JPS583337B2 - マグネトロンノ セイゾウホウホウ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はマグネ｝ｏンの製造方法に関する。

周知のようにマグネトロンはその発振部本体が第１図に
示すような構造をなしている。

即ち図中の符号１１は筒状陽極体、１２はベイン、１３
は出力アンテナ、１４，１５は磁極片、１６は陰極フィ
ラメント、１７．１８はエンドハット、１９は陰極ステ
ム、２０及び２１は陰極を支持する一対の支持体で夫々
中心支持棒及び陰極支持筒、２２は出力アンテナ端帽を
あらわしている。

ところでマグネトロンのゲツターは高温状態で作用させ
る必要があるためエンドハット１７，１Ｂにとりつけら
れる場合があり、特にマグネトロン動作開始直後に電極
部品からの放出ガスのため陰極フィラメントの電子放射
が不安定となり電源回路に異常サージ電圧が発生し不安
定動作となるのを防止するために、第５図に示すように
エンドハット１７，１８の陰極フィラメント１６側にリ
ング状のバルクゲツタ−２３，２４をとりつける。

なお一対のエンドハットはフィラメントの直径よりも充
分大きい外径寸法を有し、これによってフィラメントか
ら出る電子が磁極片の方向に逸走してしまうのを防止す
るものである。

このような構造のマグネトロンは従来第２図乃至第５図
に示すように組み立てられている。

即ちまず第２図のようにいずれもモリブテンＭｏで形成
され陰極ステム側エンドハット１８が一体形成された円
筒部品と支持筒２１とを組みあわせ、×印及び矢印ａで
示すようにアーク溶接で互いに固着する。

次に中心支持棒２０を挿通し磁極片１５とともに陰極ス
テム部で夫々封着固定する。

次に第３図に示すようにタングステンＷをコイル状に巻
回した陰極フィラメント１６を挿入し、中心支持棒２０
の先端部にもう一方のエンドハット１７を嵌合し、矢印
ａの位置をアーク溶接する。

そして白金ローでフィラメントと各エンドハットのフィ
ラメント接続部となる突出部とをそれぞれロー付けする
。

この陰極構体を、浸炭装置に入れ、陰極フィラメントを
炭化処理する。

そして最後に第４図に示すようなジルコニウム（Ｚｒ）
の切欠き２５を有する馬蹄形状のバルクゲツタ−２３，
２４を第５図のようにエンドハット１７，１８のフィラ
メント側の面に挿入当接し、矢印ｂの如《電気抵抗溶接
を行う。

この点溶接は士数点ぐらい行い、はがれが生じないよう
にしている。

このような従来の組立て製造方法では次のような欠点が
ある。

即ちフィラメントの両側にエンドハットを固着した状態
で炭化処理をすると、浸炭のための水素およびベンゾー
ル混合ガス流がエンドハットでさえぎられてフィラメン
トの端部付近で希薄になりやす《、従って炭化層厚の不
均一が起りやすい。

またエンドハットの表面にも炭化層ができて脆《なり、
あとでこのエンドハットにゲツターを溶接する際に十分
な溶接強度が得られない。

これはと《に高温になりやすい中心支持棒２０の先端部
に固定した図の上側エンドハット１７で著しい。

さらにまた使用するゲツター形状も第４図に示すような
切欠きを有するものに限られ、ゲッター材の体積を太き
《できず、またマグネトロンの長時間動作において切欠
き付近が著しく膨潤、変形して放電や電極間タッチ等の
不良をひき起しやすい。

本発明は以上のような従来方法の欠点を改善した方法で
あり、その実施例を図面によって説明する。

なお第１図乃至第５図と同一部分は同一符号を付す。

まず第６図に示すようにいずれもモリブテン（Ｍｏ）で
形成された支持筒２１と円筒部品２１ａとを嵌合し、×
印及び矢印ｌ１の継ぎ部分をレーザ溶接によって固着す
る。

この円筒部品２１ａはエンドハット１８と上方に少し突
出したフィラメント接続部１８ａとがともに一体に形成
されたものである。

そしてこの支持筒２１と円筒部品２１ａとでフィラメン
トを支える第１の陰極支持体を構成している。

次に第７図に示すように中心支持棒２０を支持筒２１お
よび円筒部品２１ａの内側に同軸的に挿入するとともに
、この支持棒２０の先端部に、中央孔のある段付のフィ
ラメント固定用円筒ブロック２５をはめこみ、嵌合部を
矢印ｌ２の如くレーザ溶接する。

勿論これはあらがじめ中心支持棒に一体形成しておいて
もよい。

こうして中心支持棒２０および円筒ブロック２５は第２
の陰極支持体を構成している。

そしてこの第２陰極支持体にエンドハットを固定しない
状態でタングステン度−イルのフィラメント１６を上方
から挿入し、図の下側の第１エンドハント１８付き円筒
部品２１ａのフィラメント接続部１８ａ及び上側のフィ
ラメント接続部すなわち円筒ブロック２５にフィラメン
ト両端部を夫々矢印ｌ３の如くレーザ溶接し電気的に接
続する。

また陰極ステム部でこれら平行に延長される第１、第２
陰極支持体を封着固定し、さらに磁極片１５も封着固定
する。

次にこの状態でフィラメントを炭化処理する。一方、第
８図イのように上側の第２エンドハット部品１７にあら
かじめ切り欠きを有しないリング状ジルコニウム（Ｚｒ
）板で形成されたバルクゲツター２６を矢印ｌ４の如く
数個所においてレーザ溶接で固着してお《。

次にフィラメント炭化処理ののち第８図口の如《下側の
第１エンドハット１８に、切り欠きを有しないリング状
バルクゲッター２７を点線で示すように図のフィラメン
ト上端部から挿入し、矢印１５の如《レーザによって数
点溶接して固着する。

従って両ゲツター２６，２７はエンドハットのフィラメ
ント側の而にとりつげられる。

そして次に第９図に示すようにあらかじめゲツター２６
が固着された上側の第２エンドハット１７を中心支持棒
先端の円筒ブロック２５にはめこみ、矢印１６の如《レ
ーザ溶接して固定する。

このような本発明のマグネトロン製造方法によれば、フ
ィラメントの炭化処理が均一にできる。

即ち第１のエンドハット付きの第１陰極支持体の先端部
よりもさらに延長された第２陰極支持体先端部に、これ
に固定されるべき第２のエンドハットをつけない状態で
例えば第１０図に示す如く、ペルジャーの如き炭化処理
装置３１内にフィラメント構体３２を装着し、上方入口
から水素及びベンゾールガスを矢印３３のように封入し
、フィラメントを約２０００°Ｋの高温にして浸炭層を
生成させると、ガスは第２のエンドハットがないために
これにじゃまされることなくフィラメントの全体により
一層《まな《ゆきわたり、フィラメントの全体により一
層均一な浸炭層が形成されるのである。

また、上方の第２エンドハットを固定しない状態で炭化
処理をし、ゲツターをとりつげるので、上下エンドハッ
トのいずれにゲツターを溶接する場合でも切欠きのない
リング状ゲツターを使用することができるなど、両エン
ドハットをつけた状態で炭化処理してそのあとゲツター
材をとりつげる従来方法において存在する組立製作上の
制約が本発明の方法では少ないため、比較的任意のゲツ
ター形状と充分なゲツタ一体積を与えることができると
ともに、マグネトロンの長時間動作においても局部的に
著しく膨潤、変形したりする不都合が生じない。

さらに、第２陰極支持体を構成する中心支持棒の先端部
に固定する第２エンドハットにあらかじめゲツター材を
固着しておき、フィラメントの炭化処理のあとにこのエ
ンドハットを中心支持棒に固着する方法によれば、この
第２エンドハットの表面は炭化物が付着したりしないの
で清浄なままであり、またこの第２エンドハットは単体
でとり扱いうるのでゲツターの固着手段あるいは溶接点
数等も任意に選らふことかでき、確実容易にゲツターを
固着することができる。

そして炭化処理時にと《に高温になりやすいこの第２エ
ンドハットに固着されるゲツターは、フィラメント炭化
処理工程を経ないので良質のままマグネトロン製造工程
を通過させられることとなる。

さらにまたフィラメントの炭化処理のあと、すでに陰極
ステム側に固定されている第１陰極支持体先端部の第１
エンドハットにゲツター材を固着する方法によれば、上
述と同様に切欠きのないリング状ゲツターを第２エンド
ハットを有しない状態にある段階で中心支持棒の先端方
向から第８図口に示すように装着できて充分なゲツタ一
体積が確保でき、かつ動作中の膨潤や変形の発生を抑制
できる。

また炭化処理時も支持筒に熱かにげてこの第２エンドハ
ットは比較的温度が低《保たれるので表面に炭化層が生
成されにくく、溶接強度がほとんど損われない。

【図面の簡単な説明】

第１図はマグネトロンの構造を示す縦断面図、第２図乃
至第５図は夫々従来の組立方法を示す図で第４図はゲツ
ターを示す斜視図、第６図乃至第９図は本発明の実施例
を示す各工程毎の縦断而図及び一部斜視図、第１０図は
本発明の作用効果を説明するための概略図である。 １９・・・・・・陰極ステム、１８・・・・・・第１エ
ンドハット、１７・・・・・・第２エンドハット、１６
・・・・・・フィラメント、２１および２１ａ・・・・
・・第１陰極支持体を構成する支持筒および円筒部品、
２０および２５・・・・・・第２陰極支持体を構成する
中心支持棒および円筒ブロック、２６，２７・・・・・
・ゲツター。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 一対の第１、第２陰極支持体が陰極ステムがわから
   互いに平行に延長され、所定間隔はなれた上記各陰極支
   持体先端部にタングステン製陰極フィラメントの両端部
   がそれぞれ電気的に接続されるとともにこれら各フィラ
   メント接続部に一対の第１、第２エンドハットがそれぞ
   れ設けられるマグネトロンの製造方法において、上記陰
   極ステムがわに近い第１エンドハットを有する第１陰極
   支持体のフィラメント接続部と、第２エンドハットを固
   着していない状態の第２陰極支持体のフィラメント接続
   部との間に、上記フィラメントをこの第２陰極支持体を
   同軸状にとりま《ように配設し、各支持体のフィラメン
   ト接続部にフィラメント端部をそれぞれ電気的に接続固
   定する工程と、この工程ののち上記陰極フィラメントを
   炭化処理する工程と、この工程ののち第２陰極支持体に
   第２のエンドハットを固定する工程とを有することを特
   徴とするマグネトロンの製造方法。