JPS5834353U - 試料微動装置 - Google Patents

試料微動装置

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JPS5834353U
JPS5834353U JP12797781U JP12797781U JPS5834353U JP S5834353 U JPS5834353 U JP S5834353U JP 12797781 U JP12797781 U JP 12797781U JP 12797781 U JP12797781 U JP 12797781U JP S5834353 U JPS5834353 U JP S5834353U
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JP
Japan
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fine movement
sample
movement device
sample fine
mechanisms
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JP12797781U
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実 清水
斉藤　尚武
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は上面図、
第３図は従来の試料微動装置の移動範囲を示した図、第
４図は本考案の試料微動装置の移動範囲を示した図であ
る。 ４・・・試料、５・・・Ｘ機構、６・・・Ｔ機構、７・
・・移動台、８・・・Ｘ機構、９・・・Ｙ機構、１０・
・・Ｒ機構、１３・・・レール、１４・・・シャフト、
１５・・・クランク軸、１６・・・軸受台、１７・・・
軸、１８・・・つまみ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　試料を観察したい位置へ移動させる機構をもつ走査
    電子顕微鏡において、垂直方向・傾斜方向、水平方向、
    回転方向に試料を微動させる機構の全て、又はいずれか
    を組合せてなる試料微動機構の中に一定量の早送り機構
    を１つ以上組み込んだことを特徴とする試料微動装置。 ２　実用新案登録請求の範囲第１項において、１つの早
    送り機構をいずれかの微動機構の中に組み込んだことを
    特徴とする試料微動装置。
JP12797781U 1981-08-31 1981-08-31 試料微動装置 Pending JPS5834353U (ja)

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JP12797781U JPS5834353U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 試料微動装置

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JPS5834353U true JPS5834353U (ja) 1983-03-05

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