JPS5836011A - 回路素子気密パツケ−ジのガラス封着方法 - Google Patents
回路素子気密パツケ−ジのガラス封着方法Info
- Publication number
- JPS5836011A JPS5836011A JP56133786A JP13378681A JPS5836011A JP S5836011 A JPS5836011 A JP S5836011A JP 56133786 A JP56133786 A JP 56133786A JP 13378681 A JP13378681 A JP 13378681A JP S5836011 A JPS5836011 A JP S5836011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- lead wire
- carbon weight
- hole
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H01L41/047—
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は水晶発振子、氷島共振子、水晶F波器、光セン
サー訃よびハイブリット回路台の回路水子紮内部に収納
するILl】路素子用気vbパッケージにリードfMを
101定する°だめの、ガラス何着方法に+hjするも
のである。
サー訃よびハイブリット回路台の回路水子紮内部に収納
するILl】路素子用気vbパッケージにリードfMを
101定する°だめの、ガラス何着方法に+hjするも
のである。
1す1路素子月1気密パッケージは第1図にその哨聞凶
を示すように、全組製ペースlに所望数の穴を2− 有するガラス体2を配設すると共に、このガラス体2の
穴にリード線3を仲、nfs L 、封ガ1し、その後
前記リード線3の先端を索子4に接続すると共に、前記
ベースl上にケース5(il−被せ、両名の端縁を接着
することにより借成されたものである。
を示すように、全組製ペースlに所望数の穴を2− 有するガラス体2を配設すると共に、このガラス体2の
穴にリード線3を仲、nfs L 、封ガ1し、その後
前記リード線3の先端を索子4に接続すると共に、前記
ベースl上にケース5(il−被せ、両名の端縁を接着
することにより借成されたものである。
従来、このようなベース11ガラス2及びリード線3を
封着する場合% ’g 2図に示す、Lうに、リード+
1#3が挿通する穴6を有する受台7上に、リード九が
3を挿通したガラス体2を配設したベース1をインター
側が上になるLうに載j〜し、ベースlのつめ部8の部
分全カーポン冶具9で押圧して高温下で封着していた。
封着する場合% ’g 2図に示す、Lうに、リード+
1#3が挿通する穴6を有する受台7上に、リード九が
3を挿通したガラス体2を配設したベース1をインター
側が上になるLうに載j〜し、ベースlのつめ部8の部
分全カーポン冶具9で押圧して高温下で封着していた。
このような方法によれば、高温下でガラス2r焼付ける
ため、ガラス2が全体的に盛りあがってし−まりとどう
欠点が1bつだ。特にリード線3の接着部はリード醐3
に酎って著しく盛りあがってしまい、製品として1更用
に供すない不良品が多く出現していた。また、リード線
3が溶接部1ob@する場合、前Ii己浴接都lO付近
に残留する薬品とガラスの1&9あかりの相互作用によ
り、気泡を生じ、気Wi曲及び密着頻度が低下3− すると1−う欠点もある。さらに、ガラス2がム写・り
あがっている/Cめ、クラック、竹にリード1叩の曲げ
によるガラスクラックが生じやすり、焼付陵の処理及び
取扱い時に充分な江、eを要J−ると共に、一度?+λ
小クラックを生ずると、d易にクラックがJ行し、匝用
に・jst すなくなるなどの欠点が、!〕つた。
ため、ガラス2が全体的に盛りあがってし−まりとどう
欠点が1bつだ。特にリード線3の接着部はリード醐3
に酎って著しく盛りあがってしまい、製品として1更用
に供すない不良品が多く出現していた。また、リード線
3が溶接部1ob@する場合、前Ii己浴接都lO付近
に残留する薬品とガラスの1&9あかりの相互作用によ
り、気泡を生じ、気Wi曲及び密着頻度が低下3− すると1−う欠点もある。さらに、ガラス2がム写・り
あがっている/Cめ、クラック、竹にリード1叩の曲げ
によるガラスクラックが生じやすり、焼付陵の処理及び
取扱い時に充分な江、eを要J−ると共に、一度?+λ
小クラックを生ずると、d易にクラックがJ行し、匝用
に・jst すなくなるなどの欠点が、!〕つた。
本発明はこのような欠点のないガラス封7.i1方法k
+I+!(It、することを目的とする。詳しくは、
気1ビf′t:及び密2.″“i +jlG 1.17
−が艮好で、かつクラックが生じにくい11η路素子用
気〜贋パツケージを良1青シえるガラス刊治方法を薪供
すること金目的とする。
+I+!(It、することを目的とする。詳しくは、
気1ビf′t:及び密2.″“i +jlG 1.17
−が艮好で、かつクラックが生じにくい11η路素子用
気〜贋パツケージを良1青シえるガラス刊治方法を薪供
すること金目的とする。
したがって不発1411にJoるガラス刊Zj方法は、
ベースに、リード展iを(10ン山したガラス体を1紀
設し、高温とし、前mlベース、リード飽及びガラス+
?封肘するガラス封着方法において、Tlfl ri、
2 ’)−ド綜を挿通したガラス体の、少なくとも前i
jLリードr諜伸迎++11付近を押圧しながら封7H
することを待畝とするものである。
ベースに、リード展iを(10ン山したガラス体を1紀
設し、高温とし、前mlベース、リード飽及びガラス+
?封肘するガラス封着方法において、Tlfl ri、
2 ’)−ド綜を挿通したガラス体の、少なくとも前i
jLリードr諜伸迎++11付近を押圧しながら封7H
することを待畝とするものである。
本発明によるガラス封有方法によJ″しば、tifl記
リードす挿ノ+II r+liを押圧しながら封ノFj
するので、リ−4− ド紳にそってガラスが盛りあがることがf(:<y、f
す、このため、歩留りが者しく上昇すると共に、溶j凍
部を有するリード線を用いた鶴jfにJ・・いても、気
密吐及び資材強度が低下することをよないと日゛う利点
がある。
リードす挿ノ+II r+liを押圧しながら封ノFj
するので、リ−4− ド紳にそってガラスが盛りあがることがf(:<y、f
す、このため、歩留りが者しく上昇すると共に、溶j凍
部を有するリード線を用いた鶴jfにJ・・いても、気
密吐及び資材強度が低下することをよないと日゛う利点
がある。
本発明を史に詳しく説明する。
本発明によるガラス封幻方法においては、封有をするに
際し、少なくともり一ド諌挿)11部付近を押圧する訳
であるが、この押圧の方法tit本発明において駆足さ
れるものではない。たとえば、・43図に示すように、
リード線3が挿通する八6を有する受台7−FKl リ
ード線3を挿通させたガラス2を配設したベースlを、
インナーullが上になるように載甑し、さらにリード
腺挿西部t t 1=1近にカーボンウェイト12t−
載ぜ、このカーボンウェイト12の車さによりハ11日
己ガラス2を押圧することができる。また、第4図に示
すように1 リード線3(i−挿通さぜたガラス2を配
設したベース1のインター側が上になるように、HjJ
記ベーベーを受台7に械+dt+、、これにリードa+
3の数及び位1kに5一 対応する穴部13(5有するカーボンウェイト12を乗
亡て押圧することもできる。この際、カーボンウェイト
12は第4図に示すように、リード線3をカーボンウェ
イ)12の穴13に嵌合して載置する。
際し、少なくともり一ド諌挿)11部付近を押圧する訳
であるが、この押圧の方法tit本発明において駆足さ
れるものではない。たとえば、・43図に示すように、
リード線3が挿通する八6を有する受台7−FKl リ
ード線3を挿通させたガラス2を配設したベースlを、
インナーullが上になるように載甑し、さらにリード
腺挿西部t t 1=1近にカーボンウェイト12t−
載ぜ、このカーボンウェイト12の車さによりハ11日
己ガラス2を押圧することができる。また、第4図に示
すように1 リード線3(i−挿通さぜたガラス2を配
設したベース1のインター側が上になるように、HjJ
記ベーベーを受台7に械+dt+、、これにリードa+
3の数及び位1kに5一 対応する穴部13(5有するカーボンウェイト12を乗
亡て押圧することもできる。この際、カーボンウェイト
12は第4図に示すように、リード線3をカーボンウェ
イ)12の穴13に嵌合して載置する。
さらには、! 51XIに示すように、リード線3を挿
通さすたガラス2を配設し、たベース1のアウター側が
」−にカるように、受台7に前記ベース1をt’i l
+>、?し、これにリード線3の数及び位も・、にグ1
もする穴部13をイ1するカーボンウェイト12全!?
:せて押圧す、5こともできる。この篩、ツノ−ボンウ
ェイト12p、支I′A15図に小すように、リードJ
43をカーボンウェイ)12の穴13に嵌合して・Ij
<itする。
通さすたガラス2を配設し、たベース1のアウター側が
」−にカるように、受台7に前記ベース1をt’i l
+>、?し、これにリード線3の数及び位も・、にグ1
もする穴部13をイ1するカーボンウェイト12全!?
:せて押圧す、5こともできる。この篩、ツノ−ボンウ
ェイト12p、支I′A15図に小すように、リードJ
43をカーボンウェイ)12の穴13に嵌合して・Ij
<itする。
このような押l[方法の」勘合、カーボンウェイト12
による荷]1【はアウター側より負荷さくLる。
による荷]1【はアウター側より負荷さくLる。
抑圧の荷重は、好ましくQユ2〜102であるのがよい
。22禾満であると、本発明による幼尿か発揮されに<
<、一方log@超えて負荷しても、効果の同上は沼め
ないからである。
。22禾満であると、本発明による幼尿か発揮されに<
<、一方log@超えて負荷しても、効果の同上は沼め
ないからである。
このように、ガラス2の少なくともリード馴挿6−
連部II付近を押圧したままで、900〜10(30℃
に加熱し、ガラス2を溶解し到着する。この到着の条f
’F等は従来性なわハてきた全ての栄H・等であってよ
い。
に加熱し、ガラス2を溶解し到着する。この到着の条f
’F等は従来性なわハてきた全ての栄H・等であってよ
い。
本発明によるガラス封有力法に、hれrll たとえば
第G LXI (a)、中)に正面1./lを示すよう
に、カーボンウェイト12を負俯したリードト(j:h
、++j部111ζ1近の平滑な部分14と中央部の
ノト不貞(i4部分15が形成される。即ち、リード−
5挿II’!i 部11 (rまカーボンウェイト12
の負荷によシ全り°ト坦で3らり、リード線3にそって
ガラス2が盛りあがることかなくなる。したがって、ガ
ラス2の盛りあがり(〆〔−よるクラックの発生ないし
不良品の16生を防止1−え、製品歩ヘロリが者しく向
」−すると共に、溶Fa ihl I Oをゼするリー
ド線3fc封着する1今においても気密性<密眉個ばの
1良好枚、すなわらせ秀な匪「1目を有rる回路素子用
気密パッケージを容易にジi! )’ltしえる。
第G LXI (a)、中)に正面1./lを示すよう
に、カーボンウェイト12を負俯したリードト(j:h
、++j部111ζ1近の平滑な部分14と中央部の
ノト不貞(i4部分15が形成される。即ち、リード−
5挿II’!i 部11 (rまカーボンウェイト12
の負荷によシ全り°ト坦で3らり、リード線3にそって
ガラス2が盛りあがることかなくなる。したがって、ガ
ラス2の盛りあがり(〆〔−よるクラックの発生ないし
不良品の16生を防止1−え、製品歩ヘロリが者しく向
」−すると共に、溶Fa ihl I Oをゼするリー
ド線3fc封着する1今においても気密性<密眉個ばの
1良好枚、すなわらせ秀な匪「1目を有rる回路素子用
気密パッケージを容易にジi! )’ltしえる。
芙施例
第3図に示す方法により金属波ペースに2+のり一ド線
を固尾した。即ち、2不のリード線をI巾7− AIILだガラス体をベースに配設し、第3図に示すよ
うに、インナー111すが上になるようにカー+1−ン
受’ct 上ニX+W Iz L/ 、v−ドに4ii
挿通部にカーボンウェイトケ屯父のだイ菱、力11り〜
し、ガラスを1容1蝕させ、リード1iilをj■定し
た。
を固尾した。即ち、2不のリード線をI巾7− AIILだガラス体をベースに配設し、第3図に示すよ
うに、インナー111すが上になるようにカー+1−ン
受’ct 上ニX+W Iz L/ 、v−ドに4ii
挿通部にカーボンウェイトケ屯父のだイ菱、力11り〜
し、ガラスを1容1蝕させ、リード1iilをj■定し
た。
この精米を第1表に示す、4[省と]7て従来の方法に
よって裂偵したものの不良率も1−ヤわせで示す。
よって裂偵したものの不良率も1−ヤわせで示す。
第 1 表
上□己の精米よシ明かなように、従来のガラス封着法に
よ7Lば、不良率は30.35%でりっだのに対し、本
づいル]によルば2.90 %で;bc、to倍以上
の良好な紹A!、をイQj。
よ7Lば、不良率は30.35%でりっだのに対し、本
づいル]によルば2.90 %で;bc、to倍以上
の良好な紹A!、をイQj。
8−
第1図は回路素子用気密パッケージの断面図、第2図は
従来のガラス封着方法を示す断面図、第3図〜第5図μ
本発1jllによるガラス封着方法を示す断面図、第6
図は本発明によるガラス封着方法によって側層されたガ
ラス表面の伏11引を示すす曳念図である。 1・・・ベース、 2・・・カラス、3・・・
リード線、 4・・・水子、5・・・ケース、
6・・・受U穴、7・・・受台、
8・・・つめ部、9・・・カーボン治具、 lO・・
・f8接部、11・・・リード線挿通部、12・・・カ
ーボンウェイト、13・・・カーボンウェイト穴。 出願人 代理人 雨 〆イ 正 李−リー 笛 l バ 第2 図 第3図 第4ス 第 5 N 第6大 (0) (b)
従来のガラス封着方法を示す断面図、第3図〜第5図μ
本発1jllによるガラス封着方法を示す断面図、第6
図は本発明によるガラス封着方法によって側層されたガ
ラス表面の伏11引を示すす曳念図である。 1・・・ベース、 2・・・カラス、3・・・
リード線、 4・・・水子、5・・・ケース、
6・・・受U穴、7・・・受台、
8・・・つめ部、9・・・カーボン治具、 lO・・
・f8接部、11・・・リード線挿通部、12・・・カ
ーボンウェイト、13・・・カーボンウェイト穴。 出願人 代理人 雨 〆イ 正 李−リー 笛 l バ 第2 図 第3図 第4ス 第 5 N 第6大 (0) (b)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、 ペースにリード線を挿通したガラス1本をf1己
設し、高温とし、前記ベース、リード線、ガラスを一体
化するガラス何着方法において、前;i己り一ド線を挿
通したガラス体の、少なくとも!J −)”線挿通部付
近を押圧しながら封着すること1″f徴とする回路素子
用気密ノ(ツケージのガラスjゞX4方法。 2、 前記ガラス体の抑圧はカーフ1?ンウエイトを+
戒f+ffiすることによって行なうことを特徴とする
特許祠求の範囲1による回路素子用気留)くツケージの
ガラス何着方法。 8、@記カーボンウェイトはリード線を挿通させるため
の穴を有し、この穴に!j −ト’ 、Wをflll、
IInさせ、インナー側より前記カーボンウェイト金ガ
ラス体上に載置することを特徴とする特fFy青其θ範
1− 囲2による回路素子用気密パッケージのガラス封着方法
。 4.1市、j己カーボンウェイトv:tリード線を用1
通させるだめの穴を有し、この穴にリード嵌を挿通さ1
、アラクーl!1−1よシ1116己カーボンウェイト
をガラス体上に載置することを11)・酬とする竹♂L
請求の範囲2による回路素子用気密パッケージのガラス
封λj方法。 5、 ill記抑圧の荷重は2〜10f!であること
を特徴とする特許請求の範L!N l〜4のいずnかの
回路素子用’y% ’Blfパッケージのガラス何着方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56133786A JPS5836011A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 回路素子気密パツケ−ジのガラス封着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56133786A JPS5836011A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 回路素子気密パツケ−ジのガラス封着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5836011A true JPS5836011A (ja) | 1983-03-02 |
Family
ID=15112964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56133786A Pending JPS5836011A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 回路素子気密パツケ−ジのガラス封着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5836011A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613754A (en) * | 1979-07-16 | 1981-02-10 | Nec Home Electronics Ltd | Preparation of semiconductor stem |
| JPS5693347A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Manufacture of airtight glass terminal |
-
1981
- 1981-08-26 JP JP56133786A patent/JPS5836011A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613754A (en) * | 1979-07-16 | 1981-02-10 | Nec Home Electronics Ltd | Preparation of semiconductor stem |
| JPS5693347A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Manufacture of airtight glass terminal |
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