JPS5834077A - 超音波洗浄槽 - Google Patents

超音波洗浄槽

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Publication number
JPS5834077A
JPS5834077A JP13146981A JP13146981A JPS5834077A JP S5834077 A JPS5834077 A JP S5834077A JP 13146981 A JP13146981 A JP 13146981A JP 13146981 A JP13146981 A JP 13146981A JP S5834077 A JPS5834077 A JP S5834077A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
cleaning tank
cleaning
ultrasonic cleaning
tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13146981A
Other languages
English (en)
Inventor
秋葉 政邦
雅義 兼松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Ome Electronic Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Ome Electronic Co Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP13146981A priority Critical patent/JPS5834077A/ja
Publication of JPS5834077A publication Critical patent/JPS5834077A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は超音波洗浄槽に関するものである。
一般に、牛導体製品、光学レンズ等の表面処理前にこれ
らの表面のよごれを取る方法として、超音波振動を利用
した趨音波洗浄器(超音波洗浄槽)が多く用いられてい
る。
この超音波洗浄槽は第1図に示す様に、超音波尭生電#
1*超音波発振子2.振動箱←板)3゜洗−浄槽4から
成っており、超音波電気信号はフレキシブルなベローズ
チ瓢−ブ6の中にもうけられたケーブル7により供給さ
れる。
第1図は投込型超音波洗浄槽であるが、第2図は底付飄
洗浄檜といわれ、超音波発振子2の付いた振動箱3を洗
浄槽4の底面にパツキン9をはさんで付けたもので、洗
浄槽は小さくなるが支柱8により槽を高く設置しなけれ
ばならず、またパツキン9を十分に大きくしなければな
らない。
以上2方式が従来の超音波洗浄槽であるが、いずれの超
音波洗浄槽も”l  I鳳、で示すように被洗浄物(5
)に対して大ぎなスペースが必要となり。
複数の洗浄槽を同−大館さくする事により可能な被洗浄
物の自動搬送化、自動洗浄装置の小蓋化等の障害となっ
ていた。
一方、超音波洗浄においては、超音波発振子2の振動箱
3を介して洗浄液に@適し、被洗浄物5の表面に物理的
な力を加えることにより洗浄を行うものである。そのた
め、電気的に絶縁しなければならない超音波発振子2を
収納する振動箱3は勿論、ケーブル7を引き出すための
7レキシプルチ島−ブ6等は超音波振動しても洗浄水の
漏れがないll接構造としなければならない。
本発明の目的は、前記従来技術の課題を解決し、小型で
、しかも自動搬送化の可能な超音波洗浄槽な提供するこ
とにある。
この目的を達成するため1本発明の超音波洗浄槽は、超
音波振動部材と外部空間との間を密封連通させる弾性密
封手段が洗浄槽の壁部の貫通孔を貫通して設けられ、超
音波発振子への電気信号等の供給用のケーブルが前記弾
性密封手段の中を通って超音波発振子に接続されている
ことを特徴とするものである。
以下1本発明を図面に示す実施例にしたがって詳細に説
明する。
第3図は本発明による超音波洗浄槽の一実施例を示す概
略断面図、第4図はその要部の拡大詳細断面図である0
本実施例において、第1図および第2図の従来例と対応
する部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施例の振動箱3の側壁部には、洗浄槽4の側壁部の
貫通孔lOを貫通して水平方向に鷺びる蛇腹状のフレキ
シブルナ1−プロの一端が溶接されている。7レキシプ
ルチ藤−プ6の他端は槽外において超音波発生電源lに
連結されている。したがって、振動箱3の内部から7レ
キシプルチエープ6の内部に至る密封空間が形成され、
この密封空間の中に洗浄液が浸入することは阻止される
また、この密封空間の中を通って、超音波発振子2への
電気信号等を供給するためのケーブル7が超音波発振子
2と超音波発生電源lとを相互に接続している。
一方%フレキシブルチ2−プロを支持するため。
蛇腹状の漏斗形状を有するパツキンitが洗浄槽4の側
壁と7レキシプルチ島−ブ6との間をlI封結合してい
る。すなわち、このパツキン11の基端側は当て板12
とねじ13により洗浄槽4の側壁面に密封固定され、先
端側はワイヤ14によりフレキシブルチ^−プロの外周
i1に1!f鉗固定されている。
したがって1本実施例によれば、振動箱3の超音波振動
が全く損なわれないのみならず、フレキシブルチ為−ブ
6が超音波振動しても洗浄槽4内の洗浄液が洗浄槽4の
外部および振動箱3やフレキシブルナ2−プロの内部に
漏れることなく、クープルアを安全に槽外に導館出すこ
とがで幹る。
しかも、纂1mlおよび第2図にJl、、11で示すよ
5なm駄なスペースが必要でないので、超音波洗浄槽の
小皿化を達成でt、!動搬送化や自動洗浄装置自体の小
渥化を実現することもできる。
なお1本実施例は超音波洗浄槽に関して説明して来たが
1本発明はそれ以外にも、たとえば液体の中に9!閏を
作り出し、その振動または移動を行うものく広く応用す
ることかで會る。
以上説明したように1本発明によれば、超音波洗浄槽、
ひい℃は自動洗浄装置の小部化を達成でき、被洗浄物の
自動搬送化による洗浄作業の連続自動化が可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図および嬉2図は従来技術を示す概略断面図、第3
図は本発明の一実施例による超音波洗浄槽の概略断面図
、第4図はその要部の拡大詳細断面図である。 l・・・超音波発生電源、2・・・超音波発振子、3・
・・振動箱(板)、4・・・洗浄槽、5・・・被洗浄物
、6・・・フレキシブルチ島−ブ、7・・・ケーブル、
lO・・・貫通孔、11・・・パツキン。 ′3.t

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 超音波発振子を洗浄液中に設置した超音波振動部材の密
    封空間の中に散り付け、洗浄液中の被洗浄物を超音波洗
    浄する超音波洗浄槽において、洗浄槽の壁部に貫通孔を
    設け、この貫通孔を通して超音波振動部材と外部9間と
    の間を密封連通させる弾!iI@封手段な設け、超音波
    発振子に電気信号等を供給するケーブルが前記弾性密財
    手段中を通って前記超音波洗浄槽に接続されていること
    を特徴とする超音波洗浄槽。
JP13146981A 1981-08-24 1981-08-24 超音波洗浄槽 Pending JPS5834077A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13146981A JPS5834077A (ja) 1981-08-24 1981-08-24 超音波洗浄槽

Applications Claiming Priority (1)

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JP13146981A JPS5834077A (ja) 1981-08-24 1981-08-24 超音波洗浄槽

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5834077A true JPS5834077A (ja) 1983-02-28

Family

ID=15058685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13146981A Pending JPS5834077A (ja) 1981-08-24 1981-08-24 超音波洗浄槽

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JP (1) JPS5834077A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0319588U (ja) * 1989-06-30 1991-02-26

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0319588U (ja) * 1989-06-30 1991-02-26

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