JPS5834352U - イオン打込機のビ−ム偏向磁石電源 - Google Patents
イオン打込機のビ−ム偏向磁石電源Info
- Publication number
- JPS5834352U JPS5834352U JP12794581U JP12794581U JPS5834352U JP S5834352 U JPS5834352 U JP S5834352U JP 12794581 U JP12794581 U JP 12794581U JP 12794581 U JP12794581 U JP 12794581U JP S5834352 U JPS5834352 U JP S5834352U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- deflection magnet
- magnet power
- beam deflection
- ion implanter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
Claims (1)
- イ、オン打込機の２ビ一ム偏向磁石電源において、偏向
磁石と試料室との間におかれた真空ゲートバルブの開閉
状態表示素子と偏向磁石電源の出力電流との論理積の信
号により偏向磁石電源の出力の０Ｎ−ＯＦＦ制御を行う
機能を有することを特徴としたイオン打込機のビーム偏
向磁石電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12794581U JPS5834352U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | イオン打込機のビ−ム偏向磁石電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12794581U JPS5834352U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | イオン打込機のビ−ム偏向磁石電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834352U true JPS5834352U (ja) | 1983-03-05 |
Family
ID=29921659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12794581U Pending JPS5834352U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | イオン打込機のビ−ム偏向磁石電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834352U (ja) |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP12794581U patent/JPS5834352U/ja active Pending
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