JPS5834049B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS5834049B2 JPS5834049B2 JP52004778A JP477877A JPS5834049B2 JP S5834049 B2 JPS5834049 B2 JP S5834049B2 JP 52004778 A JP52004778 A JP 52004778A JP 477877 A JP477877 A JP 477877A JP S5834049 B2 JPS5834049 B2 JP S5834049B2
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- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- transducer
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/30—Time-delay networks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1455—Transducers of particular shape or position constituted of N parallel or series transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、一対のくし歯電極を相互に差し込んだ交叉く
し歯状電極を用いた弾性表面波装置に関し、特に交叉幅
を変えた、いわゆる交叉幅重み付き弾性表面波装置に関
する。
し歯状電極を用いた弾性表面波装置に関し、特に交叉幅
を変えた、いわゆる交叉幅重み付き弾性表面波装置に関
する。
一般に、この種交叉幅重み付き弾性表面波装置は、重み
付き関数を例えば、 ｙ ＝ ０．５４ ＋ ０．４６ ｃｏｓ ｘ （−４
（）（（π）とした場合、第１図のような構成となる。
付き関数を例えば、 ｙ ＝ ０．５４ ＋ ０．４６ ｃｏｓ ｘ （−４
（）（（π）とした場合、第１図のような構成となる。
同図において、１はＰＺＴ等の圧電磁器、ＺｎＯ等の圧
電薄膜等からなる圧電体であり、２，３はそれぞれくし
歯電極で、これらのくし歯電極２，３を相互に差し込ん
で交叉くし歯状電極４が構成され、この電極４を圧電体
１上に形成してトランスジューサーが構成される。
電薄膜等からなる圧電体であり、２，３はそれぞれくし
歯電極で、これらのくし歯電極２，３を相互に差し込ん
で交叉くし歯状電極４が構成され、この電極４を圧電体
１上に形成してトランスジューサーが構成される。
このような装置は、トランスジューサーヲ例工ば入力側
に利用し、このトランスジューサーから送り出される弾
性表面波をすべて出力側トランスジューサで受けるとし
、かつ入力側の重み付き電極の対数を６２対とし、出力
側の電極を正規型としてその対数を２８対とし、中心周
波数での表面波の波長を２１４μとし、最大交叉幅ｄ（
第１図）を１５００μとした場合、理論的（計算的）に
は第３図の破断線で示すような減衰度特性が得られる。
に利用し、このトランスジューサーから送り出される弾
性表面波をすべて出力側トランスジューサで受けるとし
、かつ入力側の重み付き電極の対数を６２対とし、出力
側の電極を正規型としてその対数を２８対とし、中心周
波数での表面波の波長を２１４μとし、最大交叉幅ｄ（
第１図）を１５００μとした場合、理論的（計算的）に
は第３図の破断線で示すような減衰度特性が得られる。
ところが実際には、送り出された弾性表面波がすべて出
力側トランスジューサーに到達するわけではなく、表面
波ビームの広がりにより一部が拡散されて、同図の細い
実線で示す減衰度特性しか得られない。
力側トランスジューサーに到達するわけではなく、表面
波ビームの広がりにより一部が拡散されて、同図の細い
実線で示す減衰度特性しか得られない。
したがって、図から明らかなようにスプリアスレベルが
約４０ｄＢと小さく、実用に供するには特性的に不十分
である。
約４０ｄＢと小さく、実用に供するには特性的に不十分
である。
一方、本発明者らは、スプリアスレベルを大きくするに
は、第４図に示すように、交叉幅を大きくすればよいこ
とを見い出した。
は、第４図に示すように、交叉幅を大きくすればよいこ
とを見い出した。
図においては便宜上交叉幅を最大交叉幅で代表してあら
れしている。
れしている。
しかしながら、このように交叉幅のみを大きくしてスプ
リアスレベルを大きくしたのでは、隣接する電極指（素
子）間の各容量を合わせたトランスジューサ全体の容量
が大きくなって、ラジオ及びＦＭステレオ受信機のＩＰ
段、テレビジョン受像機のＶＩＰ段等に組み込む際、前
段もしくは後段の回路とのマツチングが事実上とれなく
なる。
リアスレベルを大きくしたのでは、隣接する電極指（素
子）間の各容量を合わせたトランスジューサ全体の容量
が大きくなって、ラジオ及びＦＭステレオ受信機のＩＰ
段、テレビジョン受像機のＶＩＰ段等に組み込む際、前
段もしくは後段の回路とのマツチングが事実上とれなく
なる。
また、形状的にも数倍に大きくなるという欠点が生ずる
。
。
特に、前者のマツチングの問題は、圧電体としてＰＺＴ
のような誘電率の高い材料を用いた場合、容量がかなり
大きくなって欠点が顕著にあられれる。
のような誘電率の高い材料を用いた場合、容量がかなり
大きくなって欠点が顕著にあられれる。
なお、最大交叉幅を１５００μとした場合容量は比較的
小さく押さえることができるが、これでもＰＺＴを圧電
体として用いた場合にはまだマツチングをとるのが困難
である。
小さく押さえることができるが、これでもＰＺＴを圧電
体として用いた場合にはまだマツチングをとるのが困難
である。
本発明は、上述した種々の欠点をすべて同時に除去した
もので、その目的とするところは、■ スプリアスレベ
ルを大きくすること、■ 交叉幅を今までのものと同程
度に維持して形状の大型化を防ぐこと、 ■ 容量をより小さくして外部回路とのマツチングをと
り易くすること、 にあります。
もので、その目的とするところは、■ スプリアスレベ
ルを大きくすること、■ 交叉幅を今までのものと同程
度に維持して形状の大型化を防ぐこと、 ■ 容量をより小さくして外部回路とのマツチングをと
り易くすること、 にあります。
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳述する。
第２図において、１０は圧電体を示し、この圧電体１０
は、ＰＺＴ等の磁器板、ガラス基板上にスパッタリング
、蒸着等の技術で形成された圧電薄膜、Ｌ ｉＮ ｂｏ
２のような単結晶板等で構成されている。
は、ＰＺＴ等の磁器板、ガラス基板上にスパッタリング
、蒸着等の技術で形成された圧電薄膜、Ｌ ｉＮ ｂｏ
２のような単結晶板等で構成されている。
２０は交叉くし歯状電極で、スクリーン印刷、蒸着等の
技術で圧電体１０上に形成されており、圧電体１０とで
トランスジューサーが構成される。
技術で圧電体１０上に形成されており、圧電体１０とで
トランスジューサーが構成される。
交叉くし歯状電極２０は、一対のくし歯電極３０，４０
を相互に差し込んで構成したいわゆるインターディジタ
ル型電極である。
を相互に差し込んで構成したいわゆるインターディジタ
ル型電極である。
一方のくし歯電極３０は各電極指３１．３２．・・・・
・・が同一長さに形成され、他方のくし歯電極４０の電
極指４１．４２・・・・・・は後述するように不連続的
に長さを変えて形成され、この結果両くし歯電極３０゜
４０の隣接する電極指間の交叉幅が変わり、交叉くし歯
状電極２０が重み付き形状に構成される。
・・が同一長さに形成され、他方のくし歯電極４０の電
極指４１．４２・・・・・・は後述するように不連続的
に長さを変えて形成され、この結果両くし歯電極３０゜
４０の隣接する電極指間の交叉幅が変わり、交叉くし歯
状電極２０が重み付き形状に構成される。
このときの重み付き関数は使用目的に応じて任意に決定
すればよい。
すればよい。
交叉くし歯状電極２０は、弾性表面波進行方向に、すな
わち交叉幅方向と直角方向に複数個の分割部分電極２１
，２２，２３゜２４．２５，２６に分割されている。
わち交叉幅方向と直角方向に複数個の分割部分電極２１
，２２，２３゜２４．２５，２６に分割されている。
これらの分割部分電極２１，２２，２３，２４，２５，
２６は順次電気的に直列に接続されている。
２６は順次電気的に直列に接続されている。
各分割部分電極の対数については、後述する重み付けの
施し方によってもかわるが、基本的には電極指の短いつ
まり交叉幅の小さい分割部分電極２１，２６の対数が他
の分割部分電極２２，２３，２４，２５の対数に比較し
て多くなるように、また中程度の交叉幅の分割部分電極
２２，２５の対数が最も大きい交叉幅の分割部分電極２
３，２４の対数に比較して多くなるように構成されてい
る。
施し方によってもかわるが、基本的には電極指の短いつ
まり交叉幅の小さい分割部分電極２１，２６の対数が他
の分割部分電極２２，２３，２４，２５の対数に比較し
て多くなるように、また中程度の交叉幅の分割部分電極
２２，２５の対数が最も大きい交叉幅の分割部分電極２
３，２４の対数に比較して多くなるように構成されてい
る。
実際には好ましくは各分割部分電極２１，２２，２３，
２４゜２５．２６の指間容量がそれぞれ等しくなるよう
に少なくとも１０％以内の精度で一致するように対数を
決定すればよい。
２４゜２５．２６の指間容量がそれぞれ等しくなるよう
に少なくとも１０％以内の精度で一致するように対数を
決定すればよい。
交叉くし歯状電極２ｏに重み付けを施すには、一方のく
し歯電極４ｏの電極指４１，４２．・・・・・・の遊端
を結ぶ包絡線（破断線で示す）が、隣接する分割部分電
極（例えば２１と２２）間において端Ｘよりの分割部分
電極２１のうち中央Ｚ寄りの交叉幅Ａが中央Ｚ寄りの分
割部分電極２２のうち端Ｘよりの又叉幅Ｂよりも大きく
なるよう不連続的に構成されている。
し歯電極４ｏの電極指４１，４２．・・・・・・の遊端
を結ぶ包絡線（破断線で示す）が、隣接する分割部分電
極（例えば２１と２２）間において端Ｘよりの分割部分
電極２１のうち中央Ｚ寄りの交叉幅Ａが中央Ｚ寄りの分
割部分電極２２のうち端Ｘよりの又叉幅Ｂよりも大きく
なるよう不連続的に構成されている。
すなわち、交叉幅Ａが交叉幅Ｂよりも大きく、交叉幅Ｃ
が交叉幅りよりも大きく、交叉幅Ｆが交叉幅Ｅよりも大
きく、また交叉幅Ｈが交叉幅Ｇよりも大きく構成されて
いる。
が交叉幅りよりも大きく、交叉幅Ｆが交叉幅Ｅよりも大
きく、また交叉幅Ｈが交叉幅Ｇよりも大きく構成されて
いる。
また、各分割部分電極２１．２２，２３，２４．２５．
２６における各交叉幅は端ＸもしくはＹ側よりも中央Ｚ
側の方が大きくなるように構成されている。
２６における各交叉幅は端ＸもしくはＹ側よりも中央Ｚ
側の方が大きくなるように構成されている。
本実施例を入力側トランスジューサーとし、出力側トラ
ンスジューサーに交叉幅の均一な正規型電極のものを用
い、かつ次の条件に設定して駆動した場合、第３図の太
い実線で示すような減衰度特性が得られた。
ンスジューサーに交叉幅の均一な正規型電極のものを用
い、かつ次の条件に設定して駆動した場合、第３図の太
い実線で示すような減衰度特性が得られた。
入力側電極の対数＝６２対
出力側電極の対数＝２８対
中心周波数での表面波波長＝２１４μ
最大交叉幅＝１５００μ
各分割部分電極の交叉＠：第１図記載の従来例に比較し
て電極２１，２６の部分を１５倍、電極２２．２５の部
分を１．１倍とし、電極２３，２４の部分を同一にする
。
て電極２１，２６の部分を１５倍、電極２２．２５の部
分を１．１倍とし、電極２３，２４の部分を同一にする
。
図から明らかなように、本発明を用いた場合にはスプリ
アスレベルが大きくなり、減衰度特性が従来のものを用
いた場合に比較してかなり向上して、計算値に近い値と
なる。
アスレベルが大きくなり、減衰度特性が従来のものを用
いた場合に比較してかなり向上して、計算値に近い値と
なる。
これは、交叉幅を大きくして表面波ビームの広がりを極
力押さえることができたためと考えられる。
力押さえることができたためと考えられる。
本実施例トランスジューサーの容量は、電極をほぼ等容
量に６分割しているから、第１図記載の従来例に比較し
て３６分の１とかなり小さくなり、外部回路とのマツチ
ングがとり易くなる。
量に６分割しているから、第１図記載の従来例に比較し
て３６分の１とかなり小さくなり、外部回路とのマツチ
ングがとり易くなる。
また、本実施例によれば前述の包絡線を不連線的に構成
しているにもかかわらず、第３図に示すように従来例と
同様な選択度特性が得られているが、これは実質的に重
み付き関数が等しくなるためと考えられ、このことにつ
いて次に述べる。
しているにもかかわらず、第３図に示すように従来例と
同様な選択度特性が得られているが、これは実質的に重
み付き関数が等しくなるためと考えられ、このことにつ
いて次に述べる。
すなわち、交叉幅を例えば大きくすると対の電極指間の
容量が大きくなってインピーダンスが小さくなり、この
結果上記電極指間に加わる電圧が少なくなって微小部分
のひずみが小さくなる。
容量が大きくなってインピーダンスが小さくなり、この
結果上記電極指間に加わる電圧が少なくなって微小部分
のひずみが小さくなる。
一方電極指間全体のひずみは微小部分のひずみを交叉幅
分だけ積分した値に等しく、結果的に電極指間全体のひ
ずみは交叉幅を大きくしても元のものと比較して変わら
なくなるからである。
分だけ積分した値に等しく、結果的に電極指間全体のひ
ずみは交叉幅を大きくしても元のものと比較して変わら
なくなるからである。
本発明は、以上説明したように構成しているから、従来
例と同程度の形状で、スプリアスレベルを大きくでき、
かつ容量をかなり小さくできてマツチングを容易にとれ
るなど、実用上非常に大きな効果を有している。
例と同程度の形状で、スプリアスレベルを大きくでき、
かつ容量をかなり小さくできてマツチングを容易にとれ
るなど、実用上非常に大きな効果を有している。
本発明における対数、各交叉幅、電極幅、電極間距離等
は使用目的に応じて任意に選択でき、また本発明装置を
入力側に用いても出力側に用いてもよく、さらに他方の
くし歯電極の電極指長さも不均一にしてもよい。
は使用目的に応じて任意に選択でき、また本発明装置を
入力側に用いても出力側に用いてもよく、さらに他方の
くし歯電極の電極指長さも不均一にしてもよい。
第１図は従来の装置を示す図、第２図は本発明の一実施
例を示す図、第３図は周波数−減衰度特性図、第４図は
交叉幅−スプリアスレベル特性図である。 １０・・・・・・圧電体、２０・・・・・・交叉くし歯
状電極、２１．２２，２３，２４．２５．２６・・・・
・・分割部分電極、３０，４０・・・・・・くし歯電極
、３１，３２゜〜４１，４２．〜・・・・・・電極指。
例を示す図、第３図は周波数−減衰度特性図、第４図は
交叉幅−スプリアスレベル特性図である。 １０・・・・・・圧電体、２０・・・・・・交叉くし歯
状電極、２１．２２，２３，２４．２５．２６・・・・
・・分割部分電極、３０，４０・・・・・・くし歯電極
、３１，３２゜〜４１，４２．〜・・・・・・電極指。
Claims (1)
- １ 圧電体上に交叉くし歯状電極のトランスジューサー
を設け、このトランスジューサーによって電気的信号を
弾性表面波に、もしくは弾性表面波を電気的信号に変換
するようにした弾性表面波装置において、前記トランス
ジューサーの交叉くし歯状電極を弾性表面波進行方向に
関して両端よりも中央付近の交叉幅を大きくした、いわ
ゆる交叉幅重み付きに構成するとともに、弾性表面波進
行方向に複数個に分割して電気的に直列接続し、しかも
、上記交叉くし歯状電極の少なくとも一方のくし歯電極
の電極指の遊端を結ぶ包絡線を、隣接する分割部分電極
間において端よりの分動部分電極の中央寄りの交叉幅が
中央寄りの分割部分電極の上記端よりの交叉幅よりも大
きくなるよう不連続に構成し、かつ前記各分割部分電極
の対数を、交叉幅の小さいものについては相対的に多く
、交叉幅の大きいものについては相対的に少なくなるよ
うに設定したことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10609876A JPS5330848A (en) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Surface acoustic wave device |
| JP52004778A JPS5834049B2 (ja) | 1976-09-03 | 1977-01-18 | 弾性表面波装置 |
| US05/829,094 US4143343A (en) | 1976-09-03 | 1977-08-30 | Acoustic surface wave interaction device |
| DE19772739688 DE2739688A1 (de) | 1976-09-03 | 1977-09-02 | Elektro-akustische vorrichtung mit einem schallfuehrungselement und elektro- akustischen wandlern |
| GB36752/77A GB1536614A (en) | 1976-09-03 | 1977-09-02 | Acoustic surface wave interaction device |
| FR7726854A FR2363937A1 (fr) | 1976-09-03 | 1977-09-05 | Dispositif a ondes acoustiques de surface |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10609876A JPS5330848A (en) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Surface acoustic wave device |
| JP52004778A JPS5834049B2 (ja) | 1976-09-03 | 1977-01-18 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5389643A JPS5389643A (en) | 1978-08-07 |
| JPS5834049B2 true JPS5834049B2 (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=26338613
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10609876A Granted JPS5330848A (en) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Surface acoustic wave device |
| JP52004778A Expired JPS5834049B2 (ja) | 1976-09-03 | 1977-01-18 | 弾性表面波装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10609876A Granted JPS5330848A (en) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Surface acoustic wave device |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4143343A (ja) |
| JP (2) | JPS5330848A (ja) |
| DE (1) | DE2739688A1 (ja) |
| FR (1) | FR2363937A1 (ja) |
| GB (1) | GB1536614A (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4223284A (en) * | 1977-11-07 | 1980-09-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic surface wave device |
| JPS55141813A (en) * | 1979-04-24 | 1980-11-06 | Murata Mfg Co Ltd | Surface acoustic wave device |
| JPS56123117A (en) * | 1980-03-05 | 1981-09-28 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
| JPS56123118A (en) * | 1980-03-05 | 1981-09-28 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
| JPS564917A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-19 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave filter |
| JPS57202114A (en) * | 1981-06-05 | 1982-12-10 | Hitachi Ltd | Band pass filter |
| JPS58154917A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | Hitachi Ltd | 弾性表面波バンドパスフイルタ |
| JPS6216728U (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-31 | ||
| JPS63309727A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-16 | Yanmar Diesel Engine Co Ltd | 排気タ−ボ過給機付内燃機関の排気ガス処理装置 |
| GB2239144A (en) * | 1989-12-16 | 1991-06-19 | Plessey Co Plc | Surface acoustic wave transducer |
| EP0809357B1 (en) * | 1996-05-23 | 1999-12-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter |
| US6801100B2 (en) | 1996-05-23 | 2004-10-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inter-digital transducer, surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same |
| US6348845B2 (en) | 1996-05-23 | 2002-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter |
| US6782604B2 (en) * | 1997-07-07 | 2004-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing a chip PTC thermistor |
| EP2068444B1 (en) * | 2006-09-28 | 2013-06-26 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Acoustic wave filter |
| JP5350720B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2013-11-27 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、及び弾性波装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3600710A (en) * | 1968-08-12 | 1971-08-17 | Zenith Radio Corp | Acoustic surface wave filter |
| FR2036374A5 (ja) * | 1969-03-12 | 1970-12-24 | Thomson Csf | |
| US3675054A (en) * | 1970-12-02 | 1972-07-04 | Texas Instruments Inc | Series connection of interdigitated surface wave transducers |
| GB1389337A (en) * | 1972-10-05 | 1975-04-03 | Marconi Co Ltd | Dispersive delay devices |
-
1976
- 1976-09-03 JP JP10609876A patent/JPS5330848A/ja active Granted
-
1977
- 1977-01-18 JP JP52004778A patent/JPS5834049B2/ja not_active Expired
- 1977-08-30 US US05/829,094 patent/US4143343A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-09-02 DE DE19772739688 patent/DE2739688A1/de active Granted
- 1977-09-02 GB GB36752/77A patent/GB1536614A/en not_active Expired
- 1977-09-05 FR FR7726854A patent/FR2363937A1/fr active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2363937B1 (ja) | 1983-01-07 |
| DE2739688A1 (de) | 1978-03-09 |
| FR2363937A1 (fr) | 1978-03-31 |
| DE2739688C2 (ja) | 1988-07-21 |
| US4143343A (en) | 1979-03-06 |
| JPS5330848A (en) | 1978-03-23 |
| GB1536614A (en) | 1978-12-20 |
| JPS5622164B2 (ja) | 1981-05-23 |
| JPS5389643A (en) | 1978-08-07 |
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|---|---|---|
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