JPS5833307A - 音叉型水晶振動子の支持構造 - Google Patents

音叉型水晶振動子の支持構造

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JPS5833307A
JPS5833307A JP466182A JP466182A JPS5833307A JP S5833307 A JPS5833307 A JP S5833307A JP 466182 A JP466182 A JP 466182A JP 466182 A JP466182 A JP 466182A JP S5833307 A JPS5833307 A JP S5833307A
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JP
Japan
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crystal
tuning fork
vibrator
fork type
oscillator
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JP466182A
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JPS6048925B2 (ja
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Makoto Shibata
真 芝田
Kikuo Oguchi
小口 紀久雄
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Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0504Holders or supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0514Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
    • H03H9/0519Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は音叉型圧III振動子の固定、支持構造に関す
る。
本発明の目的は齢記振動子の単純な支持構造を提出する
ことでるる。
本発明は圧電振動子一般について適用されるものでるる
か、例として実験的経験量の多い水晶振動子を用いて説
明する。
近年、水晶振動子の小型化がすすみ、これら振動子を時
間標準として用いた水lI&時計が数多く発表されるよ
うになった。このような用途の振動子に対して求められ
る条件は、1iiIiNfKシて小型、安価でるるとい
うことでるる、この目的に沿って開発された薄い音叉型
圧111!kR動子は、従来の機械的な方法ではなく、
写真技術と化学腐食技術を用いて作られるので、大朦生
産に適しているなど多くの長所を持っている。
以下、とのLうにして開発された2**の音叉型水晶振
動子およびその従来例としての固定、結線方法についで
詳述する。
腑1図に示すのは第1の従来例でめシ、振動子1は厚さ
数100ミフロンNTカツト晶板↓如前述の写真−化学
腐食法によって抜きとら扛る。
図の2,3は振動子に電界を加えるためのm極を示す、
を極2.5はワイヤー4.5をボンディングすることに
よって端子6.7に接続される。振動子1の裏面の電極
!の形状は11.2mK示される。
振動子1は裏面電極の一部、第2図の10で示される部
分KLって電極端子を葦ねぇ固定台8に装着される。そ
の際、接着剤には合金ハンダ等導電性のものが用いられ
る。
第S図は振動子1の抜き取られる方向を示す図であり、
X軸、Y軸、2軸は水晶の結晶軸である。
図のaは最初の回転角を、bは2に目の回転角を示し、
それぞれg9..1g’、55″〜70″の範囲内にと
られる。を極2.!、9にニジ第4図に示すように電界
が加えられると振動子1社音叉蚕動を始める1図ては簡
単にするために角aを零にしである。
上記の振動子は非常に小型のものが容易に大量生産でき
るのであるが、第4wJK示されたとおり、振動子の駆
動に役立つのは電界11.12の内のX軸方向の成分1
3.14だけであるので角βが大きくなると勘インピー
ダンスは(2)雪βに反比例して大きくなる。また、周
波数一温度特性の零温度係数が得られる温度は角βが大
きい#lど高く、βは75@′e20℃となυ、そのと
き動インピーダンスは1MΩ以上にな・る、従って腕時
計用の水晶振動子として必要な零温f係畝の得られる温
度が25℃前後という条件を満すためKは角βを75″
′↓υさらに大きくしなければならず、この時動インピ
ーダンスは数10MΩとなシ、上記の脅叉脂水晶振動子
は腕時計に用いることは困難になる。
舘5図はw42の従来例でめ〕、電極形状を変えること
ICよって上記$1の例の欠点をなくした厚さ200ミ
クロンを超えない薄い音叉型水晶振動子の概観図でめる
wi6図は第5図の振動子の裏側からの概Ii!図であ
る。振動子15はal171WK示された水晶板から写
真−化学腐食法を用いて抜きとられる0図の角Tは09
〜10°の範囲内にとられる。館5−の16゜17.9
4図の25.26はそれぞれ振動子に電界を加えるため
の励振電極である。
第8図はこの振動子の電極の配置を示す図でるる、[界
は図の中の矢印で示されるようにX軸に平行に加えられ
るため、第5図の改良された音叉型水晶振動子の動イン
ピーダンスは約50にΩで謝1図のIjiRwJ子と比
較して非常に小さく、周波数−温1+%性の零温f係数
の得られる温度は角γを変えることに1って勧インピー
ダンスを変化させずに20℃〜40℃の範囲に自由に変
化させることができる。とのf!勧子は性能が良く、非
常に小型であるので腕時計用の水晶振動子として適して
いる。
さてI JII5@お工ひ#16図にFiまた。このよ
うな電界をかけるために行なわれている従来からの結線
方法も描かれている。両面Km畿電極を端え九振動子1
5は裏面電極25,24の一部、27゜28によって絶
縁性物質からなる固定台24の上mK蒸着、焼結等によ
って振動子の固着電極部27.28に合わせてつくられ
友金属膜113.19に接着され、電極t6.25jl
Pよび電極17.26はワイヤー20.21をボンディ
ングすることにより%電極端子22,25tlCそれぞ
れ接続される。
しかしながら、上記の方法によれば、41別に作られた
固定台が必要であるから、低価格化および小型化の上で
大きな障害となつ次、またポンティング工程が必要でる
9、これも會理化のさまたげとなっていた。
本発明は、以下に説明するように、ケース内外を貫通す
るリードピンの一端に水晶振動子を[!!向定すること
Kよって前記欠点を解決しようとするものでめる。
m9図は本発明の第1の実施例であり、水晶振動子27
には2つの孔28と29があけられている。ハーメチッ
クシール30を介してケース内に突出するピン!11と
32は前記孔18と29に挿入され、合金・・ンダ等の
接着剤を用いて振動子27の固定電極部6Sと54に固
着石れるとともに導通がとられる。
第11@は115図の実施例でめ夛、論1の実施例と違
う点は、振動子40には孔ではなく、千円形の切欠き4
1.42が設けられていることでるる、ビン45.44
がこの切欠きに挿入される点は前と同じでbる。
次K111面図を用いて改良され九実施例を説明しよう
第11図は第9図の例を横から見たもので、ビン52と
振動子27は上下両面からハンダ49で固着されている
第12図はさらに一層を強化したもので、ビン50には
ふくらみ51が設けられている。このふくら+Fi4m
リングをハンダづけあるいはカシメで固定しである。る
るいはビン自体をこのような形状に加工することも可能
である。
第15図の例は第14図のものをさらに9I!J化した
もので、振動子27の上がらさらにリング52をはめて
、上下両方から振動子を固定するようになっている。
また水晶振動子とビンの同定を確夾にするためには一ハ
ンダ等の溶着剤の量を多くす熟ば良いが、従来はハンダ
等の溶着剤が多すぎるとそれが振動盃を生じている所K
まで流れてしまい振動特性に悪影響を与える惧れがあっ
た。しかしながら本発明の構成によれば、水晶振動子の
電極膜がビンとの固着電極部と音叉1ii#子の励振電
極部の2分部に分かれ、しかもその固着電極部と励振電
&部の間にスリット(IIt極を配置しない1部分)を
設けてめるために、ハンダ等の溶着剤の量を多くしても
そのスリットがハンダの流れ防止となるため振動に悪影
響を与えることは全く無い、即ち本発明に使用している
水晶振動子は第6図に示されるように固着電極部27,
28と励振電極部25の間にスリット15aを配置した
ものでめシ、本発明によれば@?図及び1ii111図
から明らかなように、固着電極部55.54にビン51
.52をハンダ固着し、支持と導通を同時に行うととも
に、固着電極部55.54と励振@lil i@S 5
5 a 、 54 aとの間にスリン)27aを設けて
めるので、ハンダの波山が完全に防止され、小型で高精
度の音叉型水晶振動子を提し得るものである。また本発
明の池の実施ガでめるw410図においても固着電極部
45゜46と励振電極545a、46mの間にスリット
40aが配置されている*f#Js固着電極と励振電極
の間を接続する電極パターンはたいへん細く形成されて
いるためにハンダ等溶着剤の流出Kitとんど影響を4
えることは無い、ま九この細く形成された電極パターン
部(例えば第9mgの64b)は、ビンと水晶振動子の
同着F#PK於ける熱が固着電極から励振電極に伝導さ
れるのを少なく押えることができ、励振電極及び水晶片
自体の変質を防止している。
以上の詳細な説明て明らかなように、本発明により以下
のような多くの改良がなされたものである。
1、 特別の一定台が不要でるる l  ’IJ−rIIIKよる接続が不要である五 水
晶片にスリットを有する電極膜構造にることによって、
水晶片の固定時に於けるハンダ材或いはロー材が表間歪
の大なる水晶片の脚根元付近への流出を防止し、且つ多
量のハンダ材等の溶着剤を投入することが出来、水晶片
の支持固定力の強化安定と共に耐衝撃性に優れた水晶振
動子が梅現される。又、水晶片に形成されたq#に水晶
片の圧電駆動に係る励振用の電極膜への熱の伝導が少な
くなシ熱に孟る励振用のW:*膜及び水晶片の性能の劣
化を少なくすることができる。
4 表裏の電極間の導通も同時にとれる& ビンのたわ
みにより衝撃が吸収され邊勅子が守られる。
直 ビンのたわみにより、/・−メチツクシールを構成
する部材と振動子の熱膨張率の差による応力が緩和され
る。
また、この振動子をフォトエツチング技術で形成するな
らば、複雑な形状の振動子でも容易に量産可能でめるか
ら、さらに特長が発揮される。
本発明の@動子は小型にして低価格であるから、特に腕
時計用の振動子として優れている。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は化学腐食法で作られた水晶振動子
の表および裏よシの概観図。 第5図は上記振動子の切シ出し角を示す図。 第4図は上記振動子の駆動法を示す断面図である。 第5図および11+6湘は化学腐食法で作られた別の水
晶振動子の表および裏より概m図。 #s7図は上記珈動子の切シ出し角を示す図。 wJ8図は上記嶽動子の駆動法を示す断面図でるる。 第9図は本褪明の第1の実施例を示す図でめる。 #!1G図は本発明の第3の実施例。 餉11図は鮪1の実施例の側面図でめる。 $9112因は第11図の実施例を改曳した実施例の1
li1面図でるる。 第13図は第1図の実施例をさらに改曳した実施例の側
面図である。 以  上 出願人 株式会社 趣訪精工舎 代理人 弁理士 最 上   務 ′g4図 ′IJy+刀 第91図 2/ρ図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)音叉状を有する水晶片に、前記水晶片を励振する
    ための電極膜を設けるとともに、前記電極膜が少くも前
    記水晶片の叉部に配置される励振用電極部と、前記水晶
    片の基部付近で溶着剤によシ外部リード端子と固着され
    る固着電極部とを有する水晶振動子において、前記水晶
    片の基部付近に配置される前記固着電極部と少くと4前
    記水晶片の叉部に配置される励振用電極部との間に前記
    溶着剤の流出を防止するスリットを設けたことを特徴と
    する水晶撮動子の支持構造。
JP466182A 1982-01-14 1982-01-14 音叉型水晶振動子の支持構造 Expired JPS6048925B2 (ja)

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JP466182A JPS6048925B2 (ja) 1982-01-14 1982-01-14 音叉型水晶振動子の支持構造

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JPS5833307A true JPS5833307A (ja) 1983-02-26
JPS6048925B2 JPS6048925B2 (ja) 1985-10-30

Family

ID=11590110

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6274984A (ja) * 1985-09-28 1987-04-06 Hiroshima Kasei Kk 防食性水膨脹性組成物

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6274984A (ja) * 1985-09-28 1987-04-06 Hiroshima Kasei Kk 防食性水膨脹性組成物

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JPS6048925B2 (ja) 1985-10-30

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