JPS6018540U - 分子線結晶成長装置 - Google Patents
分子線結晶成長装置Info
- Publication number
- JPS6018540U JPS6018540U JP10828583U JP10828583U JPS6018540U JP S6018540 U JPS6018540 U JP S6018540U JP 10828583 U JP10828583 U JP 10828583U JP 10828583 U JP10828583 U JP 10828583U JP S6018540 U JPS6018540 U JP S6018540U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular beam
- crystal growth
- growth equipment
- beam crystal
- exit port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の分子線結晶成長装置における分子線の発
生の状況を示す模式断面図、第２図は本考案の実施例の
特徴部分を示す模式断面図である。 図において、１１は結晶成長室の壁、１２はセル、１３
はヒータ、１４は分子線材料、１５は突棒、１６はベロ
ーズ、１７は可動封止板、１８は案内棒、１９は支持板
を示す。
生の状況を示す模式断面図、第２図は本考案の実施例の
特徴部分を示す模式断面図である。 図において、１１は結晶成長室の壁、１２はセル、１３
はヒータ、１４は分子線材料、１５は突棒、１６はベロ
ーズ、１７は可動封止板、１８は案内棒、１９は支持板
を示す。
Claims (1)
- 結晶成長室内に、分子線の出射口を有するセルと、該セ
ル内に収容された分子線材料を前記出射口方向に移送す
る突棒とを備え、前記結晶成長室の壁に開口と、該開口
を気密に封止する可動部とを備えて、該可動部を介して
前記突棒が前記出射口方向に駆動されることにより、前
記分子線材料の前記出射口に対する位置が制御されるこ
とを特徴とする分子線結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10828583U JPS6018540U (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 分子線結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10828583U JPS6018540U (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 分子線結晶成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6018540U true JPS6018540U (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=30252695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10828583U Pending JPS6018540U (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 分子線結晶成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018540U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5752565B2 (ja) * | 1976-02-13 | 1982-11-08 |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP10828583U patent/JPS6018540U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5752565B2 (ja) * | 1976-02-13 | 1982-11-08 |
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