界
が加えられると振動子1社音叉蚕動を始める1図ては簡
単にするために角aを零にしである。
それぞれg9..1g’、55″〜70″の範囲内にと
られる。を極2.!、9にニジ第4図に示すように電界
が加えられると振動子1社音叉蚕動を始める1図ては簡
単にするために角aを零にしである。
上記の振動子は非常に小型のものが容易に大量生産でき
るのであるが、第4wJK示されたとおり、振動子の駆
動に役立つのは電界11.12の内のX軸方向の成分1
3.14だけであるので角βが大きくなると勘インピー
ダンスは(2)雪βに反比例して大きくなる。また、周
波数一温度特性の零温度係数が得られる温度は角βが大
きい#lど高く、βは75@′e20℃となυ、そのと
き動インピーダンスは1MΩ以上にな・る、従って腕時
計用の水晶振動子として必要な零温f係畝の得られる温
度が25℃前後という条件を満すためKは角βを75″
′↓υさらに大きくしなければならず、この時動インピ
ーダンスは数10MΩとなシ、上記の脅叉脂水晶振動子
は腕時計に用いることは困難になる。
るのであるが、第4wJK示されたとおり、振動子の駆
動に役立つのは電界11.12の内のX軸方向の成分1
3.14だけであるので角βが大きくなると勘インピー
ダンスは(2)雪βに反比例して大きくなる。また、周
波数一温度特性の零温度係数が得られる温度は角βが大
きい#lど高く、βは75@′e20℃となυ、そのと
き動インピーダンスは1MΩ以上にな・る、従って腕時
計用の水晶振動子として必要な零温f係畝の得られる温
度が25℃前後という条件を満すためKは角βを75″
′↓υさらに大きくしなければならず、この時動インピ
ーダンスは数10MΩとなシ、上記の脅叉脂水晶振動子
は腕時計に用いることは困難になる。
舘5図はw42の従来例でめ〕、電極形状を変えること
ICよって上記$1の例の欠点をなくした厚さ200ミ
クロンを超えない薄い音叉型水晶振動子の概観図でめる
。
ICよって上記$1の例の欠点をなくした厚さ200ミ
クロンを超えない薄い音叉型水晶振動子の概観図でめる
。
wi6図は第5図の振動子の裏側からの概Ii!図であ
る。振動子15はal171WK示された水晶板から写
真−化学腐食法を用いて抜きとられる0図の角Tは09
〜10°の範囲内にとられる。館5−の16゜17.9
4図の25.26はそれぞれ振動子に電界を加えるため
の励振電極である。
る。振動子15はal171WK示された水晶板から写
真−化学腐食法を用いて抜きとられる0図の角Tは09
〜10°の範囲内にとられる。館5−の16゜17.9
4図の25.26はそれぞれ振動子に電界を加えるため
の励振電極である。
第8図はこの振動子の電極の配置を示す図でるる、[界
は図の中の矢印で示されるようにX軸に平行に加えられ
るため、第5図の改良された音叉型水晶振動子の動イン
ピーダンスは約50にΩで謝1図のIjiRwJ子と比
較して非常に小さく、周波数−温1+%性の零温f係数
の得られる温度は角γを変えることに1って勧インピー
ダンスを変化させずに20℃〜40℃の範囲に自由に変
化させることができる。とのf!勧子は性能が良く、非
常に小型であるので腕時計用の水晶振動子として適して
いる。
は図の中の矢印で示されるようにX軸に平行に加えられ
るため、第5図の改良された音叉型水晶振動子の動イン
ピーダンスは約50にΩで謝1図のIjiRwJ子と比
較して非常に小さく、周波数−温1+%性の零温f係数
の得られる温度は角γを変えることに1って勧インピー
ダンスを変化させずに20℃〜40℃の範囲に自由に変
化させることができる。とのf!勧子は性能が良く、非
常に小型であるので腕時計用の水晶振動子として適して
いる。
さてI JII5@お工ひ#16図にFiまた。このよ
うな電界をかけるために行なわれている従来からの結線
方法も描かれている。両面Km畿電極を端え九振動子1
5は裏面電極25,24の一部、27゜28によって絶
縁性物質からなる固定台24の上mK蒸着、焼結等によ
って振動子の固着電極部27.28に合わせてつくられ
友金属膜113.19に接着され、電極t6.25jl
Pよび電極17.26はワイヤー20.21をボンディ
ングすることにより%電極端子22,25tlCそれぞ
れ接続される。
うな電界をかけるために行なわれている従来からの結線
方法も描かれている。両面Km畿電極を端え九振動子1
5は裏面電極25,24の一部、27゜28によって絶
縁性物質からなる固定台24の上mK蒸着、焼結等によ
って振動子の固着電極部27.28に合わせてつくられ
友金属膜113.19に接着され、電極t6.25jl
Pよび電極17.26はワイヤー20.21をボンディ
ングすることにより%電極端子22,25tlCそれぞ
れ接続される。
しかしながら、上記の方法によれば、41別に作られた
固定台が必要であるから、低価格化および小型化の上で
大きな障害となつ次、またポンティング工程が必要でる
9、これも會理化のさまたげとなっていた。
固定台が必要であるから、低価格化および小型化の上で
大きな障害となつ次、またポンティング工程が必要でる
9、これも會理化のさまたげとなっていた。
本発明は、以下に説明するように、ケース内外を貫通す
るリードピンの一端に水晶振動子を[!!向定すること
Kよって前記欠点を解決しようとするものでめる。
るリードピンの一端に水晶振動子を[!!向定すること
Kよって前記欠点を解決しようとするものでめる。
m9図は本発明の第1の実施例であり、水晶振動子27
には2つの孔28と29があけられている。ハーメチッ
クシール30を介してケース内に突出するピン!11と
32は前記孔18と29に挿入され、合金・・ンダ等の
接着剤を用いて振動子27の固定電極部6Sと54に固
着石れるとともに導通がとられる。
には2つの孔28と29があけられている。ハーメチッ
クシール30を介してケース内に突出するピン!11と
32は前記孔18と29に挿入され、合金・・ンダ等の
接着剤を用いて振動子27の固定電極部6Sと54に固
着石れるとともに導通がとられる。
第11@は115図の実施例でめ夛、論1の実施例と違
う点は、振動子40には孔ではなく、千円形の切欠き4
1.42が設けられていることでるる、ビン45.44
がこの切欠きに挿入される点は前と同じでbる。
う点は、振動子40には孔ではなく、千円形の切欠き4
1.42が設けられていることでるる、ビン45.44
がこの切欠きに挿入される点は前と同じでbる。
次K111面図を用いて改良され九実施例を説明しよう
。
。
第11図は第9図の例を横から見たもので、ビン52と
振動子27は上下両面からハンダ49で固着されている
。
振動子27は上下両面からハンダ49で固着されている
。
第12図はさらに一層を強化したもので、ビン50には
ふくらみ51が設けられている。このふくら+Fi4m
リングをハンダづけあるいはカシメで固定しである。る
るいはビン自体をこのような形状に加工することも可能
である。
ふくらみ51が設けられている。このふくら+Fi4m
リングをハンダづけあるいはカシメで固定しである。る
るいはビン自体をこのような形状に加工することも可能
である。
第15図の例は第14図のものをさらに9I!J化した
もので、振動子27の上がらさらにリング52をはめて
、上下両方から振動子を固定するようになっている。
もので、振動子27の上がらさらにリング52をはめて
、上下両方から振動子を固定するようになっている。
また水晶振動子とビンの同定を確夾にするためには一ハ
ンダ等の溶着剤の量を多くす熟ば良いが、従来はハンダ
等の溶着剤が多すぎるとそれが振動盃を生じている所K
まで流れてしまい振動特性に悪影響を与える惧れがあっ
た。しかしながら本発明の構成によれば、水晶振動子の
電極膜がビンとの固着電極部と音叉1ii#子の励振電
極部の2分部に分かれ、しかもその固着電極部と励振電
&部の間にスリット(IIt極を配置しない1部分)を
設けてめるために、ハンダ等の溶着剤の量を多くしても
。
ンダ等の溶着剤の量を多くす熟ば良いが、従来はハンダ
等の溶着剤が多すぎるとそれが振動盃を生じている所K
まで流れてしまい振動特性に悪影響を与える惧れがあっ
た。しかしながら本発明の構成によれば、水晶振動子の
電極膜がビンとの固着電極部と音叉1ii#子の励振電
極部の2分部に分かれ、しかもその固着電極部と励振電
&部の間にスリット(IIt極を配置しない1部分)を
設けてめるために、ハンダ等の溶着剤の量を多くしても
。
そのスリットがハンダの流れ防止となるため振動に悪影
響を与えることは全く無い、即ち本発明に使用している
水晶振動子は第6図に示されるように固着電極部27,
28と励振電極部25の間にスリット15aを配置した
ものでめシ、本発明によれば@?図及び1ii111図
から明らかなように、固着電極部55.54にビン51
.52をハンダ固着し、支持と導通を同時に行うととも
に、固着電極部55.54と励振@lil i@S 5
5 a 、 54 aとの間にスリン)27aを設けて
めるので、ハンダの波山が完全に防止され、小型で高精
度の音叉型水晶振動子を提し得るものである。また本発
明の池の実施ガでめるw410図においても固着電極部
45゜46と励振電極545a、46mの間にスリット
40aが配置されている*f#Js固着電極と励振電極
の間を接続する電極パターンはたいへん細く形成されて
いるためにハンダ等溶着剤の流出Kitとんど影響を4
えることは無い、ま九この細く形成された電極パターン
部(例えば第9mgの64b)は、ビンと水晶振動子の
同着F#PK於ける熱が固着電極から励振電極に伝導さ
れるのを少なく押えることができ、励振電極及び水晶片
自体の変質を防止している。
響を与えることは全く無い、即ち本発明に使用している
水晶振動子は第6図に示されるように固着電極部27,
28と励振電極部25の間にスリット15aを配置した
ものでめシ、本発明によれば@?図及び1ii111図
から明らかなように、固着電極部55.54にビン51
.52をハンダ固着し、支持と導通を同時に行うととも
に、固着電極部55.54と励振@lil i@S 5
5 a 、 54 aとの間にスリン)27aを設けて
めるので、ハンダの波山が完全に防止され、小型で高精
度の音叉型水晶振動子を提し得るものである。また本発
明の池の実施ガでめるw410図においても固着電極部
45゜46と励振電極545a、46mの間にスリット
40aが配置されている*f#Js固着電極と励振電極
の間を接続する電極パターンはたいへん細く形成されて
いるためにハンダ等溶着剤の流出Kitとんど影響を4
えることは無い、ま九この細く形成された電極パターン
部(例えば第9mgの64b)は、ビンと水晶振動子の
同着F#PK於ける熱が固着電極から励振電極に伝導さ
れるのを少なく押えることができ、励振電極及び水晶片
自体の変質を防止している。
以上の詳細な説明て明らかなように、本発明により以下
のような多くの改良がなされたものである。
のような多くの改良がなされたものである。
1、 特別の一定台が不要でるる
l ’IJ−rIIIKよる接続が不要である五 水
晶片にスリットを有する電極膜構造にることによって、
水晶片の固定時に於けるハンダ材或いはロー材が表間歪
の大なる水晶片の脚根元付近への流出を防止し、且つ多
量のハンダ材等の溶着剤を投入することが出来、水晶片
の支持固定力の強化安定と共に耐衝撃性に優れた水晶振
動子が梅現される。又、水晶片に形成されたq#に水晶
片の圧電駆動に係る励振用の電極膜への熱の伝導が少な
くなシ熱に孟る励振用のW:*膜及び水晶片の性能の劣
化を少なくすることができる。
晶片にスリットを有する電極膜構造にることによって、
水晶片の固定時に於けるハンダ材或いはロー材が表間歪
の大なる水晶片の脚根元付近への流出を防止し、且つ多
量のハンダ材等の溶着剤を投入することが出来、水晶片
の支持固定力の強化安定と共に耐衝撃性に優れた水晶振
動子が梅現される。又、水晶片に形成されたq#に水晶
片の圧電駆動に係る励振用の電極膜への熱の伝導が少な
くなシ熱に孟る励振用のW:*膜及び水晶片の性能の劣
化を少なくすることができる。
4 表裏の電極間の導通も同時にとれる& ビンのたわ
みにより衝撃が吸収され邊勅子が守られる。
みにより衝撃が吸収され邊勅子が守られる。
直 ビンのたわみにより、/・−メチツクシールを構成
する部材と振動子の熱膨張率の差による応力が緩和され
る。
する部材と振動子の熱膨張率の差による応力が緩和され
る。
また、この振動子をフォトエツチング技術で形成するな
らば、複雑な形状の振動子でも容易に量産可能でめるか
ら、さらに特長が発揮される。
らば、複雑な形状の振動子でも容易に量産可能でめるか
ら、さらに特長が発揮される。
本発明の@動子は小型にして低価格であるから、特に腕
時計用の振動子として優れている。
時計用の振動子として優れている。
第1図および第2図は化学腐食法で作られた水晶振動子
の表および裏よシの概観図。 第5図は上記振動子の切シ出し角を示す図。 第4図は上記振動子の駆動法を示す断面図である。 第5図および11+6湘は化学腐食法で作られた別の水
晶振動子の表および裏より概m図。 #s7図は上記珈動子の切シ出し角を示す図。 wJ8図は上記嶽動子の駆動法を示す断面図でるる。 第9図は本褪明の第1の実施例を示す図でめる。 #!1G図は本発明の第3の実施例。 餉11図は鮪1の実施例の側面図でめる。 $9112因は第11図の実施例を改曳した実施例の1
li1面図でるる。 第13図は第1図の実施例をさらに改曳した実施例の側
面図である。 以 上 出願人 株式会社 趣訪精工舎 代理人 弁理士 最 上 務 ′g4図 ′IJy+刀 第91図 2/ρ図
の表および裏よシの概観図。 第5図は上記振動子の切シ出し角を示す図。 第4図は上記振動子の駆動法を示す断面図である。 第5図および11+6湘は化学腐食法で作られた別の水
晶振動子の表および裏より概m図。 #s7図は上記珈動子の切シ出し角を示す図。 wJ8図は上記嶽動子の駆動法を示す断面図でるる。 第9図は本褪明の第1の実施例を示す図でめる。 #!1G図は本発明の第3の実施例。 餉11図は鮪1の実施例の側面図でめる。 $9112因は第11図の実施例を改曳した実施例の1
li1面図でるる。 第13図は第1図の実施例をさらに改曳した実施例の側
面図である。 以 上 出願人 株式会社 趣訪精工舎 代理人 弁理士 最 上 務 ′g4図 ′IJy+刀 第91図 2/ρ図
Claims (1)
- (1)音叉状を有する水晶片に、前記水晶片を励振する
ための電極膜を設けるとともに、前記電極膜が少くも前
記水晶片の叉部に配置される励振用電極部と、前記水晶
片の基部付近で溶着剤によシ外部リード端子と固着され
る固着電極部とを有する水晶振動子において、前記水晶
片の基部付近に配置される前記固着電極部と少くと4前
記水晶片の叉部に配置される励振用電極部との間に前記
溶着剤の流出を防止するスリットを設けたことを特徴と
する水晶撮動子の支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP466182A JPS6048925B2 (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 音叉型水晶振動子の支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP466182A JPS6048925B2 (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 音叉型水晶振動子の支持構造 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP721475A Division JPS5181589A (ja) | 1975-01-16 | 1975-01-16 | Onsagataatsudenshindoshinoshijihoho |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58115703A Division JPS6048926B2 (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 音叉型圧電振動子の支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5833307A true JPS5833307A (ja) | 1983-02-26 |
| JPS6048925B2 JPS6048925B2 (ja) | 1985-10-30 |
Family
ID=11590110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP466182A Expired JPS6048925B2 (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 音叉型水晶振動子の支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6048925B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6274984A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-06 | Hiroshima Kasei Kk | 防食性水膨脹性組成物 |
-
1982
- 1982-01-14 JP JP466182A patent/JPS6048925B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6274984A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-06 | Hiroshima Kasei Kk | 防食性水膨脹性組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6048925B2 (ja) | 1985-10-30 |
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